YS∕T 987-2014 氯硅烷中碳雜質(zhì)的測(cè)定方法——甲基二氯氫硅的測(cè)定

ICS7704030 H 17 . . 中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) YS/T9872014 氯硅烷中碳雜質(zhì)的測(cè)定方法 甲基二氯氫硅的測(cè)定 Testmethodformeasuringcarboncontainingcompoundinchlorosilane Determinationofmethyldichlorosilane2014-10-14發(fā)布 2015-04-01實(shí)施 中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部 發(fā) 布 YS/T9872014 前 言 本標(biāo)準(zhǔn)按照 給出的規(guī)則起草 GB/T1.12009 。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì) 歸口 (SAC/TC243) 。 本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司 : 。 本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位 樂(lè)山樂(lè)電天威硅業(yè)科技有限責(zé)任公司 東方電氣集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料有限公 : 、司 陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司 洛陽(yáng)中硅高科技有限公司 南京中鍺科技股份有限公司 新特能源股 、 、 、 、份有限公司 。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人 敖細(xì)平 王波 黃代文 梁洪 劉暢 姚淑 荊凡 楊艷芬 銀波 黃彬 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。 YS/T9872014 氯硅烷中碳雜質(zhì)的測(cè)定方法 甲基二氯氫硅的測(cè)定1 范圍 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氯硅烷中碳雜質(zhì)的測(cè)定方法 主要包括三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定和四氯化硅 , 中甲基二氯氫硅的測(cè)定 。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于三氯氫硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定和四氯化硅中甲基二氯氫硅的測(cè)定 三氯氫硅 四 。 、 氯化硅中甲基二氯氫硅的檢測(cè)范圍均為 0.00001%1.00%。2 規(guī)范性引用文件 下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 僅注日期的版本適用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改單 適用于本文件 。 , ( ) 。 高純氦 GB/T4844.3 3 方法原理 本標(biāo)準(zhǔn)采用 二氯乙烷作為內(nèi)標(biāo)物 利用氣相色譜 質(zhì)譜儀 測(cè)定三氯氫硅和四氯化硅 1,2- , - (GC-MS) 中甲基二氯氫硅的含量 氣相色譜 質(zhì)譜儀通過(guò)極性毛細(xì)管色譜柱將三氯氫硅或四氯化硅的主體和碳 。 - 雜質(zhì)分開 確定其保留時(shí)間 利用吹掃裝置將氣相色譜分離后的三氯氫硅或四氯化硅主體排出 將碳雜 , 。 , 質(zhì)導(dǎo)入質(zhì)譜儀進(jìn)行分析 用氣相色譜 質(zhì)譜儀的定性模式對(duì)樣品三氯氫硅和四氯化硅中碳雜質(zhì)進(jìn)行全 。 - 掃描分析 僅發(fā)現(xiàn)有甲基二氯氫硅離子峰的存在 因此本標(biāo)準(zhǔn)主要對(duì)三氯氫硅或四氯化硅中的甲基二氯 , , 氫硅進(jìn)行分析 。4 試劑和材料 除非另有說(shuō)明 分析時(shí)均使用符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的試劑或材料 , 。41 高純氦氣 應(yīng)符合 的規(guī)定 . , GB/T4844.3 。42 甲基二氯氫硅 色譜純 . , 。43 二氯乙烷 色譜純 . 1,2- , 。44 正辛烷 色譜純 . , 。45 三氯氫硅 光譜純 . , 。46 四氯化硅 光譜純 . , 。5 儀器與設(shè)備 51 氣相色譜 質(zhì)譜