電感式傳感器及應(yīng)用PPT優(yōu)秀課件

1、2015/10/12 1 第4章 電感式傳感器及應(yīng)用 主講人：主講人： 李靜李靜 2 根據(jù)法拉第電磁定律，當(dāng)穿過(guò)閉合電路的磁通量根據(jù)法拉第電磁定律，當(dāng)穿過(guò)閉合電路的磁通量 發(fā)生變化時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)，這種現(xiàn)象稱(chēng)為發(fā)生變化時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)，這種現(xiàn)象稱(chēng)為電電 磁感應(yīng)磁感應(yīng)。利用這種現(xiàn)象可以構(gòu)成各種各樣的傳感器。利用這種現(xiàn)象可以構(gòu)成各種各樣的傳感器。 電感式傳感器是利用電感式傳感器是利用線圈自感或互感的變化線圈自感或互感的變化來(lái)實(shí)來(lái)實(shí) 現(xiàn)測(cè)量的一種裝置現(xiàn)測(cè)量的一種裝置. 引 言 3 電感式傳感器 u 原 理 u 定 義 利用線圈自感和互感的變化實(shí)現(xiàn)非電量電測(cè)的裝置。 u 感測(cè)量 位移、振動(dòng)

2、、壓力、應(yīng)變、流量、比重等。 u 分 類(lèi) 根據(jù)轉(zhuǎn)換原理：自感式（変磁阻式）、互感式（差動(dòng)變壓器式）、 電渦流式。 根據(jù)結(jié)構(gòu)形式：氣隙型、面積型和螺管型。 電磁 感應(yīng) 測(cè)量 電路 4 優(yōu) 點(diǎn) 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠 分辨率高 機(jī)械位移0.1m，甚至更小；角位移0.1角秒。 輸出信號(hào)強(qiáng)，電壓靈敏度可達(dá)數(shù)百mV/mm 。 重復(fù)性好，線性度優(yōu)良 在幾十m到數(shù)百mm的位移范圍內(nèi)，輸出特性的線性度 較好，且比較穩(wěn)定。 能實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離傳輸、記錄、顯示和控制 u 不 足 存在交流零位信號(hào)，不宜高頻動(dòng)態(tài)測(cè)量。 5 主要章節(jié)內(nèi)容 4.1 4.1 自感式傳感器自感式傳感器 4.2 4.2 差動(dòng)變壓器式傳感器差動(dòng)變壓器式傳感器

3、 4.3 4.3 電渦流傳感器電渦流傳感器 6 4.1 自感式傳感器 自感式傳感器是利用自感式傳感器是利用自感量隨氣隙變化而改變自感量隨氣隙變化而改變 的原理的原理制成的，制成的，主要用來(lái)主要用來(lái)測(cè)量位移測(cè)量位移。 自感式傳感器主要有自感式傳感器主要有閉磁路變隙式閉磁路變隙式和和開(kāi)磁路螺開(kāi)磁路螺 線管式線管式，它們又都可以分為，它們又都可以分為單線圈式單線圈式與與差動(dòng)式差動(dòng)式 兩種結(jié)構(gòu)形式。兩種結(jié)構(gòu)形式。 7 內(nèi) 容 4.1.1 結(jié)構(gòu)和工作原理結(jié)構(gòu)和工作原理 4.1.2 自感式傳感器的測(cè)量電路自感式傳感器的測(cè)量電路 4.1.3 自感式傳感器應(yīng)用舉例自感式傳感器應(yīng)用舉例 8 自感式傳感器的基本工

4、作自感式傳感器的基本工作原理演示原理演示 F F 銜鐵移動(dòng)銜鐵移動(dòng) 磁路中氣隙磁阻變化磁路中氣隙磁阻變化 線圈的電感值變化線圈的電感值變化 9 4.1.1 基本工作原理基本工作原理 線圈線圈 鐵芯鐵芯 銜鐵銜鐵 ,LIN m 由于由于 m R N L 2 m m mm R F NIF, 可得：可得： 磁路的總磁阻可表示為：磁路的總磁阻可表示為： SS l R ii i m 0 2 近似計(jì)算出線圈的電感量為：近似計(jì)算出線圈的電感量為： 2 0 2 SN L 10 結(jié) 論 電感式傳感器從原理上可分為電感式傳感器從原理上可分為變氣隙長(zhǎng)度式變氣隙長(zhǎng)度式和和變氣變氣 隙截面式隙截面式兩種類(lèi)型，兩種類(lèi)型，

5、前者常用于測(cè)量前者常用于測(cè)量直線位移直線位移，后，后 者常用于測(cè)量者常用于測(cè)量角位移角位移。 如果在線圈中放入圓柱形銜鐵，當(dāng)銜鐵上下移動(dòng)時(shí)，如果在線圈中放入圓柱形銜鐵，當(dāng)銜鐵上下移動(dòng)時(shí)， 自感量將相應(yīng)變化，就構(gòu)成了自感量將相應(yīng)變化，就構(gòu)成了螺線管型螺線管型自感傳感器。自感傳感器。 11 4.1.1 常見(jiàn)結(jié)構(gòu)形式 1線圈線圈 2鐵芯鐵芯 3銜鐵銜鐵 4測(cè)桿測(cè)桿 5導(dǎo)軌導(dǎo)軌 6工件工件 7轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)軸 12 由電感式由電感式 可知，可知，變氣隙變氣隙 長(zhǎng)度式長(zhǎng)度式傳感器的線性度差、示值范圍窄、自由行傳感器的線性度差、示值范圍窄、自由行 程小，但在小位移下靈敏度很高，程小，但在小位移下靈敏度很高，常用于

6、小位移常用于小位移 的測(cè)量的測(cè)量。 1變氣隙式（閉磁路式）自感傳感器 1線圈線圈 2鐵芯鐵芯 3銜鐵銜鐵 2 0 2 SN L 13 1變氣隙式（閉磁路式）自感傳感器 由電感式由電感式 同樣可知，同樣可知，變變 截面式傳感器截面式傳感器具有良好的線性度、自由行程大、具有良好的線性度、自由行程大、 示值范圍寬，但靈敏度較低，示值范圍寬，但靈敏度較低，常用來(lái)測(cè)量較大位常用來(lái)測(cè)量較大位 移量移量。 為擴(kuò)大示值范圍和減小非線性誤差，可采用為擴(kuò)大示值范圍和減小非線性誤差，可采用差動(dòng)差動(dòng) 結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)。 2 0 2 SN L 14 2螺線管式（開(kāi)磁路式）自感式傳感器 螺線管式自感式傳感器常采用差動(dòng)式。螺線管式

7、自感式傳感器常采用差動(dòng)式。 1測(cè)桿測(cè)桿 2銜鐵銜鐵 3線圈線圈 差動(dòng)式電感傳感器對(duì)外界差動(dòng)式電感傳感器對(duì)外界 影響，如溫度的變化、電影響，如溫度的變化、電 源頻率的變化等基本上可源頻率的變化等基本上可 以互相抵消，銜鐵承受的以互相抵消，銜鐵承受的 電磁吸力也較小，從而減電磁吸力也較小，從而減 小了測(cè)量誤差。小了測(cè)量誤差。 15 特性 1、2L1、L2的特性的特性 3差動(dòng)特性差動(dòng)特性 16 4.1.2 自感式傳感器的測(cè)量電路 測(cè)量電路有交流分壓式、交流電橋式和諧振式等多種，常用測(cè)量電路有交流分壓式、交流電橋式和諧振式等多種，常用 的差動(dòng)式傳感器大多采用的差動(dòng)式傳感器大多采用交流電橋式交流電橋式

8、。 交流電橋的種類(lèi)很多，交流電橋的種類(lèi)很多，差動(dòng)形式工作時(shí)其電橋電路常采用雙差動(dòng)形式工作時(shí)其電橋電路常采用雙 臂工作方式臂工作方式。 17 1變壓器交流電橋 電橋有兩臂為傳感器的電橋有兩臂為傳感器的 差動(dòng)線圈的阻抗，所以差動(dòng)線圈的阻抗，所以 該電路又稱(chēng)為差動(dòng)交流該電路又稱(chēng)為差動(dòng)交流 電橋電橋 變壓器式交流電橋電路圖變壓器式交流電橋電路圖 18 分析 設(shè)設(shè)O O點(diǎn)為電位參考點(diǎn)，根據(jù)電路的基本分析方法，點(diǎn)為電位參考點(diǎn)，根據(jù)電路的基本分析方法， 可得到電橋輸出電壓為可得到電橋輸出電壓為 當(dāng)傳感器的活動(dòng)鐵芯處于初始平衡位置時(shí)，兩線當(dāng)傳感器的活動(dòng)鐵芯處于初始平衡位置時(shí)，兩線 圈的電感相等，阻抗也相等。圈

9、的電感相等，阻抗也相等。 電橋輸出電壓，電橋處于平衡狀態(tài)。電橋輸出電壓，電橋處于平衡狀態(tài)。 1 oABAB2 12 1 () 2 Z UUVVU ZZ 19 變化時(shí) 當(dāng)鐵芯向一邊移動(dòng)時(shí)，則一個(gè)線圈的阻抗增加當(dāng)鐵芯向一邊移動(dòng)時(shí)，則一個(gè)線圈的阻抗增加 ， 10 ZZZ 20 ZZZ 0 o22 00 1 () 222 ZZZ UUU ZZ 20 變化后的電壓 當(dāng)傳感器線圈為高當(dāng)傳感器線圈為高Q Q值時(shí)，則線圈的電阻遠(yuǎn)小于值時(shí)，則線圈的電阻遠(yuǎn)小于 其感抗其感抗 當(dāng)活動(dòng)鐵芯向另一邊（反方向）移動(dòng)時(shí)當(dāng)活動(dòng)鐵芯向另一邊（反方向）移動(dòng)時(shí) 差動(dòng)式自感傳感器采用變壓器交流電橋?yàn)闇y(cè)量電差動(dòng)式自感傳感器采用變壓器交

10、流電橋?yàn)闇y(cè)量電 路時(shí)，電橋輸出電壓既能反映被測(cè)體位移量的大路時(shí)，電橋輸出電壓既能反映被測(cè)體位移量的大 小，又能反映位移量的方向，且輸出電壓與電感小，又能反映位移量的方向，且輸出電壓與電感 變化量呈線性關(guān)系。變化量呈線性關(guān)系。 o2 0 2 L UU L 21 2帶相敏整流的交流電橋 上述變壓器式交流電橋中，由于上述變壓器式交流電橋中，由于采用交流電源采用交流電源， 則不論活動(dòng)鐵芯向線圈的哪個(gè)方向移動(dòng)，電橋輸則不論活動(dòng)鐵芯向線圈的哪個(gè)方向移動(dòng)，電橋輸 出電壓總是交流的，即無(wú)法判別位移的方向。出電壓總是交流的，即無(wú)法判別位移的方向。 常采用常采用帶相敏整流的交流電橋帶相敏整流的交流電橋。 22 結(jié)

11、構(gòu) 帶相敏整流的交流電橋電路帶相敏整流的交流電橋電路 23 （1）初始平衡位置時(shí) 鐵芯處于初始平衡位置時(shí)的等效電路鐵芯處于初始平衡位置時(shí)的等效電路 24 （2）活動(dòng)鐵芯向一邊移動(dòng)時(shí) 鐵芯向線圈一個(gè)方向移動(dòng)時(shí)的等效電路鐵芯向線圈一個(gè)方向移動(dòng)時(shí)的等效電路 25 結(jié)果 oDCii 2 00 0 1 22 1 () 2 ZZ UVVUU Z ZZ Z oDCi 2 0 0 1 2 1 () 2 Z UVVU Z Z Z 在在Ui的正半周的正半周 在在Ui的負(fù)半周的負(fù)半周 26 只要活動(dòng)鐵芯向一方向移動(dòng)，只要活動(dòng)鐵芯向一方向移動(dòng)，無(wú)論在交流電源的無(wú)論在交流電源的 正半周還是負(fù)半周，電橋輸出電壓均為正值。

12、正半周還是負(fù)半周，電橋輸出電壓均為正值。 27 （3）活動(dòng)鐵芯向相反方向移動(dòng)時(shí) 當(dāng)活動(dòng)鐵芯向線圈的另一個(gè)方向移動(dòng)時(shí)，用上述當(dāng)活動(dòng)鐵芯向線圈的另一個(gè)方向移動(dòng)時(shí)，用上述 分析方法同樣可以證明，分析方法同樣可以證明，無(wú)論在的正半周還是負(fù)無(wú)論在的正半周還是負(fù) 半周，電橋輸出電壓均為負(fù)值。半周，電橋輸出電壓均為負(fù)值。 28 應(yīng)用 1理想特性曲線理想特性曲線 2實(shí)際特性曲線實(shí)際特性曲線 29 4.1.3自感式傳感器應(yīng)用舉例 用于測(cè)量位移，還可以用于測(cè)量用于測(cè)量位移，還可以用于測(cè)量振動(dòng)、應(yīng)變、厚振動(dòng)、應(yīng)變、厚 度、壓力、流量、液位等度、壓力、流量、液位等非電量。非電量。 30 1自感式測(cè)厚儀 1可動(dòng)鐵芯可動(dòng)

13、鐵芯 2測(cè)桿測(cè)桿 3被測(cè)物體被測(cè)物體 31 2位移測(cè)量 1引線引線 2線圈線圈 3銜鐵銜鐵 4測(cè)力彈簧測(cè)力彈簧 5導(dǎo)桿導(dǎo)桿 6密封罩密封罩 7測(cè)頭測(cè)頭 32 其他電感測(cè)微頭其他電感測(cè)微頭 33 4.2 差動(dòng)變壓器式傳感器 把被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為線圈互感變化的傳感器稱(chēng)為互把被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為線圈互感變化的傳感器稱(chēng)為互 感式傳感器。因這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成感式傳感器。因這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成 的，并且其二次繞組都用差動(dòng)形式連接，所以又叫差動(dòng)變的，并且其二次繞組都用差動(dòng)形式連接，所以又叫差動(dòng)變 壓器式傳感器，簡(jiǎn)稱(chēng)壓器式傳感器，簡(jiǎn)稱(chēng)差動(dòng)變壓器差動(dòng)變壓器。 有變隙式、變

14、面積式和螺線管式等有變隙式、變面積式和螺線管式等 在非電量測(cè)量中，在非電量測(cè)量中，應(yīng)用最多的是螺線管式的差動(dòng)變壓器應(yīng)用最多的是螺線管式的差動(dòng)變壓器， 它可以測(cè)量它可以測(cè)量1 1100mm100mm范圍內(nèi)的機(jī)械位移，并具有測(cè)量精度范圍內(nèi)的機(jī)械位移，并具有測(cè)量精度 高、靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠等優(yōu)點(diǎn)。高、靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠等優(yōu)點(diǎn)。 34 4.2.1 基本工作原理 螺線管式差動(dòng)變壓器結(jié)構(gòu)示意圖螺線管式差動(dòng)變壓器結(jié)構(gòu)示意圖 1 一次繞組一次繞組 2二次繞組二次繞組 3銜鐵銜鐵 4測(cè)桿測(cè)桿 螺線管式差動(dòng)變壓器原理圖螺線管式差動(dòng)變壓器原理圖 35 輸出特性 零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì) 36

15、 零點(diǎn)電勢(shì) 零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)使得傳感器在零點(diǎn)附近的輸出特零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)使得傳感器在零點(diǎn)附近的輸出特 性不靈敏，為測(cè)量帶來(lái)誤差。為了減小零點(diǎn)殘余性不靈敏，為測(cè)量帶來(lái)誤差。為了減小零點(diǎn)殘余 電動(dòng)勢(shì)，可采用以下方法。電動(dòng)勢(shì)，可采用以下方法。 （1 1）盡可能保證傳感器尺寸、線圈電氣參數(shù)和）盡可能保證傳感器尺寸、線圈電氣參數(shù)和 磁路對(duì)稱(chēng)。磁路對(duì)稱(chēng)。 （2 2）選用合適的測(cè)量電路。）選用合適的測(cè)量電路。 （3 3）采用補(bǔ)償線路減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)。）采用補(bǔ)償線路減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)。 37 4.2.2 測(cè) 量 電 路 差動(dòng)變壓器輸出的是交流電壓，若用交流電壓表差動(dòng)變壓器輸出的是交流電壓，若用交流電壓表 測(cè)量，

16、只能反映銜鐵位移的大小，而不能反映移測(cè)量，只能反映銜鐵位移的大小，而不能反映移 動(dòng)方向。另外，其測(cè)量值中將包含零點(diǎn)殘余電壓。動(dòng)方向。另外，其測(cè)量值中將包含零點(diǎn)殘余電壓。 為了達(dá)到能辨別移動(dòng)方向及消除零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)為了達(dá)到能辨別移動(dòng)方向及消除零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì) 目的，實(shí)際測(cè)量時(shí)，常常采用差動(dòng)整流電路和相目的，實(shí)際測(cè)量時(shí)，常常采用差動(dòng)整流電路和相 敏檢波電路。敏檢波電路。 38 1差動(dòng)整流電路 39 4.2.3 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用 差動(dòng)變壓器不僅可以直接用于位移測(cè)量，而且還差動(dòng)變壓器不僅可以直接用于位移測(cè)量，而且還 可以測(cè)量與位移有關(guān)的任何機(jī)械量，如振動(dòng)、加可以測(cè)量與位移有關(guān)的任何機(jī)械量，如振動(dòng)

17、、加 速度、應(yīng)變、壓力、張力、比重和厚度等。速度、應(yīng)變、壓力、張力、比重和厚度等。 40 L L1 1、L L2 2傳感器作兩個(gè)橋臂；傳感器作兩個(gè)橋臂；C C1 1、C C2 2為另外兩個(gè)橋臂；為另外兩個(gè)橋臂； DD1 1-D-D4 4組成相敏整流器組成相敏整流器; ;磁飽和變壓器磁飽和變壓器T T提供橋壓。提供橋壓。 差動(dòng)變壓器式測(cè)厚儀 41 1振動(dòng)和加速度的測(cè)量 振動(dòng)傳感器及其測(cè)量電路振動(dòng)傳感器及其測(cè)量電路 1彈性支撐彈性支撐 2差動(dòng)變壓器差動(dòng)變壓器 42 2力和壓力的測(cè)量 差動(dòng)變壓器式力傳感器差動(dòng)變壓器式力傳感器 1上部上部 2銜鐵銜鐵 3線圈線圈 4變形部變形部 5下部下部 43 微壓

18、力傳感器 1差動(dòng)變壓器差動(dòng)變壓器 2銜鐵銜鐵 3罩殼罩殼 4插頭插頭 5通孔通孔 6底座底座 7膜盒膜盒 8接頭接頭 9線路板線路板 電感式微壓力傳感器電感式微壓力傳感器 44 課堂小結(jié) 1 1、電感式傳感器工作原理，能測(cè)量哪些物理量？電感式傳感器工作原理，能測(cè)量哪些物理量？ 2 2、三種自感式傳感器的工作原理、特點(diǎn)、應(yīng)用范圍；三種自感式傳感器的工作原理、特點(diǎn)、應(yīng)用范圍； 3 3、帶相敏整流交流電橋是怎樣判斷銜鐵移動(dòng)方向的？帶相敏整流交流電橋是怎樣判斷銜鐵移動(dòng)方向的？ 4 4、零點(diǎn)殘余電壓是如何產(chǎn)生的，對(duì)傳感器性能會(huì)產(chǎn)零點(diǎn)殘余電壓是如何產(chǎn)生的，對(duì)傳感器性能會(huì)產(chǎn) 生何種影響，如何消除它生何種影響

19、，如何消除它？ 45 課后作業(yè)：課后作業(yè)： 4.1、4.4 46 4.3電渦流傳感器 根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)原理，塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場(chǎng) 中或在磁場(chǎng)中作切割磁力線運(yùn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)體內(nèi)將產(chǎn)生呈渦旋 狀的感應(yīng)電流，此電流叫電渦流，這種現(xiàn)象稱(chēng)為電渦流效 應(yīng)。 根據(jù)電渦流效應(yīng)制成的傳感器稱(chēng)為電渦流式傳感器。按照 電渦流在導(dǎo)體內(nèi)的貫穿情況， 此傳感器可分為高頻反射 式和低頻透射式兩類(lèi)，但從基本工作原理上來(lái)說(shuō)仍是相似 的。電渦流式傳感器最大的特點(diǎn)是能對(duì)位移、厚度、表面 溫度、速度、應(yīng)力、材料損傷等進(jìn)行非接觸式連續(xù)測(cè)量， 另外還具有體積小、靈敏度高、頻率響應(yīng)寬等特點(diǎn)，應(yīng)用 極其廣泛。 47 4.3.1 電渦流傳感

20、器的工作原理 線圈阻抗的變化完全取決于被測(cè)金屬 導(dǎo)體的電渦流效應(yīng)。 而電渦流效應(yīng)既與被測(cè)體的電阻率、 磁導(dǎo)率以及幾何形狀有關(guān)，又與線 圈幾何參數(shù)、線圈中激磁電流頻率 有關(guān)，還與線圈與導(dǎo)體間的距離x有 關(guān)。因此，傳感器線圈受電渦流影響 時(shí)的等效阻抗Z的函數(shù)關(guān)系式為Z=F （，R，x） 電渦流傳感器原理圖 48 如果保持上式中其他參數(shù)不變，而只改變其中一 個(gè)參數(shù)，傳感器線圈阻抗Z就僅僅是這個(gè)參數(shù)的單 值函數(shù)。通過(guò)與傳感器配用的測(cè)量電路測(cè)出阻抗Z 的變化量，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)該參數(shù)的測(cè)量。 49 4.3.2 電渦流傳感器基本結(jié)構(gòu)和類(lèi)型 1電渦流傳感器基本結(jié)構(gòu) 2電渦流傳感器基本類(lèi)型 50 1電渦流傳感器基本

21、結(jié)構(gòu) 電渦流式傳感器的基本結(jié) 構(gòu)主要由線圈和框架組成。 根據(jù)線圈在框架上的安置 方法，傳感器的結(jié)構(gòu)可分 為兩種形式：一種是單獨(dú) 繞成一只無(wú)框架的扁平圓 形線圈，由膠水將此線圈 粘接于框架的頂部 圖4-26 CZF3型電渦流式傳感器 1殼體 2框架 3線圈 4保護(hù)套 5填料 6螺母 7電纜 51 另一種是在框架 的接近端面處開(kāi) 一條細(xì)槽，用導(dǎo) 線在槽中繞成一 只線圈，如圖4- 27所示的CZF1型 電渦流式傳感器。 圖4-27 CZF1型電渦流式傳感器 1電渦流線圈 2前端殼體 3位置調(diào)節(jié) 螺 4信號(hào)處理電路 5夾持螺母 6電源指 示燈閾值指示燈 8輸出屏蔽電纜線 9電 纜插頭 52 2電渦流傳

22、感器基本類(lèi)型 電渦流在金屬導(dǎo)體內(nèi)的滲透深度與傳感器線圈的 激勵(lì)信號(hào)頻率有關(guān)，故電渦流式傳感器可分為高 頻反射式和低頻透射式兩類(lèi)。目前高頻反射式電 渦流傳感器應(yīng)用較廣泛。 53 （1）高頻反射式 高頻（1MHz）激勵(lì)電流產(chǎn)生 的高頻磁場(chǎng)作用于金屬板的表 面，由于集膚效應(yīng)，在金屬板 表面將形成渦電流。與此同時(shí)， 該渦流產(chǎn)生的交變磁場(chǎng)又反作 用于線圈，引起線圈自感L或 阻抗ZL的變化。線圈自感L或 阻抗ZL的變化與金屬板距離h、 金屬板的電阻率、磁導(dǎo)率、 激勵(lì)電流i及角頻率等有關(guān)， 若只改變距離h而保持其他參 數(shù)不變，則可將位移的變化轉(zhuǎn) 換為線圈自感的變化，通過(guò)測(cè) 量電路轉(zhuǎn)換為電壓輸出。高頻 反射式

23、渦流傳感器多用于位移 測(cè)量。 高頻反射式電渦流傳感器 54 （2）低頻透射式 低頻透射式電渦流傳感器 55 4.3.3 測(cè)量電路 1電橋電路 2調(diào)幅式（AM）電路 3調(diào)頻（FM）式電路（100kHz1MHz） 56 1電橋電路 靜態(tài)時(shí)，電橋平衡，橋路輸出 UAB0。工作時(shí)，傳感器接近被 測(cè)體，電渦流效應(yīng)等效電感L發(fā) 生變化，測(cè)量電橋失去平衡，即 UAB0，經(jīng)線性放大后送檢波器 檢波后輸出直流電壓U。 57 2調(diào)幅式（AM）電路 石英振蕩器產(chǎn)生穩(wěn)頻、穩(wěn)幅高頻振蕩電壓（100kHz1MHz）用于 激勵(lì)電渦流線圈。金屬材料在高頻磁場(chǎng)中產(chǎn)生電渦流，引起電渦 流線圈端電壓的衰減，再經(jīng)高放、檢波、低放電路

24、，最終輸出的 直流電壓Uo反映了金屬體對(duì)電渦流線圈的影響）。 58 3調(diào)頻（FM）式電路（100kHz1MHz） 當(dāng)電渦流線圈與被測(cè)體的距離x 改變時(shí)，電渦流線圈的電 感量L也隨之改變，引起LC振蕩器的輸出頻率變化，此頻 率可直接用計(jì)算機(jī)測(cè)量。如果要用模擬儀表進(jìn)行顯示或記 錄時(shí)，必須使用鑒頻器，將f轉(zhuǎn)換為電壓Uo。 59 4.3.4 電渦流傳感器的應(yīng)用 渦流式傳感器的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于進(jìn)行非接觸的連續(xù) 測(cè)量，靈敏度較高，適用性強(qiáng) 利用位移x作為變換量，可以做成測(cè)量位移、厚度、振 幅、振擺、轉(zhuǎn)速等傳感器，也可做成接近開(kāi)關(guān)、計(jì)數(shù)器等； 利用材料電阻率作為變換量，可以做成測(cè)量溫度，材 質(zhì)判別等傳感

25、器； 利用導(dǎo)磁率作為變換量，可以做成 測(cè)量應(yīng)力，硬度等傳感器； 利用變換量x、等的綜 臺(tái)影響，可以做成探傷裝置。 60 1測(cè)量轉(zhuǎn)速 在軟磁材料制成的輸入軸上加工一鍵槽（或裝上 一個(gè)齒輪狀的零件），在距輸入表面d0處設(shè)置電 渦流傳感器，輸入軸與被測(cè)旋轉(zhuǎn)軸相連。 實(shí)物圖 61 原理 當(dāng)旋轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，輸出軸的距離發(fā)生d0+d的變化。由于 電渦流效應(yīng)，這種變化將導(dǎo)致振蕩諧振回路的品質(zhì)因數(shù)變 化，使傳感器線圈電感隨d的變化也發(fā)生變化，它們將 直接影響振蕩器的電壓幅值和振蕩頻率。因此，隨著輸入 軸的旋轉(zhuǎn)，從振蕩器輸出的信號(hào)中包含有與轉(zhuǎn)數(shù)成正比的 脈沖頻率信號(hào)。該信號(hào)由檢波器檢出電壓幅值的變化量， 然后經(jīng)整形電路輸出脈沖頻率信號(hào)f，該信號(hào)經(jīng)電路處理 便可得到被測(cè)轉(zhuǎn)速。 62 2測(cè)位移 接通電源后，在電渦流探頭的有效面（感應(yīng)工作面）將 產(chǎn)生一個(gè)交變磁場(chǎng)。當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時(shí)，金屬 表面將吸取電渦流探頭中的高頻振蕩能量，使振蕩器的 輸出幅度線性地衰減，根據(jù)衰減量的變化，可計(jì)算出與 被檢物體的距離、振動(dòng)等參數(shù)。這種位移傳感器屬于非 接觸測(cè)量，工作時(shí)不受灰塵等非金屬因素的影響，壽命 較長(zhǎng)，可在各種惡劣條件下使用。 63 3電渦流接近開(kāi)關(guān) 接近開(kāi)關(guān)又稱(chēng)無(wú)觸點(diǎn)行程開(kāi)關(guān)。常用的接近開(kāi)關(guān) 有電渦流式