TQGCML 4573-2024 高精度超潔凈晶圓電化學(xué)電鍍腔體網(wǎng)格盤生產(chǎn)制造規(guī)范

ICS31.020CCSH80團(tuán) 體 標(biāo) 準(zhǔn)T/QGCML4573—2024高精度超潔凈晶圓電化學(xué)電鍍腔體網(wǎng)格盤生產(chǎn)制造規(guī)范Manufacturingspecificationforhighprecisionandultracleanwaferelectrochemicalelectroplatingchambergriddisk2024-08-12發(fā)布 2024-08-27實(shí)施全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會??發(fā)布T/QGCML4573T/QGCML4573—2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次前言 II范圍 1規(guī)范性引用文件 1術(shù)語和定義 1縮略語 2場地和人員 2設(shè)備 2材料 2加工流程 3成品質(zhì)量 3環(huán)境保護(hù) 3安全 4前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由常熟市兆恒眾力精密機(jī)械有限公司提出。本文件由全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會歸口。本文件主要起草人：羅中平、雷超、趙鵬志。T/QGCML4573T/QGCML4573—2024PAGEPAGE1高精度超潔凈晶圓電化學(xué)電鍍腔體網(wǎng)格盤生產(chǎn)制造規(guī)范范圍本文件適用于高精度超潔凈晶圓電化學(xué)電鍍腔體網(wǎng)格盤（以下簡稱“網(wǎng)格盤”）的生產(chǎn)制造。規(guī)范性引用文件（包括所有的修改單適用于本文件。GB12348 工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)GB/T12801 生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則GB13456 鋼鐵工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)GB15577 粉塵防爆安全規(guī)程GB/T15605 粉塵爆炸泄壓指南GB16297大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)GB18597危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)GB18599一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。晶圓 wafer硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的圓形硅晶片。鍍銅用網(wǎng)格盤 griddiskforcopperplating在晶圓的加工過程中對晶圓進(jìn)行鍍銅操作時用到網(wǎng)格盤。開粗 opencoarse零件加工過程中的第一個工序，通常從毛坯開始加工。倒角 chamfer把工件的棱角切削成一定斜面的機(jī)械加工方式。工裝加工 fixtureprocessing一般指機(jī)械加工設(shè)備及工裝?？s略語下列縮略語適用于本文件。ABS：丙烯腈-丁二烯-苯乙烯塑料（AcrylonitrileButadieneStyreneplastic）CNC：數(shù)控車床（CNClathe）場地和人員場地應(yīng)遠(yuǎn)離居民生產(chǎn)、生活區(qū)，避免環(huán)境污染、噪音污染、粉塵污染。宜靠近已有的交通運(yùn)輸線路，電力配套設(shè)施應(yīng)完善。應(yīng)適應(yīng)加工規(guī)模需要。布局應(yīng)合理、分隔清晰。應(yīng)具備通風(fēng)換氣設(shè)施。人員應(yīng)掌握網(wǎng)格盤生產(chǎn)制造技術(shù)相關(guān)的基礎(chǔ)知識，并經(jīng)過專業(yè)崗位技術(shù)培訓(xùn)，考核合格后，持證上崗。應(yīng)掌握環(huán)境保護(hù)和職業(yè)健康安全相關(guān)的基礎(chǔ)知識，能應(yīng)急生產(chǎn)制造過程中可能出現(xiàn)的問題。應(yīng)了解廠房的管理制度，并自覺遵守人員著裝和污染防控的各項(xiàng)規(guī)定。應(yīng)熟練掌握生產(chǎn)設(shè)備的操作方法。操作人員應(yīng)穿戴安全帽、防護(hù)眼鏡、耳塞、防護(hù)口罩、防護(hù)手套、防護(hù)服、防護(hù)鞋進(jìn)行加工作業(yè)。操作人員應(yīng)接受安全生產(chǎn)教育和培訓(xùn)。新職工上崗前、調(diào)換工種人員應(yīng)進(jìn)行專門的安全教育培訓(xùn)。設(shè)備主要使用以下加工設(shè)備：立式加工中心；數(shù)控車床；鋸床；加熱箱；液氮去毛刺機(jī)；內(nèi)冷鉆；工裝；銑刀等。材料材料選擇選用剛性強(qiáng)、耐磨性好、硬度高、耐高溫沖擊的聚丙烯作為原料。材料接收材料入廠后，倉庫管理人員應(yīng)確認(rèn)其生產(chǎn)廠家、產(chǎn)品名稱、規(guī)格及數(shù)量與采購計(jì)劃相符，并有相應(yīng)的質(zhì)量證明文件（如合格證、出廠檢驗(yàn)報(bào)告等）。材料儲存材料儲存環(huán)境應(yīng)清潔、通風(fēng)、干燥、防雨、防潮。加工流程用鋸床將聚丙烯材料切割為整塊板料。上加工中心壓板壓住開粗，外圓銑削一圈工藝凸臺，CNC11011010h，然后空冷至室溫。1mmCNC正面內(nèi)圓及各臺階尺寸、銑腰型孔到位加工。銑在圓周一圈沉頭孔尺寸到位打正面各孔、牙孔，內(nèi)腔筋倒角，用工裝打側(cè)面孔，控制孔深。ABS1mm上四軸轉(zhuǎn)角度打內(nèi)壁側(cè)面孔的尺寸到位。采用內(nèi)冷合金鉆頭進(jìn)行加工，鉆頭加工前先用銑刀將斜0.1mm，銑反面槽及孔、銑密封槽到位。采用液氮去毛刺機(jī)調(diào)制聚丙烯材料至合適溫度，將工件放入進(jìn)機(jī)器內(nèi)，合上后逐步降溫冷凍。旋轉(zhuǎn)工件并將專用沙噴在表面去除毛刺。上車床去除夾位后，將外徑尺寸到位，刀紋應(yīng)不粗糙。0.05Mpa，觀察各小孔出水是否均勻且高度一致，不允許有不出水或者斷續(xù)的情況，確認(rèn)無異常后安裝鈦合金堵頭。采用符合精度要求的量具測量尺寸，合格后進(jìn)行包裝。采用緩沖泡棉包裹，放入圓形珍珠棉內(nèi)，檢查是否晃動，確認(rèn)無異常后貼標(biāo)簽出貨。出庫前應(yīng)經(jīng)倉庫登記和審核，有序出庫。成品質(zhì)量網(wǎng)格盤表面干凈平整，無氣泡、黑點(diǎn)、變形、劃傷等缺陷。出液孔角度應(yīng)一致且不貫穿漏液。環(huán)境保護(hù)廢氣、廢水生產(chǎn)制造應(yīng)配套適宜的污染物治理設(shè)施。GB16297的規(guī)定。GB13456固體廢棄物貯存生產(chǎn)制造產(chǎn)生的固體廢棄物貯存應(yīng)符合GB18597、GB18599的規(guī)定。噪聲GB12348應(yīng)建立、健全安全生產(chǎn)責(zé)任制，并做好安全生產(chǎn)計(jì)劃工作。GB/T12801