《集成電路封裝用低α放射性球形二氧化硅微粉》

ICS31.030

CCSL90

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/CESAXXXX—202X

集成電路封裝用低α放射性球形二氧化硅微粉

Low-αRadioactivesphericalsilicapowderforIntegratedCircuitPackaging

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2023-XX-XX發(fā)布202X-XX-XX實(shí)施

中國電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)發(fā)布

T/CESAXXXX—202X

集成電路封裝用低α放射性球形二氧化硅微粉

1范圍

本文件規(guī)定了集成電路封裝用低α放射性球形二氧化硅微粉的術(shù)語和定義、分類與標(biāo)記、要求、試

驗(yàn)方法、檢測規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存。

本文件適用于0.2~3μm的集成電路用封裝材料低α放射性球形二氧化硅粉微粉，其他用途低放射高

純球形二氧化硅可參照使用。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191-2008包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T6678-2003化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T9724-2007化學(xué)試劑pH值測定通則

GB/T11446.7電子級(jí)水中痕量陰離子的離子色譜測試方法

GB/T14640-2008工業(yè)循環(huán)冷卻水及鍋爐用水中鉀、鈉含量的測定

GB/T19077.1-2008粒度分析.激光衍射法

GBT20307-2006納米級(jí)長度的掃描電鏡測量方法通則

GB/T16418-2008顆粒系統(tǒng)術(shù)語

GBT32650-2016電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測石英砂中痕量元素

SJ3228.2高純石英砂分析方法通則

SJ3228.3高純石英砂灼燒失量的測定

SJ/T10675-2002電子及電器工業(yè)用二氧化硅微粉

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1中位粒經(jīng)mediandiameter

累計(jì)粒度分布百分?jǐn)?shù)達(dá)到50%時(shí)所對(duì)應(yīng)的粒徑。寫作D50，單位為微米（μm）

3.2球形度degreeofsphericity

顆粒接近球體的程度。

注1：球體球形度為1。

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3.3單顆粒球形度sphericityofsingleparticle

單個(gè)粒子平面投影圖像接近標(biāo)準(zhǔn)圓的程度。

3.4平均球形度averagesphericity

視域內(nèi)所有顆粒單個(gè)球形度平均值。

4分類與標(biāo)記

4.1分類

4.1.1按用途分：集成電路封裝用低α放射性球形二氧化硅微粉。

4.1.2按中位粒徑D50范圍分為0.2、0.5、1、2、3多種規(guī)格。

4.1.3按放射性元素U、Th含量分為10ppb、1ppb、0.1ppb三種規(guī)格。

4.2標(biāo)記

按用途、中位粒徑以及放射性元素含量進(jìn)行標(biāo)記。

示例：以D50為0.5μm、放射性元素U、Th含量為10ppb的低放射電子級(jí)球形二氧化硅為例，其標(biāo)記

為：

LQH10-0.5

標(biāo)記中各要素的含義如下：

LQH——低放射電子級(jí)球形二氧化硅；

10——放射性元素含量（U、Th含量分為10ppb）；

0.5——規(guī)格代號(hào)（D50在0.45~0.55μm之間）。

5要求

5.1外觀：白色粉末，無雜質(zhì)，無聚團(tuán)現(xiàn)象。

5.2低放射高純超細(xì)球形二氧化硅粉末的物理性能應(yīng)符合表1的要求。

表1低放射高純超細(xì)球形二氧化硅粉末的物理指標(biāo)要求

規(guī)格

項(xiàng)目

0.20.5123

中位粒徑α/μm0.15~0.250.45~0.550.95~1.051.9~2.12.9~3.1

球形度/%＞99

含水量/%≤0.1

白度＞99

灼燒失量/%≤0.1

電導(dǎo)率/（μS/cm)＜1

萃取液

pH值6~8

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篩分余量/%≤0.1

0.2μm~1.0μm≤1

磁性異物/ppm

1.0μm~3.0μm≤1

注：其他規(guī)格由供需雙方協(xié)商

5.3低放射高純超細(xì)球形二氧化硅粉末的化學(xué)性能應(yīng)符合表2的要求。

表2低放射高純超細(xì)球形二氧化硅粉末的化學(xué)指標(biāo)要求

項(xiàng)目類別

D50μm0.2~3.0

SiO2/%≥99.999

金屬雜質(zhì)含量（K、Na、Li、Ca、Mg、Al、Fe、Ni、Cu、Co、Ti、Ba、Zr）

10

/ppm≤

K+≤3

萃取液/ppmNa+≤3

Cl-≤3

U≤1010.1

放射性元素/ppb

Th≤1010.1

6試驗(yàn)方法

6.1試驗(yàn)條件

按照SJ3228.2的規(guī)定進(jìn)行。

6.2取樣

按GB/T6678-2003的規(guī)定，確定采樣單元。采樣時(shí)，應(yīng)將采樣器垂直插入包裝袋中心料層深度的3/4

處采樣，取樣總重不超過1kg，并將采出的樣品混勻后按四分法縮分至不少于250g，再分成兩份，一份

供檢驗(yàn)用，一份留樣。保存三個(gè)月備查。

6.3外觀

在照度不低于400lx的環(huán)境下，距離300mm~350mm，目測進(jìn)行檢驗(yàn)。

6.4中位粒徑D50

按GB/T19077.1-2008、GB/T20307-2006的規(guī)定進(jìn)行。

6.5球形度

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6.5.1裝置

6.5.1.1臺(tái)式掃描電鏡：像素不低于100萬，放大倍數(shù)不低于10萬倍。

6.5.1.2計(jì)算機(jī)：裝有圖像處理軟件。

6.5.2測定

6.5.2.1取適量樣品均勻分散在膠帶上，進(jìn)行掃描電鏡樣品前處理。

6.5.2.2采用掃描電鏡對(duì)樣品進(jìn)行觀察，調(diào)整樣品集中至最清晰視場內(nèi)。

6.5.2.3選取視場內(nèi)分散良好未疊層的區(qū)域，在計(jì)算機(jī)上記錄該區(qū)域圖像。

6.5.2.4利用圖像處理軟件分析所記錄的圖像，分別測定單顆粒的水平、垂直的直徑。

6.5.3

單顆粒球形度按式（1）計(jì)算：

Φq=dmin/Dmax...........................（1）

式中：

Φq—單顆粒球形度；

dmin—單顆粒直徑測定最小值，單位為微米（μm）；

Dmax—單顆粒直徑測定最大值，單位為微米（μm）；

球形度測定結(jié)果為同一樣品隨機(jī)取樣進(jìn)行掃描電鏡測試，測試數(shù)量10個(gè)，1個(gè)樣品掃描電鏡測試，

圖像采取不同位置，圖片數(shù)量5個(gè)，所有單顆粒球形度算數(shù)平均值，圖像邊緣不完整顆粒不予測定。

6.6含水量

按GB/T6284的規(guī)定進(jìn)行。

6.7白度

按GB/T23774的規(guī)定進(jìn)行。

6.8灼燒失量

按SJ3228.3的規(guī)定進(jìn)行。

6.10萃取液

6.10.1萃取液的制備

按SJ/T10675-2002的規(guī)定進(jìn)行。

6.10.2萃取液電導(dǎo)率

按GB6908的規(guī)定進(jìn)行。

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6.10.3萃取液pH值

按GB9724的規(guī)定進(jìn)行。

6.10.4萃取液中K+的含量

按GB/T14640-2008的規(guī)定進(jìn)行。

6.10.5萃取液中Na+的含量

按GB/T14640-2008的規(guī)定進(jìn)行。

6.10.6萃取液中Cl-的含量

按GB/T11446.7的規(guī)定進(jìn)行。

6.11粒度分布測試

6.11.1原理

按照GB/T19077.1-2008粒度分析激光衍射法規(guī)定進(jìn)行。

6.11.2材料和儀器

材料和儀器如下：

a）0.1μm-1000μm激光粒度測試儀；

b）超聲分散儀；

c)容積1000mL燒杯；

d)洗瓶；

e)純水（電阻率18.25兆歐）

6.11.3測定

6.11.3.1稱取100g樣品，分散到盛有500mL純水的燒杯中并用玻璃棒攪拌均勻，超聲分散30min，超

聲3次。

6.11.3.2將超聲后樣品按照激光粒度測試儀測試要求測試。

6.12磁性異物

6.12.1原理

利用磁棒分離出球形二氧化硅試樣中的金屬鐵和其他磁性物質(zhì)。

6.12.2材料和儀器

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材料和儀器如下：

a)永久磁棒，磁感應(yīng)強(qiáng)度不低于1.0T；

b)塑料套管，套管與磁棒緊密結(jié)合，壁厚不大于1mm；

c)容積1000mL和50mL燒杯；

d)洗瓶；

e)玻璃棒；

f)分析天平0.001mg；

g)純水（電阻率18.25MΩ）。

6.12.3測定

6.12.3.1將200g樣品加入盛有1000mL純水的燒杯中并用玻璃棒攪拌均勻，超聲分散3min。

6.12.3.2用蒸餾水洗凈磁棒外套套管，將套管先豎直插入燒杯液體中，然后再將磁棒插入套管中，沿

容器外圍順時(shí)針攪拌1min。

6.12.3.3將磁棒和外套套管一起取出，移至另一個(gè)燒杯內(nèi)，抽出磁棒，用洗瓶清洗外套管表面，收集

清洗液。

6.12.3.4將收集的磁性物清洗液帶蓋烘干，烘干溫度120±5℃，時(shí)間2h。

6.12.3.5磁性異物用0.001mg天平稱重，磁性物含量=m磁/M樣×100%。

6.12.3.6重復(fù)上述操作3次。

6.12.4計(jì)算

取磁性異物含量的平均值，單位為mg。

6.13雜質(zhì)元素含量

用GBT32650-2016規(guī)定的中電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測樣品。

7檢驗(yàn)

7.1檢驗(yàn)分類

檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。

7.2組批

相同原料、同一設(shè)備、相同工藝參數(shù)生產(chǎn)的低放射高純超細(xì)球形二氧化硅粉末，每25kg構(gòu)成一個(gè)檢

驗(yàn)批，不足25kg的按一批次計(jì)。

7.3出廠檢驗(yàn)

7.3.1檢驗(yàn)項(xiàng)目

出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目為第5章、第6章中規(guī)定的項(xiàng)目。

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7.3.2判定規(guī)則

若規(guī)定中的檢驗(yàn)項(xiàng)目全部合格，則該批產(chǎn)品合格。若檢驗(yàn)項(xiàng)目中出現(xiàn)任何一項(xiàng)不合格，則加倍取樣

檢驗(yàn)該項(xiàng)目，取樣總量不小于500g，四分法縮減后的質(zhì)量不小于100g。重檢結(jié)果合格，則該批產(chǎn)品合格，

若重檢結(jié)果不合