半導(dǎo)體材料專用加工刀具

ICS25.100

CCSJ41

CASME

中國(guó)中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/CASMEXXXX—XXXX

半導(dǎo)體材料專用加工刀具

Specializedprocessingtoolsforsemiconductormaterials

（征求意見(jiàn)稿）

在提交反饋意見(jiàn)時(shí)，請(qǐng)將您知道的相關(guān)專利連同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實(shí)施

中國(guó)中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會(huì)??發(fā)布

T/CASMEXXXX—XXXX

半導(dǎo)體材料專用加工刀具

1范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體材料專用加工刀具的術(shù)語(yǔ)和定義、分類、基本要求、工藝流程、技術(shù)要求、試

驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存及質(zhì)量承諾內(nèi)容。

本文件適用于半導(dǎo)體材料專用加工刀具。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T4309粉末冶金材料分類和牌號(hào)表示方法

GB/T5305手工具包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸與貯存

GB/T6461金屬基體上金屬和其它無(wú)機(jī)覆蓋層經(jīng)腐蝕試驗(yàn)后的試樣和試件的評(píng)級(jí)

GB/T9286色漆和清漆劃格試驗(yàn)

GB/T10125人造氣氛腐蝕試驗(yàn)鹽霧試驗(yàn)

GB/T13818壓鑄鋅合金

GB/T15115壓鑄鋁合金

GB/T26572電子電氣產(chǎn)品中限用物質(zhì)的限量要求

3術(shù)語(yǔ)和定義

本文件沒(méi)有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義。

4分類

半導(dǎo)體材料專用加工刀具分類見(jiàn)表1。

表1分類

序號(hào)粒度號(hào)顆粒尺寸/um使用范圍

112#、14#、16#2000～1000粗磨、荒磨、打磨毛刺

220#、24#、30#、36#1000～400磨鋼錠、打磨鑄件毛刺、切斷鋼坯等

346#、60#400～250內(nèi)圓、外圓、平面、無(wú)心磨、工具磨等

470#、80#250～160內(nèi)圓、外圓、平面、無(wú)心磨、工具磨等半精磨、精磨

5100#、120#、150#、180#、240#160～50半精磨、精磨、珩磨、成型磨、工具磨等

6W40、W28、W2050～14精磨、超精磨、珩磨、螺紋磨、鏡面磨等

7W14～更細(xì)14～2.5精磨、超精磨、鏡面磨、研磨、拋光等

5基本要求

設(shè)計(jì)研發(fā)

5.1.1應(yīng)具備產(chǎn)品外形、功能結(jié)構(gòu)、使用安全性等特性的設(shè)計(jì)研發(fā)能力。

5.1.2應(yīng)具備模具模流分析和優(yōu)化設(shè)計(jì)壓鑄成型過(guò)程的能力。

5.1.3應(yīng)具備零部件鑄造加工及產(chǎn)品裝配全過(guò)程的工裝夾具設(shè)計(jì)能力。

5.1.4應(yīng)具備運(yùn)用三維軟件對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行仿真、優(yōu)化、驗(yàn)證的能力。

原材料與零部件

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5.2.1鋁合金材料應(yīng)符合GB/T15115規(guī)定，鋅合金材料應(yīng)符合GB/T13818規(guī)定。

5.2.2鐵二鎳及鐵基合金材料應(yīng)符合GB/T4309規(guī)定。

5.2.3刀體涂層、刀體及構(gòu)件材料應(yīng)符合GB/T26572的規(guī)定，其限用物質(zhì)限量要求應(yīng)符合表2規(guī)定。

表2限用物質(zhì)限量要求

單位：ppm

多溴二苯醚

鉛（Pb）汞（Hg）鎘（Cd）六價(jià)鉻（Cr6+）多溴聯(lián)苯（PBB）

（PBDE）

≤1000≤1000≤100≤1000≤1000≤1000

工藝裝備

5.3.1刀片、滾輪應(yīng)采用數(shù)控車床加工。

5.3.2刀片應(yīng)采用真空熱處理工藝。

5.3.3應(yīng)配置伺服控制的自動(dòng)螺絲機(jī)等自動(dòng)化工藝裝備輔助產(chǎn)品組合裝配。

檢驗(yàn)檢測(cè)

5.4.1應(yīng)具備對(duì)外觀質(zhì)量、裝配、耐腐蝕性、抗跌落、使用壽命等項(xiàng)目的檢測(cè)能力。

5.4.2應(yīng)配備對(duì)耐腐蝕性進(jìn)行測(cè)試的鹽霧測(cè)試機(jī)。

6工藝流程

制備基本工藝過(guò)程

半導(dǎo)體刀具適用于干磨和濕磨，特別是使用水基和油基磨削液的條件下。半導(dǎo)體刀具的良好彈性使

其適用于超精確磨削和表面拋光，其制備流程見(jiàn)圖1。

圖1生產(chǎn)工藝流程

混料工藝規(guī)程

6.2.1工序目的

混料工序的目的是將樹脂、填充料、著色劑等均勻地粘附在刀具表面。

6.2.2設(shè)備主要參數(shù)

設(shè)備主要參數(shù)為：

——混料鍋容積：1.0m3；

——攪拌轉(zhuǎn)速：48r.p.m。

6.2.3工藝參數(shù)

攪拌時(shí)間應(yīng)為15分鐘左右。

6.2.4主要操作過(guò)程

主要操作過(guò)程應(yīng)按如下步驟順序進(jìn)行。

a)稱料：嚴(yán)格按配方將各種原料分別稱好，放好，并做好相應(yīng)的標(biāo)識(shí)。

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b)混磨料：將稱好的磨料加入上攪拌鍋內(nèi)。

c)加樹脂液：將稱好的樹脂液加入上攪拌鍋內(nèi)，混合約兩分鐘。

d)加填充料：待上鍋加入液體樹脂的料混合約2分鐘左右，將稱好的填充料、著色劑加入上攪

拌鍋內(nèi)。

e)攪拌：將上述原料攪拌至均勻狀態(tài)后放入下攪拌鍋（共7分鐘左右）。

f)加樹脂粉：將樹脂粉加入下攪拌鍋內(nèi)。

g)攪拌：將上鍋混合好的料翻入下鍋，開機(jī)，攪拌至均勻狀態(tài)約5分鐘左右加入潤(rùn)濕劑后再混

合2分鐘左右出鍋。

h)落料：將砂箱放在振篩下，打開振篩馬達(dá)和落料口，將混料全部鏟入砂箱內(nèi)，關(guān)機(jī)。

i)整理：將上下鍋鍋底鍋邊鏟干凈，將砂箱碼放整齊。

6.2.5質(zhì)量要求

混合料均勻、松散、干濕適中，各種物料稱量誤差應(yīng)不超過(guò)0.1%。

6.2.6注意事項(xiàng)

6.2.6.1應(yīng)先加料，后開動(dòng)機(jī)器，嚴(yán)禁開機(jī)時(shí)加料。

6.2.6.2開機(jī)時(shí)嚴(yán)禁將頭、手、物等伸到混料爪旋轉(zhuǎn)范圍內(nèi)。

6.2.6.3應(yīng)嚴(yán)格按順序加料。

壓制工藝規(guī)程

6.3.1應(yīng)將模具安裝好，稱量所要求量的磨料添入模具空腔，刮平后壓制。

6.3.2需要放置增強(qiáng)玻纖網(wǎng)片的應(yīng)按要求放入。然后在室溫下加壓，一般冷壓的壓力范圍為15～

30N/mm2，最好是15～25N/mm2。壓力大小的選擇取決于物料的可塑性和砂輪要求達(dá)到的密度。不宜

使用過(guò)高的壓力，否則會(huì)將磨料壓碎。

6.3.3壓制時(shí)間一般為5～50秒，最好是5～30秒，時(shí)間長(zhǎng)短取決于砂輪要求達(dá)到的密度和形狀以及

物料的可塑性的好壞。

固化工藝規(guī)程

6.4.1將刀具用陶瓷質(zhì)的圓盤固定，以保證砂輪在固化過(guò)程中不變形，均勻放置于爐內(nèi)，爐內(nèi)要有空

氣循環(huán)以使各部位受熱均勻，然后啟動(dòng)升溫程序進(jìn)行固化。

6.4.2在整個(gè)加熱過(guò)程中發(fā)生物理和化學(xué)變化，各個(gè)溫度階段主要發(fā)生以下反應(yīng)：

a)80℃時(shí)樹脂開始熔融，有水分蒸出，固化反應(yīng)開始；

b)110℃時(shí)六次分解并促使熔融的樹脂發(fā)生交聯(lián)，同時(shí)釋放出氨氣、水等氣體；

c)110℃～180℃樹脂進(jìn)行交聯(lián)直至完全固化，大量的氨氣釋放；

d)高溫區(qū)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)會(huì)導(dǎo)致樹脂的過(guò)固化，在刀具硬度升高的同時(shí)，導(dǎo)致刀具的強(qiáng)度下降。

6.4.3一般根據(jù)刀具的不同要求選擇不同固化曲線和固化終溫。終溫為165℃～170℃，刀具硬而韌性

好；終溫為175℃～180℃，刀具硬；終溫為185℃～190℃，刀具硬而脆。

7技術(shù)要求

外觀質(zhì)量

7.1.1半導(dǎo)體材料專用加工刀具表面不應(yīng)有裂痕、毛刺、銹蝕，壓鑄件表面不應(yīng)有明顯的砂眼、氣孔

等缺陷。

7.1.2半導(dǎo)體材料專用加工刀具表面涂層應(yīng)色澤均勻，不得有脫層、氣泡等缺陷。

7.1.3刀體應(yīng)光滑、平整、無(wú)開裂、變形等缺陷。

7.1.4刀體表面涂層附著力應(yīng)不低于GB/T9286規(guī)定的2級(jí)。

7.1.5刀片不應(yīng)有銹蝕、崩刃、鈍口、卷刃等缺陷，電鍍層表面應(yīng)色澤均勻，不應(yīng)有漏鍍、起皮等缺

陷。

裝配要求

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7.2.1半導(dǎo)體材料專用加工刀具的滑塊或刀桿應(yīng)能在刀體導(dǎo)軌上靈活移動(dòng)，刀片和滾輪應(yīng)能轉(zhuǎn)動(dòng)自如。

7.2.2同規(guī)格刀片應(yīng)能互換。互換時(shí)，刀片應(yīng)不作任何加工就能與刀體配合。

7.2.3產(chǎn)品應(yīng)進(jìn)退無(wú)卡頓、鎖定及解鎖順暢、復(fù)位良好。

耐腐蝕性

電鍍配件應(yīng)按GB/T10125要求進(jìn)行48小時(shí)的中性鹽霧試驗(yàn)，試驗(yàn)后按GB/T6461規(guī)定保護(hù)評(píng)級(jí)應(yīng)不

低于6級(jí)。

抗跌落

半導(dǎo)體材料專用加工刀具應(yīng)進(jìn)行抗跌落試驗(yàn)，試驗(yàn)后不應(yīng)出現(xiàn)影響正常使用功能的損傷。

使用壽命

半導(dǎo)體材料專用加工刀具應(yīng)根據(jù)相應(yīng)的半導(dǎo)體材質(zhì)類型切割材料進(jìn)行300次切割試驗(yàn)，試驗(yàn)后要求

切割面整齊、無(wú)變形，刀片刃口無(wú)崩口、卷刃現(xiàn)象，刀體功能正常。

8試驗(yàn)方法

外觀質(zhì)量

8.1.1產(chǎn)品及配件的外觀質(zhì)量用目測(cè)和手感檢測(cè)。

8.1.2噴塑涂層表面附著力按GB/T9286標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的要求在配件表面進(jìn)行測(cè)試評(píng)定，測(cè)試評(píng)級(jí)不低于

2級(jí)。

裝配要求

半導(dǎo)體材料專用加工刀具裝配的靈活性應(yīng)手感手動(dòng)進(jìn)行試驗(yàn)。

耐腐蝕測(cè)試

按GB/T10125要求進(jìn)行耐腐蝕試驗(yàn)，試驗(yàn)后按GB/T6461規(guī)定的評(píng)定方法進(jìn)行評(píng)定。

抗跌落測(cè)試

將半導(dǎo)體材料專用加工刀具裝夾在2米高的跌落夾上，自動(dòng)松開跌落夾讓金屬管割刀形成自由落體

下落到混泥土地面，共3次跌落試驗(yàn)。

使用壽命

應(yīng)選取試驗(yàn)用半導(dǎo)體材料進(jìn)行連續(xù)300次的切斷試驗(yàn)。

9檢驗(yàn)規(guī)則

檢驗(yàn)分類

產(chǎn)品檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。

組批

以同一工藝、同一原輔材料生產(chǎn)的同一規(guī)格產(chǎn)品為一組批。

出廠檢驗(yàn)

9.3.1庫(kù)存產(chǎn)品在出廠時(shí)都應(yīng)做出廠檢驗(yàn)，出廠檢驗(yàn)應(yīng)逐臺(tái)進(jìn)行。

9.3.2出廠試驗(yàn)項(xiàng)目見(jiàn)表3。出廠試驗(yàn)的所有項(xiàng)目合格，方可出廠。

型式檢驗(yàn)

9.4.1型式檢驗(yàn)項(xiàng)目包括本文件規(guī)定的全部項(xiàng)目。

9.4.2型式檢驗(yàn)在下列情況之一時(shí)進(jìn)行：

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——新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)試制定型鑒定；

——正式生產(chǎn)后，如結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)工藝或所用材料有較大改變可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；

——正常生產(chǎn)時(shí)每年至少進(jìn)行一次；

——長(zhǎng)期停產(chǎn)后恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；

——出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)有較大差異時(shí)；

——國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出要求時(shí)。

9.4.3型式檢驗(yàn)樣品應(yīng)從出廠檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品中隨機(jī)抽取。

9.4.4在型式檢驗(yàn)中，如有任一臺(tái)項(xiàng)不合格，則從該批產(chǎn)品中加倍抽樣，進(jìn)行不合格及該項(xiàng)相關(guān)要求

的重復(fù)試驗(yàn)，重復(fù)試驗(yàn)合格，則判該批產(chǎn)品符合本標(biāo)準(zhǔn)要求。如重復(fù)試驗(yàn)仍有任一臺(tái)項(xiàng)不合格，則判該

批產(chǎn)品不合格。

9.4.5型式檢驗(yàn)技術(shù)要求及試驗(yàn)方法等見(jiàn)表3。

表3檢驗(yàn)項(xiàng)目

檢驗(yàn)內(nèi)容檢驗(yàn)方式

序號(hào)

檢驗(yàn)項(xiàng)目技術(shù)要求試驗(yàn)方法出廠檢驗(yàn)型式檢驗(yàn)

1外觀質(zhì)量7.18.1√√

2裝配7.28.2√√

3耐腐蝕性7.38.3√√

4抗跌落7.48.4—√

5使用壽命7.58.5—√

注：“√”為必檢項(xiàng)目，“—”為可選項(xiàng)目。

10標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存

標(biāo)志

10.1.1產(chǎn)品標(biāo)志

在產(chǎn)品上應(yīng)有固定清晰的產(chǎn)品標(biāo)志，標(biāo)志內(nèi)容應(yīng)包括產(chǎn)品的規(guī)格和制造商的名稱或商標(biāo)。

10.1.2包裝標(biāo)志

產(chǎn)品的包裝標(biāo)志應(yīng)符合GB/T5305的規(guī)定。

10.1.3合格證標(biāo)志

產(chǎn)品的合格證上應(yīng)標(biāo)志下列內(nèi)容：

a)廠名、商標(biāo)；

b)產(chǎn)品名稱；

c)產(chǎn)品標(biāo)記；