硅基異質(zhì)集成芯片研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新示范平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目招標(biāo)文件范本

［帶格式的：邊框:底端：（無(wú)框函

政府采購(gòu)公開招標(biāo)文件

項(xiàng)目編號(hào)：NBMC-20201108G

項(xiàng)目名稱：浙江大學(xué)寧波校區(qū)硅基異質(zhì)集成芯片研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新示范

采購(gòu)人：浙江大學(xué)寧波“五位一體”校區(qū)教育發(fā)展中心（籌）

代理機(jī)構(gòu)：寧波名誠(chéng)招標(biāo)代理有限公司

編制時(shí)間+2020年12?月

目錄

第一章投標(biāo)邀請(qǐng)........................................................2

第二章采購(gòu)需求........................................................5

第三章投標(biāo)人須知.....................................................27

第四章評(píng)標(biāo)方法及評(píng)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn).............................................38

第五章合同文本.......................................................42

第六章投標(biāo)文件格式...................................................62

4-

第一章投標(biāo)邀請(qǐng)

項(xiàng)目概況

浙江大學(xué)寧波校區(qū)硅基異質(zhì)集成芯片研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新示范平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在

政采云平臺(tái)（http://zfcg.czt.zj.cn）獲取招標(biāo)文件，并于2020年12月28日13點(diǎn)00分

工北京時(shí)間）前遞交投標(biāo)文件。

一、項(xiàng)目基本情況

項(xiàng)目編號(hào)：NBMC-20201108G

項(xiàng)目名稱：浙江大學(xué)寧波校區(qū)硅基異質(zhì)集成芯片研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新示范平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目

預(yù)算金額及最高限價(jià)：人民幣1200萬(wàn)元

招標(biāo)需求：根據(jù)招標(biāo)文件要求提供貨物及相關(guān)服務(wù)。

二、申請(qǐng)人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條第一款的規(guī)定；

2.未被“信用中國(guó)”網(wǎng)站（邪曲》也霞6口丘1^^.80￥&5）列入“失信被執(zhí)行人或重大稅收違

法案件當(dāng)事人名單或政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單”；未被中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)

（wwwr-sxccgp.gevx.cn）“政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為信息記錄”中列入禁止參加政府采購(gòu)活動(dòng)期

間。

3.單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的不同供應(yīng)商，不得同時(shí)參加本項(xiàng)目的

政府采購(gòu)活動(dòng)；為本項(xiàng)目提供規(guī)范編制或者項(xiàng)目管理、監(jiān)理、檢測(cè)等服務(wù)的供應(yīng)商，不得再參加

本項(xiàng)目的投標(biāo)。

4.投標(biāo)人須具有合法有效的企業(yè)營(yíng)業(yè)執(zhí)照及企業(yè)安全生產(chǎn)許可證。

5.投標(biāo)人須同時(shí)具有

①機(jī)電工程施工總承包三級(jí)及以上資質(zhì)；

②工業(yè)管道安裝資質(zhì)（GC2）；

③電子與智能化工程專業(yè)承包二級(jí)及以上資質(zhì)：

④工程設(shè)計(jì)乙級(jí)資質(zhì)。

6.投標(biāo)人擬派項(xiàng)目主要管理人員要求：

6.1擬派項(xiàng)目主設(shè)計(jì)師須具備建筑工程相關(guān)專業(yè)設(shè)計(jì)注冊(cè)工程師資格。

6.2投標(biāo)人及擬派項(xiàng)目主設(shè)計(jì)師、項(xiàng)目經(jīng)理無(wú)不良行為記錄（不良行為記錄界定的范圍為：

國(guó)家、浙江省、寧波市相關(guān)行政主管部門通報(bào)停止投標(biāo)活動(dòng)且處在被停止投標(biāo)期間內(nèi)）。

7.落實(shí)政府采購(gòu)政策需滿足的資格要求：/

8.本項(xiàng)目的特定資格要求：/

9.本項(xiàng)目允許聯(lián)合體投標(biāo)，聯(lián)合體牽頭人應(yīng)為具備符合①、②資質(zhì)的單位。

三、獲取招標(biāo)文件

時(shí)間：2020年12月7日至2020年12月14日,每天上午9:00至11:30,下午14:00至17:00

4-

（北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）

地點(diǎn)：政采云平臺(tái)（http:〃zfcg.czt.zj.goy.cn）.

一、項(xiàng)目概況

本項(xiàng)目主要為浙江大學(xué)寧波校區(qū)硅基異質(zhì)集成芯片研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新示范平臺(tái)凈化系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、

采購(gòu)、施工的EPC項(xiàng)目。項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)位于娜州教育中心改造一期4#教學(xué)樓1樓及旁邊附屬階梯

教室進(jìn)行改造，本次改造區(qū)域建筑面積約為1000平方米；計(jì)劃于2020年6月建成。本期工程包

括參觀走道（含地面和墻面裝修工程）、100級(jí)潔凈區(qū)、1000級(jí)潔凈區(qū)、10000級(jí)潔凈區(qū)（一更、

二更、灰區(qū)等）、空調(diào)機(jī)房、純水機(jī)房、空壓機(jī)房、特氣氣站、弱電機(jī)房、中央監(jiān)控室以及室外車

棚改造等區(qū)域內(nèi)的設(shè)計(jì)、采購(gòu)和施工等全過(guò)程（含工藝設(shè)備二次配管）。

二、招標(biāo)單位提供以下設(shè)計(jì)及報(bào)價(jià)依據(jù)

1、根據(jù)采購(gòu)人提供實(shí)驗(yàn)室工藝設(shè)備布局圖、

2、提供系統(tǒng)示意圖（僅供參考）

3、提供原建筑全套圖紙及改造部分建筑全套施工圖紙

4、提供工藝設(shè)備廠務(wù)端動(dòng)力需求表

5、提供招標(biāo)品牌推薦一覽表

6、提供招標(biāo)各個(gè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)需求說(shuō)明及施工規(guī)范要求

7、本次設(shè)計(jì)及施工有關(guān)的現(xiàn)行國(guó)家規(guī)范、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、技術(shù)規(guī)程和地方標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)定

三、設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收依據(jù)的規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)

1、本項(xiàng)目的設(shè)計(jì)、材料、設(shè)備及施工質(zhì)量必須達(dá)到現(xiàn)行中華人民共和國(guó)及省、市行業(yè)的一切

有關(guān)法律、法規(guī)、技術(shù)規(guī)范的要求，如標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范要求有出入則以較嚴(yán)格者為準(zhǔn)，如是國(guó)外相應(yīng)

標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)得到招標(biāo)人認(rèn)可。

2、本項(xiàng)目的建立均按照高穩(wěn)定性、高安全性、UHP等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而定，系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、建立和安裝

設(shè)備之安裝、檢驗(yàn)應(yīng)符合下列最新修正或發(fā)行之適用法規(guī)或標(biāo)準(zhǔn)。在合同履行期間，若上述標(biāo)準(zhǔn)

或規(guī)范若有修改或重新頒布，投標(biāo)人應(yīng)自覺(jué)嚴(yán)格遵守執(zhí)行。

?GB50019-2003《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB50073-2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB13554-2008《高效空氣過(guò)濾器》

?CB50303-2002《建筑電氣工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50591-2010《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》

?GB/T1883-2002《室內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》

?GB3096-2008《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》

?GB50052-2009《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB50034-2004《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》

?GB50264-1997《工業(yè)設(shè)備及管道絕熱工程設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB4272-1992《設(shè)備及管道保溫技術(shù)通則》

?HGT21629-1999（3）《管道安裝支架標(biāo)準(zhǔn)》

?GB50016-2014《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》

?GB50222-2017《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》

?GB50015-2003（2009年版）《建筑給水排水設(shè)計(jì)規(guī)范》

4-

?ASME(AmericanSocietyofMechanicalEngineers)

?ASTM(AmericanSocietyforTestingandMaterials)

?GB50016-2014《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》

?GB50646-2011《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》

?GB50724-2011《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》

■GB50809-2012《硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB50030-2007《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB50031-91《乙塊站設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB50177-2005《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB50029-2003《壓縮空氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB50316-2000（2008版）《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB50235-2010《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50184-2011《工業(yè)金屬管道工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB13690-2009《化學(xué)品分類和危險(xiǎn)性公示通則》

?GB15603-1995《常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則》

?GB50084-2001《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》［2005年版］

?GB50116-2013《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GB50058-2014《爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》

?GBZ1-2010《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》

?GB50231-2009《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工驗(yàn)收通用規(guī)范》

?GB50268-2008《給排水管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》

■GB50243-2016《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50236-2011《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范》

?GB50257-2014《電氣裝置安裝工程爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電氣裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50254-2014《電氣裝置安裝工程低壓電器施工及驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50168-2006《電氣裝置安裝工程電纜線路施工及驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50169-2006《電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50170-2006《電氣裝置安裝工程旋轉(zhuǎn)電機(jī)施工及驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50171-2012《電氣裝置安裝工程盤、柜及二次回路接線施工及驗(yàn)收規(guī)范》

?GB50150-2006《電氣裝置安裝工程電氣交接試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)》

?GB50300-2013《建筑工程質(zhì)量驗(yàn)收統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)》

?GB50252-2010《工業(yè)安裝工程質(zhì)量檢驗(yàn)評(píng)定統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)》

?GB50185-2010《工業(yè)設(shè)備及管道絕熱工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》

四、招標(biāo)說(shuō)明

1、本項(xiàng)目為交鑰匙工程，投標(biāo)人應(yīng)根據(jù)招標(biāo)人提供的平面圖紙、現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況、相關(guān)資料,

包括配套的室外管道等本項(xiàng)目涉及的所有輔助事項(xiàng)的實(shí)施，結(jié)合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)規(guī)范，對(duì)上述招

標(biāo)內(nèi)容進(jìn)行全面的設(shè)計(jì)和報(bào)價(jià)，報(bào)價(jià)包括上述內(nèi)容的設(shè)計(jì)、現(xiàn)場(chǎng)拆除、設(shè)備及材料采購(gòu)、安裝、

施工、調(diào)試、運(yùn)行、竣工驗(yàn)收和培訓(xùn)等。

4-

2、本項(xiàng)目土建工程已施工完成，投標(biāo)單位應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況結(jié)合招標(biāo)文件要求進(jìn)行編寫設(shè)

計(jì)和施工方案等技術(shù)內(nèi)容。

3、投標(biāo)人應(yīng)當(dāng)在投標(biāo)文件中列出完成本項(xiàng)目并通過(guò)驗(yàn)收所需的所有各項(xiàng)服務(wù)等明細(xì)表及全

部費(fèi)用。中標(biāo)人必須確保整體通過(guò)用戶方及有關(guān)主管部門驗(yàn)收：投標(biāo)人應(yīng)自行踏勘施工建設(shè)現(xiàn)場(chǎng)，

如投標(biāo)人因未及時(shí)踏勘現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行設(shè)計(jì)而導(dǎo)致的報(bào)價(jià)缺項(xiàng)、漏項(xiàng)、投標(biāo)被否決或中標(biāo)后無(wú)法完工，投

標(biāo)人自行承擔(dān)一切后果。

4、投標(biāo)人提供的所有產(chǎn)品必須具有在中國(guó)境內(nèi)的合法使用權(quán)和用戶保護(hù)權(quán)且為全新原裝產(chǎn)

品，投標(biāo)人所提供的服務(wù)應(yīng)符合國(guó)家相關(guān)法律法規(guī)。

5、本項(xiàng)目所涉及的工程費(fèi)用，應(yīng)根據(jù)招標(biāo)范圍和內(nèi)容，由投標(biāo)人根據(jù)市場(chǎng)情況并結(jié)合項(xiàng)目實(shí)

際和企業(yè)自身的情況自行確定。設(shè)備和主要材料按參考品牌、規(guī)格、技術(shù)參數(shù)、質(zhì)量等級(jí)等由投

標(biāo)人根據(jù)市場(chǎng)情況并結(jié)合項(xiàng)目實(shí)際和企業(yè)自身的情況確定，設(shè)備和主要材料的最終選型應(yīng)通過(guò)招

標(biāo)人授權(quán)代表的同意，且不能低于招標(biāo)文件要求的標(biāo)準(zhǔn)。

6、投標(biāo)人設(shè)計(jì)方案需由具備資質(zhì)的單位設(shè)計(jì)，并且需滿足招標(biāo)人提供的附件1《浙江大學(xué)寧

波校區(qū)硅基異質(zhì)集成芯片研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新示范平臺(tái)設(shè)備動(dòng)力需求參數(shù)表》和附件2《平面布置圖》

要求及驗(yàn)收規(guī)范。

五、設(shè)計(jì)需求及施工要求

各區(qū)域要求

本期工程包括參觀走道(含地面和墻面裝修工程)、100級(jí)潔凈區(qū)、1000級(jí)潔凈區(qū)、lO(XX)級(jí)

潔凈區(qū)(一更、二更、灰區(qū)等)、空調(diào)機(jī)房、純水機(jī)房、空壓機(jī)房、特氣氣站、弱電機(jī)房、中央監(jiān)

控室以及室外車棚改造等附屬設(shè)備。

1、潔凈室要求

投標(biāo)單位應(yīng)根據(jù)設(shè)備和空間情況，合理布置工作區(qū)和設(shè)備灰區(qū)、送風(fēng)方式等，在滿足凈化要

求的基礎(chǔ)上，盡量提高超凈空間的利用率。

2、潔凈室主要包括區(qū)域

(1)百級(jí)黃光區(qū)：主要放置光刻機(jī)和涂膠機(jī)等工藝設(shè)備，該區(qū)域布置在靠階梯教室。其中光

刻機(jī)有防微震要求，需要獨(dú)立設(shè)置防微震平臺(tái)，溫度穩(wěn)定性要求較高。

(2)常規(guī)干級(jí)區(qū)：該區(qū)域主要包括有機(jī)清洗區(qū)、無(wú)機(jī)清洗區(qū)、FHD沉積區(qū)、鍍膜區(qū)、刻蝕區(qū)

等。其中清洗區(qū)為濕法制程，要求與其它區(qū)系統(tǒng)分開設(shè)計(jì)。保證其它區(qū)域濕度控制穩(wěn)定性。

(3)萬(wàn)級(jí)區(qū)：該區(qū)域主要包括更衣區(qū)和設(shè)備灰區(qū)等。

(4)其他區(qū)域。

3、各個(gè)區(qū)域環(huán)境要求

區(qū)域名稱潔凈等級(jí)溫度℃濕度(%)凈高(m)照度(lx)防震防靜電

有機(jī)清洗區(qū)100022±250±5%2.6500/有

無(wú)機(jī)清洗區(qū)100022±250±5%2.6500i有

FHD沉積區(qū)100022±240+5%2.6500/有

刻蝕區(qū)100022±250±5%2.6500/有

刻蝕灰區(qū)1000022±250±5%2.6500/有

鍍膜區(qū)100022±250±5%3.0500/有

4-

鍍膜灰區(qū)1000022±250±5%3.0500/有

有要求

黃光區(qū)10022±250±5%3.0500有

VC-D

一更1000022±250±5%2.6300/有

二更1000022±250±5%2.6300/有

備注：

1、無(wú)塵室設(shè)計(jì)時(shí)，要充分考慮夏季、冬季溫濕度能穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。

2、潔凈等級(jí)測(cè)試需要在“動(dòng)態(tài)”狀況下測(cè)試為依據(jù)，各區(qū)域壓差符合相關(guān)要求。

3、各個(gè)區(qū)域工藝設(shè)備需求

附件1《浙江大學(xué)寧波校區(qū)硅基異質(zhì)集成芯片研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新示范平臺(tái)設(shè)備動(dòng)力需求參數(shù)表》。

（二）建筑裝修系統(tǒng)

1、包含本次設(shè)計(jì)施工范圍的工作

（1）室外停車棚拆除，拆除后車棚位置放置空調(diào)主機(jī)、水泵、板換、水箱等廠務(wù)動(dòng)力設(shè)施,

改建后設(shè)備房四周需加隔音圍擋。

（2）1F開放式走廊吊頂、地面、墻面裝修需包含在本次范圍內(nèi)。包含走廊采用玻璃幕墻與

室外隔斷，做成封閉式參觀走廊。

（3）所有設(shè)備動(dòng)力機(jī)房均需要做EPOXY,實(shí)驗(yàn)室超凈室吊頂、地面、墻面，按無(wú)塵室設(shè)計(jì)規(guī)

范，空調(diào)機(jī)房、純水房、廢水處理間、空壓機(jī)房等涉及需排水的區(qū)域，需設(shè)置排水溝。

（4）沿外墻從屋頂引至無(wú)塵室工藝排風(fēng)管，需要裝飾美觀，不影響整棟建筑外立面美觀，詳

細(xì)裝飾方案由廠商自行考慮。

（5）階梯教室根據(jù)規(guī)范設(shè)置特氣間，易燃易爆氣體間、化學(xué)品間需要根據(jù)規(guī)范向外墻處設(shè)置

泄爆墻和鋼制泄防火門設(shè)計(jì)與施工。

（6）教學(xué)樓與階梯教室連接處（2樓），加蓋空調(diào)機(jī)房（包含四周墻面、彩鋼板屋頂、地面

混凝土、設(shè)備基礎(chǔ)、防水修補(bǔ)、進(jìn)出機(jī)房門等工作內(nèi)容）。

（7）其它本項(xiàng)目與校區(qū)對(duì)應(yīng)系統(tǒng)間的所有接口工作內(nèi)容及輔助內(nèi)容。

（三）建筑結(jié)構(gòu)部分

1、包括但不限于配合建筑及機(jī)電各專業(yè)完成施工的二.次鋼構(gòu)、設(shè)備基礎(chǔ)、樓地面荷載校核、

配合防微振專業(yè)公司對(duì)設(shè)備、結(jié)構(gòu)進(jìn)行防微振處理，具體做法需要滿足結(jié)構(gòu)安全以及消防法規(guī)，

符合潔凈室使用功能的需求。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)涉及到既有建筑結(jié)構(gòu)改造調(diào)整的屬于本次設(shè)計(jì)施工范圍.

2、項(xiàng)目工作范圍內(nèi)涉及的其余結(jié)構(gòu)工程的設(shè)計(jì)。

3、配合其它各個(gè)專業(yè)樓板、墻板開洞補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。

4、主要技術(shù)要求

（1）地面裝修

a.高架地板：材質(zhì)采用鋁合金壓鑄成型，面層為導(dǎo)靜電PVC材質(zhì)，系統(tǒng)電阻：1x10^1x109

Q，支撐結(jié)構(gòu)為H型鋼結(jié)構(gòu)+炮管，抗拒螺母微調(diào)完成水平調(diào)整。鋼結(jié)構(gòu)表面處理為EPOXY（導(dǎo)電

銀灰）或鍍鋅，高架地板承重能力22171^設(shè)備搬運(yùn)動(dòng)線區(qū)域及回風(fēng)增，加斜支撐加固。

b.PVC地板：采用優(yōu)質(zhì)的PVC地面材料，鋪設(shè)前需采用水泥自流坪進(jìn)行精確找平，平整度

需達(dá)到：±2mm/2m,然后采用22.0mm厚的同質(zhì)透心PVC卷材鋪設(shè)，所有接縫均采用同質(zhì)焊條焊

接并做無(wú)縫處理。

4-

C.環(huán)氧地面：（適應(yīng)：高架地板下地面層）：包括水泥基滲透結(jié)晶型防水涂料層21.0mm、

聚氨酯防水涂料層Nl.5mm、環(huán)氧漆膠料層、環(huán)氧膩?zhàn)訉?.0mm、環(huán)氧涂料層。所用材料必須為

凈化車間專用，不能產(chǎn)塵。

（2）彩鋼板隔墻

a.千級(jí)、萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)隔墻采用50mm厚雙抗防靜電手工紙蜂窩壁板，百級(jí)潔凈區(qū)隔墻采用

50mm厚雙抗防靜電手工鋁蜂窩壁板，鋼板基板厚度20.5mm,夾心層為A級(jí)不燃玻鎂防火平板和

寬度方向不小于十條均勻分布的玻鎂龍骨組成，同時(shí)含溶重2130Kg/m3的巖棉，耐火極限須21.0

小時(shí)，采用現(xiàn)場(chǎng)拼裝（但現(xiàn)場(chǎng)不允許有任何切割制作）的方式，采用生產(chǎn)車間預(yù)制、現(xiàn)場(chǎng)拼裝的

方式；潔凈區(qū)外圍土墻須用苯板隔離。

b.使用層所有潔凈區(qū)域的隔墻與隔墻、隔墻與地面、隔墻與吊頂之間交角均為R250mm鋁

合金圓角；鋁合金型材均選用噴涂鋁型材，圓弧620.7mm,角鋁521.0mm,槽鋁320.8mm：

c.裝修材料均采用燃燒性能等級(jí)為A級(jí)的不燃材料；

d.彩鋼板所有板面接縫處在安裝后用密封膠密封。

（3）土建墻抹灰粉刷

a.刷》1.0mm厚水泥基滲透結(jié)晶型防水涂料；

b.涂21.5mm厚聚氨酯防水涂料：

c.刷水泥素漿一道（內(nèi)摻建筑膠）；

d.采用環(huán)氧樹脂薄涂裝飾面。

（4）吊頂

彩鋼板吊頂：

a.千級(jí)、萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)吊頂采用50mm厚雙抗防靜電手工紙蜂窩壁板，百級(jí)潔凈區(qū)吊頂采用

50mm厚雙抗防靜電手工鋁蜂窩壁板，鋼板基板厚度20.5mm,夾心層為A級(jí)不燃玻鐵防火平板和

寬度方向不小于十條均勻分布的玻鎂龍骨組成，同時(shí)含溶重2130Kg/n）3的巖棉，耐火極限須21.0

小時(shí)，采用現(xiàn)場(chǎng)拼裝（但現(xiàn)場(chǎng)不允許有任何切割制作）的方式，采用生產(chǎn)車間預(yù)制、現(xiàn)場(chǎng)拼裝的

方式；

b.彩鋼板所有板面接縫處安裝后用密封膠密封；

c.墻體頂板之間拉結(jié)錨固定，確保牢固安全；

重型天花吊頂：采用TYrid重型天花吊頂，鋁合金型材表面磨砂或噴塑，扣板為8=2.0mm烤

漆盲板。

（5）門窗

潔凈室密閉門（成品門）：

a.室內(nèi)所有凈化門的門框采用凈化專用鋁合金型材，門扇采用彩鋼板門，凈化門應(yīng)有相應(yīng)的

氣密措施，門上部設(shè)玻璃觀察窗，玻璃厚度不小于5nim：

b.門上安裝304不銹鋼執(zhí)手鎖（不得采用球鎖）并安裝GMT自動(dòng)閉門器，門底部與地面均須

帶有自動(dòng)密封條裝置。

（6）風(fēng)淋室

風(fēng)淋室采用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼板制作，厚度大于1.0MM；配置無(wú)隔板高效過(guò)濾器，過(guò)濾效率為

H13（MPPS）,初效過(guò)濾器，過(guò)濾效率為G1級(jí)（計(jì)重法），噴嘴配16個(gè)多角度可調(diào)全不銹鋼噴嘴，

雙側(cè)吹淋；面風(fēng)速大于25m/s,配風(fēng)淋室專用風(fēng)機(jī)。風(fēng)淋后潔凈等級(jí)達(dá)到進(jìn)入?yún)^(qū)域等級(jí)。

4-

（7）防微振平臺(tái)

地基震動(dòng)要求：VC-D

2?8Hz：<0.03125gal；

8?250Hz：<6.25um/s；

基礎(chǔ)強(qiáng)度：>2000Kg/M2o

（四）暖通空調(diào)部分

1、通風(fēng)、空調(diào)風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)及施工

（1）本次招標(biāo)范圍的空調(diào)系統(tǒng)包含凈化空調(diào)系統(tǒng)和?般舒適性空調(diào)系統(tǒng)。設(shè)計(jì)須滿足每個(gè)房

間溫度、濕度和內(nèi)外壓差的要求，每個(gè)房間的溫、濕度、內(nèi)外壓差需要在房間門口顯示，信號(hào)需

要傳回中央監(jiān)控室。

（2）新風(fēng)空調(diào)箱MAU按照寧波地區(qū)的溫濕度條件，再加15%余量設(shè)計(jì)，并設(shè)置初、中、亞高

效，電機(jī)采用變頻電機(jī)。

（3）非潔凈實(shí)驗(yàn)室區(qū)域：非潔凈區(qū)空調(diào)采用新風(fēng)+FCU系統(tǒng)。

（4）考慮現(xiàn)有教學(xué)樓層高限制，需要考慮合理新風(fēng)空調(diào)送風(fēng)管走向（空間管理必須設(shè)計(jì)完成），

合理布置各個(gè)區(qū)域送風(fēng)量，凈化空氣處理系統(tǒng)在合理的條件下，應(yīng)留有足夠的調(diào)控能力，并能確

?？諝鈨艋夹g(shù)動(dòng)態(tài)測(cè)試（潔凈度、溫度和濕度及其穩(wěn)定性）達(dá)標(biāo)。

（5）工藝排風(fēng)：酸堿排采用防火PP材質(zhì)，有機(jī)排風(fēng)采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，熱排風(fēng)采用鍍

鋅鐵皮風(fēng)管；采用合理的防震措施，減少對(duì)教學(xué)樓的影響，風(fēng)管布局合理、美觀。含工藝設(shè)備二

次配管。

（6）酸堿廢氣處理設(shè)備放置合理，考慮設(shè)備基礎(chǔ)、給水及廢水排放管線。處理達(dá)標(biāo)后廢氣排

放高度滿足國(guó)家環(huán)保規(guī)定。為便于后期維護(hù)設(shè)備，需要考慮設(shè)備維修動(dòng)線（如上屋頂爬梯、檢測(cè)

口檢測(cè)爬梯、平臺(tái)等），更換耗材搬運(yùn)動(dòng)線等。

（7）大宗和特殊氣體傳輸系統(tǒng)的排風(fēng)。

（8）一般區(qū)域排風(fēng)的設(shè)計(jì)和施工。

2、空調(diào)水系統(tǒng)設(shè)計(jì)及施工

（1）空調(diào)主機(jī)采用模塊式變頻風(fēng)冷冷熱水機(jī)組，設(shè)備數(shù)量由投標(biāo)廠商自行確定并考慮備機(jī),

保證故障或維護(hù)時(shí)不影響整體運(yùn)行。

（2）水泵采用變頻臥式水泵，采用一用一備。

（3）空調(diào)系統(tǒng)再熱、采暖設(shè)計(jì)，投標(biāo)單位設(shè)計(jì)時(shí)需要考慮能耗較低的設(shè)計(jì)方式來(lái)設(shè)計(jì)MAU系

統(tǒng)加熱。

（4）本次改造工程用電量有限，空調(diào)系統(tǒng)加濕方式，建議采用二流體噴霧加濕方式，空調(diào)箱

加濕段后端設(shè)置擋水板，加濕補(bǔ)水采用純水站R0補(bǔ)水，二流體加濕壓縮空氣用量，由投標(biāo)單位自

行考慮。滿足整個(gè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)需求。

3、防排煙系統(tǒng)

防排煙系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，滿足消防規(guī)范要求。

4、主要技術(shù)參數(shù)和要求

（1）空調(diào)冷熱水機(jī)組

a.冷凍水出水溫度：6℃,回水溫度：11℃；熱水出水溫度：45℃,回水40C：

b.機(jī)組可根據(jù)供水溫度啟/停機(jī)組，機(jī)組為出水溫度控制。

4-

c.采用R410A環(huán)保制冷劑，冷凝器鋁箔翅片采用親水鋁箔，真空釬焊板式換熱器采用不銹

鋼材料，能效達(dá)到國(guó)標(biāo)?級(jí)。

d.熱泵型機(jī)組運(yùn)行范圍不低于：機(jī)組應(yīng)確保在室外環(huán)境溫度5℃?48c時(shí)可正常運(yùn)行制冷

模式：在室外環(huán)境溫度T5℃?30℃時(shí)可正常運(yùn)行制熱模式；

e.單冷型模塊式風(fēng)冷冷水機(jī)組運(yùn)行范圍不低于：機(jī)組應(yīng)確保在室外環(huán)境溫度-20'C?48℃時(shí)

可正常運(yùn)行制冷模式。

(2)組合式凈化空調(diào)機(jī)組

a.箱體在啟動(dòng)與運(yùn)行時(shí)都不能變形，噪聲低。箱體面板的外側(cè)采用304不銹鋼板，鋼板厚

度不小于0.5mm，但須具有防劃傷、防腐飩等特點(diǎn)；內(nèi)層采用304不銹鋼板，鋼板厚度不小于0.5mm；

箱板內(nèi)采用具有良好保溫性能的優(yōu)質(zhì)聚氨酯發(fā)泡一次成型，要求發(fā)泡密度不得小于48kg/m3,箱

板厚度不小于50mm;

b.箱板與骨架之間應(yīng)當(dāng)有良好密封措施，在lOOOPa的風(fēng)壓下能保證漏風(fēng)率＜1%；

c.風(fēng)機(jī)采用國(guó)際知名品牌風(fēng)機(jī)，所有連接螺栓熱鍍鋅處理，其他材料和工藝采用廠家標(biāo)配；

風(fēng)機(jī)減振器采用帶橡膠保護(hù)套的彈簧減震器，保證長(zhǎng)時(shí)間使用不用更換；

d.電機(jī)采用國(guó)際知名品牌變頻電機(jī)，電機(jī)絕緣等級(jí)F級(jí)以上，防護(hù)等級(jí)IP55以上；導(dǎo)軌

足夠長(zhǎng)，便于檢修皮帶輪。

e.護(hù)板與內(nèi)梁之間用阻燃型單面不干膠高壓聚乙烯密封條,進(jìn)出水管和護(hù)板之間填充阻燃

型橡膠保溫材料,護(hù)板和護(hù)板之間用氯「類XM密封注膠。機(jī)組不允許出現(xiàn)非正常的漏水、漏風(fēng)現(xiàn)

象。

f.新風(fēng)口設(shè)置方便拆裝無(wú)紡布的裝置。各臺(tái)設(shè)備出風(fēng)口相連并設(shè)置開關(guān)，保證單臺(tái)維修時(shí)

不影響送風(fēng)。

(3)FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元

a.框材：不銹鋼板；

b.馬達(dá)：直流感應(yīng)外轉(zhuǎn)子馬達(dá)；

c.調(diào)速：無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)

d.高效過(guò)濾器：PTFE材質(zhì)節(jié)能濾材，超高效率與超低阻力相結(jié)合的性能。

e.系統(tǒng)控制模式：電腦群控，可單臺(tái)、單區(qū)域調(diào)速；群控系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間單機(jī)8秒內(nèi)，群控

20秒內(nèi)，操作接口具備單機(jī)/群控轉(zhuǎn)速調(diào)整，單機(jī)/群控轉(zhuǎn)速百分比調(diào)整，群控?cái)?shù)量可自行調(diào)整變

更；

f.噪音:46?53dB

g.高效過(guò)濾器效率：

千級(jí)區(qū)域：H14299.995%(@0.3um)；百級(jí)區(qū)域：U15N99.9995%(@0.12um)；初阻力W

70Pa@0.45m/so

h.機(jī)械壽命：10萬(wàn)小時(shí)以上

(4)冷凍水水泵

a.水泵泵殼材質(zhì)，1.6mpa承壓的優(yōu)質(zhì)鑄鐵；優(yōu)質(zhì)青銅或不銹鋼304材質(zhì)葉輪，不銹鋼316

泵軸。

b.泵和電機(jī)之間通過(guò)彈性(柔性)聯(lián)軸器連接并安裝在共用水泵基座上，維修時(shí)不用拆卸水

泵(不接受懸掛式泵頭)。

4-

C.軸封形式為免維護(hù)機(jī)械密封，材料應(yīng)采用石墨、陶瓷；密封好、無(wú)漏水、耐磨、設(shè)計(jì)連續(xù)

運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)高于50000小時(shí)。

d.電機(jī)絕緣等級(jí)：F級(jí),防護(hù)等級(jí)為IP55。

e.水泵底座及減震措施：水泵泵腳與外殼下半部整體鑄造，水泵與電機(jī)安裝在一個(gè)公用鑄鐵

底座上，公用鑄鐵底座具有足夠的剛度和強(qiáng)度。不接受鋼板折彎形式的公共底座。

f.熱水泵應(yīng)滿足熱水系統(tǒng)的使用要求。

(5)干盤管

根據(jù)潔凈面積進(jìn)行設(shè)計(jì)，采用12℃中溫水對(duì)室內(nèi)的溫度進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)控制，空氣側(cè)壓W40Pa,

風(fēng)速W2m/s。銅管壁厚20.41mm,鋁翅片厚度0.12mm,表面藍(lán)波發(fā)色處理；盤管框架結(jié)構(gòu)為鍍鋅

鋼，焊接處用環(huán)氧樹脂噴涂處理。盤管必須保壓運(yùn)至現(xiàn)場(chǎng)，保壓壓力0.4MPa。干盤管安裝考慮冷

凝水排水設(shè)計(jì)。

(6)立式玻璃鋼堿霧凈化塔

a.配置：2臺(tái)玻璃鋼耐腐蝕離心風(fēng)機(jī)，一用一備，風(fēng)機(jī)采用變頻電機(jī)；

b.塔體設(shè)置2層拉西環(huán)：循環(huán)泵設(shè)置2臺(tái)耐腐蝕循環(huán)泵(一備一用〉；

c.設(shè)置自動(dòng)加藥系統(tǒng)；

d.成套設(shè)備自帶PLC控制器，風(fēng)機(jī)自動(dòng)感測(cè)風(fēng)壓，自動(dòng)變頻控制；

e.遠(yuǎn)程檢測(cè)：水箱液位、自動(dòng)加藥、風(fēng)機(jī)運(yùn)行狀態(tài)、運(yùn)轉(zhuǎn)頻率、塔體前后壓差；

f.設(shè)置25米高煙囪，煙囪設(shè)置熱鍍鋅角鐵塔架，15米處設(shè)置檢修平臺(tái)和檢車取樣口；

g.煙囪最高抵防雷接地與建筑接地連接：

h.依據(jù)當(dāng)?shù)丨h(huán)保監(jiān)測(cè)合格為驗(yàn)收依據(jù)。

(7)立式玻璃鋼酸霧凈化塔

a.配置：2臺(tái)玻璃鋼耐腐蝕離心風(fēng)機(jī)，一用一備，風(fēng)機(jī)采用變頻電機(jī)；

b.塔體設(shè)置2層拉西環(huán)；循環(huán)泵設(shè)置2臺(tái)耐腐蝕循環(huán)泵(一備一用)；

c.設(shè)置自動(dòng)加藥系統(tǒng)：

d.成套設(shè)備自帶PLC控制器，風(fēng)機(jī)自動(dòng)感測(cè)風(fēng)壓，自動(dòng)變頻控制；

。.遠(yuǎn)程檢測(cè)：水箱液位、自動(dòng)加藥、風(fēng)機(jī)運(yùn)行狀態(tài)、運(yùn)轉(zhuǎn)頻率、塔體前后壓差；

f.設(shè)置25米高煙囪，煙囪設(shè)置熱鍍鋅角鐵塔架，15米處設(shè)置檢修平臺(tái)和檢車取樣口；

j.煙囪最高抵防雷接地與建筑接地連接：

h.依據(jù)當(dāng)?shù)丨h(huán)保監(jiān)測(cè)合格為驗(yàn)收依據(jù)。

(8)有機(jī)廢氣處理設(shè)備：采用活性炭工藝

a.臥式碳鋼塔體、上設(shè)檢修孔及檢修平臺(tái)；

b.配置：2臺(tái)玻璃鋼耐腐蝕離心風(fēng)機(jī)，一用一備，風(fēng)機(jī)采用變頻電機(jī)；

c.成套設(shè)備自帶PLC控制器，風(fēng)機(jī)自動(dòng)感測(cè)風(fēng)壓，自動(dòng)變頻控制：

d.遠(yuǎn)程檢測(cè)：過(guò)濾箱前后壓差、風(fēng)機(jī)運(yùn)行狀態(tài)、頻率；

e.設(shè)置15米(離地面)高煙囪，煙囪設(shè)置熱鍍鋅角鐵塔架，10米處設(shè)置檢修平臺(tái)和檢車取

樣口：

f.煙囪最高抵防雷接地與建筑接地連接；依據(jù)當(dāng)?shù)丨h(huán)保監(jiān)測(cè)合格為驗(yàn)收依據(jù)

(9)風(fēng)管系統(tǒng)

a.凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)管應(yīng)采用凈化風(fēng)管，風(fēng)管應(yīng)采用鍍鋅鋼板咬口制作，角鋼法蘭連接，

4-

風(fēng)管的漏風(fēng)率必須小于相關(guān)規(guī)范的標(biāo)準(zhǔn)，風(fēng)管與風(fēng)機(jī)的連接應(yīng)采用雙層帆布軟接頭并使光滑的一

面朝內(nèi)，風(fēng)管縫隙須用膠液充填，風(fēng)管保溫材料采用帶鋁箔橡塑保溫，要求阻燃為B1級(jí)以上，厚

度按相關(guān)規(guī)范要求。

b.各送排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)置獨(dú)立風(fēng)閥管控，保證單臺(tái)工藝設(shè)備維修時(shí)不影響整體送風(fēng)。

c.其它未提及事項(xiàng)參照潔凈通風(fēng)管道施工相關(guān)規(guī)范。

d.各個(gè)系統(tǒng)涉及風(fēng)管的參照以上技術(shù)要求.

(五)給排水部分

1、消防給水系統(tǒng)設(shè)計(jì)和施工內(nèi)容

(1)室內(nèi)消防系統(tǒng)設(shè)計(jì)及施工需滿足現(xiàn)行國(guó)家設(shè)計(jì)規(guī)范及地方設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。

(2)根據(jù)規(guī)范及人員設(shè)備安全性考慮，擬改造區(qū)域需設(shè)置消防系統(tǒng)。本次招標(biāo)范圍的消防系

統(tǒng)包含階梯教室改造區(qū)及教學(xué)樓改造區(qū)的消防系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工，并確保本次招標(biāo)的改造區(qū)域內(nèi)

消防設(shè)施通過(guò)消防檢測(cè)及驗(yàn)收。

(3)大宗和特殊氣體傳輸系統(tǒng)所涉及的消防系統(tǒng)設(shè)計(jì)。

(4)本項(xiàng)目的消防管路和控制系統(tǒng)接至校區(qū)總消防控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工。

2、一般給排水系統(tǒng)

改造區(qū)潔凈室及改造非潔凈區(qū)域內(nèi)的一般給水系統(tǒng)及一般排水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工。一般給排

水系統(tǒng)包括工藝設(shè)備的自來(lái)水給水及清下水排水。

3、工藝純水系統(tǒng)及廢水收集系統(tǒng)

(1)改造無(wú)塵室工藝設(shè)備所需的純水制備系統(tǒng)、純水輸送管道、廢水處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工。

含工藝設(shè)備二次配管。

(2)純水制備系統(tǒng)產(chǎn)水量根據(jù)附件1《浙江大學(xué)寧波校區(qū)硅基異質(zhì)集成芯片研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新示

范平臺(tái)設(shè)備動(dòng)力需求參數(shù)表》以及MAU所需的R0水、PCIV補(bǔ)給水由廠商自行核算，儲(chǔ)水罐容量要

滿足工藝要求。

(3)純水系統(tǒng)要求有18.2MQ(用于工藝用水)。

(4)工藝純水要求如下：

Resistivityat25℃：218.2MQ

TOC：<5ppb

Silica(dissolved)：<3ppb

Dissolvedoxygen：<25ppb

Particles(>0.1Um)：<100particles/liter

Bacteria：<5CFU/1iter

Cations(Na,K,Ca,Mg,NH4)：WO.5ppb(eachion)

Anions(F,Cl,S04,N03,Br,P04)：WO.5ppb(eachion)

Temperature：25±2*C

4、工藝廢水經(jīng)管道排至廢水處理設(shè)備達(dá)標(biāo)后排至校區(qū)污水管網(wǎng)。

5、工藝?yán)鋮s水的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足工藝設(shè)備的需求，并設(shè)置.30舟的余量。含工藝設(shè)備二次配管。

6、主要技術(shù)參數(shù)及要求

(1)超純水設(shè)備

無(wú)死角設(shè)計(jì)：主機(jī)各部件內(nèi)循環(huán)連接管路閥門無(wú)死角設(shè)計(jì)；一級(jí)反滲透純水主機(jī)和二級(jí)高純

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水（反滲透+UV+CEDI）主機(jī)，均采用一體化制造的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，可連為一體，也可單獨(dú)運(yùn)行，滿足

在前級(jí)R0維修或更換時(shí)，后級(jí)高純水主機(jī)也能獨(dú)立穩(wěn)定制水、不斷水；兩組主機(jī)均帶有各自獨(dú)

立的CE證書純水主機(jī)采用環(huán)保低碳材料的產(chǎn)品，取得Rolls證書：純水主機(jī)制造商需獲得

IS09001及IS014001證書：純水主機(jī)自帶各組件的耗材壽命提示、運(yùn)行故障報(bào)警功能，并具備報(bào)

警歷史記錄可查功能。進(jìn)出水口和使用終端需設(shè)置電導(dǎo)率監(jiān)控。

（2）廢水處理設(shè)備

廢水處理能力：能夠處理實(shí)驗(yàn)室藥品、試劑、試液、做完實(shí)驗(yàn)后收集起來(lái)的實(shí)驗(yàn)室廢水、殘

留試劑、過(guò)期實(shí)驗(yàn)室藥劑試劑等綜合廢水；廢水收集箱容積不小于2m1材質(zhì)應(yīng)能夠抵抗各類廢水

腐蝕；經(jīng)過(guò)廢水處理設(shè)備處理后，出水水質(zhì)應(yīng)滿足項(xiàng)目所在地污水排放標(biāo)準(zhǔn)；設(shè)備應(yīng)能夠遠(yuǎn)程監(jiān)

控和操作，無(wú)需專人值守。自帶各類自動(dòng)保護(hù)功能；設(shè)備應(yīng)能夠即時(shí)顯示耗材狀態(tài)，并在需要更

換時(shí)提醒。

（3）工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)

工藝?yán)鋮s水泵要求參考空調(diào)水泵要求，管路及閥件材質(zhì)為SUS304,保溫材料采用以符合國(guó)

家標(biāo)準(zhǔn)耐燃且不揚(yáng)塵的保溫材料。全自動(dòng)化設(shè)計(jì)，由中央監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)視及自動(dòng)、手動(dòng)操作控制，

開放所有接點(diǎn)并配合協(xié)助中央監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)控。循環(huán)水箱需設(shè)置電導(dǎo)率監(jiān)控。

（六）壓縮空氣部分

1、壓縮空氣管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)包括：系統(tǒng)工藝流程和控制原理設(shè)計(jì)、設(shè)備管道平面布置設(shè)計(jì)等，

含工藝設(shè)備二次配管。壓縮空氣品質(zhì)滿足工藝要求，禁油、禁水、禁顆粒等，管道和閥門系統(tǒng)為

304BA級(jí)不銹鋼。壓縮空氣管道至工藝設(shè)備和測(cè)試設(shè)備之間預(yù)留調(diào)壓閥和隔斷閥?？諌簷C(jī)房應(yīng)考

慮降低噪聲裝修設(shè)計(jì)。

2、空壓用氣量還需要考慮空調(diào)系統(tǒng)二流體噴霧加濕空壓耗氣量。

3、空壓系統(tǒng)設(shè)計(jì)采用無(wú)油空壓，含水率/壓力露點(diǎn)-40C,顆粒小于0.01um,含油量0.01mg/

M3,壓力0.8UPa,空壓機(jī)不考慮備用，在空壓機(jī)系統(tǒng)維修或者故障時(shí)，切換氮?dú)夤?yīng)。

（七）供配電部分

1、設(shè)計(jì)范圍：

（1）電氣設(shè)計(jì)界面為變電所低壓柜饋線開關(guān)的下端口，變電所低壓柜饋線開關(guān)及以上為校方

基建處范圍，變電所低壓柜饋線開關(guān)以下為本設(shè)計(jì)的內(nèi)容，含工藝設(shè)備二次配線。

（2）建筑改造范圍內(nèi)工藝設(shè)備及其配套（包括大宗和特殊氣體傳輸系統(tǒng)）的水、電、氣、空

調(diào)、通風(fēng)、工藝排氣、工藝?yán)鋮s水等設(shè)備的配電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，大宗和特殊氣體傳輸設(shè)備的配電系

統(tǒng)設(shè)計(jì)。

（3）建筑改造范圍內(nèi)照明系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，根據(jù)情況適當(dāng)采用LED設(shè)計(jì)，?些特殊氣體位置如氫

氣等需要考慮照明燈的防爆設(shè)計(jì)。

（4）建筑改造范圍內(nèi)應(yīng)急照明系統(tǒng)及疏散指示系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。

（5）動(dòng)力設(shè)備及管道的防雷接地，建筑改造范圍內(nèi)工藝設(shè)備專用防靜電接地，環(huán)境設(shè)備與管

道防靜電接地及等電位接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，器件測(cè)試區(qū)要考慮地面防靜電設(shè)計(jì)。

（6）建筑改造范圍內(nèi)防雷接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。

（7）低壓配電系統(tǒng)頻率為交流50Hz,電壓為380/220V。

（8）建筑改造范圍內(nèi)重要工藝設(shè)備的UPS供電系統(tǒng)設(shè)計(jì)。

（9）工藝設(shè)備配電、廠務(wù)設(shè)施配電、工藝設(shè)備二次配電等一切需要用電部位或者設(shè)備，所有

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非消防配電箱柜應(yīng)預(yù)留30%以上備用開關(guān)。工藝設(shè)備配電需求詳見：附件1《浙江大學(xué)寧波校區(qū)硅

基異質(zhì)集成芯片研發(fā)技術(shù)創(chuàng)新示范平臺(tái)設(shè)備動(dòng)力需求參數(shù)表》

2、配電系統(tǒng)要求

（1）配電系統(tǒng)應(yīng)按工藝配電系統(tǒng)、照明配電系統(tǒng)、插座配電系統(tǒng)、空調(diào)配電系統(tǒng)、動(dòng)力配電

系統(tǒng)、應(yīng)急配電系統(tǒng)、消防配電系統(tǒng)等分系統(tǒng)配電，相互獨(dú)立，配電系統(tǒng)應(yīng)能分別進(jìn)行能耗計(jì)量

與監(jiān)控。三相280V的供電由投標(biāo)單位自行設(shè)計(jì)，充分考慮對(duì)電網(wǎng)的影響。

（2）遠(yuǎn)程控制或配電的動(dòng)力設(shè)備應(yīng)有維修時(shí)就地控制按鈕和防止遠(yuǎn)方誤操作的安全措施，為

檢修方便，需就近設(shè)檢修開關(guān)箱。

（3）所有非消防配電箱柜應(yīng)預(yù)留30%以上備用開關(guān)。

（4）建筑改造范圍內(nèi)工藝設(shè)備插座從工藝配電箱配出，清掃、檢修用及實(shí)驗(yàn)室普通插座從插

座配電箱配出。

（5）室外配電設(shè)備防護(hù)等級(jí)為IP65,采用不銹鋼防雨箱體。

（6）橋架采用熱鍍鋅橋架、配電線管，采用KB」管，嚴(yán)禁使用PVC管道。

3、防雷與接地要求

潔凈室吊頂、金屬壁板、FFU、金屬門窗、氣體管道等做等電位與防靜電接地，設(shè)備防雷接地，

設(shè)備的防電磁脈沖接地等需按國(guó)家及地方相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范進(jìn)行設(shè)計(jì)。

4、照明系統(tǒng)要求

照明設(shè)計(jì)應(yīng)美觀大方，潔凈室應(yīng)采用潔凈專用燈具，光源采用高效節(jié)能型光源。

（八）通信部分

1、設(shè)計(jì)范圍

（1）建筑改造范圍內(nèi)所有涉及到的火警點(diǎn)位與應(yīng)急廣播點(diǎn)位的設(shè)計(jì)。

（2）建筑改造范圍內(nèi)安保監(jiān)控點(diǎn)位（無(wú)死角）和門禁的設(shè)計(jì)。

（3）建筑改造范圍內(nèi)電話網(wǎng)絡(luò)點(diǎn)位的設(shè)計(jì)。

（4）建筑改造范圍內(nèi)IT系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。

2、通信系統(tǒng)要求

（1）建筑改造范圍內(nèi)的潔凈室需要電話網(wǎng)絡(luò)接口和1T網(wǎng)絡(luò)通訊接口，建筑改造范圍內(nèi)的潔

凈室內(nèi)的所有視頻監(jiān)控系統(tǒng)。

（2）所有進(jìn)入屏蔽區(qū)域的信號(hào)線纜應(yīng)通過(guò)信號(hào)濾波器或進(jìn)行其他屏蔽進(jìn)行處理。

（九）自控部分

1、招標(biāo)范圍

（1）動(dòng)力、空調(diào)、工藝排氣、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)、壓縮空氣、純水系統(tǒng)的自動(dòng)控制的設(shè)計(jì)。

（2）建筑改造范圍內(nèi)所有涉及到的建筑設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)（BA）的設(shè)計(jì)。

2、自動(dòng)控制系統(tǒng)要求

（1）空調(diào)設(shè)備的控制精度應(yīng)能滿足各實(shí)驗(yàn)室房間環(huán)境要求，重要房間采用高精度溫濕度傳

感器，空調(diào)機(jī)組采用變頻控制，F(xiàn)FU采用群控功能，整個(gè)空調(diào)系統(tǒng)采用DDC/PLC控制系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)

控?？照{(diào)設(shè)備提供值班模式（手動(dòng)選項(xiàng)）。

（2）冷熱源主機(jī)自帶控制柜，其參數(shù)與故障信號(hào)采用總線方式遠(yuǎn)傳至監(jiān)控室進(jìn)行監(jiān)控。冷

卻水泵、冷凍水泵及儀表等采用DDC/PLC控制系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)控。

（3）一般排氣系統(tǒng)、有機(jī)排氣系統(tǒng)、酸性廢氣處理系統(tǒng)、輔助排氣系統(tǒng)風(fēng)機(jī)采用變頻控制，

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排氣系統(tǒng)采用DDC/PLC控制系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)控。

（4）潔凈室內(nèi)需要放置溫、濕度顯示，并上傳到中控室。

（5）本項(xiàng)目自帶PLC控制器的設(shè)備與自控系統(tǒng)要求兼容，設(shè)備自帶通信協(xié)議要求開放。

（6）純水系統(tǒng)、廢水廢液系統(tǒng)、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)需由自控系統(tǒng)監(jiān)控，其中超純

水的水質(zhì)技術(shù)參數(shù)需要在末端進(jìn)行顯示。

（+）大宗及特殊氣體輸送系統(tǒng)

1、工作范圍及要求

（1）實(shí)驗(yàn)室內(nèi)普通氮?dú)馑柙O(shè)備（氮?dú)鈨?chǔ)罐、汽化器、調(diào)壓過(guò)'濾裝置）的供應(yīng)。

（2）實(shí)驗(yàn)室內(nèi)工藝設(shè)備所需氣體設(shè)備（氣柜、氣瓶架、VMB、VMP）的供應(yīng)。

（3）尾氣處理設(shè)備的供應(yīng)、安裝與調(diào)試。

（4）氣體偵測(cè)與監(jiān)控報(bào)警系統(tǒng)設(shè)備采購(gòu)及系統(tǒng)安裝供應(yīng)及現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試。

（5）工藝設(shè)備所有氣體設(shè)備配套的輸送主管道及二次配管道的供應(yīng)及安裝，包含配套輔助系

統(tǒng)的連接。

（6）除本文件注明部分外，其它為完成以上任務(wù)所需的所有必須的材料、設(shè)備、人工等。

（7）本系統(tǒng)的安裝工程由具有SEMIS2/IS0/CE生產(chǎn)資質(zhì)的單位承擔(dān)，或提供與具有相應(yīng)資

質(zhì)單位的合作協(xié)議。

2、氣體輸送系統(tǒng)基本要求

（1）氮?dú)庹?/p>

a.液氮儲(chǔ)罐容積10m3；汽化器汽化能力40（）m-Vh,汽化器1臺(tái)。液氮儲(chǔ)罐由承包人提供。

氮?dú)夤?、汽化器安裝基座由中標(biāo)單位負(fù)責(zé)完成。

b.站內(nèi)管道需采用深冷管道，閥門需采用深冷閥門。

c.氮?dú)庹緝?nèi)需設(shè)置智能數(shù)顯表、報(bào)警裝置、防盜監(jiān)控、工作照明

d.投標(biāo)廠商需負(fù)責(zé)氮?dú)庹臼褂迷S可證的辦理；

（2）氣瓶柜

a.全自動(dòng)配置，配備減壓閥、PN2吹掃單元、EFS、抽真空單元、雙段過(guò)濾系統(tǒng)、壓力傳

感器PT）、獨(dú)立抽風(fēng)、偵測(cè)器（GC和ENV）、消防噴淋頭、UV/IR等必要的組件，并有預(yù)留閥。

b.PLC控制盤面為10寸以上彩色液晶觸摸屏操作，中英文操作系統(tǒng)，顯示訊號(hào)包含氣體

供應(yīng)狀況、運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)、氣瓶重量、壓力顯示及警報(bào)等。觸摸屏品牌須為國(guó)際知名品牌.GC為全自

動(dòng)操作，具鋼瓶自動(dòng)切換、吹掃、抽真空、顯示、遠(yuǎn)程緊急切斷、壓力傳感器標(biāo)零、故障報(bào)警、

供氣狀態(tài)輸出顯示（故障、停氣、供氣.等全自動(dòng)操作功能，具備歷史報(bào)警記錄功能；同時(shí)也可切

換為全手動(dòng)操作。

c.對(duì)于高壓氣體鋼瓶，其GC均含有壓力調(diào)控盤（PressureControlManifold）作為壓力控

制及吹掃面板（PurgePanel）以提供鋼瓶切換時(shí)高壓檢漏測(cè)試功能和完整吹凈程序。。2、NH3、

BC13等液化性氣體鋼瓶采用高精度的電子磅秤，以對(duì)鋼瓶存氣量進(jìn)行監(jiān)控；NH3、BC13等低氣壓

液態(tài)儲(chǔ)存鋼瓶應(yīng)根據(jù)熱力學(xué)計(jì)算，配備有加熱毯，加熱面積覆蓋整個(gè)鋼瓶，加熱能力滿足最大輸

送流量的熱量要求，能夠保證最大流量的穩(wěn)定輸送。

d.氣柜內(nèi)應(yīng)安裝高溫報(bào)警及自動(dòng)噴淋系統(tǒng)；對(duì)于易燃易爆有毒腐蝕性氣體須設(shè)置過(guò)流關(guān)斷

開關(guān)（ExcessFlowSwitch）；GC外置獨(dú)立吹掃氮?dú)猓≒N2,純度6N）；吹掃氣體應(yīng)由獨(dú)立鋼瓶提

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供，不相容性氣體不能共享同一吹掃氣體鋼瓶。每一氣源控制器上（GSCE）的吹掃管路至少需有

?個(gè)以上的逆止閥（CheckValve）<>

e.氣柜管線閥件應(yīng)根據(jù)壓力及氣體性質(zhì)的不同，承包方應(yīng)于投標(biāo)技術(shù)服務(wù)書中詳細(xì)提出材

質(zhì)及各組件規(guī)格。對(duì)于易燃易爆氣體（如GeH4、PH3、B2H6、SiH4等）還需采用氣動(dòng)瓶閥方式，

并配備溫度傳感器和UV/1R,UV/IR偵測(cè)器需連線至緊急關(guān)斷閥（ESOV）。GC柜體為符合國(guó)際

安全規(guī)范的帶鋼絲玻璃觀察窗的抽風(fēng)外殼，外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm,并有防腐蝕涂層；柜

門須具有自動(dòng)關(guān)閉，上鎖的功能。帶可調(diào)節(jié)抽風(fēng)功能，負(fù)壓監(jiān)控。

f.每種氣體在氣柜端均為雙工藝出口，并配置終端過(guò)濾器。針對(duì)液態(tài)氣源，承包人應(yīng)于投

標(biāo)技術(shù)服務(wù)書提出GC的供應(yīng)能力相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算結(jié)果，配置盤面加熱和集中加熱

單元（PanelHeating&HeatingBlock）及控制系統(tǒng)，加熱能力滿足最大輸送流量的熱量要求，能

夠保證最大流量的穩(wěn)定輸送。依據(jù)氣體壓力、鋼瓶重量及氣體性質(zhì)自動(dòng)切換鋼瓶，其采用兩段式，

第一段警告，第二段自動(dòng)切換。每一鋼瓶應(yīng)有遠(yuǎn)程遙控啟動(dòng)緊急停機(jī)開關(guān)，在災(zāi)害發(fā)生時(shí)鋼瓶被

自動(dòng)關(guān)閉；并在特氣房的出口應(yīng)設(shè)置手動(dòng)緊急手動(dòng)關(guān)斷裝置（EMO）。

g.GC排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏偵測(cè)器，氣體泄漏偵測(cè)器報(bào)警能使鋼瓶關(guān)閉、停止供應(yīng)及提

供警報(bào)給集中監(jiān)控系統(tǒng)。

h.氣柜控制系統(tǒng)：GC采用可程序化邏輯控制（PLC）能自動(dòng)及手動(dòng)控制，并能與氣體偵

測(cè)監(jiān)控系統(tǒng)兼容，氣體偵測(cè)監(jiān)控系統(tǒng)須設(shè)計(jì)置于遠(yuǎn)端關(guān)閉（RemoteShutdown）方式來(lái)控制氣柜供

氣。PLC須為國(guó)際知名品牌。系統(tǒng)發(fā)生警告（Warning）/切斷（ShutDown）狀況至少包含以下的情況:

①氣體過(guò)流量時(shí)；②低壓或排風(fēng)系統(tǒng)失效時(shí)；③氣體輸送壓力過(guò)高時(shí)；④電力失效時(shí)；⑤偵測(cè)到

氣體泄漏時(shí)：⑥氣柜測(cè)到火警時(shí)；⑦控制系統(tǒng)失效時(shí)。

i.氣柜內(nèi)需具備GN2真空發(fā)生器以增加安全性及提供完全吹掃程序；儀表及氣動(dòng)閥使用

的GN2與真空發(fā)生器的GN2應(yīng)各具有一組調(diào)壓閥，不可共享同一源頭。當(dāng)壓力傳感器（PT）感

測(cè)管線壓力超過(guò)設(shè)計(jì)壓力時(shí)，應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉供應(yīng)閥門。

j.各氣柜吹掃時(shí)的尾氣處理則依不同的氣體種類，經(jīng)尾氣處理設(shè)備處理后排放：易燃易爆

氣體的GC須設(shè)置吹掃排氣管線將吹掃尾氣引至BumBox充分燃燒后排至酸排風(fēng)管道，其吹掃排

氣管線應(yīng)設(shè)計(jì)有氮?dú)饣旌蠈怏w濃度控制于自燃濃度以下，排氣管道吹掃氮?dú)饬魉俨坏陀?.3m/s：

其中稀釋氮?dú)獾墓艿琅c閥門材料與施工含在項(xiàng)目中。

k.在鋼瓶接頭附近的管線應(yīng)設(shè)有GasketFilter以去除更換鋼瓶時(shí)可能產(chǎn)生的金屬顆粒，承

包方應(yīng)于投標(biāo)技術(shù)服務(wù)書提出上述過(guò)濾孔徑。

1.含在要項(xiàng)目中氣柜風(fēng)管應(yīng)銜接至預(yù)留于氣體室內(nèi)的酸排風(fēng)風(fēng)管，承包方應(yīng)于投標(biāo)技術(shù)服

務(wù)書提出上述氣柜柜體排風(fēng)風(fēng)量及風(fēng)速規(guī)定，保證氣柜內(nèi)的特氣體積濃度小于0.4%,并保證流經(jīng)

氣瓶頸部和管道機(jī)械連接處的氣流速度不小于lm/s。

in.所有氣柜應(yīng)設(shè)置清晰明確的標(biāo)示牌，包含氣體成份及濃度、供應(yīng)機(jī)臺(tái)名稱、氣柜內(nèi)管

線、閥體、附件及危害性分類和相關(guān)安全警示標(biāo)志。例如：Process、Purge、Vent等。

（3）氣瓶架

a.氣瓶架采用手動(dòng)操作，1+1鋼瓶自動(dòng)切換配置，配備減壓閥、進(jìn)出口高低壓隔離閥、雙

段過(guò)濾系統(tǒng)、高壓端壓力傳感器PT）等必要的組件，并有預(yù)留隔膜閥。

b.PLC控制盤面為7寸以上彩色液晶觸摸屏操作，中英文操作系統(tǒng)，顯示訊號(hào)包含氣體供

應(yīng)狀況、運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)、氣瓶重量、壓力顯示及警報(bào)等。觸摸屏品牌須為國(guó)際知名品牌。

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c.針對(duì)液態(tài)氣源，承包人應(yīng)于投標(biāo)技術(shù)服務(wù)書提出GR的供應(yīng)能力相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力

學(xué)計(jì)算結(jié)果，配置盤面加熱和集中加熱單元及控制系統(tǒng)，加熱能力滿足最大輸送流量的熱量要求，

能夠保證最大流量的穩(wěn)定輸送。同時(shí)氣體鋼瓶采用高精度的電子磅秤，以對(duì)鋼瓶存氣量進(jìn)行監(jiān)控。

d.每種氣體在鋼瓶端均采用雙工藝出口，一工藝出口設(shè)計(jì)預(yù)留閥（隔膜閥.，便于未來(lái)工

藝擴(kuò)充。

e.在鋼瓶接頭附近的管線應(yīng)設(shè)有GasketFilter以去除更換鋼瓶時(shí)可能產(chǎn)生的金屬顆粒，承

包方應(yīng)于投標(biāo)技術(shù)服務(wù)書提出上述過(guò)濾孔徑。

f.C4F8等低氣壓液態(tài)儲(chǔ)存鋼瓶應(yīng)根據(jù)熱力學(xué)計(jì)算，配備有加熱毯，加熱面積覆蓋整個(gè)鋼

瓶，加熱能力滿足最大輸送流量的熱量要求，能夠保證最大流量的穩(wěn)定輸送。

（4）閥門分流箱

a.采用半自動(dòng)VMB：手動(dòng)吹掃與抽真空，自動(dòng)緊急遠(yuǎn)程關(guān)斷、事故報(bào)警。

b.VMB根據(jù)工藝設(shè)備需求表設(shè)計(jì)stick數(shù)量，并且每個(gè)VMB均需預(yù)留一個(gè)隔膜閥出口做

預(yù)留，便于未來(lái)設(shè)備擴(kuò)充。

c.VMB進(jìn)氣主管配置進(jìn)口手動(dòng)閥門、壓力表、擴(kuò)充預(yù)留閥；各Stick支管配置進(jìn)出口手動(dòng)

隔離閥、調(diào)壓閥、壓力表（PG）、抽真空排氣和吹掃氮?dú)獾冉M件與功能；預(yù)留出口閥采用隔膜閥。

所有有毒有害特種氣體，均配置VMB,方便后期擴(kuò)展。

d.采用符合國(guó)際安全規(guī)范的帶鋼絲玻璃觀察窗，安全金屬鋼板抽風(fēng)外殼，殼鋼板厚度不應(yīng)

小于2.5mm,并有防腐蝕涂層。具有自動(dòng)關(guān)閉門、抽風(fēng)外殼、上鎖等功能。采用PLC控制系統(tǒng),

PLC為國(guó)際知名品牌。

e.SiH4、PH3、B2H6、GeH4、C12等氣體采用雙套管，配備負(fù)壓監(jiān)控裝置。特氣鋼瓶與管

道吹掃氣體需經(jīng)專門localscrubber裝置處理。

f.雙套管內(nèi)管選用SS316L-EP超凈管；外管選用SS316L-BA,管內(nèi)采用負(fù)壓傳感檢測(cè)。其

余管材、閥門與組件均采用SS316L-EP,具體品牌要求見品牌表。管路非焊接接口采用VCR連接，

焊接接口采用自動(dòng)軌道焊接方式。所有可燃性氣體管道需做接地處理。

（5）閥門分流盤

a.VMP主管道進(jìn)口設(shè)置手動(dòng)隔離閥（隔膜閥）、壓力表。

b.每個(gè)Stick支路配置獨(dú)立進(jìn)出口手動(dòng)隔離閥（隔膜閥）、調(diào)壓閥、壓力表（PG）、過(guò)濾器、

出口手動(dòng)隔離閥（隔膜閥）等功能。

c.每個(gè)VMP均需預(yù)留一個(gè)slick,并設(shè)隔膜閥做預(yù)留，便于未來(lái)設(shè)備擴(kuò)充。

d.管材選用SS316EP超凈無(wú)縫管閥門與組件等品牌具體見氣體系統(tǒng)材料品牌規(guī)格要求。

e.管路非焊接接口采用VCR連接，焊接接口采用自動(dòng)軌道焊接方式。

（6）GDS/GMS系統(tǒng)

a.氣體泄漏偵測(cè)系統(tǒng)：氣體偵測(cè)部分包含對(duì)所有特種氣體偵測(cè)點(diǎn)的監(jiān)測(cè)。偵測(cè)氣體種類為

所有易燃易爆、有毒、腐蝕性、助燃性氣體。偵測(cè)范圍包括特氣GC、VMB抽風(fēng)、機(jī)臺(tái)抽風(fēng)、各

區(qū)域環(huán)境偵測(cè)（根據(jù)不同氣體不同偵測(cè)器的工作范圍設(shè)定具體數(shù)量）、密閉空間02偵測(cè)、LAU和

EMO等。偵測(cè)器具體位置需與發(fā)包人確認(rèn)后再施工。

b,發(fā)生泄漏時(shí)，提供各檢測(cè)點(diǎn)的聲光報(bào)警并藉由廣播系統(tǒng)傳達(dá)警告訊息，同時(shí)將信號(hào)傳輸

至集中監(jiān)控系統(tǒng)。氣體偵測(cè)報(bào)警狀況，系統(tǒng)需具備偵測(cè)器歷史數(shù)據(jù)查詢及記錄功能。

c.GDS能與氣體設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)（GMS）互鎖：實(shí)時(shí)輸送氣體泄漏報(bào)警信號(hào)給GMS,可實(shí)

4-

現(xiàn)遠(yuǎn)程自動(dòng)關(guān)斷和手動(dòng)關(guān)斷：實(shí)時(shí)輸送氣體偵測(cè)系統(tǒng)工作異常報(bào)警信號(hào)給GMS實(shí)現(xiàn)相關(guān)聯(lián)動(dòng)；與

消防系統(tǒng)、風(fēng)機(jī)控制系統(tǒng)等實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)控制。

d.GDS/GMS系統(tǒng)的設(shè)備滿足監(jiān)控端遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)顯示各氣體泄漏偵測(cè)點(diǎn)狀態(tài)（濃度、報(bào)警狀況、

濃度報(bào)警值設(shè)定等）；監(jiān)控端遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)顯示各氣瓶柜/氣瓶架運(yùn)行數(shù)據(jù)狀態(tài)（含報(bào)警、壓力、鋼瓶重

量、閥門開關(guān)狀態(tài)等）；監(jiān)控端遠(yuǎn)程實(shí)現(xiàn)尾氣處理設(shè)備、工藝設(shè)備的監(jiān)控顯示互鎖功能；氣體監(jiān)測(cè)

部分狀況與氣體設(shè)備系統(tǒng)互鎖。

e.實(shí)時(shí)輸送氣體泄漏報(bào)警信號(hào)給氣體設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程自動(dòng)關(guān)斷：實(shí)時(shí)輸送氣體偵

測(cè)系統(tǒng)工作異常報(bào)警信號(hào)給氣體設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)相關(guān)聯(lián)動(dòng)；

f.監(jiān)控終端為電腦，滿足系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)與歷史數(shù)據(jù)庫(kù)可查詢及現(xiàn)場(chǎng)打印，包括各偵測(cè)點(diǎn)報(bào)

警歷史、各偵測(cè)點(diǎn)歷史濃度曲線、系統(tǒng)重要操作歷史記錄等。所有所需硬件配置都由承包商供應(yīng)

（包含監(jiān)控電腦、上位軟件等）。要求完整配置、建立預(yù)留足夠的報(bào)警和系統(tǒng)控制部分容量，以備

后續(xù)擴(kuò)產(chǎn)報(bào)警探頭擴(kuò)展，冗余50%。氣體泄漏偵測(cè)器為進(jìn)口品牌，采用品牌為HoneywelL

g.氣體探測(cè)器配置數(shù)量應(yīng)不少于47個(gè)點(diǎn)位，包括危險(xiǎn)性氣體氣柜抽風(fēng)、氣柜環(huán)境、VMB

抽風(fēng)均需設(shè)置獨(dú)立偵測(cè)器，工藝設(shè)備抽風(fēng)及環(huán)境點(diǎn)均需設(shè)置獨(dú)立偵測(cè)器，各區(qū)域需設(shè)置獨(dú)立的塔

燈及EMOo

（7）尾氣處理設(shè)備

a.配置不少于2套尾氣處理設(shè)備。處理氣體設(shè)備尾氣廢氣排放、本平臺(tái)所有使用特氣的工

藝設(shè)備泵排氣處理。

b.特氣處理效率：大于99%

c.設(shè)備入口：KF40*4PCS,可以接至少4臺(tái)泵的排放

d.電控系統(tǒng)：采樣觸摸屏+PLC控制系統(tǒng)，預(yù)留網(wǎng)絡(luò)接口，便于遠(yuǎn)程監(jiān)控該設(shè)備的運(yùn)行狀況

e.制造單位：需要通過(guò)IS09001質(zhì)量管理體系，提供證書

f.水流量計(jì)：至少2只，分別控制入口側(cè)和出口側(cè)的噴淋流量。并可以方便查看流量情況

g.設(shè)備的報(bào)警：溫度報(bào)警，加熱溫度與設(shè)定溫度超過(guò)一定溫度時(shí)，設(shè)備有聲光報(bào)警。水流

量報(bào)警，報(bào)警值可調(diào)節(jié)。負(fù)壓報(bào)警（入口和出口負(fù)壓）并可以設(shè)定報(bào)警值。高溫報(bào)警及水流量報(bào)

警時(shí)，停止加熱。

（8）輸送管道

a.易燃易爆有毒及腐蝕性氣體輸送管道系統(tǒng)，管道采用SS316LEP輸送；其中

SiH4,PH3,B2H6,GeH4,C12管道采用雙套管，內(nèi)管SS316LEP,外管SS316BA,負(fù)壓設(shè)計(jì)，接上壓

力偵測(cè)與報(bào)警裝置以檢知泄漏狀態(tài)，并將采集壓力信號(hào)輸送至集中監(jiān)控系統(tǒng):輸送壓力：30」00P$ig；

輸送能力：大于25slm。氣柜至VMB雙套管兩側(cè)需為閉合端（doseend）,設(shè)置二段式壓力開關(guān)含

顯示

b.BC13、NH3等液態(tài)氣體輸送管道系統(tǒng)，須配置伴熱系統(tǒng)、溫度傳感器、外包保溫材料和溫

控裝置器以避免氣體凝結(jié)，保證氣體穩(wěn)定供應(yīng)

c.大宗工藝氣體和惰性氣體輸送管道系統(tǒng)，管道材質(zhì)：SS316LEP。其中GN2為316LBA

d.所有特種氣體系統(tǒng)采用SUS316LEP膈膜閥。

e.管路非焊接接口采用VCR連接，焊接接口采用自動(dòng)軌道焊接方式。

3、氣體輸送系統(tǒng)測(cè)試要求

（1）測(cè)試檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)具體指標(biāo)如下表所列：

4-

項(xiàng)目指標(biāo)參數(shù)

高壓氣體2000psig

壓強(qiáng)測(cè)試（24小時(shí)內(nèi)無(wú)