TFT-LCD制造業(yè)Particle預(yù)防教育

1TFT-LCD制造業(yè)Particle預(yù)防教育2作業(yè)環(huán)境TFT-LCD制造的兩大敵人塵埃靜電

危害：①

TFT工程薄膜晶體管特性不良②CELL工程顯示異物③模塊工程接觸不良造成線缺陷危害：①

TFT工程薄膜晶體管特性不良②各工程共通TFT層間短路③各工程共通配線斷線（層間短路發(fā)熱使之熔斷）④破壞模塊驅(qū)動IC⑤導(dǎo)致塵埃付著⑥成為可燃性溶劑的著火源3目錄1.塵埃的來源塵埃的危害塵埃的預(yù)防4塵埃的來源人員物品裝置5塵埃的來源來源對策人體毛發(fā)及上面附著的污垢頭屑、皮膚、唾液化妝品衣服（牛仔服、毛衣類）活動發(fā)塵（如拍擊、跑動等）穿著凈化服、長襪套、凈化鞋、戴口罩和專用手套。不穿著牛仔服、毛衣進(jìn)入潔凈室。不化濃妝不做易發(fā)塵的動作物品各種藥品中包含的微粒純水中的微粒和細(xì)菌氣體中的微粒和不純物來自配管、氣瓶的微粒和不純物制品發(fā)塵（碎裂、缺口、和工具磨擦）

擦拭布、紙張、筆、打印機(jī)等物品過濾使用高純水精制裝置施工時的指導(dǎo)材料、構(gòu)造上的改良小心拿放，萬一發(fā)生碎裂，要認(rèn)真清掃。使用潔凈用品制造裝置裝置驅(qū)動部（機(jī)械磨損發(fā)塵）與產(chǎn)品接觸部分（吸著臂等）反應(yīng)生成物裝置內(nèi)存在的微粒泵中的油飛散成膜工程中不要的膜剝離時產(chǎn)生塵埃濕刻工程中刻蝕液干燥時發(fā)塵光刻膠涂布裝置和基板表面付著的光刻膠剝離時發(fā)塵防塵罩洗凈定期交換部件材料變更清掃1236塵埃的來源微粒子數(shù)（0.5um以上)（個/100ml）純水手伸入純水中手上產(chǎn)生的灰塵7塵埃的來源從發(fā)塵源的分類上講，來自于人體的塵埃最多，其次是來自于裝置和材料。8塵埃的來源各類塵埃的大小100um30um10um3um1um0.3um0.1um肉眼可見毛發(fā)胎毛化妝品紅血球香煙的煙霧最小的微生物9塵埃的危害塵埃

危害：①TFT工程薄膜晶體管特性不良②CELL工程顯示異物③

模塊工程接觸不良造成線缺陷TFT上附著的油類異物偏光板上附著的纖維TCP異物10塵埃的危害在TFT-LCD制造過程中造成不良各類塵埃的大小G線、D線、保護(hù)回路的線寬為1~10um，在Array工程塵埃的管理規(guī)格為線寬的十分之一(0.1~1um)，相當(dāng)于頭發(fā)粗細(xì)的千分之一。造成Cell工程盒厚不良的塵埃大小在5um左右造成Module工程壓接不良的塵埃大小在100um左右11塵埃的預(yù)防凈化三原則做到：不帶入灰塵

不產(chǎn)生灰塵不殘留灰塵12塵埃的預(yù)防人員發(fā)塵對策物品發(fā)塵對策裝置發(fā)塵對策潔凈室簡介13進(jìn)入潔凈室的人員的注意事項①更衣區(qū)勤洗手不將潔凈服放在地上按規(guī)定穿戴潔凈服毛發(fā)不露在潔凈服外按規(guī)定穿戴手套潔凈鞋要穿好按規(guī)定的時間將潔凈服送去洗滌頭發(fā)不露在潔凈服外面口罩和帽子的下擺要套在潔凈服內(nèi)手套的手腕部分套在潔凈服內(nèi)，不能露出手腕進(jìn)入Array、Cell潔凈室的人員，在穿著與潔凈鞋分離的襪套時，襪套要套在潔凈服褲管里面人員發(fā)塵對策14人員發(fā)塵對策進(jìn)入潔凈室的人員的注意事項不要在潔凈服、潔凈鞋和手套上胡寫亂畫，因為墨水可能通過潔凈服和手套而污染產(chǎn)品，造成產(chǎn)品不良。在工作時要注意保護(hù)好潔凈服和潔凈鞋,使其不受損壞和污染，目前我公司損壞的潔凈服已多達(dá)上百套。潔凈室內(nèi)常用的溶著手套價格非常昂貴，要循環(huán)使用多次后才廢棄，沾有大量墨跡的手套要被廢棄，請愛護(hù)每一雙手套?！痢?5進(jìn)入潔凈室的人員的注意事項②在風(fēng)淋室內(nèi)按規(guī)定時間進(jìn)行風(fēng)淋從潔凈度低的區(qū)域進(jìn)入高潔凈度區(qū)域時，必須風(fēng)淋雙臂抬起，慢慢的轉(zhuǎn)身2-3周，同時輕拍潔凈服不要倚靠在風(fēng)淋的吹風(fēng)口上頭頂也要進(jìn)行風(fēng)淋兩側(cè)的門不要同時打開非緊急情況下，不得以各種方法取消風(fēng)淋人員發(fā)塵對策16進(jìn)入潔凈室的人員的注意事項③在潔凈室內(nèi)入室前要充分踩好潔凈墊不要跑，不要做劇烈動作，不要做曲展動作不要坐在甚至躺在地板上、倚靠在設(shè)備或墻壁上防止靜電產(chǎn)生吸附灰塵不要將口罩拉到鼻子下方不要拉開潔凈服的拉鏈不要在風(fēng)口上及產(chǎn)品上面作業(yè)除緊急時不要大聲談笑小心拿放產(chǎn)品或基板，萬一發(fā)生碎裂，要認(rèn)真清掃。除許可以外的東西不可帶入潔凈室不要打開設(shè)備的蓋子不要坐在地板上、倚靠在設(shè)備或墻壁上不要奔跑，不要做劇烈動作人員發(fā)塵對策17穿著潔凈服時，各種動作的發(fā)塵量比較穿著潔凈服，拍擊運動產(chǎn)生的塵埃是靜止?fàn)顟B(tài)的75倍，所以在生產(chǎn)現(xiàn)場不要做會發(fā)塵的動作。在生產(chǎn)現(xiàn)場，不要在風(fēng)口或產(chǎn)品上做會發(fā)塵的動作。人員發(fā)塵對策18潔凈抹布的正確使用方法

一定要專物專用，不能混用！日本帝人Mayclean適用范圍：產(chǎn)品表面及Array日常清掃尺寸：10×10，17×18，19×20ポリニットワイプLTK2010適用范圍：偏光板修復(fù)尺寸：23×23，

ANTICON-GoldHeavyWeight適用范圍：Array（PR除外）、Cell、Module（不包括本壓接）的日常清掃和設(shè)備清掃。尺寸：23×23物品發(fā)塵對策KuraflexFF-390C

適用范圍：Module工程本壓接的壓頭清潔尺寸：25×25材質(zhì)：無紡布19Rein-Tech

適用范圍：清潔公司清潔潔凈室

尺寸：40×40潔凈抹布的價格很高，而且一般不能重復(fù)使用。因此在使用時，請采取適當(dāng)?shù)姆椒?，在保證清潔效果的前提下，請節(jié)約使用！潔凈抹布的正確使用方法

一定要專物專用，不能混用！物品發(fā)塵對策20注意事項潔凈抹布的邊緣在出廠前是經(jīng)過特殊處理的，以防止邊緣產(chǎn)生灰塵。嚴(yán)禁拉伸潔凈抹布，或像擰毛巾一樣擰潔凈抹布,這樣會使處理過的邊緣損壞。2.

嚴(yán)禁將潔凈抹布剪斷，在使用時可根據(jù)不同的需要領(lǐng)用不同尺寸的抹布。3.

在潔凈室內(nèi)不要揉搓潔凈抹布，這樣會產(chǎn)生灰塵。物品發(fā)塵對策21潔凈抹布的包裝袋被用力扯開×被用力扯斷的膠帶4.

在潔凈室內(nèi)打開物品的塑料包裝袋或截斷膠帶時，應(yīng)使用剪刀。嚴(yán)禁用力將其扯斷，因為此時在斷裂的地方會灰塵，并且可能由于靜電而吸附在設(shè)備上或制品上。×物品發(fā)塵對策22物品發(fā)塵對策禁止使用可以使用圖片說明有筆帽的圓珠筆水筆、鋼筆鉛筆、橡皮潔凈室專用圓珠筆潔凈室內(nèi)禁止使用的物品和可以使用的物品舉例√×23物品發(fā)塵對策禁止使用可以使用圖片說明普通膠帶在剝離后會在現(xiàn)場留下粘性殘留物，容易吸附灰塵，且紙制的內(nèi)芯會產(chǎn)生塵埃。標(biāo)識膠帶—3M471（塑料內(nèi)芯）雙面膠帶—3M75（塑料內(nèi)芯）潔凈室內(nèi)禁止使用的物品和可以使用的物品舉例√×√24物品發(fā)塵對策禁止使用可以使用圖片說明普通的打印紙、筆記本、面巾紙、手紙無塵紙、無塵紙筆記本潔凈室內(nèi)禁止使用的物品和可以使用的物品舉例√×25物品發(fā)塵對策禁止使用可以使用圖片說明激光打印機(jī)硒鼓中有墨粉，容易產(chǎn)生灰塵噴墨打印機(jī)潔凈室內(nèi)禁止使用的物品和可以使用的物品舉例√×26物品發(fā)塵對策無塵紙的正確使用方法無塵紙是用特殊工藝制成的，不易產(chǎn)生灰塵。但是，如果將其撕裂、用刀裁開或揉搓都會產(chǎn)生許多灰塵，只可以用剪刀剪切無塵紙。用剪刀剪切后的無塵紙斷面用裁紙刀裁開后的無塵紙斷面撕裂后的無塵紙斷面不同切斷方法下無塵紙的斷面照片（黑色部分為無塵紙）27潔凈室的基本構(gòu)造垂直層流式潔凈室（Array和Cell）在天花板上裝有許多高效過濾器，從上面吹下清潔的空氣，室內(nèi)帶有塵埃、粒子的空氣從地板上抽走，除塵后再次循環(huán)利用。28潔凈室的基本構(gòu)造亂流式潔凈室（Module）在天花板上裝有很少數(shù)量的高效過濾器，從上面吹下清潔的空氣，再從地板和側(cè)壁排出空氣，除塵后再次循環(huán)利用。29