第八章潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證

1、第八章第八章 潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證 教育部十一五國(guó)家級(jí)規(guī)劃教材教育部十一五國(guó)家級(jí)規(guī)劃教材檢測(cè)程序及要求檢測(cè)程序及要求 檢測(cè)程序檢測(cè)程序 主要是指對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)域的空氣潔凈度等級(jí)等進(jìn)行測(cè)定 生物潔凈室還要進(jìn)行浮游菌、沉降菌的測(cè)試 1、潔凈室的檢測(cè)首先應(yīng)明確潔凈室或潔、潔凈室的檢測(cè)首先應(yīng)明確潔凈室或潔凈區(qū)域的占用狀態(tài)，按照凈區(qū)域的占用狀態(tài)，按照潔凈廠房設(shè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范計(jì)規(guī)范規(guī)定，潔凈室檢測(cè)狀態(tài)分為空規(guī)定，潔凈室檢測(cè)狀態(tài)分為空態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)三種態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)三種 。檢測(cè)程序檢測(cè)程序 1、三態(tài)檢測(cè)、三態(tài)檢測(cè) 1.1空態(tài)檢測(cè)空態(tài)檢測(cè) 設(shè)施已建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但在無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料和

2、生產(chǎn)人員在場(chǎng)的情況下所進(jìn)行的測(cè)試稱為空態(tài)檢測(cè)。 1.2靜態(tài)檢測(cè)靜態(tài)檢測(cè) 設(shè)施已建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并以用戶和供應(yīng)商同意的方式運(yùn)行，但沒(méi)有生產(chǎn)人員在場(chǎng)的情況下所進(jìn)行的測(cè)試稱為靜態(tài)檢測(cè)檢測(cè)程序檢測(cè)程序 1 1、三態(tài)檢測(cè)、三態(tài)檢測(cè)1.31.3動(dòng)態(tài)檢測(cè)動(dòng)態(tài)檢測(cè) 設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行，有規(guī)定數(shù)目的人員在場(chǎng)，并以雙方同意的方式進(jìn)行工作的情況下進(jìn)行的測(cè)試稱為動(dòng)態(tài)檢測(cè)。 2 2、潔凈室的檢測(cè)可分為潔凈室工程竣工、潔凈室的檢測(cè)可分為潔凈室工程竣工驗(yàn)收的檢測(cè)、綜合性能評(píng)定的檢測(cè)和運(yùn)驗(yàn)收的檢測(cè)、綜合性能評(píng)定的檢測(cè)和運(yùn)行中的監(jiān)測(cè)及定期綜合性能檢測(cè)。行中的監(jiān)測(cè)及定期綜合性能檢測(cè)。 檢測(cè)內(nèi)容檢測(cè)內(nèi)容 1、竣工驗(yàn)收竣

3、工驗(yàn)收潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范中明確規(guī)定，竣工驗(yàn)收在對(duì)各分部工程作外觀檢查、單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)、系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)，空態(tài)或靜態(tài)條件下的潔凈室性能檢測(cè)和調(diào)整以及對(duì)有關(guān)的施工檢查記錄合格后進(jìn)行。 2 2、綜合性能全面評(píng)定、綜合性能全面評(píng)定綜合性能全面評(píng)定的檢測(cè)工作必須由有經(jīng)驗(yàn)的第三方承擔(dān)； 檢測(cè)內(nèi)容檢測(cè)內(nèi)容 2、綜合性能全面評(píng)定、綜合性能全面評(píng)定 檢測(cè)所用儀表必須合格有效。檢測(cè)工作須在系統(tǒng)調(diào)整符合設(shè)計(jì)要求并運(yùn)行至少24h后進(jìn)行，而且，在檢測(cè)工作之前，必須對(duì)潔凈室及凈化空調(diào)系統(tǒng)再次進(jìn)行全面徹底的清掃。 檢測(cè)內(nèi)容檢測(cè)內(nèi)容 3、潔凈室（區(qū)）性能測(cè)試和認(rèn)證、潔凈室（區(qū)）性能測(cè)試和認(rèn)證 潔凈室（區(qū)）投入運(yùn)行后，為了檢測(cè)其綜

4、合性能是否可以做到始終符合設(shè)計(jì)要求、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的規(guī)定和滿足業(yè)主的產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量要求，需對(duì)潔凈室（區(qū)）進(jìn)行監(jiān)測(cè)和定期性能測(cè)試認(rèn)證，測(cè)試認(rèn)證工作應(yīng)由專門的潔凈室檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)。 上述三種不同階段、不同時(shí)序的潔凈室（區(qū)）的檢測(cè)內(nèi)容及要求，有相同也有差異，下 表列出了它們的各自檢測(cè)項(xiàng)目的情況。 潔凈室（區(qū)）各階段測(cè)試要求潔凈室（區(qū)）各階段測(cè)試要求 序號(hào) 項(xiàng)目 工程竣工驗(yàn)收 綜合性能驗(yàn)收 性能測(cè)試認(rèn)證 1室內(nèi)送風(fēng)量，系統(tǒng)總新風(fēng)量（必要時(shí)系統(tǒng)總送風(fēng)量），有排風(fēng)時(shí)的室內(nèi)排風(fēng)量 2靜壓差 3截面平均風(fēng)速 4截面風(fēng)速不平均度 5空氣潔凈度等級(jí) 6浮游菌和沉降菌 7室內(nèi)溫度和相對(duì)濕度 8室內(nèi)溫度（或相對(duì)濕度）波動(dòng)范

5、圍和區(qū)域溫差 9室內(nèi)噪聲級(jí) 潔凈室（區(qū)）各階段測(cè)試要求潔凈室（區(qū)）各階段測(cè)試要求 10室內(nèi)倍頻程聲壓級(jí) 11室內(nèi)照度和照度均勻度 12室內(nèi)微振 13表面導(dǎo)電性能 14室內(nèi)氣流流型 15流線平行性 16自凈時(shí)間 17通風(fēng)機(jī)風(fēng)量、轉(zhuǎn)數(shù) 18高效過(guò)濾器檢測(cè) 19污染泄漏- 注：注：檢測(cè)；檢測(cè)；必要時(shí)測(cè)；必要時(shí)測(cè)；洽商選測(cè)；洽商選測(cè)；不檢測(cè)。不檢測(cè)。 檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 高效過(guò)濾器檢漏高效過(guò)濾器檢漏 高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能實(shí)驗(yàn)檢測(cè)（如DOP實(shí)驗(yàn)等） 對(duì)于5級(jí)（100級(jí)）以上潔凈室所使用的高效過(guò)濾器，在現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)再次進(jìn)行高效過(guò)濾器本體的性能檢測(cè)，同時(shí)進(jìn)行檢漏試驗(yàn)

6、以確認(rèn)高效過(guò)濾器是否正確安裝。 檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 高效過(guò)濾器檢漏高效過(guò)濾器檢漏 在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中（如0.1m，1級(jí)），由于新風(fēng)量往往僅是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾，經(jīng)過(guò)稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6級(jí)（1000級(jí)）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗(yàn)。 檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 1、檢測(cè)要求、檢測(cè)要求 1.1一般采取粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行檢漏，被檢高效過(guò)濾器必須已檢測(cè)過(guò)風(fēng)量，并在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80%120%之間進(jìn)行。 1.2對(duì)于被檢高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合下列要求： 對(duì)受控微粒0.5m的濃度，3.5104pc/L； 對(duì)受控微粒0.1m的濃度，3

7、.51063.5107pc/L。 檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 2、檢測(cè)方法、檢測(cè)方法 采用掃描法對(duì)高效過(guò)濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)距被測(cè)表面2030毫米，測(cè)頭以520mm/s的速度移動(dòng)，對(duì)被檢過(guò)濾器整個(gè)斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描，如圖8-1所示。粒子計(jì)數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。 掃描方法示意圖掃描方法示意圖 圖圖8-1 掃描方法示意圖掃描方法示意圖 A高效過(guò)濾器高效過(guò)濾器 B粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)口粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)口檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 3、檢測(cè)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備 3.1光散射粒子計(jì)數(shù)器光散射粒子計(jì)數(shù)器 其工作原理是利用空氣中的微粒對(duì)光線的散射現(xiàn)象，將采樣

8、空氣中的微粒的光脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電脈沖信號(hào)來(lái)測(cè)定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強(qiáng)度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系，測(cè)量微粒粒徑大小。光散射粒子計(jì)數(shù)器的工作原理見(jiàn)圖8-2，儀器一般由氣路系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。國(guó)產(chǎn)的Y09等系列粒子計(jì)數(shù)器，進(jìn)口的Royco-245粒子計(jì)數(shù)器均屬于此類粒子計(jì)數(shù)器。 光散射粒子計(jì)數(shù)器光散射粒子計(jì)數(shù)器 圖圖8-2 光散射粒子計(jì)數(shù)器的工作原理光散射粒子計(jì)數(shù)器的工作原理 檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 3、檢測(cè)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備 3.2激光粒子計(jì)數(shù)器激光粒子計(jì)數(shù)器 其工作原理與光散射粒子計(jì)數(shù)器基本相同，但因采用了比光散射粒子計(jì)數(shù)器強(qiáng)100倍的氦-氖激

9、光光源，所以微粒粒徑的檢測(cè)范圍達(dá)0.1m。圖8-3是該類計(jì)數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)圖。 3.3凝聚核粒子計(jì)數(shù)器凝聚核粒子計(jì)數(shù)器 它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑為粒子，進(jìn)行微粒粒子濃度測(cè)定，原理見(jiàn)圖8-4。激光粒子計(jì)數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)圖激光粒子計(jì)數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)圖 圖圖8-3 激光粒子計(jì)數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)圖激光粒子計(jì)數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)圖 凝聚核計(jì)數(shù)器原理簡(jiǎn)圖凝聚核計(jì)數(shù)器原理簡(jiǎn)圖 圖圖8-4 凝聚核計(jì)數(shù)器原理簡(jiǎn)圖凝聚核計(jì)數(shù)器原理簡(jiǎn)圖 檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 4、合格標(biāo)準(zhǔn)、合格標(biāo)準(zhǔn) 潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范中規(guī)定，由高效過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)泄漏濃度換算成的穿透率來(lái)衡量是否合格，計(jì)算公式如右式。 K :高效過(guò)濾器出

10、廠時(shí)檢測(cè)合格的透過(guò)率;K :高效過(guò)濾器的泄漏濃度換算成的透過(guò)率;C1:高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)含塵濃度;C2:高效過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)塵濃度.KccK2%10012KccK3%10012檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 靜壓差靜壓差此項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了測(cè)定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或負(fù)壓，以防止?jié)崈羰覂?nèi)（外）氣流間被污染。檢測(cè)要求 靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全部關(guān)閉的情況下進(jìn)行。 在潔凈室平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測(cè)到直通室外的房間。 檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 靜壓差靜壓差檢測(cè)要求檢測(cè)要求 測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何地方均可，測(cè)管口面與氣流流線平行。 所測(cè)定

11、記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到0.1Pa。 檢測(cè)方法檢測(cè)方法 記錄所有數(shù)據(jù)。先關(guān)閉所有的門。 用微壓差計(jì)測(cè)量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 靜壓差靜壓差測(cè)量?jī)x器 采用YJB-150補(bǔ)償微壓差計(jì)，量程01500Pa或其他壓差計(jì)，儀表靈敏度小于0.1Pa。合格標(biāo)準(zhǔn) 按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值。 檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn) 靜壓差靜壓差 合格標(biāo)準(zhǔn) 不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差，應(yīng)不小于于4.9Pa。 潔凈室與室外的靜壓差，不應(yīng)小于9.8Pa。 對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)高于5級(jí)（100級(jí)）的單向流潔

12、凈室在開(kāi)門時(shí)，門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。 若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量，至合格為止。風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定 檢測(cè)要求檢測(cè)要求 風(fēng)量、風(fēng)速應(yīng)首先檢測(cè)； 風(fēng)量檢測(cè)前，必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常，系統(tǒng)各部件安裝是否正確，有無(wú)障礙，所有閥門應(yīng)固定在一定的開(kāi)啟位置上，并應(yīng)實(shí)測(cè)風(fēng)管、風(fēng)口的尺寸是否符合設(shè)計(jì)要求。 風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定 檢測(cè)方法 對(duì)于單向流潔凈室按右式計(jì)算其中：Q潔凈室送風(fēng)量（m.3/h）；F潔凈室的測(cè)定截面面積（m2）； 潔凈室截面平均風(fēng)速（m/s）。 3600FQ風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定 檢測(cè)方法檢測(cè)

13、方法對(duì)非單向流潔凈室，風(fēng)量的測(cè)量有風(fēng)管法和風(fēng)口法兩種方法。 風(fēng)管法測(cè)定風(fēng)量。矩形風(fēng)管矩形風(fēng)管 圓形風(fēng)管圓形風(fēng)管 風(fēng)口法測(cè)量風(fēng)量對(duì)安裝有高效過(guò)濾器的風(fēng)口，可根據(jù)輔助風(fēng)管測(cè)量風(fēng)對(duì)安裝有高效過(guò)濾器的風(fēng)口，可根據(jù)輔助風(fēng)管測(cè)量風(fēng)量；將平面劃分為等面積的網(wǎng)絡(luò)；每次測(cè)試至少進(jìn)行量；將平面劃分為等面積的網(wǎng)絡(luò)；每次測(cè)試至少進(jìn)行5s5s，取此時(shí)間平均值為測(cè)量結(jié)果。，取此時(shí)間平均值為測(cè)量結(jié)果。風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定圖圖8-5 矩形風(fēng)管測(cè)點(diǎn)位置示意矩形風(fēng)管測(cè)點(diǎn)位置示意 風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定圖圖8-6 圓形風(fēng)管測(cè)點(diǎn)位置示意圓形風(fēng)管測(cè)點(diǎn)位置示意 風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定圖圖8-7 圓形風(fēng)管測(cè)

14、點(diǎn)距離圓形風(fēng)管測(cè)點(diǎn)距離 風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定 測(cè)量設(shè)備測(cè)量設(shè)備熱球風(fēng)速儀、畢托管和微壓計(jì)等。熱球風(fēng)速儀的量程宜采用0.055m/s，精度3%，常用畢托管有500mm、1000mm、1500mm。 測(cè)量合格標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量合格標(biāo)準(zhǔn)實(shí)測(cè)室內(nèi)平均風(fēng)速應(yīng)大于設(shè)計(jì)風(fēng)速，應(yīng)為設(shè)計(jì)風(fēng)速的11.2倍，且為正偏差；單向流潔凈室的截面風(fēng)速不均勻度不應(yīng)大于0.25。 風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)速不均勻度按右式風(fēng)速不均勻度；i任一點(diǎn)實(shí)測(cè)風(fēng)速（m/s）； 平 均 風(fēng) 速（m/s）;n測(cè)點(diǎn)數(shù)。 1)(2ni風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn)除了風(fēng)速不均勻度外還有以下兩個(gè)方面；

15、實(shí)測(cè)新風(fēng)量與設(shè)計(jì)新風(fēng)量之差不應(yīng)超過(guò)設(shè)計(jì)風(fēng)量的10%；潔凈室系統(tǒng)總風(fēng)量與設(shè)計(jì)風(fēng)量的允許偏差為020%，室內(nèi)各風(fēng)口風(fēng)量與各自設(shè)計(jì)的風(fēng)量之差不應(yīng)超過(guò)設(shè)計(jì)風(fēng)量的15%。 潔凈度的測(cè)定潔凈度的測(cè)定 檢測(cè)要求檢測(cè)要求測(cè)定之前，凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)經(jīng)過(guò)反復(fù)清洗，并連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行在24h以上；必須在空氣流量、流速、壓差以及過(guò)濾器檢漏，維護(hù)結(jié)構(gòu)泄漏測(cè)試之后進(jìn)行；所用測(cè)試儀器必須經(jīng)過(guò)有效標(biāo)定，并在有效期范圍內(nèi)。 粒子計(jì)數(shù)器的采樣量必須在1L/min以上。 潔凈度的測(cè)定潔凈度的測(cè)定 檢測(cè)方法檢測(cè)方法最小采樣點(diǎn)數(shù)目按右式 計(jì)算NL最小采樣點(diǎn)數(shù)目（四舍五入為整數(shù)）；A潔凈室或潔凈區(qū)的面積（m2）。 5.0ANL潔凈度的測(cè)定潔

16、凈度的測(cè)定 檢測(cè)方法檢測(cè)方法 每個(gè)采樣點(diǎn)要采集能保證檢測(cè)出至少20個(gè)粒子的空氣量，每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量VS用右式確定VS每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量（L）；Cn-m被測(cè)潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)被考慮粒徑的最大濃度限值（pc/m3）； 100020mnsCV潔凈度的測(cè)定潔凈度的測(cè)定 檢測(cè)儀器檢測(cè)儀器測(cè)量0.5m粒子時(shí)，建議采用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器；測(cè)量0.1m粒子時(shí)，建議采用大流量的激光光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器；測(cè)量0.02m粒子時(shí)，建議采用凝聚核激光粒子計(jì)數(shù)器。 FSC1型浮游微生物采樣器（細(xì)菌采樣器）是依據(jù)顆粒撞擊原理設(shè)計(jì)而成。被采樣空氣在抽氣泵作用下，通過(guò)采樣器的縫隙式平板，將空氣噴射并撞擊到勻速旋轉(zhuǎn)的裝有培養(yǎng)

17、基的平皿內(nèi)，培養(yǎng)基內(nèi)附著的活微生物經(jīng)培養(yǎng)后形成菌 落 ， 予 以 計(jì) 數(shù) 。FSC1FSC1型浮游微生物采樣器型浮游微生物采樣器潔凈度的測(cè)定潔凈度的測(cè)定 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn) 把每次采樣測(cè)量的結(jié)果與空氣潔凈度等級(jí)相關(guān)的各個(gè)被考慮的粒徑的濃度記錄下來(lái)，并計(jì)算采樣數(shù)據(jù)的平均值。當(dāng)采樣點(diǎn)只有一個(gè)或多于9個(gè)時(shí)，不用計(jì)算95%置信上限。當(dāng)采樣點(diǎn)多于1個(gè)而少于10個(gè)時(shí)，應(yīng)計(jì)算粒子平均濃度的平均值、標(biāo)準(zhǔn)誤差、95%置信上限。潔凈度的測(cè)定潔凈度的測(cè)定 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn)每次性能測(cè)試或再認(rèn)證測(cè)試應(yīng)做記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報(bào)告；如果在每個(gè)采樣點(diǎn)測(cè)得的粒子平均濃度級(jí)別上限，即室內(nèi)平均濃度統(tǒng)計(jì)值95%置信上限X

18、i級(jí)別上限，則該潔凈室或潔凈區(qū)即被認(rèn)為是達(dá)到了規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)。潔凈度的測(cè)定潔凈度的測(cè)定 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn) 如果是由于測(cè)量差錯(cuò)或異常低的粒子濃度，而產(chǎn)生單個(gè)的非隨機(jī)性的“界外值”，影響95%置信上限的計(jì)算結(jié)果不能滿足規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)，在符合條件下的情況下，可以把該“界外值”排除，但最多只有一個(gè)測(cè)量值排除在外。 微生物測(cè)定微生物測(cè)定 空氣中懸浮微生物的測(cè)定有多種 但其測(cè)定的基本過(guò)程都是經(jīng)過(guò)捕集培養(yǎng)計(jì)數(shù)的過(guò)程。目前普遍采用的測(cè)試方法： 浮游菌 沉降菌微生物測(cè)定微生物測(cè)定 檢測(cè)要求檢測(cè)要求檢測(cè)前，被測(cè)潔凈室的運(yùn)行狀態(tài)必須在正常狀態(tài)，其溫度、濕度、風(fēng)量、風(fēng)壓及風(fēng)速必須在控制的規(guī)定值內(nèi)；被測(cè)試的

19、潔凈室應(yīng)已進(jìn)行過(guò)消毒；同時(shí)，潔凈室的測(cè)試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求，并在測(cè)試報(bào)告中注明其測(cè)試狀態(tài)。測(cè)試人員必須穿戴潔凈服，而且一般不得超過(guò)兩個(gè)人。 微生物測(cè)定微生物測(cè)定 檢測(cè)要求檢測(cè)要求凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間對(duì)單相流如5級(jí)（100級(jí)）潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_(tái)不得少于10min；對(duì)非單相流如7級(jí)（10000級(jí)）、8級(jí)（100000級(jí)）的潔凈室不得少于30min。 采樣點(diǎn)的布置及要求 浮游菌測(cè)試時(shí)浮游菌測(cè)試時(shí) 沉降菌測(cè)試時(shí)沉降菌測(cè)試時(shí) 注：注：1.表中面積，對(duì)單相流潔凈室（包括層流工作臺(tái)），指的是送風(fēng)口表面積；對(duì)非單相流表中面積，對(duì)單相流潔凈室（包括層流工作臺(tái)），指的是送風(fēng)口表面積；對(duì)非單相流潔凈室，

20、指的是房間面積。潔凈室，指的是房間面積。2.日常監(jiān)測(cè)的采樣點(diǎn)數(shù)由生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵操作點(diǎn)來(lái)確定。日常監(jiān)測(cè)的采樣點(diǎn)數(shù)由生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵操作點(diǎn)來(lái)確定。 微生物測(cè)定浮游菌的最少采樣點(diǎn)數(shù)微生物測(cè)定浮游菌的最少采樣點(diǎn)數(shù) 面積/m2 空氣潔凈度等級(jí) 100 10000 100000 驗(yàn)證 監(jiān)測(cè) 驗(yàn)證 監(jiān)測(cè) 驗(yàn)證 監(jiān)測(cè) 10 23 1212-1020 4 2212-2040 8 3212-40100 16 4412-100200 40 -10-3-200400 80 -20-6-400 160 -40-13-微生物測(cè)定沉降菌測(cè)試的最少采樣點(diǎn)數(shù)微生物測(cè)定沉降菌測(cè)試的最少采樣點(diǎn)數(shù)面積/m2 空氣潔凈度等級(jí) 100 1

21、0000 100000 10 23 221020 4 222040 8 2240100 16 42100200 40 103200400 80 2064001000 160 401310002000 400 100322000 800 20063注：表中面積，對(duì)于單向流潔凈室是指送風(fēng)口面積；對(duì)于非單向流潔凈室是指房間的面積。注：表中面積，對(duì)于單向流潔凈室是指送風(fēng)口面積；對(duì)于非單向流潔凈室是指房間的面積。微生物測(cè)定微生物測(cè)定 采樣點(diǎn)的布置及要求采樣點(diǎn)的布置及要求 對(duì)沉降菌法不僅要滿足最少采樣總數(shù)，還應(yīng)滿足最少培養(yǎng)皿數(shù)。浮游菌測(cè)試法的最小采樣量應(yīng)按不同空氣潔凈度等級(jí)確定。以上2個(gè)方面的數(shù)值具體可以

22、參看教材中 表表8-68-6沉降菌測(cè)試最少培養(yǎng)皿數(shù)沉降菌測(cè)試最少培養(yǎng)皿數(shù) 表表8-7 8-7 浮游菌測(cè)試法的最小采樣量浮游菌測(cè)試法的最小采樣量微生物測(cè)定微生物測(cè)定 檢測(cè)方法檢測(cè)方法檢測(cè)程序 首先應(yīng)對(duì)測(cè)試儀器、培養(yǎng)皿表面進(jìn)行嚴(yán)格消毒。采樣器進(jìn)入被測(cè)房間前先用消毒房間的消毒劑滅菌，用于100級(jí)潔凈室的采樣器宜一直放在被測(cè)房間內(nèi)；用消毒劑擦凈培養(yǎng)皿的外表面，把采樣器的頂蓋、轉(zhuǎn)盤以及罩子內(nèi)外消毒干凈；采樣口及采樣管在使用前必須高溫滅菌。 采樣者應(yīng)穿戴與被測(cè)潔凈室相應(yīng)的潔凈服，在轉(zhuǎn)盤上放入或調(diào)換培養(yǎng)皿前，雙手要用消毒劑消毒微生物測(cè)定微生物測(cè)定 檢測(cè)方法檢測(cè)方法浮游菌檢測(cè)程序 開(kāi)動(dòng)真空泵抽氣，使儀器中的殘

23、余消毒劑蒸發(fā)，開(kāi)動(dòng)真空泵抽氣，使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)，時(shí)間不少于時(shí)間不少于5min5min，并調(diào)好流量、轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速；，并調(diào)好流量、轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速； 關(guān)閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子調(diào)節(jié)采樣器關(guān)閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子調(diào)節(jié)采樣器 置采樣口于采樣點(diǎn)后，依次開(kāi)啟采樣器、真空泵，置采樣口于采樣點(diǎn)后，依次開(kāi)啟采樣器、真空泵，轉(zhuǎn)動(dòng)定時(shí)器，根據(jù)采樣量選定采樣時(shí)間；轉(zhuǎn)動(dòng)定時(shí)器，根據(jù)采樣量選定采樣時(shí)間； 全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿倒置于全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿倒置于30303535恒溫恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時(shí)間不少于培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時(shí)間不少于45h45h；微生物測(cè)定微生物測(cè)定 檢測(cè)方法檢測(cè)方法浮游菌檢測(cè)程序 用肉眼直接

24、計(jì)數(shù)，然后用用肉眼直接計(jì)數(shù)，然后用5 51010倍放大鏡檢查，倍放大鏡檢查，是否有遺漏。若平板上有兩個(gè)或兩個(gè)以上的菌落是否有遺漏。若平板上有兩個(gè)或兩個(gè)以上的菌落重疊，分辨時(shí)仍以兩個(gè)或兩個(gè)以上菌落計(jì)數(shù)。重疊，分辨時(shí)仍以兩個(gè)或兩個(gè)以上菌落計(jì)數(shù)。沉降菌測(cè)試 檢測(cè)儀器檢測(cè)儀器 沉降菌測(cè)試儀器、浮游菌測(cè)試儀器。 微生物測(cè)定常見(jiàn)采樣器微生物測(cè)定常見(jiàn)采樣器圖圖8-8 THK-201型采樣器的工作示意圖型采樣器的工作示意圖微生物測(cè)定常見(jiàn)采樣器微生物測(cè)定常見(jiàn)采樣器圖圖8-9 JWC-1型離心式空氣微生物采樣器。型離心式空氣微生物采樣器。1-葉輪葉輪 2培養(yǎng)基條樣口培養(yǎng)基條樣口 3-蝸殼蝸殼 4-電源指示燈電源指

25、示燈 5-電電源開(kāi)關(guān)源開(kāi)關(guān) 6-定時(shí)選擇開(kāi)關(guān)定時(shí)選擇開(kāi)關(guān) 7-啟動(dòng)鈕啟動(dòng)鈕 8-交流穩(wěn)壓電源插孔交流穩(wěn)壓電源插孔 9-電池筒電池筒 10-螺帽螺帽 微生物測(cè)定微生物測(cè)定 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn)浮游菌測(cè)試 一般被測(cè)房間（或潔凈工作臺(tái)）的浮游菌平均濃度按右式計(jì)算。 C被測(cè)房間（或潔凈工作臺(tái)）的浮游菌平均濃度（CFU/m2）；PS被測(cè)房間總菌落數(shù)（CFU）；VS總的采樣量（m3）ssVPC 溫濕度檢測(cè)溫濕度檢測(cè) 檢測(cè)要求檢測(cè)要求 測(cè)定前，潔凈空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)運(yùn)行24h以上 根據(jù)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測(cè)試儀表，并經(jīng)過(guò)校驗(yàn)標(biāo)定合格。 檢測(cè)方法檢測(cè)方法測(cè)點(diǎn)距地面0.8m，距外墻應(yīng)大于0.5m，

26、也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在離地面不同高度的幾個(gè)平面上。 溫濕度檢測(cè)溫濕度檢測(cè) 檢測(cè)方法檢測(cè)方法 根據(jù)溫濕度波動(dòng)范圍要求，檢測(cè)宜連續(xù)進(jìn)行848h，每次讀數(shù)間隔不大于30min。對(duì)沒(méi)有恒溫要求的房間，溫度僅測(cè)房間中心一個(gè)點(diǎn)即可。 對(duì)有溫濕度波動(dòng)要求的區(qū)域，測(cè)點(diǎn)應(yīng)放在送、回風(fēng)口處或具有代表性的地點(diǎn)，其測(cè)點(diǎn)數(shù)按教材中表8-10確定。 照度測(cè)定照度測(cè)定 檢測(cè)要求檢測(cè)要求 室內(nèi)照度測(cè)定必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行（對(duì)熒光燈必須有100h） 檢測(cè)方法檢測(cè)方法 測(cè)點(diǎn)平面距地面0.85m，按間距12m布點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測(cè)定位置要求相同。記錄，在簡(jiǎn)圖上設(shè)測(cè)量位置，記錄

27、實(shí)測(cè)照度值并計(jì)算總平均照度。 照度測(cè)定照度測(cè)定 檢測(cè)方法檢測(cè)方法照度測(cè)定，一般測(cè)定除局部照明之外的照明 檢測(cè)儀器檢測(cè)儀器 采用移動(dòng)式照度計(jì)檢測(cè)。 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn) 符合設(shè)計(jì)要求或符合潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范中對(duì)潔凈室（區(qū)）的照度值規(guī)定。潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。噪聲檢測(cè)噪聲檢測(cè) 噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)，噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)，一般情況下只檢測(cè)一般情況下只檢測(cè)A A聲級(jí)的數(shù)據(jù)，必要時(shí)聲級(jí)的數(shù)據(jù)，必要時(shí)測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。 檢測(cè)方法檢測(cè)方法 檢測(cè)點(diǎn)布置，當(dāng)面積50m2時(shí)，僅測(cè)房間中心一個(gè)點(diǎn)；當(dāng)房間面積較大時(shí)，每增加50m2增加一個(gè)點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)距地面1.2m。有

28、條件時(shí)，宜測(cè)量潔凈室靜態(tài)工況的噪聲和潔凈室的本底噪聲。 噪聲檢測(cè)噪聲檢測(cè) 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn) 符合設(shè)計(jì)要求或按潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范中的規(guī)定，在空態(tài)情況下，非單向流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于65dB（A）。潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶聲壓級(jí)值不應(yīng)大于潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范的規(guī)定。 表面導(dǎo)靜電性能測(cè)定表面導(dǎo)靜電性能測(cè)定 檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)設(shè)備采用符合精度要求的高阻計(jì)。 檢測(cè)方法檢測(cè)方法在測(cè)試表面上選擇比較有代表區(qū)域的兩個(gè)點(diǎn)，用導(dǎo)線把高阻計(jì)和兩個(gè)銅圓柱形電極連接起來(lái)進(jìn)行測(cè)量，其表面電阻和泄漏電阻值可以按圖8-10所示的測(cè)試裝置測(cè)量。表面導(dǎo)靜電性能測(cè)定表面導(dǎo)靜電性能測(cè)定

29、圖例說(shuō)明：圖例說(shuō)明：1高阻計(jì) 2試件 3銅柱形電極 4濕漬紙L900mm, d=60mm, M=2 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn) 地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定。表 面 電 阻 率 應(yīng) 為 ：1.01051.01012。 圖圖8-10 表面導(dǎo)靜電性能測(cè)定表面導(dǎo)靜電性能測(cè)定 裝置示意圖裝置示意圖氣流流型氣流流型 檢測(cè)方法檢測(cè)方法 測(cè)點(diǎn)位置 對(duì)于單向流潔凈室，所測(cè)截面上的測(cè)點(diǎn)間距均為0.21m，垂直單向流要求取四個(gè)測(cè)點(diǎn)截面：潔凈室的縱剖面，潔凈室橫剖面，距地面0.8m和1.5m的兩個(gè)水平面。水平單向流要求取五個(gè)測(cè)點(diǎn)截面：潔凈室的縱剖面，工作區(qū)水平面，距送、回風(fēng)口0.5m處的兩個(gè)縱剖面和房間中心的總

30、剖面 對(duì)非單向流潔凈室要求取3個(gè)測(cè)點(diǎn)截面：具有代表性的送、回風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面。 氣流流型氣流流型 檢測(cè)方法檢測(cè)方法測(cè)點(diǎn)位置 對(duì)非單向流潔凈室測(cè)點(diǎn)間距要求：縱剖面上為0.20.5m，水平面上為0.51m。 用發(fā)煙器或懸掛單絲線的方法逐點(diǎn)觀察和記錄氣流流向；用量角器測(cè)定氣流流向偏離規(guī)定方向的角度。在測(cè)點(diǎn)布置的剖面圖上標(biāo)出流向。 氣流流型檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)氣流流型檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)工作區(qū)氣流流向偏離規(guī)定方向的角度不大于14，應(yīng)繪出氣流流型圖，并給出分析結(jié)果。 自凈時(shí)間自凈時(shí)間 檢測(cè)方法檢測(cè)方法以大氣濃度為基準(zhǔn)，本項(xiàng)測(cè)定必須在潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，含塵濃度已接近大氣濃度時(shí)進(jìn)行。首先測(cè)出潔凈室內(nèi)的

31、濃度，然后開(kāi)機(jī)，定時(shí)讀數(shù)，直到濃度達(dá)到最低限度為止，這一段時(shí)間即為自凈時(shí)間。以人工發(fā)巴蘭香煙為基準(zhǔn) 按標(biāo)準(zhǔn)發(fā)煙；然后開(kāi)機(jī)記時(shí)直到濃度到最低。 自凈時(shí)間自凈時(shí)間 合格標(biāo)準(zhǔn)合格標(biāo)準(zhǔn) 由初始濃度（由初始濃度（N N0 0）和室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度）和室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N N），實(shí)際換氣次數(shù)（），實(shí)際換氣次數(shù)（n n）計(jì)算出的自凈時(shí)）計(jì)算出的自凈時(shí)間（間（t t0 0）與實(shí)測(cè)的自凈時(shí)間（）與實(shí)測(cè)的自凈時(shí)間（t t）進(jìn)行對(duì)比，）進(jìn)行對(duì)比，若若t tt t0 01.21.2為合格。為合格。潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常

32、用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器四種常見(jiàn)的粒子記數(shù)器四種常見(jiàn)的粒子記數(shù)器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器潔凈室檢測(cè)常用儀器自動(dòng)過(guò)濾器及連接示意自動(dòng)過(guò)濾器及連接示意潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證 認(rèn)證的目的和程序認(rèn)證的目的和程序 潔凈室工程在設(shè)計(jì)、建造和驗(yàn)收投入使用后；為確保潔凈室使用過(guò)程中始終能保持規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)和綜合性能參數(shù)要求。 或者是由于潔凈室投入使用后的維護(hù)管理不當(dāng)或潔凈室工作人員誤操作以及潔凈空調(diào)系統(tǒng)長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)使空氣過(guò)濾器性能變化。潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證 認(rèn)證的目的和程序認(rèn)證的目的和程序 或者是潔凈室周圍環(huán)境的突發(fā)變化如因房屋拆遷、潔

33、凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝調(diào)整、突出性大氣塵污染甚至沙塵暴的侵襲等各類因素，影響潔凈室的性能參數(shù)。所以投入運(yùn)行后的潔凈室的日常監(jiān)測(cè)和定期的綜合性能檢測(cè)是十分必要的工作，通過(guò)檢測(cè)以認(rèn)證潔凈室的綜合性能是否符合設(shè)計(jì)要求或產(chǎn)品生產(chǎn)所必須的綜合性能參數(shù)要求。潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證 認(rèn)證的目的和程序認(rèn)證的目的和程序綜合性能檢測(cè)的目的 確定正常運(yùn)行；確定正常運(yùn)行； 掌握能量使用情況；掌握能量使用情況； 發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象并維修；發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象并維修； 查明發(fā)生污染的原因，測(cè)定相關(guān)數(shù)據(jù)；查明發(fā)生污染的原因，測(cè)定相關(guān)數(shù)據(jù)； 產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的資料；產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的資料； 潔凈室的缺點(diǎn)（運(yùn)行上的缺點(diǎn)等）。潔凈室的缺點(diǎn)（運(yùn)行上的缺點(diǎn)等）

34、。 潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證 潔凈室的認(rèn)證程序潔凈室的認(rèn)證程序 由業(yè)主委托專門檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)潔凈室的認(rèn)證工作。委托可以是一次性的也可以是階段性的，比如一年的委托合約，在雙方的合約中應(yīng)明確委托認(rèn)證的內(nèi)容、測(cè)試要求（含時(shí)間間隔等）、檢測(cè)認(rèn)證報(bào)告內(nèi)容和要求、認(rèn)證檢測(cè)的進(jìn)度安排、各方的責(zé)任（包括保密要求）等。 潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證 潔凈室的認(rèn)證程序潔凈室的認(rèn)證程序 認(rèn)證檢測(cè)用儀器儀表必須在標(biāo)定使用的有效期內(nèi)； 認(rèn)證檢測(cè)之前，潔凈室的各功能系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行，并由業(yè)主提供穩(wěn)定運(yùn)行的有關(guān)記錄； 按合約要求逐項(xiàng)進(jìn)行檢測(cè)，并作詳細(xì)記錄。記錄應(yīng)該清晰，并有必要的實(shí)測(cè)狀況和有關(guān)問(wèn)題的說(shuō)明；潔凈室的認(rèn)證潔凈室

35、的認(rèn)證 潔凈室的認(rèn)證程序潔凈室的認(rèn)證程序 寫出認(rèn)證檢測(cè)報(bào)告，并明確說(shuō)明潔凈室是否符合規(guī)定要求及各項(xiàng)綜合性能參數(shù)的明確數(shù)據(jù)或計(jì)算結(jié)果。若檢測(cè)結(jié)果超過(guò)規(guī)定的限期，說(shuō)明該潔凈室不合格時(shí)，檢測(cè)認(rèn)證單位應(yīng)提供分析意見(jiàn)和改進(jìn)的建議，由業(yè)主或業(yè)主委托有關(guān)單位進(jìn)行改進(jìn)、完善之后進(jìn)行再認(rèn)證。 潔凈室每次認(rèn)證或再認(rèn)證均應(yīng)由檢測(cè)認(rèn)證單位提供原始記錄和綜合性能檢測(cè)認(rèn)證報(bào)告。 潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證 認(rèn)證內(nèi)容及測(cè)試方法認(rèn)證內(nèi)容及測(cè)試方法 為了保證潔凈室或潔凈區(qū)運(yùn)行中始終符合要求，潔凈室（區(qū)）認(rèn)證檢測(cè)的基本內(nèi)容包含空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差和風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定，潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范規(guī)定：空氣潔凈度等級(jí)5級(jí)，空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證測(cè)試最長(zhǎng)時(shí)間間隔為6個(gè)月；空氣潔凈度等級(jí)5級(jí)，空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證測(cè)試最長(zhǎng)時(shí)間間隔為12個(gè)月；靜壓差和風(fēng)量（風(fēng)速）認(rèn)證測(cè)試最長(zhǎng)時(shí)間間隔為12個(gè)月。 潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證 認(rèn)證內(nèi)容及測(cè)試方法認(rèn)證內(nèi)容及測(cè)試方法