擴散爐的安裝調(diào)整

1、擴散爐的安裝調(diào)整（擴散爐的安裝調(diào)整（4） 擴散爐的背灰區(qū)服務(wù)面 擴散爐背面的尾氣箱。為保證頂部抽風排除微量 漏出的尾氣的作用，平時尾氣箱門必須關(guān)閉。 調(diào)整碳化硅 槳的位置 調(diào)整碳化硅 槳的仰角和 左右水平 調(diào)整不銹鋼 門的位置 碳化硅槳和不銹鋼爐門位置的調(diào)整 碳化硅槳和不銹鋼爐門位置的調(diào)整 不銹鋼收集槽 舌頭要保證滴下的偏 磷酸全被收集到不銹 鋼和石英收集槽中 偏磷酸的收集 不銹鋼排毒箱 不銹鋼爐門 不銹鋼舌頭 石英收集槽 不銹鋼收集槽 我們的擴散爐是以密封爐蓋的加壓工作方式 保證爐蓋的密封是保證擴散工藝重復(fù)性的基礎(chǔ)。 保證尾管接口和爐蓋的密封也是為安全和設(shè)備壽命所必需的。 擴散爐的尾氣管是我

2、們檢查爐管密封的地方 當爐蓋密封不好時，尾氣從爐口泄露而出，從尾氣管流出的尾氣 減少，因而尾氣管的溫度下降。因此，在每班應(yīng)檢查每個爐子尾 氣管的溫度，及時發(fā)現(xiàn)漏氣，及時調(diào)整爐門密封。 用手觸摸尾 管來感知尾 管的溫度。 注意不要燙 傷手指。 石英爐蓋與石英爐 口的密封 爐蓋與爐口的密封可用一 個橡皮圈實現(xiàn)。但橡皮圈 不能承受超過一千度的高 溫，而且橡皮圈也不能保 證爐口密封的效果。 然而，實踐中發(fā)現(xiàn)，沒有 橡皮圈也可以達到密封的 效果。但要保證爐口沒有 碎硅片或磷源的干塊等物 體。 爐管口的清潔維持 爐管口要保持清潔。要經(jīng)常觀察爐口的狀態(tài)，用 手觸摸橡皮圈以發(fā)現(xiàn)缺口或硬塊，損壞的橡皮圈 要及時

3、更換，完好的橡皮圈要經(jīng)常清理。 清理時爐溫要降到200-300度，硬塊、碎硅片用 石英片刮除。再用超凈布打濕去離子水擦干凈。 同時擦凈橡皮圈和爐門其它部分的干源塊。 （利用10天一次的半天設(shè)備維修時間，降溫2小 時，清洗1小時，升溫后以正常擴散條件作一次 飽和，在進行擴散）。 爐門的壓力密封機構(gòu) 爐門的密封機構(gòu)必須將壓力均勻地、適度地施加在爐門上，才能 保證爐門的密封。 3個壓腳 4個小 彈簧 壓腳長 短調(diào)節(jié) 壓腳壓 力調(diào)節(jié) 壓力固 定螺母 4個爐門小彈簧的調(diào)整 原來設(shè)計的 Teflon 爐門密封環(huán)的力量不夠，在受熱下還會軟化、變 形。因此才改進設(shè)計，采用了4個小彈簧來加強 Teflon 密封

4、環(huán)。 不銹鋼 壓力環(huán) 必須接 觸爐門 彈簧螺 桿的固 定螺母 小彈簧 的固定 螺桿 4個爐門小彈簧的調(diào)整 小彈簧的螺 桿要在爐門 關(guān)閉時與碳 化硅板分離 1到2毫米 小彈簧的 螺桿要用 兩個螺母 相互咬死 爐門安裝的檢查 爐門的密封機構(gòu)安裝完畢后，或發(fā)現(xiàn)冷尾管、對爐門調(diào)整之后， 要對爐門的安裝作如下的檢查。 3個壓腳的 壓力要合 適、壓力 要均勻。 大壓環(huán)要 全面接觸 石英門。 壓腳要接 觸石英門 兩個螺 母相互 咬緊， 前一個 螺母接 觸碳化 硅盤。 固定螺 母要擰 緊 爐門向前 傾斜約2 毫米 爐門安裝的檢查 對上一照片的補充： 壓腳的位置 調(diào)整后要用 螺母固定 這一機構(gòu)要朝 向觀察窗口

5、松開此螺絲后可轉(zhuǎn) 動壓角桿的方向 試車前要將爐門向外微調(diào)試車前要將爐門向外微調(diào) 5 5 毫米毫米 松開此螺絲可調(diào)節(jié)爐 門定位傳感器的位置 以確保爐門不會對爐以確保爐門不會對爐 管施加過大的壓力管施加過大的壓力 二級爐門限位接觸傳感器，一般不需調(diào)節(jié) 爐門密封的觀察爐門密封的觀察 窗口窗口 爐口密封的觀察窗口在 超凈間外面的服務(wù)灰區(qū) 內(nèi)。打開爐子的面板， 在打開排毒箱側(cè)面的密 封面板。 爐門壓力密封機構(gòu)的調(diào)節(jié)爐門壓力密封機構(gòu)的調(diào)節(jié) 爐門的最終調(diào)節(jié)至關(guān)重要，需要兩人操作。一人將爐門來回移動，開爐門10秒鐘， 再關(guān)好爐門，往復(fù)十次。另一人在灰區(qū)觀察，并調(diào)整定位傳感器位置來達到以下 要求。 觀察此壓腳（

6、X3） 是否壓住爐門 觀察此壓環(huán)是否 全部壓住爐門 觀察此定位螺絲(X3) 是否后退約3毫米 觀察此定位螺絲（X4) 是否后退約1-2毫米 必要時調(diào)整機械限位塊的位置必要時調(diào)整機械限位塊的位置 機械限位塊要留有 一、兩毫米的空隙 最后再檢查一下開爐行程傳感器的位置最后再檢查一下開爐行程傳感器的位置 開爐行程傳感器要保證行走 臂不會撞到軌道的盡頭。 磷源安裝的檢查 對上一照片的補充： 粗管 細管 要觀察源瓶 的進氣管位 置是否正確 以實驗室為例，為保證工作正常和安全，工作氣 體壓力定為兩個大氣壓左右 車間里的氣體壓力要略高一些。 又以實驗室為例，為保證源瓶的安全，源瓶氣體 壓力定為一個大氣壓(1

7、5psi)。 車間里的氣體安裝也應(yīng)考慮同樣的設(shè)置。 為保證爐管清潔， 在擴散爐不工作時 要通保護氮氣。 在爐管清洗安裝及使用過程中需要注意的事項 1 1。爐體的清潔。爐體的清潔 我發(fā)現(xiàn)大部分北京擴散爐的排毒箱內(nèi)都有大量的粉塵， 可能是隔熱封裝材料的粉末，還有金屬切割的碎屑。 這些都應(yīng)當在安裝爐管前后清理干凈。也可在降溫維 修時將其清理干凈。 偏磷酸石英收集槽和不銹鋼收集槽必須經(jīng)常打掃干凈， 防止偏磷酸將排毒箱腐蝕壞。收集偏磷酸的石英槽可 在每十天一次的半天設(shè)備維護時，將爐溫下降到200- 300度后，用 Teflon 管將石英槽內(nèi)的偏磷酸以虹吸 法吸出。 2 2。爐管、石英舟的清洗。爐管、石英

8、舟的清洗 爐管、石英舟、石英舟托，石英均流板等石英器具， 要在稀釋的氫氟酸（HF:H20=1:25)中浸泡 2小時以上。 再用去離子水沖洗干凈。 然后。用氮氣吹干。不能有殘留的水。 由于石英器具是直接進入擴散爐內(nèi)或與進入爐內(nèi)器具 相接觸的，因而必須非常干凈。 在爐管清洗安裝及使用過程中需要注意的事項 3 3。保持爐管、石英舟的清洗液的潔凈。保持爐管、石英舟的清洗液的潔凈 干凈石英器具的清洗液只能清洗干凈的石英器具。絕 對禁止用它來清洗其它不干凈的工件，包括： 各種金屬（不銹鋼）工件， 收集偏磷酸的石英槽， 以及任何從大車間低溫工藝用過的工件。 在爐管清洗安裝及使用過程中需要注意的事項 4 4。爐管、石英舟的保持。爐管、石英舟的保持 洗好的爐管、石英舟、石英均流板等石英器具要注意 保潔。 洗好的石英爐管，在安裝前，應(yīng)將爐口和爐尾管用塑 料膜或鋁膜包好。如洗凈安裝好的爐管不能及時蓋蓋 子通保護氮氣，就應(yīng)將爐口包起來。能通氣時再將包 口去掉。 暫時不用的石英舟要存儲在超凈柜內(nèi)。存放一天之后 的石英舟在使用