




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文檔簡(jiǎn)介
1、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查DRC及一致性檢查L(zhǎng)VS工具,2013年03月26日,主要內(nèi)容,設(shè)計(jì)規(guī)則檢查DRC (Design Rule Check) 一致性檢查L(zhǎng)VS (Layout Versus schematic) 后仿真(Post-Simulation) 演示,浙大微電子,2/61,浙大微電子,3/61,版圖繪制要根據(jù)一定的設(shè)計(jì)規(guī)則來(lái)進(jìn)行,也就是說(shuō)一定要通過(guò)DRC(Design Rule Check)檢查。 編輯好的版圖通過(guò)了設(shè)計(jì)規(guī)則的檢查后,有可能還有錯(cuò)誤,這些錯(cuò)誤不是由于違反了設(shè)計(jì)規(guī)則,而是可能與實(shí)際線(xiàn)路圖不一致造成。版圖中少連了一根連線(xiàn)這樣的小毛病對(duì)整個(gè)芯片來(lái)說(shuō)都是致命的,所以編輯好的版圖還要通
2、過(guò)LVS(Layout Versus Schematic)驗(yàn)證。 編輯好的版圖通過(guò)寄生參數(shù)提取程序來(lái)提取出電路的寄生參數(shù),電路仿真程序可以調(diào)用這個(gè)數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行后仿真。,浙大微電子,4/61,schematic,Pre-sim,DRC,LVS,Post-sim,layout,浙大微電子,5/61,DRC Design Rule Check,浙大微電子,6/61,DRC基本概念,DRC 是為了保證版圖滿(mǎn)足流片廠的設(shè)計(jì)規(guī)則。 模擬版圖和自動(dòng)布局布線(xiàn)工具產(chǎn)生版圖都需要進(jìn)行DRC。,DRC流程,浙大微電子,7/61,Design Rule的簡(jiǎn)介,檢查版圖設(shè)計(jì)與工藝規(guī)則的一致性 基本設(shè)計(jì)規(guī)則包括各層的寬度、
3、間距及不同層次之間的間距、包含關(guān)系等 Design Rule的規(guī)定是基于工藝的變化而變化的 在特殊的設(shè)計(jì)需求下,Design rule允許部分的彈性。但是設(shè)計(jì)人員需掌握違背了rule對(duì)電路的影響,浙大微電子,8,DRC中常見(jiàn)術(shù)語(yǔ),浙大微電子,9,浙大微電子,10,浙大微電子,11,DRC工具簡(jiǎn)介,Mentor Calibre Cadence Dracula Synopsys Hercules,浙大微電子,12/61,Calibre DRC流程,1.DRC文件準(zhǔn)備 2.啟動(dòng)軟件 3.打開(kāi)版圖 4.Calibre 設(shè)置 5.Check 6.查看結(jié)果 7.修改保存再進(jìn)行第5步,直到?jīng)]有錯(cuò)誤(密度錯(cuò)誤
4、除外),浙大微電子,13/61,DRC文件準(zhǔn)備,去流片廠網(wǎng)站下載最新版本DRC文件 SmicDR2R_cal40_log_ll_sali_p1mx_1tm_121825.drc 路徑/home/smic/SMIC40nmPDK/SPDK40LL_1125_CDS_Prev1.3.3/SPDK40LL_1125_1TM_CDS_Prev1.3.3/smic40ll_1125_1tm_cds_1P7M_2011_10_25_Prev1.3.3/Calibre/DRC,浙大微電子,14/61,軟件啟動(dòng),與啟動(dòng)Cadence軟件一樣 進(jìn)入要啟動(dòng)軟件的目錄 cd fsk (自己起的名字) source
5、/opt/demo/cdsmmsim7_cal11.env icfb&,浙大微電子,15/61,打開(kāi)版圖,浙大微電子,16/61,注意:ppt中部分操作步驟是通過(guò)動(dòng)畫(huà)展示的,請(qǐng)用放映模式觀看。,啟動(dòng)Calibre并設(shè)置1/2,浙大微電子,17/61,啟動(dòng)Calibre并設(shè)置1/2,/home/smic/SMIC40nmPDK/SPDK40LL_1125_CDS_Prev1.3.3/SPDK40LL_1125_1TM_CDS_Prev1.3.3/smic40ll_1125_1tm_cds_1P7M_2011_10_25_Prev1.3.3/Calibre/DRC,浙大微電子,18/61,啟動(dòng)Ca
6、libre并設(shè)置1/2,浙大微電子,19/61,啟動(dòng)Calibre并設(shè)置1/2,浙大微電子,20/61,啟動(dòng)Calibre并設(shè)置1/2,浙大微電子,21/61,RUN DRC,啟動(dòng)Calibre并設(shè)置2/2,浙大微電子,22/61,結(jié)果查看,綠色對(duì)號(hào) 表示此項(xiàng) 檢查通過(guò) 紅色叉號(hào) 表示此項(xiàng) 檢查有誤,錯(cuò)誤情況說(shuō)明,雙擊上圖數(shù)字,可以進(jìn)行錯(cuò)誤定位,浙大微電子,23/61,只顯示出錯(cuò)項(xiàng)目,去掉次復(fù)選框,浙大微電子,24/61,演示,浙大微電子,25/61,LVS Layout Versus schematic,浙大微電子,26/61,通過(guò)DRC的版圖還需要進(jìn)行LVS也就是版圖和線(xiàn)路圖比較。 實(shí)際上
7、就是從版圖中提取出電路的網(wǎng)表來(lái),再與線(xiàn)路圖的網(wǎng)表比較。,浙大微電子,27/61,浙大微電子,28/61,版圖電路圖一致性檢查L(zhǎng)VS,LVS 目的就是為了檢查版圖與電路圖或者數(shù)字網(wǎng)表一致。 有三種LVS形式: 版圖對(duì)模擬電路圖 版圖對(duì)數(shù)字網(wǎng)表 版圖對(duì)混合網(wǎng)表(既有數(shù)字網(wǎng)表,又有模擬電路圖),浙大微電子,29/61,版圖對(duì)模擬電路圖LVS,1.準(zhǔn)備LVS文件 2.打開(kāi)電路圖及版圖 3.啟動(dòng)Calibre 4.設(shè)置 5.核對(duì) 6.查看結(jié)果 7.如果有錯(cuò),修改版圖并保存,返回第5步,直到出現(xiàn)笑臉。,浙大微電子,30/61,LVS文件準(zhǔn)備,去流片廠網(wǎng)站下載最新版本LVS文件 SmicSP1R_cal40
8、_LL_sali_p1mtx_11182533.lvs 路徑/home/smic/SMIC40nmPDK/Calibre/LVS/,浙大微電子,31/61,打開(kāi)電路圖及版圖,啟動(dòng)Cadence軟件 打開(kāi)要做LVS的電路圖和版圖,浙大微電子,32/61,打開(kāi)版圖,浙大微電子,33/61,啟動(dòng)Calibre并設(shè)置1/2,浙大微電子,34/61,/home/smic/SMIC40nmPDK/SPDK40LL_1125_CDS_Prev1.3.3/SPDK40LL_1125_1TM_CDS_Prev1.3.3/smic40ll_1125_1tm_cds_1P7M_2011_10_25_Prev1.3.
9、3/Calibre/LVS,浙大微電子,35/61,浙大微電子,36/61,第一次做選擇從schematic導(dǎo)出模擬網(wǎng)表,下次再做不需要選中次選項(xiàng),只用在上面Files中輸出第一次導(dǎo)出的模擬網(wǎng)標(biāo),,浙大微電子,37/61,浙大微電子,38/61,RUN LVS,浙大微電子,39/61,結(jié)果查看,浙大微電子,40/61,結(jié)果查看,浙大微電子,41/61,演示,浙大微電子,42/61,后仿真 Post Simulation,浙大微電子,43/61,提取版圖中的寄生參數(shù)并將其代入電路中進(jìn)行仿真。這就是我們所說(shuō)的后仿真。,浙大微電子,44/61,打開(kāi)版圖,浙大微電子,45/61,啟動(dòng)Calibre并設(shè)
10、置1/2,浙大微電子,46/61,/home/pdk/smic40llrf_1125_2tm_cds_1P8M_2012_10_30_v1.4/Calibre/LVS/SmicSP1RR1R_cal40_LLRF_sali_plmtx_11182533_V1.4_1R_XRC.lvs,浙大微電子,47/61,浙大微電子,48/61,netlist選擇生成格式為spectre,name從layout來(lái),浙大微電子,49/61,RUN PEX,浙大微電子,50/61,生成三個(gè)文件,其中*.netlist是主文件,包含版圖本身的元件,在主文件中有兩個(gè)include語(yǔ)句,將兩個(gè)寄生參數(shù)文件包含進(jìn)來(lái) 若
11、采用spectre仿真器,需將三個(gè)文件都加上.scs的后綴(在主文件的include中也要做相應(yīng)的修改),浙大微電子,51/61,*.netlist文件的修改 Include前添加: library * section tt End后添加: endsection tt endlibrary * *可以是任意字符,注意前后一致即可,浙大微電子,52/61,打開(kāi)symbol視圖,Design-Save as View Name修改為spectre post simulation時(shí)調(diào)用這個(gè)symbol,在model庫(kù)中添加提取出來(lái)的.netlist.scs file,浙大微電子,53/61,修改symbol的CDF參數(shù),浙大微電子,54/61,在Compo
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