真空技術(shù)術(shù)語

1真空技術(shù)術(shù)語本文件盡可能準(zhǔn)確地對術(shù)語給出了理論性定義，并供相關(guān)領(lǐng)域的交流與合作中——ISO在線瀏覽平臺：http://ww——IEC在線瀏覽平臺：http://www.elect3.1基本術(shù)語注1：在選定真空度范圍時，會有所不同，下面所列為大致認(rèn)2大氣壓(31kPa～110kPa)~-9Pap注2：對于大多數(shù)真空中的實際應(yīng)用，對于真實氣體（考慮體積和氣體分子的相互作用）未經(jīng)修正的理想氣體定律3表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓飽和蒸氣壓saturationvapourpL4分子數(shù)密度numberdensitn<t瞬間，氣體中某一點周圍>選定體積內(nèi)的分子數(shù)目除ρuv在某一時刻，圍繞該點充分選擇的體積中的分子的平均注1：體積必須選擇得大小適當(dāng)，以包含足夠數(shù)量的分子，從而可以獲得穩(wěn)定的統(tǒng)計結(jié)果，以使所獲得的值在該體TpV5一個分子和其他氣體分子兩次連續(xù)碰撞之間所走過的平均距離。注2：在平均自由程的概念中，假定分子間的相互作用在分子間的某一距離處中斷（剛球模型和截止力勢）。平均K,Knδv在給定的時間間隔內(nèi)，一個氣體分子（或其他特定粒D氣體通過單位面積的質(zhì)量流率除以該面積法線方向的密度梯度的6分子瀉流moleculareffusi7qNqpVqmqVqv麥克斯韋速度分布maxwellianvelocitydi8傳輸幾率transmissionprobPCC，Uw3.1.4用于定義真空技術(shù)中表面和體積氣體或蒸氣（吸附質(zhì)）保持在固體或液體（吸附劑）表面上9能量（熱）適應(yīng)系數(shù)energy(thermal)accommodaα入射粒子和表面間實際交換的平均能量與入射粒子和表面達(dá)到完全熱平衡時應(yīng)該交換的平均動量動量適應(yīng)系數(shù)momentumaccommodationcσ撞擊粒子和表面之間實際傳遞的平均動量與入射粒子和達(dá)到完全熱平衡的表面碰撞后從表面返回φ粘著幾率stickingprobaPsτ），Ρ滲透系數(shù)permeabilitycoefP注1：可以分為兩種類型：氣體傳輸泵（）和捕集泵（2）。氣體傳輸真空泵gastransfer容積真空泵positivedisplacementv泵腔吸入氣體，其入口被周期性地隔離，然后將氣體輸送到出口（）并排出的一種真空泵式真空泵（～具有單個轉(zhuǎn)子（～3）或注4：干式容積真空泵是一種泵腔內(nèi)不含油或液體的容積真通過適配閥來輔助控制隔膜的往復(fù)與振蕩運動使泵腔中氣體被壓縮和排出的干式真空泵通過一對相互嚙合的環(huán)繞漸開線組成的渦旋盤相對運動進(jìn)行氣體壓縮并排出的一種真空泵注1：液體形成與定子同心的液環(huán)，液環(huán)與轉(zhuǎn)子葉片一起構(gòu)成可以變化的容外置葉片真空泵externalvanevacuum注1：一種定子安裝在轉(zhuǎn)子上，并將定子腔分成不同容積部分的轉(zhuǎn)子相對定子內(nèi)壁偏心轉(zhuǎn)動的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵（3.一種橢圓活塞繞著偏心軸轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)容積真空泵（）。使用由多個滾柱或凸緣組成的轉(zhuǎn)子壓縮并迫使氣體沿柔性管道移動的一種旋轉(zhuǎn)容積真空泵通過機(jī)械方式（高速旋轉(zhuǎn)或在流動方向上提供動能）、和使用電場來輸送氣體離子這三種方式，將氣體從泵入口轉(zhuǎn)移到泵出口（）的一種真空泵注1：包含三種類型真空泵：機(jī)械動量泵（8～2）、流體輸送泵（3～0）與離子傳通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪轉(zhuǎn)子輸送大量氣體的一種動量傳輸真空泵（3.2.1注1：動密封不會產(chǎn)生摩擦，泵內(nèi)氣流既可以垂直于旋轉(zhuǎn)方向（徑流式或離心式），也可以平行與旋轉(zhuǎn)方向（軸流通過離心轉(zhuǎn)子級，利用氣體渦流行為與平行轉(zhuǎn)子側(cè)通道相結(jié)合進(jìn)行氣體輸送的旋轉(zhuǎn)動量真空泵牽引分子泵moleculardragva渦輪分子泵turbo-molecularvac泵內(nèi)由開槽圓盤或葉片組成的轉(zhuǎn)子，在相應(yīng)圓盤復(fù)合渦輪分子真空泵compoundturbo-molecularv由基于渦輪分子真空泵原理設(shè)計的抽氣級、基于氣側(cè)的再生級組成的一種單軸高真空泵（3注1：氣體分子擴(kuò)散到蒸氣射流內(nèi)并被攜帶到出口。在蒸氣射流內(nèi)部氣體分子密度始終低于外部。因為泵內(nèi)氣體平均自由程足夠大時才會形成蒸汽噴射流，所以擴(kuò)散泵分餾擴(kuò)散泵fractionatingdiffusio擴(kuò)散噴射泵diffusion-ejectorvacuu基于文丘里（Venturi）效應(yīng)產(chǎn)生壓力降,被抽氣體被高速流攜帶到出口（）的一種動量泵泵內(nèi)氣體分子被電離，然后在電磁場或電場作用下向出口（）輸運的一種動量泵氣體收集真空泵gasgathering氣體捕集真空泵gasentrapmentvacuumpump；capture通過物理或化學(xué)吸附、冷凝或沉積的方法使氣體分子或蒸汽分子保留在泵腔內(nèi)部表面的真空泵泵內(nèi)氣體分子主要被具有大的表面積材料（如多孔物質(zhì)）物理吸附而保留在泵內(nèi)的一種捕集泵），主要是通過金屬、合金或是散裝或新沉積的薄膜等材料對氣體分子進(jìn)行化學(xué)吸附的一種捕集泵非蒸散吸氣劑真空泵non-evaporablegette蒸發(fā)真空泵evaporationvac由陰極連續(xù)濺射和離子注入至陰極結(jié)合的方式所獲得的吸氣劑上的一種氣體捕集真空泵一種包含陰極柵格、中心陽極和周圍收集器，可以實現(xiàn)對惰性氣體的最大抽速的濺射離子泵低溫真空泵cryogenicvacuumpum氣體，并與可被吸附材料捕集的具有更低冷凝溫度的氣注2：低溫泵通常與活性炭或是分子篩等材料結(jié)合使用，冷凝物需要保持一定的溫度，使得平衡蒸氣壓等于或小于注3：低溫抽氣作用主要依賴于三種效應(yīng)：低溫吸附（通過多孔物質(zhì)在低溫下進(jìn)行物理吸附）、低溫冷凝（分子在冷卻表面冷凝）與低溫捕集（在具有較高冷凝溫度的凝聚/沉積材料層上物理捕獲具有極低凝結(jié)溫度的輕分將蒸汽冷凝為液態(tài)或是凝華為固態(tài)的裝置（3.2使用適當(dāng)?shù)睦鋮s管或冷卻板使蒸汽溫度低于三相旋轉(zhuǎn)容積真空泵中的定子和轉(zhuǎn)子間用以分隔工作空間的滑動元件，通常用于旋片真空泵中蒸氣導(dǎo)流管vapourtube；vapourpipe；vapou蒸氣噴射泵（0）或擴(kuò)散泵（3）中引導(dǎo)蒸氣從鍋爐流向噴嘴噴嘴組件（5）的下部分，通常設(shè)置在真空泵（）岀口（）處，用以減少以微滴形式被帶走泵油（）維持真空泵maintainingvac通常設(shè)置在前級泵和高真空泵（）之間的真空泵（3.機(jī)械增壓真空泵mechanicalboostervacu基于機(jī)械運動原理，并工作在前級泵和被抽容器之間的真空泵（3.2注：機(jī)械增壓真空泵可用于在中真空或粗真空應(yīng)用中增加泵系統(tǒng)的抽氣能力，或用于改基于流體夾帶噴射真空泵（7工作在前級泵的入口側(cè)的真空泵（）。注：噴射增壓真空泵可用于增加中真空或低真空應(yīng)用中泵送系統(tǒng)的抽氣能力，或qV.........................................注1：根據(jù)實際情況，對于指定真空泵和氣體，通常認(rèn)為體積流率等于氣體在該處的流量除以的該處平衡壓力，體qpVqpV=p1=p1qV.....................................p3pcp3。p1max注3：不建議在產(chǎn)品規(guī)格中給出極限壓力，因此本文件中并沒有給出測試極限壓力的方法。如果制造商標(biāo)明了極限pb1p1K0真空泵（）零流量狀態(tài)下，前級壓力p3與入口壓力p1之比，如公......................................p1?pb1注1：在給定的氣體流量下，前級壓力p3與入口壓力p1的比率最大連續(xù)抽氣量maximumcontinuous真空泵（）和驅(qū)動裝置能夠在預(yù)期壽命內(nèi)連續(xù)運行而不會損壞注2：通常使用的某些真空計實際上不測量壓力（術(shù)語中它是以作用在表面上的力來表達(dá)的），而是測量在規(guī)定條壓差式真空計differentialvacu全壓真空計totalpressurev注2：該儀表又可以表示為“殘余氣體分析儀”。由于該術(shù)語僅表征分壓分析儀的應(yīng)用中的一種類別，因此應(yīng)避免通過測量與壓力有關(guān)的物理量并與絕對真空計比較來確定壓力的真靈敏度系數(shù)sensitivity等效氮壓力equivalentnitrogenp<電離真空計>主要由離子收集極發(fā)射的光電子產(chǎn)生的殘余電流引起的真空計讀數(shù)與無X射線影響真規(guī)管光電流photoncurrentof陰極發(fā)射的電子打在加速極上，產(chǎn)生軟X射線，使收集極產(chǎn)生光電發(fā)陰極發(fā)射的電子打在加速極上產(chǎn)生軟X射線射到規(guī)管金屬壁上，使其真空度較高的系統(tǒng)烘烤結(jié)束后,由于連接規(guī)管的管壁對有機(jī)蒸氣的吸附，直到表面飽和為止，致使彈性元件是膜片，并可因其兩側(cè)的壓差而改變形狀一種彈性待測壓力作用于一精確匹配的、已知橫截面積的活塞-氣缸組件上，作用力與一組已知質(zhì)量破碼的注1：活塞和周圍氣缸相互旋轉(zhuǎn)的活塞壓力表稱為“旋轉(zhuǎn)活塞壓力以氣體傳輸現(xiàn)象為基礎(chǔ)表面是一個懸浮在真空套管中的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子，并測量轉(zhuǎn)子的相對減速率一種粘滯真石英摩擦真空計quartzfrictionv熱傳導(dǎo)真空計thermalconduct注1：加熱元件，通常是一根金屬絲，可以保持恒定溫度，并測量與壓力相關(guān)的所需加熱功率。這是皮拉尼真空計最準(zhǔn)確的測量原理?；蛘撸訜峁β剩ㄈ鏟irani的原始設(shè)計）或電流保持恒定，橋中的補償電流用作壓力熱分子真空計thermo-mole以氣體電離現(xiàn)象為基礎(chǔ)注1：一個電極由兩個相連的平行圓盤組成,另一電極（通常為陽極）通常是環(huán)形的，位于圓盤之間并與之平行。與一般三極管真空計壓力測量范圍相比,使其測量范圍向中真空移動而設(shè)計的一種熱陰極電離真空發(fā)生在圓筒形離子收集和同軸細(xì)金屬絲之間的靜電場中。低的電子流降低了X射線效應(yīng)和解析離子效熱陰極磁控管真空計hotcathodemagne注1：質(zhì)譜儀可作為測量特定氣體分壓的真空計，也可以作為對特殊探索氣體敏感的檢漏儀或作為確定混合氣體成單極質(zhì)譜儀monopolemasL形電極以及與其對稱布置的單柱，提供了相似于四極透鏡一個象限形狀的電場，離子從L形電極角附近入射，且只有一定質(zhì)荷比（取決于電場）離子通過的磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜儀magneticdeflectionmassspe雙聚焦質(zhì)譜儀doublefocusingmas余擺線聚焦質(zhì)譜儀trochoidalfocusingmassWiley-McLaren質(zhì)譜儀Wiley-McLarenmassspectrome一種飛行時間質(zhì)譜儀，包含脈沖雙柵離子源以補償時間和初校準(zhǔn)系數(shù)calibrationcoeffi壓縮計法mcleodgaugem在等溫條件下，將已知體積和壓力的小容器中的永久氣體膨脹到已知體積的低壓大容器中，根據(jù)流導(dǎo)法即小孔法、瀉流法,在等溫條件和分子流條件下，使氣衡時利用小孔的流導(dǎo)和測得的流量計算出壓力的一種校準(zhǔn)4符號和縮略語α1C，UD2-1qpV1mn-3mpPaΡ1Ρmol·m/(m2·s·Pa)PC1pLPaPs1qpVPam3s-1，或PaLs-1qoutPam3s-1，或PaLs-1qmqN-1sqV3-1qvv-1wδ1TKφ-2-1v-1sρukgm-3Pa-1σ1τs真空泵的分類依據(jù)是現(xiàn)在詞匯中所用的定義3.1.3.32氣體收集真空泵氣體傳輸真空泵氣體收集真空泵3.1.3容積真空泵往復(fù)式容積真往復(fù)式容積真空泵單轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)容積式真空泵3.1.4隔膜真空泵3.1.4隔膜真空泵3.1.7渦旋真空泵3.1.5活塞真空泵3.1.5活塞真空泵3.1.8旋片真空泵.6線性蠕動真空3.1.9線性蠕動真空液環(huán)真空泵3.1.10外置葉片真空3.1.11滑閥真空泵3.1.12余擺線泵3.1.13蠕動真空泵雙轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)容積式真空泵3.1.14羅茨真空泵3.1.15螺桿真空泵3.1.16爪式真空泵機(jī)械動量真空泵3.1.18渦輪真空泵3.1.19再生式真空泵3.1.20牽引分子泵3.1.21渦輪分子泵3.1.22復(fù)合渦輪分子3.1.17動量真空泵液體輸送真空泵3.1.23擴(kuò)散泵3.1.24自凈化擴(kuò)散3.1.25分餾擴(kuò)散泵3.1.26擴(kuò)散噴射泵3.1.27噴射真空泵3.1.28液體噴射3.1.29氣體噴射3.1.30蒸氣噴射3.1.33氣體捕集真空泵3.1.31離子傳輸泵3.1.31離子傳輸泵氣體吸附真空泵3.1.35吸氣劑真空泵3.1.36非蒸散吸氣3.1.373.1.38濺射離子泵3.1.39標(biāo)準(zhǔn)二極型3.1.40二極型離子3.1.41三極型離子3.1.42低溫