《疊層型壓電陶瓷制動(dòng)器總規(guī)范》

ICS31.200，31.140

L90，L21

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/CECAXXX—2019

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器總規(guī)范

Multilayerpiezoelectricactuatorstotalnorms

在提交反饋意見時(shí)，請(qǐng)將您知道的相關(guān)專利連同支持性文件一并附上。

（征求意見稿）

本稿完成日期：2019-10-25

2019-XX-XX發(fā)布2019-XX-XX實(shí)施

中國(guó)電子元件行業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布

CECA/TXXXX—2019

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器總規(guī)范

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器(不帶金屬封裝,不帶反饋)的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則，

以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器，是制定疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器詳細(xì)規(guī)范的依據(jù)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本標(biāo)準(zhǔn)的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本標(biāo)

準(zhǔn)。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

GB/T1.1-2009標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫

GB/T2421.1-2008電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)概述和指南

GB/T2423.1-2008電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)第2部分：試驗(yàn)方法試驗(yàn)A：低溫

GB/T2423.2-2008電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)第2部分：試驗(yàn)方法試驗(yàn)B：高溫

GB/T2423.3-2016環(huán)境試驗(yàn)第2部分：試驗(yàn)方法試驗(yàn)Cab：恒定濕熱試驗(yàn)

GB/T2423.22-2012環(huán)境試驗(yàn)第2部分：試驗(yàn)方法試驗(yàn)Na：溫度變化

GB/T2828.1-2012計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第1部分：按接收質(zhì)量限(AQL)檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃

GB/T3389.1-1996鐵電壓電陶瓷詞匯

GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

3術(shù)語(yǔ)和定義

GB/T3389.1-1996界定的及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。。

3.1

標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓ratedoperatingvoltage

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器的額定工作電壓，稱為標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓。

3.2

最大驅(qū)動(dòng)電壓MAXoperatingvoltage

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器1.20倍標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓。

3.3

標(biāo)稱位移rateddisplacement

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器在標(biāo)稱電壓驅(qū)動(dòng)下產(chǎn)生的位移量為標(biāo)稱位移。

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CECA/TXXXX—2019

3.4

最大位移MAXdisplacement

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器在最大驅(qū)動(dòng)電壓下輸出的位移。

3.5

遲滯hysteresis

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器在升壓及降壓過(guò)程的輸出位移與輸入電壓曲線不重合的現(xiàn)象稱之為致動(dòng)器

的遲滯，最大遲滯用升壓與降壓位移曲線上相同電壓輸出位移的最大偏差。

3.6

遲滯徊線ferroelectrichysteresisloop

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器在升壓及降壓過(guò)程的輸出位移與輸入電壓的徊線。

3.7

遲滯系數(shù)hysteresiscoefficient

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器的最大遲滯與標(biāo)稱位移的比值,用百分比表示。如圖1所示：

圖1遲滯系數(shù)說(shuō)明圖

3.8

位移非線性系數(shù)displacementnonlinearcoefficient

疊層壓電陶瓷致動(dòng)器的遲滯回線與擬定直線之間的最大偏差值與標(biāo)稱位移的百分比。如圖2所示：

2

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圖2位移非線性系數(shù)說(shuō)明圖

3.9

位移再現(xiàn)性displacementreproducibility

將測(cè)試完一次標(biāo)稱位移后的0電壓時(shí)的位移設(shè)為測(cè)微儀0點(diǎn)，將驅(qū)動(dòng)電壓升到標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓，記錄

標(biāo)稱位移，再將驅(qū)動(dòng)電壓降到0，記錄殘留位移，殘留位移與標(biāo)稱位移之百分比。

3.10

蠕變creep

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器在保持驅(qū)動(dòng)電壓不變的條件下，應(yīng)變隨時(shí)間延長(zhǎng)而增加的現(xiàn)象。

3.11

剛度stiffness

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器在壓力作用下產(chǎn)生形變，產(chǎn)生單位形變所需的力。

3.12

最大出力MAXoutputforce

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器施加標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，零位移下的阻塞力。

3.13

動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間dynamicresponsetime

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器加方波測(cè)試時(shí)，從零位移上升至最大位移所需的時(shí)間。

3.14

連續(xù)動(dòng)態(tài)工作壽命c(diǎn)ontinuousdynamicoperatinglife

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器在標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓及規(guī)定的試驗(yàn)頻率作用下的無(wú)損壞工作次數(shù)為連續(xù)動(dòng)態(tài)工

作時(shí)間。

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4型號(hào)命名方法

疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器型號(hào)由以下部分組成，如下所示：

ZDT—

第六部分：序列號(hào)

第五部分：標(biāo)稱位移

第四部分：端面尺寸

第三部分：標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓

第二部分：端面形狀

第一部分：主稱

說(shuō)明：

第一部分：主稱，ZDT代表疊層型壓電陶瓷致動(dòng)器；

第二部分：端面形狀，形狀以字母代碼表示；

代號(hào)JYHT

端面形狀矩形圓形環(huán)形異形

第三部分：標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓，單位為VDC；

第四部分：矩形，前面兩位數(shù)字為外電極面寬度，后面兩位數(shù)字為無(wú)電極面的寬度；

圓形，用兩位數(shù)表示直徑；

環(huán)形，前兩位數(shù)表示外徑，后兩位數(shù)表示內(nèi)徑；

異形，用兩位數(shù)字表示異形的最大尺寸。

第五部分：標(biāo)稱位移，額定電壓下的位移，單位為μm，用三位數(shù)字表示；

第六部分：序列號(hào)，以一位阿拉伯?dāng)?shù)字表示。

5測(cè)量和試驗(yàn)的大氣條件

除非另有規(guī)定，所有試驗(yàn)都應(yīng)在GB/T2421.1—2008中5.3規(guī)定的測(cè)量和試驗(yàn)用標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下進(jìn)行。

溫度：15℃~35℃；

相對(duì)濕度：45%~75%；

氣壓：86kPa~106kPa；

有爭(zhēng)議時(shí)，采用仲裁測(cè)量和試驗(yàn)用標(biāo)準(zhǔn)大氣條件：

溫度：25℃±2℃；

相對(duì)濕度：45%~55%；

氣壓：86kPa~106kPa。

測(cè)量前，元件應(yīng)在測(cè)量溫度下放置24h，以使元件達(dá)到熱平衡。為了有助于干燥，受控恢復(fù)條件和

標(biāo)準(zhǔn)的干燥條件按GB/T2421.1—2008中5.4和5.5的規(guī)定。如果測(cè)量不是在標(biāo)準(zhǔn)溫度下進(jìn)行，必要時(shí)測(cè)量

結(jié)果應(yīng)修正到標(biāo)準(zhǔn)溫度下。應(yīng)記錄測(cè)量期間的環(huán)境溫度并在試驗(yàn)報(bào)告中注明。

6要求與試驗(yàn)方法

6.1外形尺寸

6.1.1要求

外形尺寸應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范要求。

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6.1.2試驗(yàn)方法

用符合精度要求的量具測(cè)量外形尺寸。

6.2外觀質(zhì)量

6.2.1要求

表面光滑，無(wú)明顯氣泡、凹凸點(diǎn)，邊緣無(wú)缺損，端面無(wú)裂紋及損傷，焊點(diǎn)應(yīng)光亮無(wú)錫尖。

6.2.2試驗(yàn)方法

用目測(cè)法或詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的方法檢查表面質(zhì)量。

6.3標(biāo)稱位移

6.3.1要求

標(biāo)稱位移應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

6.3.2試驗(yàn)方法

6.3.2.1測(cè)試儀表

采用輸出電壓精度高于0.1%的驅(qū)動(dòng)電源和位移測(cè)量分辨率高于0.1um的測(cè)微儀測(cè)試。

6.3.2.2測(cè)試示意圖

標(biāo)稱位移測(cè)試系統(tǒng)示意圖見圖3所示：

圖3位移測(cè)試系統(tǒng)示意圖

6.3.2.3試驗(yàn)方法

接圖3要求連接測(cè)試系統(tǒng)。將致動(dòng)器垂直裝載在測(cè)試平臺(tái)的夾具上，按測(cè)微儀要求調(diào)整位移輸出端

與測(cè)微儀探頭接觸。將驅(qū)動(dòng)電壓調(diào)到被測(cè)樣品的標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓，記錄測(cè)微儀相應(yīng)的讀數(shù)。將驅(qū)動(dòng)電壓降

至零，記錄測(cè)微儀相應(yīng)讀數(shù)。測(cè)微儀在額定工作電壓及零電壓時(shí)的讀數(shù)之差為標(biāo)稱位移。

6.4最大位移

最大位移應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

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6.4.1試驗(yàn)方法

測(cè)試儀表同6.3.2.1；測(cè)試示意圖同6.3.2.2；測(cè)試方法參照6.3.2.3，將驅(qū)動(dòng)電壓調(diào)到被測(cè)樣品的最大

驅(qū)動(dòng)電壓測(cè)試位移，該位移為最大位移。

6.5諧振頻率

6.5.1要求

諧振頻率應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范要求。

6.5.2試驗(yàn)方法

6.5.2.1測(cè)試儀器

選用掃頻范圍包含器件頻率范圍的阻抗分析儀或掃頻儀進(jìn)行測(cè)試。

6.5.2.2試驗(yàn)方法

將測(cè)試夾具接入儀器的輸出及輸入接口，開啟電源，按規(guī)定時(shí)間預(yù)熱。設(shè)定測(cè)試電壓為1V，按詳細(xì)

規(guī)范的要求設(shè)定掃頻范圍。測(cè)量范圍內(nèi)的最小阻抗值所對(duì)應(yīng)的頻率為致動(dòng)器的諧振頻率。

6.6靜電容量

6.6.1要求

靜電容量應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

6.6.2試驗(yàn)方法

6.6.2.1測(cè)試儀器

使用測(cè)量范圍符合要求，測(cè)量誤差不大于0.5%的電容電橋測(cè)試。

6.6.2.2測(cè)試方法

設(shè)定電容電橋的測(cè)試電壓設(shè)為1V，頻率設(shè)為1kHz，將致動(dòng)器接入電容電橋，儀器顯示的電容值為

樣品的靜電容量。

6.7遲滯系數(shù)

6.7.1要求

致動(dòng)器的遲滯應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范要求。

6.7.2試驗(yàn)方法

6.7.2.1測(cè)試儀器

采用電壓輸出精度高于0.1%和位移測(cè)量分辨率高于0.1um的遲滯徊線測(cè)試儀測(cè)試。

6.7.2.2測(cè)試示意圖

位移線性度測(cè)試系統(tǒng)示意圖見圖4所示：

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圖4電子徊線測(cè)試系統(tǒng)示意圖

6.7.2.3測(cè)試方法

接圖4要求連接測(cè)試系統(tǒng)。將樣品垂直裝載在測(cè)試平臺(tái)的夾具上，按測(cè)微儀要求調(diào)整位移輸出端與

測(cè)微儀探頭接觸。將測(cè)試電壓設(shè)置為被測(cè)樣品的額定工作電壓，升壓及降壓步距不大于標(biāo)稱電壓的10%，

啟動(dòng)儀器，測(cè)試遲滯徊線如圖1所示，按式1計(jì)算遲滯系數(shù)。

H=Ymax/ΔL·100%…………………1

式中：H—遲滯系數(shù)；Ymax—最大遲滯；ΔL—標(biāo)稱位移。

6.8蠕變

6.8.1要求

蠕變應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范要求。

6.8.2試驗(yàn)方法

6.8.2.1測(cè)試儀器

采用輸出精度高于0.1%的驅(qū)動(dòng)電源和測(cè)量精度高于0.1um的測(cè)微儀測(cè)試。

6.8.2.2測(cè)試方法

按6.3.2.3標(biāo)稱位移的測(cè)試方法測(cè)量，在額定工作電壓下測(cè)試位移ΔL并記錄升到額定電壓的時(shí)間，

觀察位移的變化，除詳細(xì)規(guī)范另有規(guī)定，記錄5分鐘和20分鐘兩檔的位移ΔL1和ΔL2，分別按式2和

式3計(jì)算蠕變CRE1和CRE2。

CRE1=（ΔL1-ΔL）/ΔL·100%………………2

CRE2=（ΔL2-ΔL）/ΔL·100%………………3

6.9位移再現(xiàn)性

6.9.1要求

位移再現(xiàn)性應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

6.9.2試驗(yàn)方法

測(cè)試儀表同6.3.2.1；測(cè)試示意圖同6.3.2.2。按6.3.2.3規(guī)定測(cè)試標(biāo)稱位移，將驅(qū)動(dòng)電壓回零后的位

移設(shè)為測(cè)微儀0點(diǎn)，將驅(qū)動(dòng)電壓升到標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓，記錄標(biāo)稱位移。將驅(qū)動(dòng)電壓降為0，記錄殘留位移，

殘留位移與標(biāo)稱位移之百分比為位移再現(xiàn)性。

6.10位移非線性系數(shù)

6.10.1要求

位移非線性系數(shù)應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

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6.10.2試驗(yàn)方法

測(cè)試儀表同6.7.2.1；測(cè)試示意圖同6.7.2.2；按6.7.2.3規(guī)定測(cè)試遲滯徊線，測(cè)量遲滯徊線范圍內(nèi)實(shí)

際曲線與最大位移與最小位移的擬定直線之間的最大偏差值與標(biāo)稱位移，最大偏差值與標(biāo)稱位移的百分

比。按式4計(jì)算位移非線性系數(shù)。

K=Smax/ΔL·100%…………………4

式中：K—位移非線性系數(shù)；Smax—最大偏差值；ΔL—標(biāo)稱位移。

6.11絕緣電阻

6.11.1要求

絕緣電阻應(yīng)滿足詳細(xì)規(guī)范要求。按照歐姆定律計(jì)算式:R=U/I。

式中：R—絕緣電阻；U—測(cè)試電壓；I—漏電流。

6.11.2試驗(yàn)方法

6.11.2.1測(cè)試儀器

采用輸出精度高于1%的驅(qū)動(dòng)電源和測(cè)量精度高于0.1uA的數(shù)顯測(cè)微儀測(cè)試。

6.11.2.2測(cè)試電路

如圖5所示：

V—直流電源A—電流表S—開關(guān)

B—待測(cè)產(chǎn)品R—電阻（根據(jù)電源功率確定）

圖5絕緣電阻測(cè)試電路

6.11.2.3測(cè)試方法

按圖5所示電路連接測(cè)試系統(tǒng)。斷開開關(guān)，打開電流表及直流電源，將直流電源輸出調(diào)節(jié)到額定電

壓。將樣品裝載到測(cè)試夾具上，接通開關(guān)，電流表穩(wěn)定后讀取絕緣電阻值。

6.12引線焊接強(qiáng)度

6.12.1要求

壓電陶瓷致動(dòng)器的引出導(dǎo)線應(yīng)能承受不低于2.5N/mm2的垂直拉力，導(dǎo)線無(wú)松動(dòng)或脫落。

6.12.2試驗(yàn)方法

將導(dǎo)線固定到拉力計(jì)上，緩慢加力，加之2.5N/mm2時(shí)保持5秒鐘，引線無(wú)損壞為合格，如有松動(dòng)

或脫落為不合格。

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6.13直流耐壓

6.13.1要求

除詳細(xì)規(guī)范另有規(guī)定，樣品在加載標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓的√2倍的直流電壓下，保壓3小時(shí)，應(yīng)無(wú)打火及

其他損壞，直流耐壓試驗(yàn)后，樣品的各項(xiàng)性能應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范要求。

6.13.2試驗(yàn)方法

6.13.2.1測(cè)試儀器

采用輸出精度高于1%的直流電源試驗(yàn)。

6.13.2.2測(cè)試電路

如圖6所示：

圖6耐壓測(cè)試示意圖

6.13.2.3測(cè)試方法

按圖6所示電路，連接測(cè)試系統(tǒng)。斷開開關(guān)，打開電流表及直流電源，將直流電源輸出調(diào)節(jié)到規(guī)定

耐壓，將樣品裝載到測(cè)試夾具上，接通開關(guān)，保壓3小時(shí)，試驗(yàn)完畢，觀察外觀有無(wú)電弧或其它損傷，

測(cè)試絕緣電阻及位移。

6.14剛度

6.14.1要求

剛度應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

6.14.2試驗(yàn)方法

6.14.2.1測(cè)試儀器

用測(cè)力精度高于1%的測(cè)力系統(tǒng)，位移測(cè)試精度高于0.1μm的剛度測(cè)試系統(tǒng)測(cè)量。

6.14.2.1測(cè)試系統(tǒng)示意圖

剛度測(cè)試系統(tǒng)示意圖見圖7所示：

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CECA/TXXXX—2019

圖7剛度測(cè)試系統(tǒng)示意圖

6.14.2.3測(cè)試方法

打開儀器預(yù)熱，除非詳細(xì)規(guī)范另有規(guī)定，測(cè)試壓強(qiáng)采用20MPa,按器件截面積計(jì)算測(cè)試力，設(shè)置測(cè)

試力F，先用測(cè)試力F測(cè)試系統(tǒng)形變,直接測(cè)試端上下兩個(gè)表面對(duì)壓,測(cè)試系統(tǒng)形變?chǔ)0,將被測(cè)樣品放置

在測(cè)試平臺(tái)的測(cè)試位置，按下啟動(dòng)鍵，測(cè)量樣品在測(cè)試壓力作用下的形變?chǔ)1，按式5計(jì)算剛度Kf。最

終測(cè)試結(jié)果，按照三次測(cè)試取平均值。

Kf=F/(ΔL1-ΔL0)（N/μm）……………5

6.15最大出力

6.15.1要求

最大出力應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

6.15.2試驗(yàn)方法

6.15.2.1測(cè)試儀器

用測(cè)力精度高于1%的測(cè)力系統(tǒng)，位移測(cè)試精度高于0.1μm的剛度測(cè)試系統(tǒng)測(cè)量。

6.15.2.2測(cè)試系統(tǒng)示意圖

測(cè)試系統(tǒng)示意圖見圖7剛度測(cè)試系統(tǒng)示意圖。

6.15.2.3測(cè)試方法

打開儀器預(yù)熱，將被測(cè)樣品放置在測(cè)試平臺(tái)的測(cè)試位置，將被測(cè)器樣品與驅(qū)動(dòng)電源相連接，加額定

工作電壓,并保壓,測(cè)試0位移時(shí)的出力，該出力為最大出力。

6.16高溫

6.16.1要求

樣品在承受高溫試驗(yàn)后，外觀應(yīng)符合6.2條要求，標(biāo)稱位移的變化率應(yīng)小于5％。

6.16.2試驗(yàn)方法

按GB2423.2試驗(yàn)Bb進(jìn)行，試驗(yàn)溫度、持續(xù)時(shí)間和試驗(yàn)后恢復(fù)時(shí)間按詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

6.17低溫

6.17.1要求

樣品在承受低溫試驗(yàn)后，外觀應(yīng)符合6.2條要求，標(biāo)稱位移的變化率應(yīng)小于5％。

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6.17.2試驗(yàn)方法

按GB2423.1試驗(yàn)Ab進(jìn)行，試驗(yàn)溫度、持續(xù)時(shí)間和試驗(yàn)后恢復(fù)時(shí)間應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

6.18恒定濕熱

6.18.1要求

樣品在承受恒定濕熱試驗(yàn)后，外觀應(yīng)符合6.2條要求，標(biāo)稱位移的變化率應(yīng)小于5％。

6.18.2試驗(yàn)方法

按GB2423.3試驗(yàn)Ca進(jìn)行，持續(xù)時(shí)間和試驗(yàn)后恢復(fù)時(shí)間應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定。

6.19高溫負(fù)荷

6.19.1要求

樣品置15MPa預(yù)緊力夾具中，在詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的額定驅(qū)動(dòng)電壓、試驗(yàn)頻率及試驗(yàn)時(shí)間作用下，能承

受詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的溫度，試驗(yàn)后標(biāo)稱位移的變化率，靜電容量及絕緣電阻應(yīng)符合詳細(xì)規(guī)范要求。

6.19.2試驗(yàn)方法

將樣品裝載到預(yù)緊力測(cè)試夾具內(nèi)，將預(yù)緊力調(diào)試到15MPa，將夾具放入烘箱，將樣品的正負(fù)極引出

線與驅(qū)動(dòng)電源電壓輸出端的正負(fù)輸出線對(duì)應(yīng)連接。將烘箱溫度升到詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的試驗(yàn)溫度并保溫。打

開驅(qū)動(dòng)電源，將驅(qū)動(dòng)電壓輸出調(diào)節(jié)到額定工作電壓及詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的試驗(yàn)頻率，按詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的試驗(yàn)

時(shí)間試驗(yàn)，試驗(yàn)完畢，測(cè)試標(biāo)稱位移的變化率，靜電容量及絕緣電阻是否符合詳細(xì)規(guī)范要求。

6.20連續(xù)動(dòng)態(tài)工作壽命

6.20.1要求

除詳細(xì)規(guī)范另有規(guī)定，樣品置15MPa預(yù)緊力夾具中，在詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)電壓及試驗(yàn)頻率作

用下，能承受詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的試驗(yàn)時(shí)間，試驗(yàn)后標(biāo)稱位移的變化率應(yīng)小于5％，靜電容量及絕緣電阻應(yīng)

符合詳細(xì)規(guī)范要求。

6.20.2試驗(yàn)方法

將樣品裝載到預(yù)緊力測(cè)試夾具內(nèi)，將預(yù)緊力調(diào)試到15MPa，將樣品的正負(fù)極引出線與驅(qū)動(dòng)電源信號(hào)

輸出端的正負(fù)輸出線對(duì)應(yīng)連接。開啟驅(qū)動(dòng)電源，將驅(qū)動(dòng)電壓輸出調(diào)節(jié)到額定工作電壓及詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的

試驗(yàn)頻率，按詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的試驗(yàn)時(shí)間試驗(yàn)，試驗(yàn)完畢，測(cè)試標(biāo)稱位移的變化率，靜電容量及絕緣電阻

是否符合詳細(xì)規(guī)范要求。

7檢驗(yàn)規(guī)則

7.1檢驗(yàn)分類

致動(dòng)器的檢驗(yàn)分鑒定檢驗(yàn)和質(zhì)量一致性檢驗(yàn)。

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7.2鑒定檢驗(yàn)

7.2.1概述

鑒定檢驗(yàn)是對(duì)一種型號(hào)的若干樣品進(jìn)行的一系列完整的檢驗(yàn)，其目的在于確定制造者是否有能力生

產(chǎn)符合本規(guī)范和詳細(xì)規(guī)范規(guī)定的產(chǎn)品。同時(shí)當(dāng)主要設(shè)計(jì)、工藝、材料及零部件變更或停產(chǎn)后恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)

亦應(yīng)進(jìn)行。鑒定檢驗(yàn)應(yīng)采用正常生產(chǎn)使用的設(shè)備和加工工藝生產(chǎn)出來(lái)的樣品，并在鑒定機(jī)構(gòu)認(rèn)可的試驗(yàn)

室進(jìn)行。

7.2.2檢驗(yàn)程序

鑒定檢驗(yàn)的樣品數(shù)和試驗(yàn)分組由表1給出。每組試驗(yàn)應(yīng)按規(guī)定的順序進(jìn)行。

全部樣品均應(yīng)經(jīng)受0組試驗(yàn)，然后分配到其他各組。

0組的一只備份樣品可用于代替0組中的不合格品，不合格的樣品不得用于其他組試驗(yàn)。

表1鑒定檢驗(yàn)

試驗(yàn)分組檢驗(yàn)或試驗(yàn)項(xiàng)目要求章條號(hào)方法章條號(hào)樣品數(shù)允許不合格數(shù)

外形尺寸6.1.16.1.2.

外觀質(zhì)量和標(biāo)志6.2.16.2.2

標(biāo)稱位移6.3.16.3.2

最大位移6.4.16.4.2

諧振頻率6.5.16.5.2

靜電容6.6.16.6.2

遲滯6.7.16.7.210

0（含1只備份1

蠕變

6.8.16.8.2樣品）

位移再現(xiàn)性6.9.16.9.2

位移非線性系數(shù)6.10.16.10.2

絕緣電阻6.11.16.11.2

引線焊接強(qiáng)度6.12.16.12.2

直流耐壓6.13.16.13.2

剛度6.14.16.14.2

最大出力6.15.16.15.2

高溫6.16.16.16.2

1低溫6.17.16.17.230

恒定濕熱6.18.16.18.2

2高溫負(fù)荷6.19.16.19.230

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3連續(xù)動(dòng)態(tài)工種壽命6.20.16.20.230

7.2.3檢驗(yàn)結(jié)果判定

鑒定檢驗(yàn)不合格品數(shù)不超過(guò)規(guī)定的允許不合格品數(shù)時(shí)，鑒定檢驗(yàn)合格。經(jīng)鑒定檢驗(yàn)的樣品不得作為

成品交貨。

7.3質(zhì)量一致性檢驗(yàn)

7.3.1概述

質(zhì)量一致性檢驗(yàn)分逐批檢驗(yàn)和周期檢驗(yàn)。

7.3.2逐批檢驗(yàn)

7.3.2.1檢驗(yàn)批

檢驗(yàn)批應(yīng)由在相同條件下生產(chǎn)，并同時(shí)提交檢驗(yàn)的相同型號(hào)元件的所有產(chǎn)品組成。

7.3.2.2抽樣方案

逐批檢驗(yàn)按照GB/T2828正常檢驗(yàn)一次抽樣方案，檢驗(yàn)項(xiàng)目、順序、檢驗(yàn)水平及接收質(zhì)量限（AQL）

由表2給出。

表2逐批檢驗(yàn)

接收質(zhì)量限

序號(hào)檢驗(yàn)項(xiàng)目要求章條號(hào)方法章條號(hào)檢驗(yàn)水平

AQL

外形尺寸6.1.16.1.2.

1S-20.65

外觀質(zhì)量和標(biāo)志6.2.16.2.2

2標(biāo)稱位移6.3.16.3.2Ⅱ0.65

位移線性度6.4.16.4.2

蠕變6.5.16.5.2

3諧振頻率6.6.16.6.2S-21.0

靜電容6.7.16.7.2

絕緣電阻6.8.16.8.2

4引線焊接強(qiáng)度6.9.16.9.2S-20.65

5直流恒壓試驗(yàn)6.10.16.10.2S-21.0

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7.3.2.3不合格

逐批檢驗(yàn)時(shí)，如果檢驗(yàn)不合格，制造方可剔除有缺陷的產(chǎn)品，并重新提交進(jìn)行復(fù)檢。復(fù)檢批應(yīng)采用

加嚴(yán)檢驗(yàn)，復(fù)檢不合格不能超過(guò)2次，如附件2次都不合格，則該批產(chǎn)品判為不合格，不得再次提交驗(yàn)收。