電子化學品行業(yè)系列報告之三：靶材行業(yè)：充分受益下游行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移靶材行業(yè)將在電子化學品中率先突破

201711122017

評級：增 維持評 行業(yè)深度研

市場數(shù)據(jù)(人民幣市場數(shù)據(jù)(人民幣300

國金行 滬深

行業(yè)觀點國內(nèi)政策扶持明顯，下游產(chǎn)業(yè)迎來發(fā)展黃金期，產(chǎn)業(yè)鏈向國內(nèi)轉(zhuǎn)移是大勢所趨；產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移帶動上游材料同步發(fā)展，上游材料進口替代空間大；技國內(nèi)目前龍頭企業(yè)的技術已經(jīng)達到了國際先進水平，與國際龍頭公司相比缺乏和下游公司共同研發(fā)的經(jīng)驗，認證難度也相對較大。隨著我國濺射靶材的市場規(guī)模將進一步擴大，在全球市場中有望獲得更多客戶的認可，市場2016105規(guī)模年復合增長率可達到13%。高純靶材市場中，半導體靶材占12%，平34%18.5%30%，其生產(chǎn)工藝的難202225億元。2017年相關報告相關報告2.《多重利好支撐油價持續(xù)上漲，各農(nóng)藥品3.《精細化工品系列報告之二：受益于光纖4.《中東地緣局勢支撐油價，吡蟲啉價格再5.《采暖季限產(chǎn)對化工子行業(yè)的供需影響分析之一？？？？？？ ——...》42%201813座晶圓廠建成投產(chǎn)，國內(nèi)晶圓產(chǎn)能95%，國內(nèi)靶材市場需求也會相應大幅增加。國產(chǎn)半導體靶材的市場占比將會顯著提升。隨著國產(chǎn)濺射靶材的技術成熟，尤其是國產(chǎn)濺射靶材具備較高的性價比優(yōu)勢，并且符合濺射靶材國產(chǎn)化的政策導向，我國濺射靶材的市場規(guī)模將進一步擴大，在全球市場中有望獲OLED對薄膜的使用量會大幅增加，相應的靶材需求量就會大幅增加。2016年全球3880億元。蒲強分析師SAC執(zhí)業(yè)編號：S1130516090001蒲強分析師SAC執(zhí)業(yè)編號：S1130516090001郭一凡分析師SAC執(zhí)業(yè)編號：S1130517050005霍堃陳鋮何雄聯(lián)系人聯(lián)系人聯(lián)系人投資建議：受下游平面顯示、半導體行業(yè)迅速發(fā)展和國內(nèi)政策支持雙重推動，我們認為靶材是目前國內(nèi)相比于其他電子化學品最先打入下游核心產(chǎn)業(yè)鏈的子行業(yè)。重點推薦半導體靶材龍頭公司江豐電子、有研新材，平面顯示靶材龍頭公司隆華節(jié)能、阿石創(chuàng)。風險提示

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內(nèi)容目錄投資邏 靶材行業(yè)簡 靶材的分類及應 靶材的制備方 靶材行業(yè)的生產(chǎn)的技術壁 濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈及市場容 靶材上游產(chǎn)業(yè)主要被國外壟 高純鋁是我國靶材上游材料的突破 半導體靶材：是國內(nèi)技術最為領先的半導體材 平面顯示靶材：柔性顯示的推廣將加速擴大靶材市場空間 太陽能靶材：主要應用于薄膜太陽能電池 國內(nèi)靶材發(fā)展現(xiàn)狀和未來發(fā)展空 受政策和需求雙重推動，國內(nèi)靶材行業(yè)發(fā)展空間巨 與下游企業(yè)的共同研發(fā)和認證過程是目前國內(nèi)靶材行業(yè)發(fā)展的最大挑 投資建 風險提 圖表目錄圖表1：濺射靶材工作原 圖表2：濺射靶材種 圖表3：下游產(chǎn)業(yè)結(jié)構變 圖表4：集成電路產(chǎn)業(yè)中高純金屬靶材及其應 圖表5：平面顯示行業(yè)鍍膜工 圖表7：濺射靶材生產(chǎn)工藝流 圖表8：靶材的晶粒晶向控 圖表9：濺射靶材產(chǎn)業(yè) 圖表10：高純金屬鋁進口為 圖表12：全球半導體用濺射靶材市場（億美元 圖表13：國內(nèi)半導體芯片用靶材市場（億元 圖表14：國內(nèi)在建的12吋晶圓制造 圖表15：國內(nèi)平板顯示產(chǎn)業(yè)市場（億元 圖表16：國內(nèi)觸控屏產(chǎn)品出貨量（億片 圖表17：全球平板顯示用靶材市場規(guī)模（億美元 圖表18：國內(nèi)平板顯示用濺射靶材市場爆發(fā)（億元 圖表19：國內(nèi)累計光伏裝機容量

-2圖表20：全球太陽能電池用濺射靶材市場（億美元 圖表21：國內(nèi)太陽能電池用濺射靶材市場（億元 圖表22：全球主要濺射靶材企 圖表23：國內(nèi)濺射靶材主要上市公 圖表24：近年來行業(yè)相關政

-3本篇報告是我們新材料系列報告的第三篇。前兩篇報告我們分別對平面顯示材料和半導體材料兩個大行業(yè)的整理狀況進行了回顧和展靶材行業(yè)是目前我國技術最領先的電子化學品子行業(yè)之一，國內(nèi)龍頭公司的生產(chǎn)技術已經(jīng)達到了世界先進水品，并且獲得了頂級下游公司的認證，產(chǎn)品成功進入生產(chǎn)線。隨著平面顯示和半導體產(chǎn)業(yè)鏈向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，產(chǎn)業(yè)必定由利潤率較低的封裝產(chǎn)業(yè)向利潤率較高的中游制造產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移；平面顯示和半導體對靶材需求量巨大，進口替代空間廣投資邏輯一、靶材行業(yè)將是平面顯示和半導體產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移過程中最先受益的上游材料子行業(yè)。國內(nèi)政策扶持明顯，平面顯示和集成電路產(chǎn)業(yè)迎來發(fā)展黃金期，產(chǎn)業(yè)鏈向國內(nèi)轉(zhuǎn)移是大勢所趨。近些年國家利好政策頻出，扶持力度大。在資本的帶動下，實現(xiàn)技術突破是國內(nèi)半導體發(fā)展的主要方向。國內(nèi)消費市場占比增加，強大市場需求推動產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移；晶圓制造產(chǎn)業(yè)帶動產(chǎn)業(yè)鏈由下游向中上游轉(zhuǎn)移；國內(nèi)經(jīng)濟形勢良好，政策資金助力產(chǎn)產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移帶動上游材料同步發(fā)展，制造環(huán)節(jié)材料進口替代空間大。隨著產(chǎn)業(yè)鏈向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，產(chǎn)業(yè)必定由利潤率較低的封裝產(chǎn)業(yè)向利潤率較高的中游制造產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移；無論是平面顯示還是半導體產(chǎn)業(yè)，對靶材需求量巨大，進口替代技術優(yōu)勢明顯，靶材將是國產(chǎn)電子化學品材料中最先受益的子行業(yè)。相比于其他電子化學品材料，國內(nèi)靶材龍頭企業(yè)率先實現(xiàn)了技術突破，獲得了臺積電、中芯國際、京東方等國內(nèi)外大企業(yè)的認證，在電子化學品材料的國產(chǎn)化進國內(nèi)目前龍頭企業(yè)的技術已經(jīng)達到了國際先進水平，與國際龍頭公司相比缺乏和下游公司共同研發(fā)的經(jīng)驗，認證難度也相對較大。隨著我國濺射靶材的市場規(guī)模將進一步擴大，在全球市場中有望獲得更多客戶的認可，市場份額進二、靶材行業(yè)發(fā)展迅速，進口替代空間大

-420161055160億美元，高純?yōu)R射靶材市場規(guī)模年復合增長率可達到13%。高純靶材市場中，半導體靶材占12%，平板34%，太陽能電池占18.5%，記錄媒體占30%，2017年～2020年間6226座設于中國，占全球42%201813121056.91254萬片/月。若上述在建產(chǎn)能投產(chǎn)，相當于國95%，國內(nèi)靶材市場需求也會相應大幅增國產(chǎn)半導體靶材的市場占比將會顯著提升。隨著國產(chǎn)濺射靶材的技術成熟，尤其是國產(chǎn)濺射靶材具備較高的性價比優(yōu)勢，并且符合濺射靶材國產(chǎn)化的政策導向，我國濺射靶材的市場規(guī)模將進一步擴大，在全球市場中有望獲得更多平面顯示濺射靶材市場隨著柔性顯示的推廣增速將進一步加快。膜材料是實現(xiàn)柔性的關鍵，而靶材是電子薄膜材料主OLED對薄膜的使用量會大幅增加，相應的靶材需求量就會大幅增加。我國平板顯示產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，全球平板顯示產(chǎn)業(yè)重心逐漸向中國大陸轉(zhuǎn)移，我國成為全球主要LCD面板生產(chǎn)大國，并相繼形成了以京東方、華星光電、深天馬等為代表的市場影響力較大的LCD面板本土品牌。2016年全球平面顯示濺射靶材市場達到38億美元80億元。太陽能光伏靶材市場隨著薄膜電池產(chǎn)量增加將持續(xù)擴大。太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展也給太陽能電池用濺射靶材市場帶來了巨大的成長空間，2015年全球太陽能電池用濺18.5201421.7%。目前國內(nèi)太陽能電池主要以硅片涂覆型太陽能電池為主，薄膜電池的產(chǎn)量較小，因此濺射靶材市場規(guī)模仍較小，20157.5億元。全球太陽能電池行業(yè)仍然處于產(chǎn)業(yè)上升階段，隨著國內(nèi)薄膜電池生產(chǎn)線的投產(chǎn)，我國太陽能電三、投資建議：江豐電子（300666）國內(nèi)高純?yōu)R射靶材行業(yè)龍頭，已進入中芯國際、臺積電、格羅方德、京東方和華星光電等半導體和

-5隆華節(jié)能（300263）子公司四豐電子在鉬靶材領域處于行業(yè)龍頭地位，下游客戶包括京東方、天馬公司、信利公司等，201710.5代面板產(chǎn)線的首批高純鉬靶訂單（京東方B9線ITO靶材也已4次現(xiàn)場審核。阿石創(chuàng)（300706）濺射靶材主要應用于平板顯示、光學元器LED、平板顯示和半導體分立器等，下游客戶包括藍思科技、有研新材（600206）的高端高純、超高純金屬靶材的研發(fā)水平和產(chǎn)業(yè)化能力均處于國內(nèi)領導地位，2016年有研億金鈷靶材獲得臺積電驗證通過，打破了臺積電二十年來半導體用鈷

-6濺射工藝屬于物理氣相沉積（PVD）技術的一種，是制備電子薄膜材料的主要技術之一。在電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過程中，金屬薄膜的制備十分重要。濺射工藝利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中加速聚集成高速離子流，轟擊固體表面，離子和固體表面的原子發(fā)生動能交換，使固體表面的原子離開靶材并沉積在基材表面，從而形成納米（或微米）薄膜。被轟擊的固體是濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。靶材質(zhì)量的好壞對薄膜的性能起著至關重要的決定分類標準產(chǎn)品類別按形狀分類長靶、方靶、圓靶、不規(guī)則靶按化學成分分類金屬靶材（純金屬鋁、鈦、銅、鉭等）、合金靶材（鎳鉻合金、鎳鈷合金等）、陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）按應用領域分類息存儲靶材、工具改性靶材、電子器件靶材、其他靶材靶材主要應用在半導體、平面顯示、太陽能電池等領域。其主要性能表現(xiàn)在純度、雜質(zhì)含量、密度、均勻性、尺寸等方面。因應用領域不同靶材對金屬材料的選擇和性能要求存在著一定的差異，通常來說半導體靶材純度最高，制

-7半導體靶材是晶圓制造重要的原材料，主要以銅靶、鋁靶、鈦靶和鉭靶等為主。半導體芯片行業(yè)歷經(jīng)半個世紀，目前仍遵循著“摩爾定律”向前發(fā)展。在晶圓制造方面，芯片尺寸不斷減?。?8納米以下不斷增大以進一步降低成本（目前12英寸是主流。在集成電路領域主要應用在晶圓制造和先進封裝過程中。為了滿足半導體芯片高精度、小尺寸的需求，99.9995%（5N5）99.9999%應用靶材材料主要用途晶圓制造Al、AlSi、AlCu、AlSiCuW、Ti、WtiCu、CuAl、CuMn等，Ta、Ru等W、WSi、Ti、Co、NiPtTi、Ta、TiAl鋁互聯(lián)銅互聯(lián)化物接觸金屬柵先進封裝AlCu、Ag、Au、Ti、Cu、MoNi、NiV、WtiAlCu、Ti、Cu、Ni、NiVCu、Ti、Ta、Wti等凸點下金屬層重布線層通孔平板顯示鍍膜用濺射靶材主要品種有：鋁、鋁合金、鉬、鉻、銅、銅合金、、鈦、鈮和氧化銦錫（ITO）等。平面顯示面板的生產(chǎn)工藝中，屏顯玻璃基ITOLCD面板、PDPOLEDITO玻璃進行加工處理、經(jīng)過鍍膜形成電極，再與防護屏等部件組裝加工而成。此外，為了實現(xiàn)平板顯示產(chǎn)品的抗反射、消影等功能，還可以在鍍膜環(huán)節(jié)中增加相應膜層的鍍膜。平面99.999%（5N）以上。

-8太陽能電池用濺射靶材主要品種有鋁、銅、鉬、鉻、氧化銦錫（ITO、氧化鋁鋅（AZO）等。太陽能電池主要包括晶體太陽能電池和薄膜太陽能電池。目前，PVD4N以上。其中，鋁靶、銅靶用于導電層薄膜，鉬靶、鉻靶用于阻擋層薄膜，ITO靶、AZO靶用于透明導電層薄膜。濺射靶材在制備技術上按生產(chǎn)工藝可分為熔融鑄造法和粉末冶金法兩大類。在靶材制備過程中，在嚴格控制純度、致密度、晶粒度、結(jié)晶取向的基礎上，

-9熔融鑄造法是制備磁控濺射靶材的基本方法之一，常用的熔煉方法有真空Al、Ti、Ni、Cu、Co、Ta、Ag、Pt等具有良好的塑性，直接在原有鑄錠基礎上進一步熔鑄后，進行鍛造、軋制和熱處理等熱機械化處理技術進行微觀組織控制和坯料成型。與粉末冶金法相比，熔融鑄造法生產(chǎn)的靶材產(chǎn)品雜質(zhì)含量低，致密度高，但材料內(nèi)部對于難熔金屬靶材、熔點和密度相差較大的多種金屬合金靶材、無機非金屬靶材、復合靶材的制備而言，熔融鑄造法無能為力，需要采用粉末冶金法。粉末冶金工藝首先進行粉體材料的預處理，包括采用粒度和形貌合適的高純金屬粉末進行均勻化混合、造粒等，再選擇合適的燒結(jié)工藝，包括冷等靜壓（CIP的低孔隙率，并控制晶粒度；制備過程嚴格控制雜質(zhì)元素的引入。粉末冶金工高純?yōu)R射靶材行業(yè)是典型的技術密集型行業(yè)，要求業(yè)內(nèi)廠商具有較強的技術研發(fā)實力和先進的生產(chǎn)工藝，具有完善的品質(zhì)控制能力。其主要技術門檻表純度和雜質(zhì)含量控制是靶材質(zhì)量最重要的指標。靶材的純度對濺射薄膜的性能有很大影響。若靶材中夾雜物的數(shù)量過高，在濺射過程中，易在晶圓上形靶材的成分與結(jié)構均勻性也是考察靶材質(zhì)量的關鍵。對于復相結(jié)構的合金晶粒晶向控制是產(chǎn)品研發(fā)主要攻克的方向。濺射鍍膜的過程中，致密度較

-10寸的靶材顆?；蛭⒘ｏw濺，或成膜之后膜材受二次電子轟擊造成微粒飛濺，這些微粒的出現(xiàn)會降低薄膜品質(zhì)。例如在極大規(guī)模集成電路制作工藝過程中，每150mm直徑片所能允許的微粒數(shù)必須小于30個。怎樣控制濺射靶材的晶粒，靶材濺射時，靶材中的原子最容易沿著密排面方向優(yōu)先濺射出來，材料的結(jié)晶方向?qū)R射速率和濺射膜層的厚度均勻性影響較大，最終影響下游產(chǎn)品的品質(zhì)和性能。需根據(jù)靶材的組織結(jié)構特點，采用不同的成型方法，進行反復的金屬精密加工和外形控制直接影響下游客戶的使用效果。用于靶材濺射的機臺十分精密，對濺射靶材的尺寸要求很高，這對靶材廠商的金屬加工精度和加工質(zhì)量提出了很高的要求，如表面平整度等。例如，靶材粗糙化處理可使靶材表面布滿豐富的凸起尖端，這些凸起尖端的電勢將大大提高，從而擊穿介質(zhì)隨著薄膜技術的發(fā)展、芯片性能的提升，對配套濺射靶材在純度、微觀結(jié)6080年代行業(yè)重心轉(zhuǎn)向日本，90年代又轉(zhuǎn)向韓國、臺灣。因而在靶材生產(chǎn)方面，日、美靶材企業(yè)得以與Intel、IBM等微電子巨頭一起調(diào)試工藝，推進薄膜制備技術發(fā)展，具有很大的技術和品牌優(yōu)勢。與之相比，雖然近年來半導體產(chǎn)業(yè)加速向我國轉(zhuǎn)移，國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)正在迎來黃金期，但總體而言我國半導體行業(yè)尤其是中上游的電子化學品、化學材料產(chǎn)業(yè)仍處于起步階段。而我國一些靶材生產(chǎn)商這也要求國內(nèi)靶材廠商對客戶實際需要進行深刻、透徹的研究，與使用方一起完善工藝。隨著國內(nèi)下游半導體、平面顯示產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，電子化學品需求量巨大，進口替代空間廣闊，國內(nèi)靶材企業(yè)有很大的發(fā)展空間。濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環(huán)

-11化學純度是影響薄膜材料性能的關鍵因素，高純金屬原材料是靶材生產(chǎn)制造的基礎。高純金屬提純分為化學提純和物理提純，在實際應用中，通常使用我國雖然擁有豐富的有色金屬礦產(chǎn)資源，但我國高純金屬制備技術與國外相比仍存在一定差距，高純金屬有較大比重需從國外進口。全球范圍內(nèi)，高純金屬產(chǎn)業(yè)集中度較高，美、日等國家的高純金屬生產(chǎn)商依托先進的提純技術在高純?yōu)R射靶材是伴隨著半導體工業(yè)的發(fā)展而興起的，集成電路產(chǎn)業(yè)是目前200820092011年起，全球半導體市場進入平穩(wěn)增長期。半導體材料的市場規(guī)模也隨著整個半導國內(nèi)高純金屬產(chǎn)業(yè)在靶材上游率先取得突破。200499%以上的高純鋁只能從美國和日本進口。近年來隨著技術的發(fā)展，我國也出現(xiàn)了一些高純鋁生產(chǎn)企業(yè)，有新疆眾和、包頭鋁業(yè)、霍煤鴻駿、山西關鋁、宜都東陽光鋁、中鋁貴州、神火鋁業(yè)等，與美、日企業(yè)的差距正在縮小。2016年我國國11.8萬噸，生產(chǎn)的高純鋁甚至部分返銷國外。在市場需求和政策鼓勵下，國內(nèi)半導體市場保持著平穩(wěn)較快發(fā)展，國內(nèi)半導體材料產(chǎn)業(yè)、靶材產(chǎn)業(yè)規(guī)模也日益擴大，其增速高于全球增速，在全球市場中所占份額逐漸提升。得益于中國大陸晶圓廠建設的迅猛勢頭，中國已經(jīng)成為201614

-1212億美元。我們預測5年，國內(nèi)高純?yōu)R射靶材市場13%25億元。國內(nèi)靶材市場將在2020年翻倍。根據(jù)國際半導體設備與材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)2017年～2020年間投產(chǎn)的62座半導體晶圓廠中，有26座設于中國，占全球總數(shù)的42%201813121056.912954萬片/95%，國產(chǎn)半導體靶材的市場占比將會顯著提升。隨著國產(chǎn)濺射靶材的技術成熟，尤其是國產(chǎn)濺射靶材具備較高的性價比優(yōu)勢，并且符合濺射靶材國產(chǎn)化的政策導向，我國濺射靶材的市場規(guī)模將進一步擴大，在全球市場中有望獲得更多客戶序號公司工廠代碼工藝產(chǎn)能（KW/M)德科碼FAB華力微FAB晉華集成FAB晶合集成FAB武漢新芯中芯國際FAB中芯國際FAB中芯國際FAB中芯國際FAB平面顯示靶材：平板顯示產(chǎn)業(yè)也是高純?yōu)R射靶材的主要應用領域之一。平板顯示器主要包括液晶顯示器（LCD）、等離子顯示器（PDP、有機發(fā)光二極管顯示器代平板顯示產(chǎn)業(yè)的基礎環(huán)節(jié)，幾乎所有類型的平板顯示器件都會使用大量的鍍PVD鍍膜材料主要為濺射靶材。柔性顯示材料進一步擴大靶材的需求空間。膜材料是實現(xiàn)柔性的關鍵，而OLED對薄膜的使用量會大幅增加，相應的靶材需求量就會大幅增加。2016年全球平面顯示濺射靶材市場達到38

-13802011年以來，隨著國內(nèi)外平板顯示廠商紛紛在中國大陸建立生產(chǎn)基地以及政府政策導向和產(chǎn)業(yè)扶植下，我國平板顯示產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，全球平板顯示產(chǎn)業(yè)LCD面板生產(chǎn)大國，并相繼形成LCD面板本土品牌。IHSMARKIT2018年中國將成為全球最大的平板顯示器件35%。觸控顯示產(chǎn)品是平板顯示行業(yè)應用領域的重要組成部分，觸摸屏提供了更為直觀、便捷的人機交互界面，被廣泛應用于智能手機、平板電腦等電子設備ITO、Mo、Al、Si等多種濺射靶材。目前，以智能手機和平板電腦為代表的智能終端產(chǎn)品基本邁入成熟期，但未來幾年智能終端市場仍將在替換性需求的拉動下保持增長的態(tài)勢。我國是全球智能手機最主要的生產(chǎn)國和消費國之一，隨著智能手機的普及以及受生產(chǎn)技術水平、市場消費習慣等多種因素影響，近年來我國智能手機產(chǎn)量增長較快。據(jù)工信部統(tǒng)計，20162113.6%，159.9%74.7%。智能終端平板顯示面板行業(yè)的快速增長為靶材廠商提供了廣闊的成長空間。平面顯示行業(yè)用靶材市場增幅明顯，呈現(xiàn)出爆發(fā)式增長?；诋a(chǎn)品價格、采購國產(chǎn)化等因素的考慮，LCD廠商對材料國產(chǎn)化存在迫切需求。我國面板廠商開始有選PVD鍍膜材料產(chǎn)品的快速發(fā)展提供了有利的市場條件。

-14太陽能電池主要包括晶體太陽能電池和薄膜太陽能電池，PVD工藝主要應用于薄膜太陽能電池中。晶體太陽能電池轉(zhuǎn)化效率較高、性能穩(wěn)定，且各個產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)比較成熟，占據(jù)了太陽能電池市場的主導地位。與晶體太陽能電池相比，薄膜太陽能電池材料用量大大減少，從而大幅降低了制造成本和產(chǎn)品21世紀以來，全球光伏產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展。近年來，隨著國家對環(huán)境保護、節(jié)能減排方面的重視，我國太陽能光伏產(chǎn)業(yè)在全球太陽能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的帶動下飛速發(fā)展。太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展也給太陽能電池用濺射靶材市場帶來了巨大的成長空間，2015年全球太陽能電池用濺射靶材市場規(guī)模達18.5億美元，比2014年增長21.7%。目前國內(nèi)太陽能電池主要以片涂覆型太陽能電池為主，薄膜電池的產(chǎn)量較小，因此濺射靶材市場規(guī)模仍較小，20157.5美國、日本企業(yè)仍然占有全球主要市場份額。濺射鍍膜技術起源于國外，所需要的濺射材料——靶材也起源發(fā)展于國外。高純?yōu)R射靶材伴隨著半導體工業(yè)的發(fā)展而興起，是典型的技術密集型產(chǎn)業(yè)，以美、日企業(yè)為代表的國外企業(yè)占強勢地位。日礦金屬、霍尼韋爾、東曹、普萊克斯、住友化學、愛發(fā)科等占80%的份額，技術領先國內(nèi)。

-15名稱地區(qū)公司介紹霍尼韋爾美國靶、銅靶等。日礦金屬日本東曹日本普萊克斯美國住友化學日本中國大陸設有9（）營。愛發(fā)科真空技術株式會日本電池等領域，此外愛發(fā)科還可以生產(chǎn)ITO靶材。國產(chǎn)靶材已經(jīng)成為半導體上游材料最先掌握國際先進技術的領域。國內(nèi)市場中，高純?yōu)R射靶材產(chǎn)業(yè)雖然起步較晚，具有規(guī)?；a(chǎn)能力和較強研發(fā)能力的廠商數(shù)量仍然偏少，但是不過近年來隨著國家政策和資金的支持，已有個別龍頭企業(yè)在某些領域突破專業(yè)技術門檻，并依托有利的產(chǎn)業(yè)政策導向和產(chǎn)品價格優(yōu)勢逐漸在國內(nèi)靶材市場上占據(jù)一定份額，與國外企業(yè)的差距正在縮小，主企業(yè)名稱簡介有研新材主要研發(fā)、生產(chǎn)和銷售微電子光電子用薄膜新材料和生物醫(yī)用新材料，產(chǎn)品包括靶材、蒸鍍材料、口腔正畸器材和醫(yī)療用介鉭靶等。江豐電子PVD射靶材和蒸鍍材料兩個系列產(chǎn)品，產(chǎn)品已在平板顯示、光學元阿石創(chuàng)PVD射靶材和蒸鍍材料兩個系列產(chǎn)品，產(chǎn)品已在平板顯示、光學元隆華節(jié)能收購四豐電子,四豐電子是一家專業(yè)從事TFT-LCD/AMOLEDIC來源：wind

-16濺射靶材以及集成電路、平面顯示等下游行業(yè)屬于國家重點鼓勵發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。近年來，為推動濺射靶材等中上游產(chǎn)業(yè)發(fā)展，增強我國產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和國際競爭力，國家先后出臺了多項專項政策和鼓勵措施。國家產(chǎn)業(yè)政策、研發(fā)專項基金的陸續(xù)發(fā)布和落實，為濺射靶材及其下游行業(yè)的快速發(fā)展營頒布時間頒布單位政策名稱2014-發(fā)改委、工信部2014-發(fā)改委、工信部《2014-2016動計劃》2014-工信部2015-國務院20252016-工信部《有色金屬工業(yè)發(fā)展規(guī)劃2020）2016-工信部《產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新能力發(fā)展規(guī)劃2020）2016-財政部、科技部2016-國務院劃》2017-工信部(2017半導體制造業(yè)需求的急速擴增為未來行業(yè)發(fā)展提供了廣闊的空間。濺射靶材是電子及信息產(chǎn)業(yè)、液晶顯示器、光學等行業(yè)必不可少的原材料，隨著半導體、平板顯示、太陽能電池等下游產(chǎn)業(yè)的持續(xù)擴張，新型終端應用領域的不斷半導體產(chǎn)業(yè)鏈整體向國內(nèi)轉(zhuǎn)移為上下游協(xié)同發(fā)展奠定了基礎?；谖覈椒€(wěn)較快的經(jīng)濟發(fā)展形勢和國內(nèi)半導體，平板顯示等終端消費市場的持續(xù)增長，我國逐漸受到跨國企業(yè)的親睞，眾多世界知名企業(yè)紛紛加大對中國的投資力度，不斷將生產(chǎn)制造體系向中國轉(zhuǎn)移，產(chǎn)業(yè)鏈向國內(nèi)轉(zhuǎn)移已是大勢所趨。目前，靶材盡管我國龍頭企業(yè)的生產(chǎn)技術已經(jīng)達到了國際先進水平，如何根據(jù)下游企業(yè)的需求進行產(chǎn)品的配套研發(fā)是未來發(fā)展的關鍵。在濺射靶材產(chǎn)業(yè)中，美、日等發(fā)達國家經(jīng)過幾十年的發(fā)展技術已十分成熟，且在掌握核心技術以后，執(zhí)行非常嚴格的保密和專利授權措施，對新進入行業(yè)的企業(yè)設定了較高的技術門檻。國內(nèi)濺射靶材產(chǎn)業(yè)起步較晚，行業(yè)內(nèi)高端技術人才也較為稀缺，如何做到上下游一體化，上游配合下游生產(chǎn)，下游支持上游研發(fā)，將成為未來國產(chǎn)靶材發(fā)展的關鍵認證周期長是靶材企業(yè)面臨的最嚴峻挑戰(zhàn)。提高高純