離子注入設(shè)備產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)分析報(bào)告2024年-2026年

2024年-2026年離子注入設(shè)備產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)分析報(bào)告匯報(bào)人：張宜靜2024-08-01離子注入設(shè)備定義產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展歷程政治環(huán)境商業(yè)模式政治環(huán)境目錄經(jīng)濟(jì)環(huán)境社會(huì)環(huán)境技術(shù)環(huán)境發(fā)展驅(qū)動(dòng)因素行業(yè)壁壘行業(yè)風(fēng)險(xiǎn)行業(yè)現(xiàn)狀目錄行業(yè)痛點(diǎn)問題及解決方案行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)前景機(jī)遇與挑戰(zhàn)競(jìng)爭(zhēng)格局行業(yè)定義01什么是離子注入設(shè)備離子注入機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域，半導(dǎo)體領(lǐng)域中屬于晶圓制造設(shè)備，主要用于晶圓制造流程中的注入（摻雜）工序，主要方式和目的是通過加入少量雜質(zhì)使得原本導(dǎo)電性能很差的純凈硅變?yōu)橐环N有用的半導(dǎo)體。通過離子注入機(jī)的加速和引導(dǎo)，將需摻雜離子以離子束形式入射到材料中去，發(fā)生一系列理化反應(yīng)從而優(yōu)化材料表面性能。離子注入相較以往的高溫?zé)釘U(kuò)散法存在精確控制能量和劑量、均勻性好、純度高等優(yōu)點(diǎn)，已基本取代高溫?zé)釘U(kuò)散法成為主流工藝。根據(jù)離子束電流和束流能量范圍，一般可以把離子注入機(jī)分為低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)和中低束離子注入機(jī)，應(yīng)用存在區(qū)別，如高能離子注入機(jī)因電子束能量較高，主要用于深埋層。離子注入機(jī)主要用于摻雜工藝。目前從摻雜工藝技術(shù)上有2種方法:一是高溫?zé)釘U(kuò)散法，即將摻雜氣體導(dǎo)入放有硅片的高溫爐，將雜質(zhì)擴(kuò)散到硅片內(nèi)的一種方法；二是離子注入法，通過離子注入機(jī)的加速和引導(dǎo)，將要摻雜的離子以離子束形式入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子發(fā)生一系列理化反應(yīng)，入射離子逐漸損失能量，并引起材料表面成分、結(jié)構(gòu)和性能發(fā)生變化，最后停留在材料中，從而優(yōu)化材料表面性能，或使材料獲得某些新的性能。定義產(chǎn)業(yè)鏈02機(jī)械材料、電氣材料、儀器儀表、真空系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)上游離子注入機(jī)設(shè)計(jì)、離子注入機(jī)制造中游集成電路制造、IGBT制造、太陽能電池制造、AMOLED制造下游產(chǎn)業(yè)鏈010203發(fā)展歷程0304政治環(huán)境FROMBAIDUWENKUCHAPTER描述政治環(huán)境1政治環(huán)境《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》突破集成電路關(guān)鍵裝備和材料，加強(qiáng)集成電路裝備、材料與工藝結(jié)合，研發(fā)光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)產(chǎn)品和服務(wù)指導(dǎo)目錄(2016)》主要包括6英寸/8英寸/12英寸集成電路生產(chǎn)線所用的光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、退火設(shè)備、單晶生長(zhǎng)設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備等《首臺(tái)（套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2019年版）》將高效N型晶體硅太陽能離子注入機(jī)等太陽能電池生產(chǎn)裝備，以及中束流、大束流、高能離子注入機(jī)等集成電路生產(chǎn)裝備列入名錄《上海市先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》集成電路為重點(diǎn)發(fā)展領(lǐng)域，“十四五”規(guī)劃建設(shè)世界級(jí)產(chǎn)業(yè)集群。在裝備材料方面，加強(qiáng)裝備材料創(chuàng)新發(fā)展，突破光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備、離子注入設(shè)備、濕法設(shè)備,檢測(cè)設(shè)備等集成電路前道核心工藝設(shè)備言戰(zhàn)網(wǎng)05商業(yè)模式FROMBAIDUWENKUCHAPTER06經(jīng)濟(jì)環(huán)境FROMBAIDUWENKUCHAPTER我國(guó)經(jīng)濟(jì)不斷發(fā)展，幾度趕超世界各國(guó)，一躍而上，成為GDP總量?jī)H次于美國(guó)的唯一一個(gè)發(fā)展中國(guó)家。我國(guó)經(jīng)濟(jì)趕超我國(guó)人口基數(shù)大，改革開放后人才競(jìng)爭(zhēng)激烈，大學(xué)生就業(yè)情況一直困擾著我國(guó)發(fā)展過程中。就業(yè)問題挑戰(zhàn)促進(jìn)社會(huì)就業(yè)公平問題需持續(xù)關(guān)注并及時(shí)解決，個(gè)人需提前做好職業(yè)規(guī)劃與人生規(guī)劃重中之重。公平就業(yè)關(guān)注經(jīng)濟(jì)環(huán)境07社會(huì)環(huán)境FROMBAIDUWENKUCHAPTER總體發(fā)展穩(wěn)中向好我國(guó)總體發(fā)展穩(wěn)中向好，宏觀環(huán)境穩(wěn)定繁榮，對(duì)于青年人來說，也是機(jī)遇無限的時(shí)代。關(guān)注就業(yè)公平與提前規(guī)劃促進(jìn)社會(huì)就業(yè)公平問題需持續(xù)關(guān)注并及時(shí)解決，對(duì)于個(gè)人來說提前做好職業(yè)規(guī)劃、人生規(guī)劃也是人生發(fā)展的重中之重。就業(yè)問題與人才競(jìng)爭(zhēng)我國(guó)人口基數(shù)大，就業(yè)問題一直是發(fā)展過程中面臨的挑戰(zhàn)，人才競(jìng)爭(zhēng)激烈，大學(xué)生畢業(yè)后就業(yè)情況、失業(yè)人士困擾國(guó)家發(fā)展。政治體系與法治化進(jìn)程自改革開放以來，政治體系日趨完善，法治化進(jìn)程也逐步趨近完美，市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)體系也在不斷蓬勃發(fā)展。中國(guó)當(dāng)前的環(huán)境下描述了當(dāng)前技術(shù)發(fā)展的日新月異，包括人工智能、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算等前沿技術(shù)的涌現(xiàn)。技術(shù)環(huán)境需求增長(zhǎng)、消費(fèi)升級(jí)、技術(shù)創(chuàng)新等是行業(yè)發(fā)展的主要驅(qū)動(dòng)因素，推動(dòng)了行業(yè)的進(jìn)步。發(fā)展驅(qū)動(dòng)因素行業(yè)壁壘包括資金、技術(shù)、人才、品牌、渠道等方面的優(yōu)勢(shì)，提高了新進(jìn)入者的難度。行業(yè)壁壘我國(guó)經(jīng)濟(jì)不斷發(fā)展08技術(shù)環(huán)境FROMBAIDUWENKUCHAPTER技術(shù)驅(qū)動(dòng)技術(shù)環(huán)境的發(fā)展為行業(yè)帶來了新的機(jī)遇，是行業(yè)發(fā)展的重要驅(qū)動(dòng)力。創(chuàng)新動(dòng)力技術(shù)環(huán)境的不斷創(chuàng)新和進(jìn)步，為行業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展提供了有力支持。人才需求技術(shù)環(huán)境的發(fā)展促進(jìn)了人才的需求和流動(dòng)，為行業(yè)的人才隊(duì)伍建設(shè)提供了機(jī)遇。團(tuán)隊(duì)建設(shè)技術(shù)環(huán)境的發(fā)展要求企業(yè)加強(qiáng)團(tuán)隊(duì)建設(shè)，提高員工的技能和素質(zhì)，以適應(yīng)快速變化的市場(chǎng)需求。合作與交流技術(shù)環(huán)境的發(fā)展促進(jìn)了企業(yè)間的合作與交流，推動(dòng)了行業(yè)的整體發(fā)展。技術(shù)環(huán)境010203040509發(fā)展驅(qū)動(dòng)因素FROMBAIDUWENKUCHAPTER發(fā)展驅(qū)動(dòng)因素在中美持續(xù)對(duì)弈、中方政策高度重視、國(guó)有基金資金助力的情況下，離子注入機(jī)的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程正在加速到來。由于離子注入機(jī)在集成電路制造前道設(shè)備中的不可替代性和目前被美日龍頭企業(yè)壟斷的市場(chǎng)現(xiàn)狀，我國(guó)在政策上對(duì)離子注入機(jī)重視程度較高，在多項(xiàng)政策中將離子注入機(jī)的研發(fā)列為戰(zhàn)略發(fā)展目標(biāo)。政策支持需求驅(qū)動(dòng):AMOLED已經(jīng)成為智能移動(dòng)設(shè)備面板的首選，除智能手機(jī)，AMOLED面板已滲透到智能手表、車載顯示和虛擬現(xiàn)實(shí)可穿戴設(shè)備等更多應(yīng)用領(lǐng)域。至2020年,AMOLED面板需求面積年復(fù)合增長(zhǎng)率將達(dá)40.7%。技術(shù)需求:目前主流TFT-LCD顯示的前段制造工藝和AMOLED前段制造工藝大部分設(shè)備相同,由于AMOLED采用LTPSTFT背板,需額外添加激光結(jié)晶設(shè)備和離子注入機(jī)。有望快速突破OLED面板離子注入技術(shù)瓶頸離子注入設(shè)備占前道晶圓設(shè)備市場(chǎng)33份額，目前全球每年市場(chǎng)規(guī)模約1B億美元。根據(jù)離子注人設(shè)備產(chǎn)率和工藝注入量的不同.估計(jì)成熟制程產(chǎn)線每方片/月需要約2臺(tái)大束流離子注入機(jī)，先進(jìn)制程產(chǎn)線每萬片/月需要約4-5臺(tái)大末流離子注入機(jī)。如中芯計(jì)劃投資76億美元新建的北京亦莊2Bnm一期.設(shè)計(jì)產(chǎn)能10方片/月,約需40臺(tái)離子注入機(jī).總計(jì)價(jià)值約12億人民幣。長(zhǎng)江存儲(chǔ)—條月產(chǎn)5方片12英寸存儲(chǔ)制造線.已采購(gòu)30余臺(tái)離子注入機(jī)。中國(guó)晶圓廠加速擴(kuò)建產(chǎn)能,半導(dǎo)體專用設(shè)備需求巨大離子注入高效低成本,中國(guó)企業(yè)凱世通光伏領(lǐng)城實(shí)力強(qiáng)。全球光伏離子注入企業(yè)僅有三家，除凱世通外,還有美國(guó)Irntevac和日本真空。凱世通專注離子注入技術(shù)，緊抓中國(guó)巨大的市場(chǎng)，光伏領(lǐng)域出貨量世界第一、占據(jù)光侯離子注入絕對(duì)領(lǐng)導(dǎo)地位。中國(guó)光伏離子注入機(jī)潛在市場(chǎng)規(guī)模約為225億元:根據(jù)國(guó)家能源局2018年公布2017年全國(guó)新增光伏裝機(jī)58Gw,其中生產(chǎn)線超過000條，未來光伏的發(fā)展趨勢(shì)是高效單品的路線，通過產(chǎn)業(yè)鏈交流假如按照30%技術(shù)升級(jí)的需求進(jìn)行估算,中國(guó)有近30O條生產(chǎn)線需耍用離子注入設(shè)備來改造為N-PERT電池產(chǎn)線,市場(chǎng)空間較大。光伏需求加速離子注入設(shè)備改造N-PERT電池產(chǎn)線10行業(yè)壁壘FROMBAIDUWENKUCHAPTER11行業(yè)風(fēng)險(xiǎn)FROMBAIDUWENKUCHAPTER12行業(yè)現(xiàn)狀FROMBAIDUWENKUCHAPTER市場(chǎng)情況描述行業(yè)現(xiàn)狀下游消費(fèi)電子需求回暖，疊加汽車電子產(chǎn)業(yè)快速擴(kuò)張，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣度高漲帶動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)張，數(shù)據(jù)顯示，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1024億美元，經(jīng)歷了2019年產(chǎn)業(yè)的整體萎縮，產(chǎn)業(yè)回彈規(guī)模更快細(xì)分產(chǎn)品類型而言，晶圓制造設(shè)備種類眾多且技術(shù)壁壘深厚，如光刻機(jī)等產(chǎn)品價(jià)格極高，是半導(dǎo)體設(shè)備的主要組成部分，相較2020年結(jié)構(gòu)（晶圓制造設(shè)備占比84%、封裝和測(cè)試分別占比9%和6%），封裝設(shè)備因銷售額同比增長(zhǎng)87%左右，遠(yuǎn)高于晶圓設(shè)備增速（44%）和測(cè)試設(shè)備（30%），占比提升至12%左右。離子注入機(jī)屬于半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵設(shè)備，占比晶圓制造設(shè)備價(jià)值量4-6%左右。行業(yè)現(xiàn)狀01市場(chǎng)份額變化隨著下游消費(fèi)電子領(lǐng)域回升和汽車電子等需求持續(xù)增長(zhǎng)，2020-2021年全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣度回升，離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)?？焖贁U(kuò)張，2019年達(dá)18億美元左右，根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備總體規(guī)模變化情況預(yù)測(cè)，2021年全球離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)模將超過30億美元，2022年上半年來看，主要晶圓廠訂單減少，整體半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域增長(zhǎng)將降速，離子注入機(jī)需求增長(zhǎng)有限。目前，全球離子注入機(jī)仍以大束流離子注入機(jī)為主，數(shù)據(jù)顯示，大束流離子注入機(jī)占全部離子注入機(jī)市場(chǎng)份額的61%，中低束流離子注入機(jī)及高能離子注入機(jī)分別占比20%和18%。主要原因是行業(yè)現(xiàn)狀02市場(chǎng)情況2016年中國(guó)離子注入機(jī)的市場(chǎng)規(guī)模約為222億元，2020年增長(zhǎng)至453億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率為168%，近3年復(fù)合增長(zhǎng)率為223%。從過去市場(chǎng)表現(xiàn)來看，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模增速均高于行業(yè)增速，未來隨著國(guó)內(nèi)晶圓廠加速擴(kuò)張，對(duì)離子注入機(jī)的采購(gòu)需求將隨之快速增長(zhǎng)，中國(guó)市場(chǎng)有望持續(xù)領(lǐng)跑全球增速。離子注入機(jī)按下游應(yīng)用領(lǐng)域不同，可以分為集成電路離子注入機(jī)、光伏離子注入機(jī)和AMOLED離子注入機(jī)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，截至2020年我國(guó)離子注入機(jī)總產(chǎn)量為26臺(tái)，同比2019年增加了6臺(tái)。行業(yè)現(xiàn)狀進(jìn)出口目前高端集成電路離子注入機(jī)仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口，就數(shù)量而言，進(jìn)口和出口整體皆表現(xiàn)為穩(wěn)步增長(zhǎng)趨勢(shì)，進(jìn)口增速略高于出口增速，尤其2021年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)也需求大幅度上升背景下，離子注入機(jī)進(jìn)口量增加154臺(tái)，進(jìn)口金額增長(zhǎng)45%至13億美元，出口而言雖然出口量有所上升，但產(chǎn)品主要為中低端產(chǎn)品，對(duì)比進(jìn)出口均價(jià)而言，單臺(tái)離子注入機(jī)進(jìn)口均價(jià)是出口均價(jià)的40倍以上。01進(jìn)口來源地就我國(guó)離子注入機(jī)進(jìn)口來源分布而言，美國(guó)是最大供給國(guó)，數(shù)據(jù)顯示2021年我國(guó)從美國(guó)進(jìn)口234臺(tái)離子注入機(jī)，金額達(dá)11億美元，除此之外，日韓等半導(dǎo)體發(fā)展較快的發(fā)達(dá)國(guó)家也是進(jìn)口關(guān)鍵來源國(guó)，分別從日本和韓國(guó)進(jìn)口74和35臺(tái)。0213行業(yè)痛點(diǎn)FROMBAIDUWENKUCHAPTER14問題及解決方案FROMBAIDUWENKUCHAPTER15行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)前景FROMBAIDUWENKUCHAPTER發(fā)展趨勢(shì)前景描述國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體專用設(shè)備發(fā)展進(jìn)程:2020年，中國(guó)成為最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，市場(chǎng)空間達(dá)182億美元。2020年，受到新冠疫情影響下．中國(guó)是唯一保持持續(xù)增長(zhǎng)的地區(qū)，市場(chǎng)規(guī)模在全球占比逐年提升.GACR達(dá)30.7版。全球經(jīng)濟(jì)復(fù)蘇刺激消費(fèi)需求下，品圓制造廠進(jìn)入新一輪投資周期，下游晶圓代工廠加速擴(kuò)建擴(kuò)產(chǎn)能，目前全球晶圓代工市場(chǎng)仍處于供應(yīng)不求的局面，將直接帶動(dòng)半導(dǎo)體離子注入設(shè)備需求并有望持續(xù)增長(zhǎng)。新興領(lǐng)域+應(yīng)用場(chǎng)景拓寬:未來，隨著下游5G通信、計(jì)算機(jī)、消費(fèi)電子、網(wǎng)絡(luò)通信等各行業(yè)需求的穩(wěn)步增長(zhǎng)以及物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、汽車電子、智能手機(jī)、智能穿戴、云計(jì)算、大數(shù)據(jù)和安防電子等新興領(lǐng)域的快速發(fā)展、集成電路產(chǎn)業(yè)面臨著新型芯片或先進(jìn)工藝的產(chǎn)能擴(kuò)張需求為半導(dǎo)體專用設(shè)備行業(yè)帶來廣闊的市場(chǎng)空間。2015至2020年，在智能手機(jī)和消費(fèi)電子快速發(fā)展的推動(dòng)下，半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入持續(xù)上升行業(yè)周期，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模從353億美元增長(zhǎng)至719億美元，GACR達(dá)18%。行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)前景16機(jī)遇與挑戰(zhàn)FROMBAIDUWENKUCHAPTER17競(jìng)爭(zhēng)格局FROMBAIDUWENKUCHAPTER競(jìng)爭(zhēng)格局全球離子注入機(jī)的領(lǐng)先企業(yè)主要分布在中國(guó)、美國(guó)和日本，其中，中國(guó)大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機(jī)行業(yè)的龍頭企業(yè)，凱世通在光伏離子注入機(jī)方面遙遙領(lǐng)先。而美國(guó)則擁有近乎壟斷IC離子注入機(jī)市場(chǎng)的應(yīng)用材料，以及Axcelis、等企業(yè)，前者占據(jù)了70%左右的市場(chǎng)份額，而后者則占據(jù)了20%左右的市場(chǎng)份額。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機(jī)知名廠商。凱世通作為萬業(yè)企業(yè)旗下子公司，2020年受疫情影響離子注入機(jī)營(yíng)收大幅度下降，2021年產(chǎn)業(yè)回暖，達(dá)23億元，毛利水平整體較高。綜合來看，目前市場(chǎng)上離子注入機(jī)主要由美國(guó)和日本的廠商壟斷，知名公司還有臺(tái)灣AIBT漢辰科技、日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN（瓦里安）,SEN和Invetac等，其中日新公司是AMOLED離子注入機(jī)市場(chǎng)壟斷廠家，漢辰科技產(chǎn)品主要服務(wù)于臺(tái)積電，而國(guó)內(nèi)起步較晚，目前主要代表性的企業(yè)僅有凱世通和北京中科信電子裝備兩家:（1）中電科電子裝備自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)中束流離子注入機(jī)在中芯國(guó)際大生產(chǎn)線上穩(wěn)定流片逾200萬，首臺(tái)200mmCMP設(shè)備實(shí)現(xiàn)了銷售。這是電科裝備承擔(dān)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”科技重大02專項(xiàng)所取得重大成果的縮影。（2）光伏競(jìng)爭(zhēng)格局目前全球只有凱世通、美國(guó)Intevac公司、日本真空3家公司主要從事光伏離子注入機(jī)的生產(chǎn)制造，凱世通的光伏離子注入機(jī)更被廣泛應(yīng)用，市場(chǎng)占有率全球第一。競(jìng)爭(zhēng)格局全球離子注入機(jī)的領(lǐng)先企業(yè)主要分布在中國(guó)、美國(guó)和日本，其中，中國(guó)大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機(jī)行業(yè)的龍頭企業(yè)，凱世通在光伏離子注入機(jī)方面遙遙領(lǐng)先。而美國(guó)則擁有近乎壟斷IC離子注入機(jī)市場(chǎng)的應(yīng)用材料，以及Axcelis、等企業(yè)，前者占據(jù)了70%左右的市場(chǎng)份額，而后者則占據(jù)了20%左右的市場(chǎng)份額。日本也擁有日新