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文檔簡介

T/EJCCCSEXXX—20241Glasswafer混酸噴淋蝕刻機本文件規(guī)定了glasswafer混酸噴淋蝕刻機（以下簡稱蝕刻機）的術(shù)語和定義、基本要求、技術(shù)本文件適用于通過化學(xué)反應(yīng)對12英寸及以下玻璃晶園工件表面進(jìn)行腐蝕加工的蝕刻機的制造和檢GB/T5226.1機械電氣安全機械電氣設(shè)備第1部分:通用技3.13.24,1原材料應(yīng)有產(chǎn)品合格證書并經(jīng)進(jìn)廠驗收合格后方可入庫使用。4.3清洗劑及保養(yǎng)用化學(xué)品應(yīng)與金屬、塑料等材料相容。T/EJCCCSEXXX—20242////底盤采用A3鋼型材，清洗籃采用NPP板材HF+HCL+H2SO4+純水蝕刻機安裝現(xiàn)場1.5米范圍內(nèi)應(yīng)配有:T/EJCCCSEXXX—202439正常工作條件a)環(huán)境溫度：-20℃~40℃;b)環(huán)境相對濕度：≤90%；10.1外觀質(zhì)量10.2整機質(zhì)量T/EJCCCSEXXX—2024410.4安全防護(hù)10.5環(huán)境安全10.6空載噪聲10.7可靠性11.2整機質(zhì)量11.4安全防護(hù)11.5環(huán)境安全11.6空載噪聲11.7可靠性T/EJCCCSEXXX—20245可靠性用平均無故障工作時間進(jìn)行評定,平均無故障工作時間按式t＝……………….(1)0一累計工作時間，單位為小時（h412.2組批12.4型式試驗a)新產(chǎn)品試制或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)時的定型鑒定時；b)正式生產(chǎn)后，當(dāng)產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變，影響產(chǎn)品性能時；12.4.4型式檢驗項目全部合格判型T/EJCCCSEXXX—2024613.1.1每臺蝕刻機均應(yīng)在顯著位置牢固地b)蝕刻機型號、序列號或制造編號；13.2包裝13.2.1包裝應(yīng)符合G

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