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《半導體設備零配件清洗技術規(guī)范》 ）， 3 一、工作簡況為完善半導體設備零配件清洗技術規(guī)范的質量行業(yè)內該方面的標準空白，依據《中華人民共和國標準化規(guī)定》相關規(guī)定，中國中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會決定立項并聯(lián)合月中國中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會發(fā)布了《半導體設備零配件清洗半導體設備零配件是指光刻機、刻蝕機、薄件，其清洗是半導體制造過程中的關鍵環(huán)節(jié)。半導體制造過程要求極高的潔凈度，金屬離子、有機物等污染物，在設備運行過程中，這些污染晶圓表面，導致芯片出現缺陷、短路、漏電等問題。零配件的潔凈度，避免將污染物帶入半導體制造的各個環(huán)節(jié)，從而芯片的高質量生產。半導體設備零配件的清洗效果直接影響截止目前，尚未有國家標準、行業(yè)標準對半導體設備零配件的清洗進行規(guī)范?！栋雽w設備零配件清洗技術規(guī)范》標準的制定，對半導體設從表面處理、化學清洗流程、清洗效果檢驗、標識、包裝、貯對不同級別外觀面的檢測觀察距離、檢測觀察時間和瑕疵認定—2—本項目的提出，旨在借助標準化手段，填補標準空研成果、專著等開展廣泛、深入的調研，在此基礎上完成技術規(guī)范》的草案。隨后標準制定小組與相關專家經多次見稿及征求意見稿編制說明，擬定在網上公示征求意見稿制定小組將根據各方意見和建議對標準進行修改后形成送二、標準編制原則的原則，注重標準的可操作性，嚴格按照GB/T1.1-2020《標準），本項目旨在借

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