TSICA 006-2024 集成電路晶圓廠用天車傳送系統(tǒng)通 用技術(shù)要求

SICAI 2 2 3 3 4 4 4 4 4 4 4 4 5 5 5 5 6本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定司、重慶前衛(wèi)無線電能傳輸研究院有限公司揚(yáng)軟件（上海）有限公司、榮耀半導(dǎo)體材料（嘉善）有限公1集成電路晶圓廠用天車傳送系統(tǒng)通用技術(shù)要求本文件適用于集成電路晶圓廠用AMHS系統(tǒng)中的天車GB/T5226.1機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第1部分：通用GB/T13384機(jī)電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)天車傳送系統(tǒng)overheadhoisttransfer4縮略語AMHS：自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AutomaticMaterialHaAP：無線接入點(diǎn)（AccessPoint）FAB：晶圓制造車間（FabricatFOUP：12吋前開式晶圓盒（12"FrontOpeningUnifiedPoOCS：天車控制系統(tǒng)（OHTControlSyOHB：空中緩存單元（OverheadHoistBPOD：8吋開放式晶圓盒(8"Wafer2內(nèi)容軌道搭建能力：滿足每月2萬片晶圓產(chǎn)能需求；實(shí)際長(zhǎng)度符合技術(shù)式樣書的規(guī)定，滿足震動(dòng)強(qiáng)度≤0.5G要求；軌道連接處高低差≤0.2mm;全區(qū)域內(nèi)軌道水平度≤2mm;任意兩彎軌連接的直線軌道直線度誤差在±2mm范圍內(nèi)；符合搬送能力及實(shí)際生產(chǎn)能力具備顯示供電裝置運(yùn)行狀況和異常報(bào)警功能；供電線纜和供電箱具備溫度檢測(cè)裝置和異常報(bào)警功能；供電系統(tǒng)具有供電互備冗余設(shè)計(jì)，應(yīng)對(duì)個(gè)別供電柜損壞問題；內(nèi)容負(fù)載能力直線最大速度≥3.5m/s(210m/min);轉(zhuǎn)彎最大速度≥1m/s;最大減速度≥2.96m/s2(0.3G);移載時(shí)間單次移載生產(chǎn)設(shè)備(晶圓裝載裝置高度900mm,天花板高度4.6m)≤8.5s;單次移載OHB≤8s;單次移載STK≤8.5s非接觸式供電具有多組安全感應(yīng)器，包括防追車測(cè)距傳感器(CollisionS測(cè)傳感器(LookForwardSensor),下方物體檢測(cè)傳感器(LookDownSensor),保險(xiǎn)杠傳感器(BumperSensor),FOUP防墜落檢測(cè)傳感器(FOUPDropDetectSensor),夾爪擺動(dòng)檢測(cè)傳感器(SwingSensor),皮帶松弛檢測(cè)具備緊急停止按鈕；顯示功能誤差在±1mm范圍內(nèi)AP信號(hào)雙重覆蓋設(shè)計(jì)，具有信號(hào)強(qiáng)弱檢測(cè)功能；噪音≤75dB(運(yùn)行狀態(tài)，離地1.5m)負(fù)載率專用頻段宜為5G:36/40/44/48頻段。3e)提供安裝更換天車所有部件的調(diào)試工具和設(shè)控制器參數(shù)修改應(yīng)能在具備可擴(kuò)展性，有增加天車、軌道等擴(kuò)展功能。具備監(jiān)控各個(gè)天車運(yùn)行數(shù)據(jù)以及部件壽命功能，包括但不限于天車行進(jìn)速度、載荷狀態(tài)、運(yùn)核心部件運(yùn)行數(shù)據(jù)開放，供使用具備故障避讓功能，天車或軌道發(fā)生故障時(shí)，切斷該故障軌道的運(yùn)行，天車能自動(dòng)避讓故障具備天車與生產(chǎn)設(shè)備通信，天車運(yùn)行，天車關(guān)非接觸供電系統(tǒng)具備感熱線溫度監(jiān)控功能。1具備在天車注冊(cè)后，服務(wù)器將數(shù)據(jù)自動(dòng)推送到天車，減少天車配置時(shí)間的功能。監(jiān)控系統(tǒng)可接入本地網(wǎng)絡(luò)。能夠?qū)崟r(shí)顯示天車的位置、載荷狀態(tài)、搬運(yùn)路徑及運(yùn)行狀態(tài)等信息。能夠計(jì)算產(chǎn)品的可靠性把握機(jī)器的異常發(fā)生和修復(fù)狀況，把握機(jī)器使用狀況和稼動(dòng)回?cái)?shù)的推移。調(diào)查搬送回?cái)?shù)和搬送時(shí)間的傾向，搬送時(shí)間的詳細(xì)內(nèi)容，調(diào)監(jiān)控軌道上天車的通過量,監(jiān)控軌道承載量。0具備故障排除說明書。48.1標(biāo)志56[6]SEMIS1SafetyGuidelineforEquipmentSafetyL[7]SEMIS2Environmental,Health,andSafetyGuidelineforSemiconduManufacturingEquipment[8]SEMIE10Specification[9]SEMIS22SafetyGuidelinefortheElectricalDesignManufacturingEquipment[10]SEMIS23Guideforenergy,Utilities,andmaterialsemico