(高清版)GBT 17472-2022 微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范

微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范Specificationforpastesofpreciousmetalusedformicroelectronics2022-10-12發(fā)布國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件代替GB/T17472—2008《微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范》,與GB/T17472—2008相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性修改外，主要技術(shù)變化如下?！牧藷Y(jié)型漿料的燒結(jié)溫度范圍。由“400℃~900℃”更改為“400℃~1600℃”(見3.1,2008年版的3.1)?！黾恿藢袒蜐{料固化條件的詳細(xì)說明(見3.2)?！牧擞嬎銤{料固體含量時的條件。由“漿料在400℃~900℃灼燒后”更改為“漿料在750℃灼燒后”,由“漿料在室溫至250℃加熱后”更改為“漿料在一定溫度(25℃~400℃)加熱后或在紫外光(波長為100nm～400nm的電磁波)的照射下或在電子束輻射(電子的能量為30keV～300keV)的照射下至恒重”(見3.3,2008年版的3.3、3.4)?！牧藵{料細(xì)度的定義。由“漿料中固體微粒的大小”更改為“漿料中顆粒物的分散程度”(見3.4,2008年版的3.5)?！黾恿朔阶瓒x中導(dǎo)電膜厚度規(guī)定：25.4μm。增加了方阻的折算公式(見3.5)?！黾恿藢?dǎo)電膜示意圖(見3.5)?！獎h除了牌號表示方法中非貴金屬漿料的字母標(biāo)識(見2008年版的4.1.3)?！牧伺铺柋硎痉椒ㄖ小癰”的含義。由“燒結(jié)型漿料或固化型漿料”更改為“工藝類型”(見4.3,2008年版的4.1.3)?！獎h除了牌號表示方法中電極漿料的字母標(biāo)識(見2008年版的4.1.3)。——更改了漿料牌號的表示方法。由“d——金屬名稱。用化學(xué)元素符號表示金屬名稱”更改為“d——金屬相成分。用化學(xué)元素符號表示金屬名稱，元素符號后的數(shù)字表示該金屬占金屬相的質(zhì)量分?jǐn)?shù)”(見4.3,2008年版的4.1.3)?！獎h除了漿料對使用貴金屬原料的要求(2008年版的4.2)?！黾恿送庥^質(zhì)量的試驗方法(見6.2)?！黾恿藱z驗項目和取樣的相關(guān)內(nèi)容(見7.3)?！黾恿送庥^質(zhì)量項是否合格的判定規(guī)則(見7.5.1)?！黾恿顺庥^質(zhì)量外的檢驗項目出現(xiàn)不合格時，復(fù)檢時判定產(chǎn)品是否合格的詳細(xì)規(guī)則(見請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。本文件由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC243)歸口。本文件起草單位：貴研鉑業(yè)股份有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司、西安宏星電子漿料科技股份有限公司。本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為：——1998年首次發(fā)布為GB/T17472—1998,2008年第一次修訂；——本次為第二次修訂。1微電子技術(shù)用貴金屬漿料規(guī)范警示——使用本文件的人員應(yīng)有正規(guī)實驗室工作的實踐經(jīng)驗。本文件并未指出所有可能的安全問題。使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】荡胧⒈ＷC符合國家相關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件。本文件規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料的分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于燒結(jié)型及固化型微電子技術(shù)用貴金屬漿料(以下簡稱“漿料”)。非貴金屬漿料也可參照執(zhí)行。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T6739色漆和清漆鉛筆法測定漆膜硬度GB/T13452.2色漆和清漆漆膜厚度的測定GB/T17473.1微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法固體含量測定GB/T17473.2微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法細(xì)度測定GB/T17473.3微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法方阻測定GB/T17473.4微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法附著力測定GB/T17473.5微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法粘度測定GB/T17473.6微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定GB/T17473.7微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法第7部分：可焊性、耐焊性測定3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。燒結(jié)型漿料sinteringpastesofpreciousmetal由貴金屬或其化合物的粉末、添加物和有機(jī)載體組成的一種適用于印刷或涂敷的漿狀物或膏狀物。注：在一定溫度下(400℃~1600℃)能與基板燒結(jié)形成無機(jī)功能相。由貴金屬或其化合物的粉末、片狀粉末、無機(jī)添加物、有機(jī)添加物、有機(jī)樹脂和有機(jī)溶劑組成的一種適用于印刷或涂敷的漿狀物或膏狀物。注：能在一定溫度下(25℃~400℃)或在紫外光的照射下(波長為100nm～400nm的電磁波)或在電子束輻射的照射下(電子的能量為30keV～300keV)固化與基板附著形成功能相。2漿料在750℃灼燒后，剩余物質(zhì)質(zhì)量與試料質(zhì)量的比值，以質(zhì)量分?jǐn)?shù)表示。(燒結(jié)型漿料適用)漿料在一定溫度(25℃~400℃)加熱后或在紫外光(波長為100nm～400nm的電磁波)的照射下或在電子束輻射(電子的能量為30keV～300keV)的照射下至恒重，剩余物質(zhì)質(zhì)量與試料質(zhì)量的比值，以質(zhì)量分?jǐn)?shù)表示。(固化型漿料適用)漿料中顆粒物的分散程度。的電阻R□25.4rm,單位為Ω/□或mΩ/□。注：折算方法如公式(1)所示，導(dǎo)電膜示意圖如圖1所示。R□25.4um=(R、·A·T)/(L·25.4) (1)式中：A——導(dǎo)電膜的寬度，單位為毫米(mm);L——導(dǎo)電膜的長度，單位為毫米(mm)。漿料固化膜或燒成膜同基片的結(jié)合能力。注：通常采用剝離方法測定。漿料黏度viscosityofpastes漿料流體內(nèi)阻礙一層流體與另一層流體作相對運(yùn)動的特性的度量。分辨率resolutionofpastes漿料用絲網(wǎng)印刷，經(jīng)烘干，燒成或固化后連續(xù)、清晰分離的線條的最小寬度和線間距的數(shù)值。在一定的焊接條件下，熔融焊料浸潤漿料燒成膜難易程度的度量。耐焊性solderingresistance在一定的焊接條件下，漿料燒成膜在熔融焊料中抵抗焊料侵蝕的能力。34分類4.1漿料按使用工藝分為燒結(jié)型漿料和固化型漿料。4.2漿料按其所含貴金屬的種類分為單元漿料及多元漿料。單元漿料為含一種貴金屬或其化合物的漿料，多元漿料為含兩種或兩種以上貴金屬或其化合物的漿料。4.3漿料的牌號由以下五部分表示：ee——db—PP——貴金屬漿料。用大寫英文字母P表示貴金屬漿料。b——工藝類型。燒結(jié)型漿料用S表示；固化型漿料用C表示。c——漿料用途。C表示導(dǎo)體漿料；R表示電阻漿料。d——金屬相成分。用化學(xué)元素符號表示金屬名稱，元素符號后的數(shù)字表示該金屬占金屬相的質(zhì)量分?jǐn)?shù)。e—-產(chǎn)品編號。各廠家根據(jù)實際需求自行定義產(chǎn)品編號。示例：PSC-Ag80Pd20-0120表示編號為0120含銀80%含鈀20%的燒結(jié)型銀鈀導(dǎo)體漿料。5技術(shù)要求5.1外觀質(zhì)量漿料應(yīng)為均一色澤的漿狀物或膏狀物。5.2性能指標(biāo)厚度，供需雙方應(yīng)對其他可接受的技術(shù)指標(biāo)達(dá)成一致。6試驗方法6.1漿料各項指標(biāo)的檢測均應(yīng)在溫度15℃~35℃,相對濕度45%～75%,大氣壓力為86kPa~106kPa的環(huán)境下進(jìn)行。6.2外觀質(zhì)量采用目視檢查。6.3固體含量試驗按GB/T17473.1的規(guī)定進(jìn)行。6.4細(xì)度試驗按GB/T17473.2的規(guī)定進(jìn)行。6.5方阻試驗按GB/T17473.3的規(guī)定進(jìn)行。46.6附著力試驗按GB/T17473.4的規(guī)定進(jìn)行。6.7黏度試驗按GB/T17473.5的規(guī)定進(jìn)行。6.8分辨率試驗按GB/T17473.6的規(guī)定進(jìn)行。6.9可焊性、耐焊性試驗按GB/T17473.7的規(guī)定進(jìn)行。6.10固化膜硬度試驗按GB/T6739的規(guī)定進(jìn)行。6.11固化膜厚度試驗按GB/T13452.2的規(guī)定進(jìn)行。6.12其他的檢測內(nèi)容及檢驗方法由供需雙方商定。7檢驗規(guī)則7.1檢查和驗收7.1.1漿料由供方或第三方進(jìn)行檢驗，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件及訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方應(yīng)對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗。若檢驗結(jié)果與規(guī)定不符合時，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起一個月內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，可委托雙方認(rèn)可的單位進(jìn)行取樣檢驗。漿料應(yīng)成批提交驗收，每批應(yīng)由同一個牌號、同一批號的產(chǎn)品組成，批重不限。7.3檢驗項目及取樣供方根據(jù)需方對漿料的使用要求按照表1確定漿料的檢驗項目和取樣方法。需方提出的特殊檢驗項目，由供需雙方商定，并在訂貨單中注明。表1檢驗項目及取樣方法檢驗項目取樣方法要求的章條號檢驗或試驗方法的章條號外觀質(zhì)量逐瓶固體含量隨機(jī)抽取一瓶，攪拌均勻，取樣2g～20g細(xì)度方阻附著力黏度分辨率可焊性耐焊性固化膜硬度6.10固化膜厚度6.117.4仲裁取樣的方法從需方收到的不合格批號的產(chǎn)品中對剩余未開封的漿料進(jìn)行取樣，攪拌均勻，按7.3進(jìn)行取樣檢驗。57.5檢驗結(jié)果的判定7.5.1外觀質(zhì)量如有不合格，判該瓶不合格。7.5.2當(dāng)除外觀質(zhì)量外的檢驗項目出現(xiàn)不合格時，應(yīng)從該批次產(chǎn)品中隨機(jī)抽取2瓶(包括原檢驗不合格的那瓶)漿料進(jìn)行該項目重復(fù)試驗，并以重復(fù)試驗結(jié)果作為該批次產(chǎn)品的檢驗結(jié)果，若仍有不合格，則判該批產(chǎn)品不合格。8.1標(biāo)志漿料用帶密封蓋的瓶子分裝，每瓶漿料的重量由供需雙方自行約定。每瓶漿料均應(yīng)貼上標(biāo)簽，a)供方名稱；b)產(chǎn)品名稱；c)產(chǎn)品牌號；d)產(chǎn)品批號；e)瓶重；f)產(chǎn)品凈重；g)儲存條件、生產(chǎn)日期和保質(zhì)期：h)警示標(biāo)識或警示說明。a)產(chǎn)品名稱；b)產(chǎn)品牌號；c)產(chǎn)品批號；d)瓶數(shù)和規(guī)格；e)生產(chǎn)日期；f)生產(chǎn)單位；8.2.1包裝瓶應(yīng)耐漿料腐蝕，不易破損。瓶口應(yīng)用膠帶纏繞密封，然后裝入包裝箱中，包裝瓶四周應(yīng)充填安全物質(zhì)。外包裝參照GB/T19445的規(guī)定進(jìn)行。8.2.3漿料一般應(yīng)在5℃~25℃下貯存，保質(zhì)期限為6個月。對于特殊要求漿料的運(yùn)輸及貯存條件需雙方協(xié)商，并在訂貨合同中注明。8.3隨行文件每批漿料產(chǎn)品應(yīng)附產(chǎn)品合格證，