HGT 6329-2024《高純工業(yè)品四氯化鈦》

ICS71.060.50HGHighpuritytitaniumtetrachlorideforindustrialuseIHG/TXXXX-XXXX本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由中國(guó)石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出。本文件由全國(guó)化學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)無機(jī)化工分技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC63/SC1）歸口。本文件起草單位：貴陽精一科技有限公司、佛山市質(zhì)量計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)中心、貴州理工學(xué)院、浙江水知音環(huán)?？萍加邢薰?、廈門市藍(lán)水靈環(huán)?？萍加邢薰尽⒃颇蠂?guó)鈦金屬股份有限公司、中海油天津化工研究設(shè)計(jì)院有限公司。本文件主要起草人：張建剛、李芳芳、舒驍驥、湯李波、陳嘉賓、李建軍、弓創(chuàng)周、向東、蘇向東、侯廉杰、高山、趙永勝、丁靈、安曉英、馬義虔、周加規(guī)、張凱、李海嘉。1HG/TXXXX-XXXX警告：根據(jù)GB12268—2012第6章的規(guī)定，本產(chǎn)品屬第6類6.1項(xiàng)毒性物質(zhì)，受熱或遇水分解放熱，放出有毒的腐蝕性煙氣，有較強(qiáng)的腐蝕性。使用本文件的人員應(yīng)有正規(guī)實(shí)驗(yàn)室工作的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。本文件并未指出所有可能的安全問題。使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】荡胧?，并保證符合國(guó)家有關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件。本文件規(guī)定了高純工業(yè)品四氯化鈦的分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、標(biāo)簽及隨行文件、包裝、運(yùn)輸、貯存。本文件適用于高純工業(yè)品四氯化鈦。注：該產(chǎn)品主要用作半導(dǎo)體集成儲(chǔ)存器的生產(chǎn)與制造過程中作為氮化鈦、二氧化鈦和鈦金屬化學(xué)氣相薄膜沉積(CVD)的液相鈦源材料，也用于太陽能光伏電池的制備。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB190—2009危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB/T191—2008包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T6678化工產(chǎn)品采樣總則GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T11446.1—2013電子級(jí)水GB12268—2012危險(xiǎn)貨物品名表GB/T25915.1—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)GB/T30903—2014無機(jī)化工產(chǎn)品雜質(zhì)元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法（ICP-MS）3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4分子式和相對(duì)分子質(zhì)量分子式：TiCl4相對(duì)分子質(zhì)量：189.67（按2022年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量）5分類2HG/TXXXX-XXXX高純工業(yè)品四氯化鈦分為兩種型號(hào)：——Ⅰ型（7N），純度（基于陽離子）不小于99.99999%，主要用于半導(dǎo)體集成儲(chǔ)存器制備；——Ⅱ型（6N），純度（基于陽離子）不小于99.9999%，主要用于太陽能光伏電池制備。6要求6.1外觀：無色或微黃色液體。6.2高純工業(yè)品四氯化鈦按本文件規(guī)定的試驗(yàn)方法檢測(cè)應(yīng)符合表1的規(guī)定。≥≤2≤5≤5≤2≤5≤2≤5≤2≤2≤2≤2≤2≤5≤5≤2≤2≤2≤2≤2≤2≤23HG/TXXXX-XXXX≤2≤5≤2≤7試驗(yàn)方法7.1一般規(guī)定本文件所用的試劑和水，在沒有注明其它要求時(shí)，均指優(yōu)級(jí)純?cè)噭┖头螱B/T11446.1—2013表1試驗(yàn)中所用的雜質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)溶液應(yīng)使用有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)配制。電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）操作和顆粒測(cè)定應(yīng)在不低于GB/T25915.1—2021表1中規(guī)定的ISO3級(jí)的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行，其溶液配置及樣品處理宜在不低于GB/T25915.1—2021表1中規(guī)定的ISO2級(jí)的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行。7.2外觀檢驗(yàn)在自然光下，高純工業(yè)品四氯化鈦置于比色管中，于白色襯底下垂直觀察檢驗(yàn)外觀。7.3四氯化鈦純度的測(cè)定四氯化鈦純度以四氯化鈦（TiCl4）的質(zhì)量分?jǐn)?shù)w1計(jì)，按公式（1）計(jì)算：w1=100%-Σ×100%................................................式中：wi——由7.4測(cè)得待測(cè)雜質(zhì)元素含量。7.4鋰、鈉、鉀、鎂、鈣、鋁、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鋯、鉬、鉛、銀、錫、鎢、釷、鈾、硅、硼含量的測(cè)定7.4.1原理同GB/T30903—2014中第4章。7.4.2試劑或材料7.4.2.1硝酸溶液：1+33，硝酸應(yīng)符合GB/T30903—2014中5.1的規(guī)定。7.4.2.2混合標(biāo)準(zhǔn)溶液Ⅰ：1mL溶液含鋁、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鋯、鉬、鉛、銀、錫、鎢、釷、鈾、硅、硼各0.01μg。該溶液現(xiàn)用現(xiàn)配。4HG/TXXXX-XXXX7.4.2.3混合標(biāo)準(zhǔn)溶液Ⅱ：1mL溶液含鋰、鈉、鉀、鎂、鈣各0.01μg。該溶液現(xiàn)用現(xiàn)配。7.4.3儀器設(shè)備7.4.3.1電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）。7.4.3.2容量瓶：100mL，材質(zhì)為四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）。7.4.3.3超純水凈化器：帶0.2μm終端過濾器，在線制備電導(dǎo)率（25℃)不大于0.0055mS/m的超純水。7.4.3.4離心機(jī)：轉(zhuǎn)速能控制在6000r/min。7.4.4試驗(yàn)步驟7.4.4.1標(biāo)準(zhǔn)曲線繪制移取0.00mL、0.50mL、1.00mL、2.00mL、3.00mL、4.00mL混合標(biāo)準(zhǔn)溶液Ⅰ或者混合標(biāo)準(zhǔn)溶液Ⅱ（標(biāo)準(zhǔn)溶液加入量也可根據(jù)元素含量的不同，區(qū)別加入），置于6個(gè)100mL容量瓶中，加2mL硝酸溶液，用水稀釋至刻度，搖勻。以下按照GB/T30903—2014中“7.4.3.1”規(guī)定的方法測(cè)定。7.4.4.2試驗(yàn)移取10mL硝酸溶液置于干燥潔凈的石英蒸發(fā)皿中，稱重（精確至0.0002g記為m1；移取2.00mL試樣，在輕輕晃動(dòng)蒸發(fā)皿的同時(shí)注入到硝酸溶液中，稱重（精確至0.0002g記為m2。將石英蒸發(fā)皿放置在電熱板上緩慢加熱，且不時(shí)輕輕晃動(dòng)至蒸干，冷卻至室溫，加10mL硝酸溶液溶解后，將溶液全部轉(zhuǎn)移至50mL石英離心管中，用5mL的硝酸溶液洗滌石英蒸發(fā)皿3次，用硝酸溶液稀釋至刻度。將石英離心管放入離心機(jī)中，在6000r/min下離心15min，移取10.00mL離心管上清液，置于50mL石英容量瓶中，再用硝酸溶液稀釋至刻度，搖勻。以下按照GB/T30903—2014中“7.4.3.1”規(guī)定的方法測(cè)定。7.4.5試驗(yàn)數(shù)據(jù)處理待測(cè)雜質(zhì)元素含量以待測(cè)雜質(zhì)元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)wi計(jì)，數(shù)值以微克每千克(μg/kg）表示，按公式（2）計(jì)算：=·············································(2)式中：i——從標(biāo)準(zhǔn)曲線上查出試驗(yàn)溶液中待測(cè)元素的質(zhì)量濃度的數(shù)值，單位為納克每毫升（ng/mLm1——10mL硝酸溶液和石英蒸發(fā)皿質(zhì)量的數(shù)值，單位為克（g）；m2——10mL硝酸溶液、石英蒸發(fā)皿和溶入試料質(zhì)量的數(shù)值，單位為克（g）。取平行測(cè)定結(jié)果的算術(shù)平均值為測(cè)定結(jié)果，兩次平行測(cè)定結(jié)果的絕對(duì)差值不大于算術(shù)平均值的30%。5HG/TXXXX-XXXX7.5顆粒的測(cè)定7.5.1原理試樣中的顆粒（又稱懸浮微粒通過液體粒子計(jì)數(shù)儀的光敏感區(qū)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生光的散射現(xiàn)象，其散射光的強(qiáng)度與顆粒粒徑成一定比例關(guān)系，經(jīng)分析、計(jì)算、比較后顯示不同粒徑顆粒數(shù)量。7.5.2試劑或材料丙酮：色譜純。7.5.3儀器設(shè)備7.5.3.1液體粒子計(jì)數(shù)儀：精度0.2μm，帶除氣泡裝置。7.5.3.2廣口瓶：容積為100mL，材質(zhì)為四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）。7.5.3.3超純水凈化器：帶0.2μm終端過濾器，在線制備電導(dǎo)率（25℃)不大于0.0055mS/m的超純水。7.5.4試驗(yàn)步驟準(zhǔn)確量取一定量試樣，靜置30min以上，按照液體粒子計(jì)數(shù)儀的操作手冊(cè)進(jìn)行操作。測(cè)試時(shí)先用丙酮清洗管路，再用試樣清洗，然后抽取一定量的試樣進(jìn)入儀器，測(cè)出顆粒粒徑不小于0.3μm相對(duì)應(yīng)的顆數(shù)。檢測(cè)樣品時(shí)，通常將儀器測(cè)量次數(shù)設(shè)置為3次，取三次算術(shù)平均值為測(cè)定結(jié)果。8檢驗(yàn)規(guī)則8.1本文件規(guī)定的所有指標(biāo)項(xiàng)目為出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目，應(yīng)逐批檢驗(yàn)。8.2生產(chǎn)企業(yè)用相同材料，基本相同的生產(chǎn)條件，連續(xù)生產(chǎn)或同一班組生產(chǎn)的同一型號(hào)的高純工業(yè)品四氯化鈦為一批。每批產(chǎn)品不超過1000kg。8.3按GB/T6678的規(guī)定確定采樣單元數(shù)。采樣時(shí)，將采樣器插入至容器深度的2/3處采樣，將采得的樣品混勻，總量不少于100mL，分裝于兩個(gè)清潔干燥的塑料瓶中，密封。并粘貼標(biāo)簽，注明生產(chǎn)廠名、產(chǎn)品名稱、型號(hào)、批號(hào)、采樣日期和采樣者姓名。一份供檢驗(yàn)用，另一份保存?zhèn)洳椋４鏁r(shí)間由生產(chǎn)企業(yè)根據(jù)需要確定。8.4采用GB/T8170規(guī)定修約值比較法判斷檢驗(yàn)結(jié)果是否符合本文件。8.5檢驗(yàn)結(jié)果如有指標(biāo)不符合本文件要求，應(yīng)重新自兩倍量的包裝中采樣進(jìn)行復(fù)驗(yàn)，復(fù)驗(yàn)結(jié)果即使只有一項(xiàng)指標(biāo)不符合本文件的要求時(shí)，則整批產(chǎn)品為不合格。9標(biāo)志、標(biāo)簽和隨行文件9.1高純工業(yè)品四氯化鈦包裝容器上應(yīng)有牢固清晰的標(biāo)簽、標(biāo)志，內(nèi)容包括：生產(chǎn)廠名、廠址、產(chǎn)品名稱、型號(hào)、凈含量、批號(hào)或生產(chǎn)日期、本文件編號(hào)及GB190—2009規(guī)定的“毒性物質(zhì)”標(biāo)簽和GB/T191—2008中規(guī)定的“怕雨”“怕曬”標(biāo)志。6HG/TXXXX-XXXX9.2每批出廠的高純工業(yè)品四氯化鈦