激光干涉儀技術(shù)參數(shù).doc

1、用途及技術(shù)特點：用于數(shù)控設(shè)備、測量儀器等產(chǎn)品的直線軸線性定位精度、俯仰扭擺小角度精度、直線度 的檢測與驗收。激光干涉儀系統(tǒng)所有測量功能均采用激光波長作為測量基準(zhǔn)，具有溯源性。不采用四象限傳感器等測量角度或直線度方法。儀器擴展性、兼容性和互換性：可以進行多軸機床的誤差補償及回轉(zhuǎn)軸精度標(biāo)定，可與其他數(shù)字指示器設(shè)備配合使用,實現(xiàn)設(shè)備幾何精度的檢測。雙軸測量軟件：可在一臺計算機上連接并控制二臺相同型號的激光系統(tǒng)，提供了同步采集兩平行軸數(shù)據(jù)的能力。動態(tài)測量功能： 可以進行機床系統(tǒng)動態(tài)測試， 利用動態(tài)特性測量與評估軟件 , 對導(dǎo)軌的動態(tài)特性進行分析，對機器故障源進行診斷。1、激光頭：1.1、 激光頭具備

2、80 米測量能力；1.2、 激光穩(wěn)頻精度（開機一小時開始拍頻） ： 0.01ppm；1.3、 系統(tǒng)預(yù)熱（進入精密測量）準(zhǔn)備時間： 6 分鐘；1.4、 接口：內(nèi)置 USB連接，無需單獨接口；外部電源， 90 V AC - 264 V AC1.5、 標(biāo)準(zhǔn)配置還具有一個輔助模擬信號輸出、觸發(fā)信號輸入；1.6、 激光頭前部具備光強狀態(tài)指示燈，以方便激光準(zhǔn)直；2、補償單元和傳感器：2.1 接口：內(nèi)置 USB通訊端口，無需單獨的接口；2.2 內(nèi)部傳感器：空氣壓力、相對濕度；2.3 外部傳感器： 1 個空氣溫度傳感器、 1 個材料溫度傳感器；2.4 傳感器參數(shù)：規(guī)格范圍精度材料溫度0 400.1 空氣溫度0

3、 400.2 空氣壓力650 1150mbar1mbar相對濕度（）095（非冷凝）6RH3、線性測量參數(shù)：規(guī)格參數(shù)線性測量長度范圍0 40m測量精度（配補償單元）0.5ppm分辨率0.001 m最高測量速度：4m/s；動態(tài)采集頻率：10Hz50KHz；4、角度（俯仰與扭擺）測量參數(shù)：規(guī)格參數(shù)軸向量程015m角度測量范圍 175mm/m （ 10O）角度精度 0.02A0.50.1M 微弧度分辨率0.1m/m（0.01 arc sec）其中： M=測量距離，單位為米； A=顯示的角度讀數(shù)。5、短距直線度測量：規(guī)格參數(shù)軸向量程0.1 4m直線度測量范圍 2.5mm測量精度0.005A0.50.1

4、5 M2m分辨率0.01 m其中： M=測量距離，單位為米； A=顯示值直線度讀數(shù)。6、軟件包：6.1 系統(tǒng)手冊說明書包含每個測量功能的文字說明和圖解設(shè)定步驟、校準(zhǔn)技巧及分析信息，可安裝在計算機上并使用軟件的“幫助”按鈕直接進入或作為獨立的參考文獻使用；6.2 、軟件包括線性、角度、回轉(zhuǎn)軸、平面度、直線度、垂直度、雙軸及動態(tài)測量，數(shù)控機床測量程序自動生成軟件功能；6.3 、雙軸測量軟件可在一臺計算機上連接并控制二臺相同型號的激光系統(tǒng)，提供了同步采集兩平行軸數(shù)據(jù)的能力， 從雙軸上采集的數(shù)據(jù)同時顯示在PC機上并根據(jù)要求存儲起來，然后分別加以分析；用以同步測量機床的主動軸和從動軸間的同步誤差檢測。6

5、.4 、動態(tài)測量功能： 可以進行機床系統(tǒng)動態(tài)測試，如角振動、動態(tài)扭擺、角振動測試、線性動態(tài)特性、加速度、速度、振動、停止時間、共振和減振。利用動態(tài)特性測量與評估軟件 , 可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析 ( FFT) , 滾珠絲杠的動態(tài)特性分析 , 伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析 , 導(dǎo)軌的動態(tài)特性 ( 低速爬行 ) 分析等等，從而對機器故障源進行分析。（1）以示波器方式顯示實時數(shù)據(jù)； （2）數(shù)據(jù)采集率達 50 kHz ；（3）三種數(shù)據(jù)采集模式：自由運行、單次觸發(fā)及多次觸發(fā)； （4） 距離、速度和加速度顯示模式； （5）提供 1、2、5、10、 20、50 和 100 ms 的數(shù)字濾波器，以過

6、濾數(shù)據(jù)中的噪音信號； （6）采集的數(shù)據(jù)可以 CSV文件格式可加載到 MathCAD，Mathmatica 和 Microsoft Excel 等支持的應(yīng)用程序中，作進一步分析，生成報告。6.5 軟件能夠按國際上通行的標(biāo)準(zhǔn)進行全面的數(shù)據(jù)分析處理，如：ISO230-2、JIS-B6330 、VDI3441、VDI12617、 ASME B89、GB17421-2000等；6.6軟件內(nèi)置有 FANUC、SIEMENS、CINCINNATI、NUM、MAZAK、ACROMATIC2100 等多種數(shù)控系統(tǒng)的測量程序編程模塊，為數(shù)控機床多種數(shù)控系統(tǒng)提供相應(yīng)的測量程序生成功能，根據(jù)不同的要求產(chǎn)生誤差補償表，

7、可用手工或自動方式傳送、修改補償精度；6.7 數(shù)據(jù)采集軟件具備自動正負方向判斷功能，自動執(zhí)行ISO-10360 測試安裝。6.8數(shù)據(jù)分析軟件具備全面分析機器性能并監(jiān)控性能隨時間變化的趨勢，具有自動報告生成功能，提供的報告符合諸多國際機器性能檢查標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)包括ISO、ASME、VDI、JIS和 GB/T?？稍谕黄聊簧席B加顯示多個數(shù)據(jù)組、選擇或取消選擇單個測試、并通過控制比例來進行對比。7. 硬件系統(tǒng)7.1、 激光頭與干涉鏡分離， 保證測量精度穩(wěn)定可靠性， 并保證數(shù)控機床全行程測量。7.2 光學(xué)鏡安裝組件；7.3 三腳架和云臺三腳架結(jié)構(gòu)小巧、輕便，已經(jīng)過廣泛的測試，穩(wěn)定性較好，并具有穩(wěn)定的可調(diào)基座；云臺應(yīng)能夠進行精確的角度旋轉(zhuǎn)及平移調(diào)整，結(jié)構(gòu)小巧、輕便，可以一直固定在激光頭上，易于存放和快速架設(shè)。7.4 系統(tǒng)便攜箱：要求堅固結(jié)實、抗震性強，設(shè)計合理、重量輕，易于器件擺放，能夠?qū)⒓す庀到y(tǒng)、補償單元系統(tǒng)、線性光學(xué)鏡組、直線度、垂直度及相關(guān)附件等裝入一個便攜箱中，以方便攜帶及操作；7.5 三腳架便攜箱：硬