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SEM原理及應(yīng)用實(shí)例 主要內(nèi)容 SEM工作原理 掃描電鏡是用于檢驗(yàn)和分析固體微觀結(jié)構(gòu)特的最有用的儀器之一 與透射電鏡的成像方式不同 掃面電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點(diǎn)掃描成像 由三極電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束 在加速電壓作用下 經(jīng)過(guò)2 3個(gè)電子透鏡聚焦后 在樣品表面按順序逐行進(jìn)行掃描 激發(fā)樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào) 如二次電子 背散射電子 吸收電子 X射線 俄歇電子等 這些物理信號(hào)的強(qiáng)度隨樣品表面特征而變 它們分別被相應(yīng)的收集器接受 經(jīng)放大器按順序 成比例地放大后 送到顯像管成像 得到樣品表面特征圖像 SEM示意圖 SEM特點(diǎn) 可以觀察直徑為10 30mm的大塊試樣 制樣簡(jiǎn)單場(chǎng)深大 適用于粗糙表面和斷口的分析 試樣有立體感 易于識(shí)別放大倍數(shù)范圍大具有相當(dāng)?shù)姆直媛士梢酝ㄟ^(guò)電子學(xué)方法有效的控制和改善圖像質(zhì)量可進(jìn)行多種功能的分析可使用加熱 冷卻和拉伸等樣品臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)試驗(yàn) SEM應(yīng)用實(shí)例1 SEM應(yīng)用實(shí)例1 SEM應(yīng)用實(shí)例1 SEM應(yīng)用實(shí)例1 SEM應(yīng)用實(shí)例1 ThankYou

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