TFT-LCD制造業(yè)Particle預(yù)防教育

1TFT-LCD制造業(yè)Particle預(yù)防教育2作業(yè)環(huán)境TFT-LCD制造的兩大敵人塵埃靜電

危害：①

TFT工程薄膜晶體管特性不良②CELL工程顯示異物③模塊工程接觸不良造成線缺陷危害：①

TFT工程薄膜晶體管特性不良②各工程共通TFT層間短路③各工程共通配線斷線（層間短路發(fā)熱使之熔斷）④破壞模塊驅(qū)動(dòng)IC⑤導(dǎo)致塵埃付著⑥成為可燃性溶劑的著火源3目錄1.塵埃的來(lái)源塵埃的危害塵埃的預(yù)防4塵埃的來(lái)源人員物品裝置5塵埃的來(lái)源來(lái)源對(duì)策人體毛發(fā)及上面附著的污垢頭屑、皮膚、唾液化妝品衣服（牛仔服、毛衣類）活動(dòng)發(fā)塵（如拍擊、跑動(dòng)等）穿著凈化服、長(zhǎng)襪套、凈化鞋、戴口罩和專用手套。不穿著牛仔服、毛衣進(jìn)入潔凈室。不化濃妝不做易發(fā)塵的動(dòng)作物品各種藥品中包含的微粒純水中的微粒和細(xì)菌氣體中的微粒和不純物來(lái)自配管、氣瓶的微粒和不純物制品發(fā)塵（碎裂、缺口、和工具磨擦）

擦拭布、紙張、筆、打印機(jī)等物品過(guò)濾使用高純水精制裝置施工時(shí)的指導(dǎo)材料、構(gòu)造上的改良小心拿放，萬(wàn)一發(fā)生碎裂，要認(rèn)真清掃。使用潔凈用品制造裝置裝置驅(qū)動(dòng)部（機(jī)械磨損發(fā)塵）與產(chǎn)品接觸部分（吸著臂等）反應(yīng)生成物裝置內(nèi)存在的微粒泵中的油飛散成膜工程中不要的膜剝離時(shí)產(chǎn)生塵埃濕刻工程中刻蝕液干燥時(shí)發(fā)塵光刻膠涂布裝置和基板表面付著的光刻膠剝離時(shí)發(fā)塵防塵罩洗凈定期交換部件材料變更清掃1236塵埃的來(lái)源微粒子數(shù)（0.5um以上)（個(gè)/100ml）純水手伸入純水中手上產(chǎn)生的灰塵7塵埃的來(lái)源從發(fā)塵源的分類上講，來(lái)自于人體的塵埃最多，其次是來(lái)自于裝置和材料。8塵埃的來(lái)源各類塵埃的大小100um30um10um3um1um0.3um0.1um肉眼可見(jiàn)毛發(fā)胎毛化妝品紅血球香煙的煙霧最小的微生物9塵埃的危害塵埃

危害：①TFT工程薄膜晶體管特性不良②CELL工程顯示異物③

模塊工程接觸不良造成線缺陷TFT上附著的油類異物偏光板上附著的纖維TCP異物10塵埃的危害在TFT-LCD制造過(guò)程中造成不良各類塵埃的大小G線、D線、保護(hù)回路的線寬為1~10um，在Array工程塵埃的管理規(guī)格為線寬的十分之一(0.1~1um)，相當(dāng)于頭發(fā)粗細(xì)的千分之一。造成Cell工程盒厚不良的塵埃大小在5um左右造成Module工程壓接不良的塵埃大小在100um左右11塵埃的預(yù)防凈化三原則做到：不帶入灰塵

不產(chǎn)生灰塵不殘留灰塵12塵埃的預(yù)防人員發(fā)塵對(duì)策物品發(fā)塵對(duì)策裝置發(fā)塵對(duì)策潔凈室簡(jiǎn)介13進(jìn)入潔凈室的人員的注意事項(xiàng)①更衣區(qū)勤洗手不將潔凈服放在地上按規(guī)定穿戴潔凈服毛發(fā)不露在潔凈服外按規(guī)定穿戴手套潔凈鞋要穿好按規(guī)定的時(shí)間將潔凈服送去洗滌頭發(fā)不露在潔凈服外面口罩和帽子的下擺要套在潔凈服內(nèi)手套的手腕部分套在潔凈服內(nèi)，不能露出手腕進(jìn)入Array、Cell潔凈室的人員，在穿著與潔凈鞋分離的襪套時(shí)，襪套要套在潔凈服褲管里面人員發(fā)塵對(duì)策14人員發(fā)塵對(duì)策進(jìn)入潔凈室的人員的注意事項(xiàng)不要在潔凈服、潔凈鞋和手套上胡寫(xiě)亂畫(huà)，因?yàn)槟赡芡ㄟ^(guò)潔凈服和手套而污染產(chǎn)品，造成產(chǎn)品不良。在工作時(shí)要注意保護(hù)好潔凈服和潔凈鞋,使其不受損壞和污染，目前我公司損壞的潔凈服已多達(dá)上百套。潔凈室內(nèi)常用的溶著手套價(jià)格非常昂貴，要循環(huán)使用多次后才廢棄，沾有大量墨跡的手套要被廢棄，請(qǐng)愛(ài)護(hù)每一雙手套?！痢?5進(jìn)入潔凈室的人員的注意事項(xiàng)②在風(fēng)淋室內(nèi)按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行風(fēng)淋從潔凈度低的區(qū)域進(jìn)入高潔凈度區(qū)域時(shí)，必須風(fēng)淋雙臂抬起，慢慢的轉(zhuǎn)身2-3周，同時(shí)輕拍潔凈服不要倚靠在風(fēng)淋的吹風(fēng)口上頭頂也要進(jìn)行風(fēng)淋兩側(cè)的門(mén)不要同時(shí)打開(kāi)非緊急情況下，不得以各種方法取消風(fēng)淋人員發(fā)塵對(duì)策16進(jìn)入潔凈室的人員的注意事項(xiàng)③在潔凈室內(nèi)入室前要充分踩好潔凈墊不要跑，不要做劇烈動(dòng)作，不要做曲展動(dòng)作不要坐在甚至躺在地板上、倚靠在設(shè)備或墻壁上防止靜電產(chǎn)生吸附灰塵不要將口罩拉到鼻子下方不要拉開(kāi)潔凈服的拉鏈不要在風(fēng)口上及產(chǎn)品上面作業(yè)除緊急時(shí)不要大聲談笑小心拿放產(chǎn)品或基板，萬(wàn)一發(fā)生碎裂，要認(rèn)真清掃。除許可以外的東西不可帶入潔凈室不要打開(kāi)設(shè)備的蓋子不要坐在地板上、倚靠在設(shè)備或墻壁上不要奔跑，不要做劇烈動(dòng)作人員發(fā)塵對(duì)策17穿著潔凈服時(shí)，各種動(dòng)作的發(fā)塵量比較穿著潔凈服，拍擊運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的塵埃是靜止?fàn)顟B(tài)的75倍，所以在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)不要做會(huì)發(fā)塵的動(dòng)作。在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，不要在風(fēng)口或產(chǎn)品上做會(huì)發(fā)塵的動(dòng)作。人員發(fā)塵對(duì)策18潔凈抹布的正確使用方法

一定要專物專用，不能混用！日本帝人Mayclean適用范圍：產(chǎn)品表面及Array日常清掃尺寸：10×10，17×18，19×20ポリニットワイプLTK2010適用范圍：偏光板修復(fù)尺寸：23×23，

ANTICON-GoldHeavyWeight適用范圍：Array（PR除外）、Cell、Module（不包括本壓接）的日常清掃和設(shè)備清掃。尺寸：23×23物品發(fā)塵對(duì)策KuraflexFF-390C

適用范圍：Module工程本壓接的壓頭清潔尺寸：25×25材質(zhì)：無(wú)紡布19Rein-Tech

適用范圍：清潔公司清潔潔凈室

尺寸：40×40潔凈抹布的價(jià)格很高，而且一般不能重復(fù)使用。因此在使用時(shí)，請(qǐng)采取適當(dāng)?shù)姆椒ǎ诒ＷC清潔效果的前提下，請(qǐng)節(jié)約使用！潔凈抹布的正確使用方法

一定要專物專用，不能混用！物品發(fā)塵對(duì)策20注意事項(xiàng)潔凈抹布的邊緣在出廠前是經(jīng)過(guò)特殊處理的，以防止邊緣產(chǎn)生灰塵。嚴(yán)禁拉伸潔凈抹布，或像擰毛巾一樣擰潔凈抹布,這樣會(huì)使處理過(guò)的邊緣損壞。2.

嚴(yán)禁將潔凈抹布剪斷，在使用時(shí)可根據(jù)不同的需要領(lǐng)用不同尺寸的抹布。3.

在潔凈室內(nèi)不要揉搓潔凈抹布，這樣會(huì)產(chǎn)生灰塵。物品發(fā)塵對(duì)策21潔凈抹布的包裝袋被用力扯開(kāi)×被用力扯斷的膠帶4.

在潔凈室內(nèi)打開(kāi)物品的塑料包裝袋或截?cái)嗄z帶時(shí)，應(yīng)使用剪刀。嚴(yán)禁用力將其扯斷，因?yàn)榇藭r(shí)在斷裂的地方會(huì)灰塵，并且可能由于靜電而吸附在設(shè)備上或制品上?！廖锲钒l(fā)塵對(duì)策22物品發(fā)塵對(duì)策禁止使用可以使用圖片說(shuō)明有筆帽的圓珠筆水筆、鋼筆鉛筆、橡皮潔凈室專用圓珠筆潔凈室內(nèi)禁止使用的物品和可以使用的物品舉例√×23物品發(fā)塵對(duì)策禁止使用可以使用圖片說(shuō)明普通膠帶在剝離后會(huì)在現(xiàn)場(chǎng)留下粘性殘留物，容易吸附灰塵，且紙制的內(nèi)芯會(huì)產(chǎn)生塵埃。標(biāo)識(shí)膠帶—3M471（塑料內(nèi)芯）雙面膠帶—3M75（塑料內(nèi)芯）潔凈室內(nèi)禁止使用的物品和可以使用的物品舉例√×√24物品發(fā)塵對(duì)策禁止使用可以使用圖片說(shuō)明普通的打印紙、筆記本、面巾紙、手紙無(wú)塵紙、無(wú)塵紙筆記本潔凈室內(nèi)禁止使用的物品和可以使用的物品舉例√×25物品發(fā)塵對(duì)策禁止使用可以使用圖片說(shuō)明激光打印機(jī)硒鼓中有墨粉，容易產(chǎn)生灰塵噴墨打印機(jī)潔凈室內(nèi)禁止使用的物品和可以使用的物品舉例√×26物品發(fā)塵對(duì)策無(wú)塵紙的正確使用方法無(wú)塵紙是用特殊工藝制成的，不易產(chǎn)生灰塵。但是，如果將其撕裂、用刀裁開(kāi)或揉搓都會(huì)產(chǎn)生許多灰塵，只可以用剪刀剪切無(wú)塵紙。用剪刀剪切后的無(wú)塵紙斷面用裁紙刀裁開(kāi)后的無(wú)塵紙斷面撕裂后的無(wú)塵紙斷面不同切斷方法下無(wú)塵紙的斷面照片（黑色部分為無(wú)塵紙）27潔凈室的基本構(gòu)造垂直層流式潔凈室（Array和Cell）在天花板上裝有許多高效過(guò)濾器，從上面吹下清潔的空氣，室內(nèi)帶有塵埃、粒子的空氣從地板上抽走，除塵后再次循環(huán)利用。28潔凈室的基本構(gòu)造亂流式潔凈室（Module）在天花板上裝有很少數(shù)量的高效過(guò)濾器，從上面吹下清潔的空氣，再?gòu)牡匕搴蛡?cè)壁排出空氣，除塵后再次循環(huán)利用。29