JJF 2160-2024 激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范JJF2160—2024激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforLaserConfocalMicroscopes2024-10-19發(fā)布2025-04-19實施國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布JJF2160—2024激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforLaserConfocalMicroscopes→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→歸口單位:全國幾何量長度計量技術(shù)委員會主要起草單位:中國計量科學(xué)研究院哈爾濱工業(yè)大學(xué)參加起草單位:南京市計量監(jiān)督檢測院本規(guī)范委托全國幾何量長度計量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋JJF2160—2024本規(guī)范主要起草人:施玉書(中國計量科學(xué)研究院)劉儉(哈爾濱工業(yè)大學(xué))張樹(中國計量科學(xué)研究院)參加起草人:王珉(南京市計量監(jiān)督檢測院)劉辰光(哈爾濱工業(yè)大學(xué))皮磊(中國計量科學(xué)研究院)郭鑫(南京市計量監(jiān)督檢測院)JJF2160—2024Ⅰ引言 1范圍 (1)2引用文件 (1)3概述 (1)4計量特性 (2)4.1水平方向長度測量誤差 (2)4.2垂直方向長度測量誤差 (2)4.3水平方向長度測量重復(fù)性 (2)4.4垂直方向長度測量重復(fù)性 (2)4.5水平方向正交誤差 (2)4.6畸變 (2)4.7最大可測傾角 (2)4.8水平方向拼接誤差 (2)4.9垂直方向拼接誤差 (2)4.10載物臺定位誤差 (2)5校準(zhǔn)條件 (3)5.1環(huán)境條件 (3)5.2校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器 (3)6校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法 (4)6.1水平方向長度測量誤差 (4)6.2垂直方向長度測量誤差 (6)6.3水平方向長度測量重復(fù)性 (8)6.4垂直方向長度測量重復(fù)性 (8)6.5水平方向正交誤差 (8)6.6畸變 (9)6.7最大可測傾角 (10)6.8水平方向拼接誤差 (11)6.9垂直方向拼接誤差 (11)6.10載物臺定位誤差 (12)7校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá) (12)8復(fù)校時間間隔 (12)附錄A激光共聚焦顯微鏡長度測量誤差的不確定度評定 (13)附錄B激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)證書(內(nèi)頁)格式 (15)JJF2160—2024ⅡJJF1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》、JJF1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1094—2002《測量儀器特性評定》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本規(guī)范為首次發(fā)布。JJF2160—20241激光共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范1范圍本規(guī)范適用于激光共聚焦顯微鏡的校準(zhǔn),其他基于共聚焦原理的顯微鏡校準(zhǔn)也可參照本規(guī)范。2引用文件本規(guī)范引用了下列文件:GB/T19067.1—2003產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法測量標(biāo)準(zhǔn)第1部分:實物測量標(biāo)準(zhǔn)GB/T34879—2017產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)光學(xué)共焦顯微鏡計量特性及測量不確定度評定導(dǎo)則ISO25178-607:2019產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu):區(qū)域法第607部分:非接觸(共焦顯微鏡)儀器的標(biāo)稱特性[Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part607:Nominalcharacteristicsofnon-contact(confocalmicroscopy)instruments]凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本規(guī)范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用本規(guī)范。3概述激光共聚焦顯微鏡(以下簡稱共聚焦顯微鏡)是一種利用共軛點照明、點探測原理,通過激光逐點照明掃描和空間針孔調(diào)制技術(shù)獲取光學(xué)層析圖像,從而得到被測物體二維圖像或三維表面形貌參數(shù)的儀器。共聚焦顯微鏡具有多種照明約束和探測形式,被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、微納米加工、半導(dǎo)體器件和生命科學(xué)等領(lǐng)域。共聚焦顯微鏡的結(jié)構(gòu)示意圖見圖1。JJF2160—20242圖1共聚焦顯微鏡結(jié)構(gòu)示意圖1—激光光源;2—準(zhǔn)直鏡;3、5—分光鏡;4—光束掃描系統(tǒng);6—物鏡;7—載物臺;8—計算機;9—寬場顯微模塊;10—反射鏡;11—聚焦透鏡;12—針孔;13—光電探測器4計量特性共聚焦顯微鏡計量特性見表1,性能指標(biāo)供校準(zhǔn)時參考。4.1水平方向長度測量誤差4.2垂直方向長度測量誤差4.3水平方向長度測量重復(fù)性4.4垂直方向長度測量重復(fù)性4.5水平方向正交誤差4.6畸變4.7最大可測傾角4.8水平方向拼接誤差4.9垂直方向拼接誤差4.10載物臺定位誤差JJF2160—20243表1共聚焦顯微鏡計量特性序號計量特性性能指標(biāo)1水平方向長度測量誤差不超過±5%2垂直方向長度測量誤差不超過±5%3水平方向長度測量重復(fù)性不超過2%4垂直方向長度測量重復(fù)性不超過2%5水平方向正交誤差不超過1°6畸變不超過±10%7最大可測傾角20°~80°8水平方向拼接誤差不超過10%9垂直方向拼接誤差不超過10%10載物臺定位誤差不超過0.05mm5校準(zhǔn)條件5.1環(huán)境條件5.1.1溫度:(20±5)℃,溫度變化量:0.5℃/h。5.1.2相對濕度:不超過75%。5.1.3校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器與被校儀器等溫時間不少于0.5h。5.1.4實驗室內(nèi)應(yīng)無影響校準(zhǔn)結(jié)果的振動、電磁輻射等因素。5.2校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器見表2。表2共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器序號校準(zhǔn)項目物鏡倍率標(biāo)準(zhǔn)器技術(shù)要求1水平方向長度測量誤差<50一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格柵格平均間距(5~20)μmUrel≤0.5%,k=2≥50柵格平均間距(500~5000)nmUrel≤1%,k=22垂直方向長度測量誤差<50標(biāo)準(zhǔn)臺階/凹槽標(biāo)準(zhǔn)臺階高度/溝槽深度(200~10000)nmUrel≤1%,k=2≥503水平方向長度測量重復(fù)性<50一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格柵格平均間距(5~20)μmUrel≤0.5%,k=2≥50柵格平均間距(500~5000)nmUrel≤1%,k=2JJF2160—20244表2(續(xù))序號校準(zhǔn)項目物鏡倍率標(biāo)準(zhǔn)器技術(shù)要求4垂直方向長度測量重復(fù)性<50標(biāo)準(zhǔn)臺階/凹槽標(biāo)準(zhǔn)臺階高度/溝槽深度(200~10000)nmUrel≤1%,k=2≥505水平方向正交誤差<50二維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格柵格平均間距20μmUrel≤0.5%,k=2≥50柵格平均間距10μmUrel≤0.5%,k=26畸變<50二維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格柵格平均間距20μmUrel≤0.5%,k=2≥50柵格平均間距10μmUrel≤0.5%,k=27最大可測傾角<50標(biāo)準(zhǔn)球標(biāo)準(zhǔn)球直徑(0.3~5)mm形狀誤差≤0.3μm≥508水平方向拼接誤差<50標(biāo)準(zhǔn)臺階/凹槽標(biāo)準(zhǔn)臺階高度/溝槽深度(200~10000)nmUrel≤1%,k=2≥509垂直方向拼接誤差<50標(biāo)準(zhǔn)臺階/凹槽標(biāo)準(zhǔn)臺階高度/溝槽深度(200~10000)nmUrel≤1%,k=2≥5010載物臺定位誤差任意放大倍率激光干涉儀線性測量精度±5.0×10-7注:校準(zhǔn)項目所采用的一維、二維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格包含10個以上周期,標(biāo)準(zhǔn)器應(yīng)根據(jù)被校儀器的物鏡放大倍率、視場范圍等因素選取。6校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法6.1水平方向長度測量誤差使用一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格校準(zhǔn)水平方向長度測量誤差。將一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格置于樣品載物臺,在明場條件下將一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格的線條邊緣垂直于X軸放置,在標(biāo)準(zhǔn)器的有效特征區(qū)域內(nèi),去除圖像各邊緣尺寸10%(如圖2所示)后,均勻選取上、中、下3個區(qū)域進(jìn)行測量。JJF2160—20245a—共聚焦顯微鏡X軸方向有效特征區(qū)域尺寸;b—共聚焦顯微鏡Y軸方向有效特征區(qū)域尺寸;圖2去除圖像邊緣示意圖在每個測量區(qū)域等間隔均勻提取5條輪廓線(如圖3所示),計算5條輪廓線柵格平均間隔的算術(shù)平均值作為該區(qū)域的柵格平均間隔測得值,多個區(qū)域的柵格平均間隔測得值的算術(shù)平均值作為X方向柵格平均間隔的測得值。使用“重心法”評價輪廓線的柵格平均間隔,具體評價過程如下。圖3X方向長度測量誤差校準(zhǔn)示意圖在輪廓線上選取完整連續(xù)的且不少于10個周期的柵格結(jié)構(gòu)作為評價區(qū)域,分別計算每個周期的重心位置。首尾重心間的水平距離即為評定長度L(如圖4所示),X方向一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格平均間距的測得值P可由式(1)計算。L—首尾重心間的水平距離;n—評價區(qū)域內(nèi)柵格的周期數(shù)量圖4重心法測量柵格平均間距示意圖JJF2160—20246(1)式中:P—一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格平均間距的測得值,nm;L—評定長度,nm;n—評定長度對應(yīng)的周期數(shù)。共聚焦顯微鏡的長度測量誤差與相對誤差可分別由式(2)與式(3)計算。ΔP=P-Ps(2)×100%(3)式中:ΔP—共聚焦顯微鏡X方向上的長度測量誤差,nm;P—一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格平均間距的測得值,nm;Ps—一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格平均間距的標(biāo)準(zhǔn)值,nm;ΔX—共聚焦顯微鏡X方向上的長度相對測量誤差。進(jìn)行Y方向校準(zhǔn)時,只需旋轉(zhuǎn)一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格使其線條邊緣與Y軸垂直放置,并按照上述X方向校準(zhǔn)方法進(jìn)行校準(zhǔn)。6.2垂直方向長度測量誤差使用標(biāo)準(zhǔn)臺階進(jìn)行垂直方向的長度測量誤差校準(zhǔn)。將標(biāo)準(zhǔn)臺階放置于視場中心,在標(biāo)準(zhǔn)器的有效特征區(qū)內(nèi),去除圖像尺寸10%的邊緣后,均勻選取上、中、下3個區(qū)域進(jìn)行測量。在每個測量區(qū)域等間隔(一般選取間隔為圖像寬度的10%)均勻提取5條輪廓線(如圖5所示)。計算5條輪廓線臺階高度的算術(shù)平均值作為該區(qū)域的臺階高度測得值,多個區(qū)域臺階高度測得值的算術(shù)平均值作為該標(biāo)準(zhǔn)臺階的高度測得值。共聚焦顯微鏡的垂直方向長度測量誤差與相對誤差可分別由式(4)與式(5)計算。輪廓線的臺階高度評價方法遵循以下兩種方法(二選一)。標(biāo)準(zhǔn)凹槽同樣適應(yīng)于垂直方向長度測量誤差校準(zhǔn)。圖5垂直方向長度測量誤差校準(zhǔn)示意圖JJF2160—20247ΔH=H-Hs(4)×100%(5)式中:ΔH—共聚焦顯微鏡垂直方向上的長度測量誤差,nm;H—標(biāo)準(zhǔn)臺階高度的測得值,nm;Hs—標(biāo)準(zhǔn)臺階高度的標(biāo)準(zhǔn)值,nm;ΔZ—共聚焦顯微鏡垂直方向上的長度相對測量誤差。6.2.1標(biāo)準(zhǔn)臺階高度評定方法A圖63W準(zhǔn)則示意圖依據(jù)GB/T19067.1—2003中的A1型標(biāo)準(zhǔn)值的評定方法對標(biāo)準(zhǔn)臺階高度進(jìn)行測量。如圖6所示,將臺階底部寬度定義為W,評定長度為3W,將臺階頂部兩側(cè)2/3W的平均Z向高度值與底部中心1/3W的Z向高度值作差,即為輪廓線的臺階高度測得值H。6.2.2標(biāo)準(zhǔn)臺階高度評定方法B圖7LEL準(zhǔn)則示意圖根據(jù)GB/T34879—2017中的標(biāo)準(zhǔn)臺階高度評定方法B(LEL準(zhǔn)則)對標(biāo)準(zhǔn)臺階高度進(jìn)行測量。如圖7所示,標(biāo)準(zhǔn)臺階寬度應(yīng)該滿足W>2dB,標(biāo)準(zhǔn)臺階測量寬度應(yīng)滿足Wm>2dT+2dB。其中W代表標(biāo)準(zhǔn)臺階寬度,Wm代表標(biāo)準(zhǔn)臺階寬度的測得值,dT代表滿足解耦條件的高度測量值的頂部避讓區(qū)間,dB代表滿足解耦條件的高度測量值的底部避讓區(qū)間,dT與dB按式(6)與式(7)計算。dT=1.2K1(6)JJF2160—20248式中:λ0—測量光波長,nm;AN—顯微鏡數(shù)值孔徑;Hs—標(biāo)準(zhǔn)臺階高度的標(biāo)準(zhǔn)值,nm;K1、K2—常數(shù),根據(jù)儀器性能和樣品加工工藝選定。標(biāo)準(zhǔn)臺階高度計算方法采用最小二乘回歸法,計算公式見式(8)。z=αx+β+δh(8)式中:z—與x對應(yīng)的表面位置,nm;α、β、h—待定參數(shù),通過最小二乘回歸法確定;x—采樣點的橫向坐標(biāo),nm;δ—變量,在A、B區(qū)域為+1,在C區(qū)域為-1。標(biāo)準(zhǔn)臺階高度的測得值H是估計值h的2倍。6.3水平方向長度測量重復(fù)性按照6.1所述方法選取和放置一維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格標(biāo)準(zhǔn)器,使用被校儀器對標(biāo)準(zhǔn)器的同一有效特征區(qū)域進(jìn)行連續(xù)多次重復(fù)測量,測量次數(shù)不少于6次,兩次測量之間的時間間隔不小于1min。并按照6.1中的計算方法得到每幅測量圖像的柵格平均間距測得值,計算多次重復(fù)測量的水平方向柵格平均間距的標(biāo)準(zhǔn)偏差s即為水平方向長度測量重復(fù)性測得值[式(9)]。(9)式中:s—共焦顯微鏡長度測量重復(fù)性,nm;Li—第i次測量的間距長度測量值,nm;-L—n次間距長度測量值的算術(shù)平均值,nm;n—測量次數(shù)。6.4垂直方向長度測量重復(fù)性按照6.2所述方法選取和放置標(biāo)準(zhǔn)臺階標(biāo)準(zhǔn)器,使用被校儀器對標(biāo)準(zhǔn)器的同一有效特征區(qū)域進(jìn)行連續(xù)多次重復(fù)測量,測量次數(shù)不少于6次,兩次測量之間的時間間隔不小于1min。并按照6.2中的計算方法得到每幅測量圖像的臺階高度測得值,多次重復(fù)測量的垂直方向臺階高度值的標(biāo)準(zhǔn)偏差s即為垂直方向長度測量重復(fù)性測得值[式(9)]。6.5水平方向正交誤差選用二維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格校準(zhǔn)水平方向正交誤差,將二維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格的橫向線條平JJF2160—20249行于X方向放置,如圖8所示。使用專用軟件對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行計算可得二維柵格圖像上橫向與縱向線條的夾角,夾誤差[式(10)]。Δθ=θ-θs(10)式中:Δθ—共聚焦顯微鏡正交誤差,(°);θ—二維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格XY夾角的測得值,(°);θs—二維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格XY夾角的標(biāo)準(zhǔn)值,(°)。圖8水平方向正交誤差示意圖6.6畸變選取相應(yīng)二維標(biāo)準(zhǔn)立體柵格進(jìn)行校準(zhǔn)。將顯微鏡調(diào)至正常工作狀態(tài),測量一張不少于9個完整方格的掃描圖像。取單個方格的4個端點為A、B、C、D,區(qū)分畸變類型,式(11)~式(14)計算畸變相對誤差。(a)左右枕形畸變(b)上下枕形畸變(c)左右桶形畸變(d)上下桶形畸變圖9畸變測量示意圖左右枕形畸變:×100%(11)式中:PH—左右枕形畸變相對誤差;dp—發(fā)生枕形畸變的最短距離,nm;dAB—方格AB邊長,nm;dCD—方格CD邊長,nm。上下枕形畸變:JJF2160—202410×100%(12)式中:PV—上下枕形畸變相對誤差;dp—發(fā)生枕形畸變的最短距離,nm;dAD—方格AD邊長,nm;dBC—方格BC邊長,nm。左右桶形畸變:×100%(13)式中:BH—左右桶形畸變相對誤差;db—發(fā)生桶形畸變的最短距離,nm;dAB—方格AB邊長,nm;dCD—方格CD邊長,nm。上下桶形畸變:×100%(14)式中:BV—左右枕形畸變相對誤差;db—發(fā)生桶形畸變的最短距離,nm;dAD—方格AD邊長,nm;dBC—方格BC邊長,nm。6.7最大可測傾角圖10最大可測傾角測量計算示意圖使用標(biāo)準(zhǔn)球校準(zhǔn)共聚焦顯微鏡最大可測傾角。如圖10所示,對標(biāo)準(zhǔn)球的球冠表面進(jìn)行掃描測量,由測得球冠的弦長與弓高計算標(biāo)準(zhǔn)球圓心角半角,即最大可測傾斜角[式(15)]。α=arcsin(15)式中:α—最大可測傾斜角;JJF2160—202411L—二分之一弦長;D—弓高。6.8水平方向拼接誤差選取相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)臺階進(jìn)行校準(zhǔn)。通過兩個視場分別對獲得標(biāo)準(zhǔn)器有效特征區(qū)的兩部分圖像進(jìn)行拼接。在拼接后的圖像上均勻選取3條垂直于拼接線的輪廓線,如圖11所示。計算3條輪廓線在拼接線兩側(cè)的Y方向高度差(如圖12所示),其算術(shù)平均值作為X方向拼接誤差[式(16)]。圖11拼接誤差校準(zhǔn)示意圖圖12X方向拼接誤差校準(zhǔn)切面圖(16)式中:ΔX—共聚焦顯微鏡X方向上的拼接誤差,nm;ci—第i次測量拼接線左側(cè)輪廓線在Y方向上的高度測得值,nm;di—第i次測量拼接線右側(cè)輪廓線在Y方向上的高度測得值,nm;進(jìn)時,,n。旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)臺階的方向90°,按照X方向拼接誤差的校準(zhǔn)方法校準(zhǔn)即可。6.9垂直方向拼接誤差選取相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)臺階進(jìn)行校準(zhǔn)。通過兩個視場分別對獲得標(biāo)準(zhǔn)器有效特征區(qū)的兩部分圖像進(jìn)行拼接。在拼接后的圖像上均勻選取3條垂直于拼接線的輪廓線,如圖11所示。計算3條輪廓線在拼接線兩側(cè)的高度差(如圖13所示),其算術(shù)平均值作為垂直方JJF2160—202412向拼接誤差[式(17)]。圖13垂直方向拼接誤差校準(zhǔn)切面圖(17)式中:ΔZ—共聚焦顯微鏡垂直方向上的拼接誤差,nm;ai—第i次測量拼接線左側(cè)輪廓線在Z方向上的高度測得值,nm;bi—第i次測量拼接線右側(cè)輪廓線在Z方向上的高度測得值,nm;6.10載物臺定位誤差n—測量次數(shù),n=6.10載物臺定位誤差儀器首次驗收一般使用激光干涉儀對載物臺X、Y兩個方向進(jìn)行校準(zhǔn)。載物臺定位誤差為載物臺位移量示數(shù)與激光干涉儀示數(shù)之差[式(18)]。式中:ΔM—載物臺定位誤差,式中:ΔM—載物臺定位誤差,nm;Ma—載物臺位移量示數(shù),nm;Ms—激光干涉儀示數(shù),nm。7校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)應(yīng)符合JJF1071中對校準(zhǔn)證書的通用要求,經(jīng)過校準(zhǔn)的共聚焦顯微鏡出具校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)結(jié)果應(yīng)至少包含下列內(nèi)容:校準(zhǔn)項目名稱和校準(zhǔn)結(jié)果。測量不確定度的評定見附錄A,校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)見附錄B。8復(fù)校時間間隔由于復(fù)校時間間隔的長短是由儀器的使用情況、使用者、儀器本身質(zhì)量等諸因素所決定的,因此送校單位可根據(jù)實際使用情況自主決定復(fù)校時間間隔,建議一般不超過1年。JJF2160—202413附錄A激光共聚焦顯微鏡長度測量誤差的不確定度評定激光共聚焦顯微鏡測量誤差的不確定度受到放大倍數(shù)、位移掃描系統(tǒng)漂移、光學(xué)系統(tǒng)像差等因素的影響。本附錄為激光共聚焦顯微鏡進(jìn)行水平方向、垂直方向測量誤差校準(zhǔn)結(jié)果的測量不確定度評定。A.1垂直方向校準(zhǔn)結(jié)果的測量不確定度評定模型與評定示例A.1.1垂直方向校準(zhǔn)結(jié)果的測量不確定度評定模型A.1.1.1垂直方向測量模型根據(jù)測量方法,用標(biāo)準(zhǔn)臺階對共聚焦顯微鏡校準(zhǔn)時,測量結(jié)果可以表示為:式中:式中:ΔP—儀器的測量誤差;P—共聚焦顯微鏡的測得值;Ps—標(biāo)準(zhǔn)器的標(biāo)準(zhǔn)值。A.1.1.2合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度及擴展不確定度以上校準(zhǔn)值的各分量互不相關(guān),所以校準(zhǔn)結(jié)果的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度可表示為:測量不確定度來源:u1—測量重復(fù)性引入的不確定度;u2—標(biāo)準(zhǔn)臺階標(biāo)準(zhǔn)值的不確定度;u3—儀器示值分辨力引入的不確定度。A.1.2垂直方向校準(zhǔn)結(jié)果的測量不確定度評定示例擴展不確定度U=k·uc,k=A.1.2垂直方向校準(zhǔn)結(jié)果的測量不確定度評定示例本示例中采用的標(biāo)準(zhǔn)臺階是標(biāo)稱值為4967nm的標(biāo)準(zhǔn)臺階,選用10倍物鏡。A.1.2.1測量重復(fù)性引入的不確定度對標(biāo)準(zhǔn)臺階測量6次,測量的實驗標(biāo)準(zhǔn)偏差為1.81nm。A.1.2.2根據(jù)證書提供的數(shù)據(jù),標(biāo)準(zhǔn)樣板的不確定度為48nm。A.1.2.3儀器的示值分辨力為0.5nm,按照均勻分布,引入的不確定度分量為0.29nm。該分量遠(yuǎn)小于測量重復(fù)性引入的不確定度,可忽略。A.1.2.4測量結(jié)果的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度及擴展不確定度A.2.1水平方向校準(zhǔn)結(jié)果的測量不確定度評定模型A.2.1.1X或Y方向測量模型JJF2160—202414