上海MOCVD裝備技術(shù)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展分析

1、上海MOCVD裝備技術(shù)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展分析MOCVD是LED生產(chǎn)過程中的核心裝備，是決定LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展技術(shù)水平的關(guān)鍵因素。MOCVD裝備技術(shù)創(chuàng)新已被列入上海市科技“十二五”規(guī)劃重大任務(wù)?！笆晃濉币詠?，上海市科委在LED材料、芯片、裝備等領(lǐng)域前瞻部署了一系列研發(fā)項(xiàng)目，積極打造完整的LED技術(shù)鏈和產(chǎn)業(yè)鏈，為上海MOCVD裝備的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了良好的環(huán)境和基礎(chǔ)。近年來，上海在MOCVD裝備領(lǐng)域取得了可喜的突破，已涌現(xiàn)出了數(shù)家各具技術(shù)特色和優(yōu)勢(shì)的MOCVD裝備研發(fā)企業(yè)。近期，我們深入企業(yè)開展調(diào)研，系統(tǒng)梳理了上海MOCVD裝備技術(shù)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀，并對(duì)MOCVD裝備行業(yè)的發(fā)展形勢(shì)、發(fā)展環(huán)境和發(fā)展前景作

2、了全面分析。調(diào)研結(jié)果匯報(bào)如下：一、 MOCVD裝備市場需求前景從2009年始，在LED背光源顯示、照明等巨大市場的推動(dòng)下，全球LED芯片生產(chǎn)高速增長，生產(chǎn)規(guī)模迅速擴(kuò)大。2011年第二季度以來，由于產(chǎn)業(yè)發(fā)展周期因素（背光市場需求已充分釋放），LED產(chǎn)業(yè)進(jìn)入了產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整階段，芯片產(chǎn)能數(shù)量增長幅度有所放緩趨于合理，而在技術(shù)水平、產(chǎn)品品質(zhì)等方面的競爭更為激烈。據(jù)McKinsey公司預(yù)測，目前LED產(chǎn)業(yè)在通用照明領(lǐng)域已經(jīng)走上了快速增長的軌道，2020年之前LED光源將占據(jù)全球照明市場主導(dǎo)地位。隨著LED在通用照明領(lǐng)域的大規(guī)模應(yīng)用，可預(yù)期LED芯片即將迎來新一輪需求快速增長的高峰期。LED全球照明市場份

3、額預(yù)測（McKinsey）LED產(chǎn)業(yè)近年來的迅猛發(fā)展導(dǎo)致作為產(chǎn)業(yè)核心設(shè)備的MOCVD裝備需求量2010年到2011年上半年呈井噴式增長（僅中國2010年一年的設(shè)備需求量超過200臺(tái)，比過去近20年的總裝機(jī)容量還多50臺(tái)），出現(xiàn)了嚴(yán)重的供不應(yīng)求的局面。2011年下半年，隨著LED產(chǎn)業(yè)整體進(jìn)入調(diào)整期和前期設(shè)備產(chǎn)能的逐漸形成，MOCVD裝備市場增長幅度有所回落。預(yù)期隨著LED產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展和MOCVD技術(shù)的進(jìn)一步成熟，MOCVD裝備市場在未來5-10年還將會(huì)迎來兩到三次顯著增長的窗口期，最近的窗口期可能在2013年下半年到來。我國MOCVD設(shè)備裝機(jī)數(shù)量增長趨勢(shì)（Goldman Sachs）二、 M

4、OCVD裝備國際國內(nèi)競爭態(tài)勢(shì)（一） MOCVD裝備產(chǎn)業(yè)國際競爭情況MOCVD裝備產(chǎn)業(yè)當(dāng)前在全球范圍內(nèi)仍是一個(gè)新興的產(chǎn)業(yè)，面對(duì)近年來需求的迅猛增長，技術(shù)和產(chǎn)業(yè)都尚未充分成熟。2005年之前，由于LED產(chǎn)業(yè)總體規(guī)模較小，設(shè)備更新較慢，進(jìn)入的設(shè)備廠家不多，全球MOCVD設(shè)備主要制造商僅有德國的Aixtron、美國的Veeco、日本的大陽日酸株式會(huì)社等三家企業(yè)。由于日本禁止出口的政策，國際市場幾乎都被Aixtron（占據(jù)60%市場份額）與Veeco（占據(jù)近40%市場份額）壟斷。隨著2006年之后全球LED產(chǎn)業(yè)的迅速升溫，對(duì)MOCVD裝備需求量迅速增加，使三家企業(yè)的產(chǎn)值飛躍，設(shè)備的技術(shù)升級(jí)步伐也大大加快

5、。然而時(shí)至今日MOCVD裝備技術(shù)仍未進(jìn)入成熟階段，現(xiàn)有設(shè)備產(chǎn)品仍未能適應(yīng)LED產(chǎn)業(yè)大規(guī)模、自動(dòng)化、高質(zhì)量、低成本生產(chǎn)的需求，在LED芯片生產(chǎn)中普遍存在著裝備與工藝脫節(jié)的問題，MOCVD裝備制造廠商對(duì)于下游LED芯片廠家實(shí)際生產(chǎn)中面臨的諸多問題仍然缺少有效解決方案。近年來Aixtron與 Veeco等企業(yè)開始積極實(shí)施專利戰(zhàn)略，試圖阻止后進(jìn)入的廠商競爭，但因LED產(chǎn)業(yè)技術(shù)變革迅速，很難形成實(shí)質(zhì)性的專利壁壘?？傮w而言，目前國際MOCVD設(shè)備市場仍處于有效競爭階段，領(lǐng)先者的優(yōu)勢(shì)顯著但不穩(wěn)固，后發(fā)者正面臨著追趕和超越的關(guān)鍵機(jī)遇窗口。技術(shù)創(chuàng)新、服務(wù)創(chuàng)新和業(yè)態(tài)創(chuàng)新三者的結(jié)合，將成為奠定明日產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)的關(guān)鍵因素

6、。國際主要MOCVD裝備供應(yīng)廠商技術(shù)對(duì)比情況大規(guī)模生產(chǎn)能力產(chǎn)品質(zhì)量生產(chǎn)成本控制Veeco自動(dòng)化程度較高，設(shè)備可連續(xù)工作，生產(chǎn)效率較高相對(duì)較不穩(wěn)定爐體技術(shù)特點(diǎn)決定了原料用量比較浪費(fèi)Aixtron需頻繁停機(jī)清洗，生產(chǎn)效率相對(duì)較低相對(duì)Veeco而言較好，但仍不能滿意原料用量較為節(jié)省大陽日酸由于技術(shù)路線限制，單爐只能做到三到五片，無法大規(guī)模生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量最優(yōu)，良品率高生產(chǎn)成本介于Veeco和Aixtron兩者之間總體評(píng)價(jià)裝備的自動(dòng)化水平仍有待提升以適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)需求目前國際主流的Veeco和Aixtron設(shè)備都達(dá)不到滿意的生產(chǎn)質(zhì)量生產(chǎn)成本仍有進(jìn)一步控制的空間（二） MOCVD裝備國內(nèi)布局與發(fā)展情況在科技

7、興國戰(zhàn)略指引下，從“九五”到“十一五”期間國家先后對(duì)MOCVD設(shè)備的研制組織了多次攻關(guān)。但由于市場整體需求的不充分，技術(shù)也沒有完善到適應(yīng)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)需求，前期科研成果沒有走向良好的產(chǎn)業(yè)化，但也為我國自主MOCVD裝備的發(fā)展打下了重要的技術(shù)和人才基礎(chǔ)。隨著“國家半導(dǎo)體照明工程”于2003年正式實(shí)施，MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化已被列入國家層面的技術(shù)創(chuàng)新重點(diǎn)支持方向。在國家政策與市場需求的雙重引領(lǐng)下，我國多個(gè)地區(qū)都積極參與MOCVD裝備研發(fā)的競爭，近年來已在技術(shù)和產(chǎn)業(yè)方面取得了積極的進(jìn)展。目前我國MOCVD裝備領(lǐng)域已初步形成了上海、北京、山東、廣東四大優(yōu)勢(shì)板塊激烈競爭的局面。為了在全國范圍的行業(yè)競爭和整合浪

8、潮中占據(jù)先機(jī)，各地方政府也及時(shí)出臺(tái)政策措施，加大力度促進(jìn)本地MOCVD裝備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。如廣東省科技廳于2010年9月與中科院半導(dǎo)體研究所、廣東省工業(yè)技術(shù)研究院、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟共同組建了廣東半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院并共建MOCVD產(chǎn)業(yè)化公司（廣東省中科宏微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司），在以重大專項(xiàng)形式推動(dòng)MOCVD裝備核心技術(shù)攻關(guān)的同時(shí)構(gòu)建MOCVD產(chǎn)業(yè)化基地。我國主要省市MOCVD裝備發(fā)展情況發(fā)展情況綜合評(píng)價(jià)本地主要企業(yè)技術(shù)研發(fā)進(jìn)度上海高校、院所有多年研究基礎(chǔ)，在半導(dǎo)體制造裝備企業(yè)、產(chǎn)業(yè)鏈、技術(shù)人才等方面具有一定優(yōu)勢(shì)?！笆晃濉逼陂g開始整機(jī)研發(fā)，雖然起步較晚但進(jìn)展迅速，特別是

9、在生產(chǎn)型裝備方面目前已達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平理想能源設(shè)備有限公司已完成65片整機(jī)，工藝初步成型中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海） 有限公司已完成14片整機(jī)，工藝初步成型上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 已完成96片整機(jī)，仍處于工藝驗(yàn)證階段中晟光電設(shè)備（上海）有限公司處于整機(jī)搭建階段北京“九五”期間已開始裝備研制，有較強(qiáng)的技術(shù)積累，但始終處在實(shí)驗(yàn)室用機(jī)型狀態(tài)，生產(chǎn)型一直未有突破。政府扶持側(cè)重偏向于高校和研究所，產(chǎn)業(yè)化動(dòng)力有待增強(qiáng)北京思捷愛普半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 已制成紅黃光MOCVD并成功銷售華延芯光（北京）科技有限公司已制成生產(chǎn)樣機(jī)，目前處于工藝驗(yàn)證階段北方微電子公司完成樣機(jī)組裝北京泰科諾科技有限公司近期由PECVD向

10、MOCVD領(lǐng)域拓展，處于研發(fā)起步階段山東“十五”期間開始布局，前期在實(shí)驗(yàn)型樣機(jī)上投入較強(qiáng)研發(fā)力量。企業(yè)與院所產(chǎn)研結(jié)合較好。已有實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的MOCVD機(jī)器進(jìn)入市場銷售青島杰生電氣有限公司實(shí)驗(yàn)室級(jí)別（6片）機(jī)器已進(jìn)入市場銷售青島精誠華旗微電子設(shè)備有限公司實(shí)驗(yàn)室級(jí)別（1，3，6片）機(jī)器已進(jìn)入市場銷售濰坊綠種子材料科技股份有限公司藍(lán)光56片MOCVD裝備項(xiàng)目已與濰坊高新區(qū)簽約廣東“十一五”期間起步，前期發(fā)展較為迅速，但是跟進(jìn)整合的節(jié)奏有所放緩。產(chǎn)品研發(fā)主要依托國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)的技術(shù)力量。裝備制造與生產(chǎn)工藝兩個(gè)環(huán)節(jié)的整合有待進(jìn)一步加強(qiáng)。廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司2010年完成37片整機(jī)試制，目前因技術(shù)障

11、礙項(xiàng)目處于停頓狀態(tài)廣東省中科宏微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司藍(lán)光48片MOCVD樣機(jī)正處于組裝調(diào)試階段東莞中鎵半導(dǎo)體科技有限公司研發(fā)啟動(dòng)時(shí)間較短，處于起步階段三、 上海MOCVD裝備技術(shù)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀（一） 上海主要MOCVD研發(fā)企業(yè)基本情況目前上海從事MOCVD裝備研發(fā)的企業(yè)主要有理想能源設(shè)備有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司、上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司、中晟光電設(shè)備（上海）有限公司等四家。除永勝以外，其余三家公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)核心成員均具有美國應(yīng)用材料公司（Applied Materials）技術(shù)背景。理想能源總裁錢學(xué)煜和中晟光電董事長陳愛華都是中微半導(dǎo)體最初17人創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)的成員。這三家公司在技術(shù)

12、源頭上是具有一定共通性的。理想能源設(shè)備有限公司成立于2009年，股權(quán)結(jié)構(gòu)包括民企正泰集團(tuán)（50），上海市國資委下屬的上海聯(lián)和投資有限公司（15）和創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)（35），目前公司總共擁有研發(fā)人員約110人。公司前期從事PECVD等設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)，在半導(dǎo)體設(shè)備方面具有較為豐富的經(jīng)驗(yàn)。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司由一批高層次海歸技術(shù)人員創(chuàng)建于2004年，公司在發(fā)展過程中得到了浦東科投公司創(chuàng)業(yè)風(fēng)險(xiǎn)投資引導(dǎo)基金的大力支持。目前公司擁有超過50人的MOCVD裝備專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)。公司長期從事半導(dǎo)體集成電路設(shè)備研發(fā)和制造，在裝備自動(dòng)化領(lǐng)域具有較突出的經(jīng)驗(yàn)優(yōu)勢(shì)。上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司創(chuàng)建于2009年9月，是民資

13、企業(yè)上海藍(lán)寶光電材料有限公司旗下的子公司。公司依托藍(lán)寶光電成熟的LED芯片生產(chǎn)體系，在裝備與工藝結(jié)合方面具有一定優(yōu)勢(shì)。中晟光電設(shè)備（上海）有限公司是2010年創(chuàng)建的民營企業(yè)，研發(fā)團(tuán)隊(duì)包括來自美國應(yīng)用材料公司、德國Aixtron公司和國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)的核心成員。公司與LED芯片制造廠商交流密切，已達(dá)成了設(shè)備試用意向。（二） 各家企業(yè)MOCVD裝備技術(shù)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況目前的研發(fā)進(jìn)度產(chǎn)業(yè)化計(jì)劃技術(shù)來源及特點(diǎn)技術(shù)團(tuán)隊(duì)情況技術(shù)專利情況設(shè)備定向用戶單位發(fā)展中可能的風(fēng)險(xiǎn)理想能源已組裝完成65片MOCVD設(shè)備兩臺(tái)，并已生長出GaN基藍(lán)光LED2012年六月開始與客戶驗(yàn)證，年底完成銷售技術(shù)在Aixtron結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上進(jìn)

14、行革新，加強(qiáng)了自動(dòng)化控制技術(shù)美國應(yīng)用材料公司背景，有臺(tái)灣工藝技術(shù)支撐8項(xiàng)發(fā)明專利，1項(xiàng)國際專利國內(nèi)、海外LED芯片廠各一家市場風(fēng)險(xiǎn)中微半導(dǎo)體已組裝完成14片MOCVD設(shè)備一臺(tái)，并已生長出GaN基藍(lán)光LED2013年實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)并實(shí)現(xiàn)重復(fù)銷售技術(shù)綜合了Aixtron與Veeco的結(jié)構(gòu)，增加了自清潔功能美國應(yīng)用材料公司背景，國內(nèi)多家下游廠商工藝技術(shù)支撐2011年國內(nèi)外專利達(dá)到20余項(xiàng)，其中大部分是發(fā)明專利上海藍(lán)光、映瑞；江西晶能；臺(tái)灣臺(tái)積電，晶旺等LED廠家市場風(fēng)險(xiǎn)永勝半導(dǎo)體已組裝完成96片MOCVD設(shè)備3-4臺(tái)，目前還未完成器件生長驗(yàn)證2012年實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)采用全新設(shè)計(jì)的技術(shù)方案，革新幅度較

15、大擁有藍(lán)寶光電公司工藝技術(shù)支撐2項(xiàng)發(fā)明專利，9項(xiàng)實(shí)用新型專利，1項(xiàng)外觀專利設(shè)備定向供應(yīng)藍(lán)寶公司技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)中晟光電整機(jī)尚未進(jìn)入工藝試驗(yàn)階段2012年6月實(shí)現(xiàn)銷售裝備細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)較好美國應(yīng)用材料公司背景，有原Aixtron技術(shù)人員參與，臺(tái)灣工藝支撐4項(xiàng)發(fā)明專利三安、華燦、藍(lán)光等LED廠家市場風(fēng)險(xiǎn)（三） 上海MOCVD裝備發(fā)展環(huán)境情況MOCVD產(chǎn)業(yè)是高端裝備制造業(yè)的代表，具有投資需求大、技術(shù)含量高、研發(fā)周期長、對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈的依賴性強(qiáng)、設(shè)備與工藝融合程度深等一系列特點(diǎn)，因而對(duì)于產(chǎn)業(yè)環(huán)境有著較高的綜合需求。上海作為面向國際的大都市，全國的經(jīng)濟(jì)中心、金融中心和產(chǎn)業(yè)技術(shù)高地，為MOCVD裝備的發(fā)展提供了得天獨(dú)厚的優(yōu)越

16、環(huán)境。在科研基礎(chǔ)方面，中科院硅酸鹽研究所、復(fù)旦大學(xué)、上海大學(xué)等一批駐滬科研院所、高校在MOCVD領(lǐng)域有長期的研究積累和專長，為上海MOCVD裝備的發(fā)展提供了寶貴的技術(shù)儲(chǔ)備和人才儲(chǔ)備。在技術(shù)配套方面，上海作為我國先進(jìn)制造業(yè)的重要基地，擁有一批國際頂級(jí)的管路、氣路、控制等半導(dǎo)體制造裝備專業(yè)服務(wù)公司，為MOCVD裝備研發(fā)制造提供有力的支撐。在產(chǎn)業(yè)整合方面，上海半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)較為發(fā)達(dá)，區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈較完整，特別是擁有藍(lán)光、藍(lán)寶、映瑞等一批大型芯片企業(yè)，為自主MOCVD裝備提供了廣闊的潛在下游應(yīng)用市場。在資金供給方面，上海作為國家金融中心具有顯著的資本集聚優(yōu)勢(shì)，高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)風(fēng)險(xiǎn)投資發(fā)展水平也處于全國前列，有

17、利于MOCVD企業(yè)通過市場化途徑獲取發(fā)展所需融資。在國際合作方面，作為國際化大都市上海在海外人才引進(jìn)、國際技術(shù)合作等方面具有特殊優(yōu)勢(shì)，MOCVD裝備研制中關(guān)鍵的技術(shù)問題、工藝問題等可以通過跨國合作謀求解決。在政府扶持方面，上海市科委從“十五”期間就開始設(shè)立光電子專項(xiàng)，對(duì)LED核心裝備，外延、芯片、封裝、應(yīng)用等多個(gè)領(lǐng)域組織了項(xiàng)目攻關(guān)和技術(shù)引導(dǎo)?！笆晃濉逼陂g科委就MOCVD的設(shè)備研制，從核心部件到整機(jī)集成，設(shè)立了多個(gè)項(xiàng)目進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)。2009年后，上海對(duì)MOCVD生產(chǎn)型裝備研發(fā)進(jìn)一步加強(qiáng)了投入力度，通過設(shè)立重大專項(xiàng)等形式強(qiáng)化支持，力促技術(shù)、產(chǎn)業(yè)突破發(fā)展。在平臺(tái)支撐方面，上海半導(dǎo)體照明中心作為科委

18、下屬的產(chǎn)業(yè)技術(shù)服務(wù)專門機(jī)構(gòu)，為MOCVD裝備研發(fā)企業(yè)提供技術(shù)服務(wù)、測試評(píng)估；為上海裝備企業(yè)與外延企業(yè)牽線搭橋；引導(dǎo)傳統(tǒng)半導(dǎo)體裝備企業(yè)進(jìn)入MOCVD產(chǎn)業(yè)；組織技術(shù)力量為企業(yè)MOCVD裝備研發(fā)進(jìn)程中的潛在問題提供交流，提供評(píng)估建議等。綜上所述，上海與國內(nèi)外競爭區(qū)域相比較已擁有多方面的綜合優(yōu)勢(shì)，能夠?yàn)镸OCVD裝備的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供充足的資源和優(yōu)越的環(huán)境，具有建成世界級(jí)MOCVD產(chǎn)業(yè)中心的良好條件。四、 促進(jìn)上海MOCVD裝備技術(shù)及產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的若干建議（一） 研發(fā)項(xiàng)目布局方面，應(yīng)有意識(shí)引導(dǎo)企業(yè)開展裝備與工藝的結(jié)合創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)LED芯片的大規(guī)模自動(dòng)化生產(chǎn)是MOCVD產(chǎn)業(yè)技術(shù)未來最主要的發(fā)展趨勢(shì)。政

19、府在今后的MOCVD研發(fā)項(xiàng)目布局中應(yīng)有意識(shí)地引導(dǎo)企業(yè)從單一的設(shè)備生產(chǎn)制造向裝備制造與工藝開發(fā)相結(jié)合的方向發(fā)展，促使MOCVD裝備研發(fā)企業(yè)以技術(shù)創(chuàng)新為動(dòng)力主動(dòng)引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)業(yè)態(tài)革新，實(shí)現(xiàn)裝備制造業(yè)從簡單提供生產(chǎn)裝備向提供全套生產(chǎn)解決方案的關(guān)鍵轉(zhuǎn)變，達(dá)到高端制造與現(xiàn)代服務(wù)的一體化，大幅提升MOCVD裝備制造的附加價(jià)值、產(chǎn)業(yè)能級(jí)和國際競爭力。（二） 平臺(tái)基地建設(shè)方面，應(yīng)充分發(fā)揮和強(qiáng)化現(xiàn)有平臺(tái)功能為企業(yè)提供支持建議在上海半導(dǎo)體照明中心現(xiàn)有平臺(tái)基礎(chǔ)上進(jìn)一步發(fā)揮和強(qiáng)化功能,為MOCVD裝備研發(fā)企業(yè)提供技術(shù)服務(wù)、測試評(píng)估；為上海裝備企業(yè)與外延企業(yè)牽線搭橋；引導(dǎo)傳統(tǒng)半導(dǎo)體裝備企業(yè)進(jìn)入MOCVD企業(yè)；組織技術(shù)力量為企業(yè)MOCVD裝備研發(fā)進(jìn)程中的潛在問題提供交流，提供評(píng)估建議等。（三） 產(chǎn)業(yè)環(huán)境營造方面，應(yīng)積極促進(jìn)上海MOCVD裝備在本地落戶應(yīng)用對(duì)上海MOCVD廠商生產(chǎn)的設(shè)備在本地LED芯片制造企業(yè)落戶應(yīng)用的，建議給予裝備制造廠商資金補(bǔ)貼或政策優(yōu)惠。這種做法一方面可以有效增強(qiáng)上海MOCVD裝備研發(fā)企業(yè)的市場競爭力，同時(shí)對(duì)自主高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化給予充分激勵(lì)；