特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范

1、特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范2011-04-07 08:31:54|分類：默認(rèn)分類 |標(biāo)簽：氣體特種管道氣瓶閥門 |字號訂閱1總則1.0.1為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)和施工中正確貫徹國家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保護(hù)環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護(hù)人身和財(cái)產(chǎn)安 全，做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)濟(jì)合理。制定本規(guī)范。1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)和施工。1.0.31.0.4本規(guī)范不適用特種氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工。特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工除應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定外，應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。2術(shù)語2.0.1特種氣體 specialily

2、 gas用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、 刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣 體、毒性氣體、惰性氣體等。2.0.2特種氣體系統(tǒng) speciality gas system特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場的特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配全過程的設(shè) 備、管道和部件的總稱。2.0.3特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格 等氣體設(shè)備，并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。2.0.4硅烷站 silane station是指放置硅烷儲(chǔ)存設(shè)備（氣瓶、氣瓶集裝格、y

3、鋼瓶、長管拖車或 iso 標(biāo)準(zhǔn) 儲(chǔ)罐）、硅烷氣化裝置及尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過管道向用氣生產(chǎn)廠房 供應(yīng)硅烷氣體的獨(dú)立建構(gòu)筑物或區(qū)域。2.0.5明火地點(diǎn) open flame site室內(nèi)外有外露的火焰或赤熱表面的固定地點(diǎn)。2.0.6散發(fā)火花地點(diǎn) sparking site散發(fā)火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點(diǎn)。2.0.7空瓶 empty cylinder留有殘余壓力的氣體鋼瓶。2.0.8實(shí)瓶 full cylinder存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶，特種氣體氣瓶一般水容積為 40l、47、48l 等各種容積。2.0.9氣瓶集裝格 the bundle of gas cyl

4、inders用專用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶 組單元。氣瓶的個(gè)數(shù)分別為 9 個(gè)、12 個(gè)、16 個(gè)不等，單個(gè)氣瓶的水容積通常為 4050l。2.0.10氣瓶柜 gas cabinet (gc)特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā) 生器、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全使用所 必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。2.0.11氣瓶架 gas rack (gr)特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝 置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全設(shè)施

5、。氣瓶架有手動(dòng)、 半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。2.0.12閥門箱 valve manifold box (vmb)特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配部件，vmb 在氣體入口配置氣 動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管可配置手動(dòng)閥、壓力表、過濾器等組件，除 sih2cl2、wf6 等低蒸汽壓力氣體外，vmb 各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。vmb 需設(shè)置泄漏氣體排 氣管接口和風(fēng)壓事故報(bào)警。2.0.13閥門盤 valve manifold panel (vmp)特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配部件，vmp 在氣體入口配置氣 動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管應(yīng)配置手動(dòng)閥、壓力表、過濾器等組件，vmp 各支管可根據(jù) 需要設(shè)置調(diào)

6、壓閥。2.0.14低蒸汽壓力氣體 low vapor pressure gas在室溫下的飽和蒸氣壓小于 0.2mpa 的氣體。2.0.15尾氣處理裝置 local scrubber用于處理易燃、易爆、有毒、有腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的裝置，處 理后的尾氣達(dá)到規(guī)定排放濃度，并排入用氣車間的排氣管道。2.0.16氣體探測系統(tǒng) gas detector system(gds)設(shè)置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤、及其它特種氣體輸送設(shè)備與 管道所覆蓋區(qū)域，通過檢測本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的含量來判斷本質(zhì)氣體的 泄漏，從而發(fā)出聲光報(bào)警信號、提供應(yīng)急處理數(shù)據(jù)的系統(tǒng)。2.0.17氣體管理系統(tǒng) ga

7、s management system(gms)包含特種氣體探測系統(tǒng)、應(yīng)急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)輸 送與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱。2.0.18最高允許濃度值 threshold limit value(tlv)工作環(huán)境空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。2.0.19爆炸濃度下限值 low explosion limit(lel)可燃?xì)怏w在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。2.0.20臥式氣瓶 y-cylinder/t-cylinder用于儲(chǔ)存較多特種氣體的氣瓶。一般水容積為 500l，1000l。2.0.21自燃?xì)怏w pyrophoric gas在空氣中會(huì)發(fā)生自動(dòng)燃燒

8、的氣體。2.0.22可燃?xì)怏w flammable gas指與空氣（或氧氣）能夠形成一定濃度的混合氣態(tài)，并遇到火源會(huì)發(fā)生燃燒 或爆炸的氣體。2.0.23毒性氣體 toxic gaslc50 超過 200ppm 但不超過 2000ppm 的氣體。2.0.24腐蝕性氣體 corrosive gas是指在一定條件下，對材料或人體組織接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)引起可見破壞或不 可逆反應(yīng)的氣體。2.0.25氧化性氣體 oxygenize gas是指在一定條件下，與材料接觸會(huì)產(chǎn)生較為劇烈的失去電子的化學(xué)反應(yīng)的氣體。2.0.26惰性氣體 inert gas在一般情況下與其它物質(zhì)不會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。2.0.27限流孔

9、板 restrict flow orifice(rfo)限定系統(tǒng)最大流量的一種裝置。2.0.28過流開關(guān) excess flow switch(efs)流量超出設(shè)定值時(shí)，給出開關(guān)信號。2.0.29 ap 管 annealed and pickled pipe經(jīng)過酸洗或鈍化、去除表面殘存顆粒的鈍化無縫不銹鋼管。2.0.30 ba 管 bright annealing pipe經(jīng)加氫或真空狀態(tài)高溫?zé)崽幚?，消除?nèi)部應(yīng)力并在管道表面形成一層鈍化膜 的光亮無縫不銹鋼管。2.0.31 ep 管 electro-polished pipe經(jīng)電化學(xué)拋光，使表層實(shí)際面積得到最大程度的減少,表面產(chǎn)生一層較厚的封

10、閉的氧化鉻膜的電化學(xué)拋光無縫不銹鋼管。2.0.32吹掃 purge用氮?dú)夂蜌鍤鈱μ胤N氣體系統(tǒng)內(nèi)的其它氣體進(jìn)行置換的過程。2.0.33排氣 vent特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體。2.0.34數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng) supervisory control and dataacquisition（scada）是以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)的生產(chǎn)過程控制與調(diào)度自動(dòng)化系統(tǒng)。它可以對現(xiàn)場的運(yùn)行 設(shè)備進(jìn)行監(jiān)視和控制，以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、設(shè)備控制、測量、參數(shù)調(diào)節(jié)以及各類信號 報(bào)警等各項(xiàng)功能。2.0.35工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng) facility management controlsystem（fmcs）用于管理工廠動(dòng)力設(shè)備

11、的管理控制系統(tǒng)，一般只具有監(jiān)視功能，不具有控制 功能。2.0.36大宗硅烷系統(tǒng) bulk silane system是指容器水容積超過 250l 的硅烷系統(tǒng)，包括鋼瓶集裝格、y 鋼瓶、長管拖車 (t/t)、iso 標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐，以及數(shù)量超過 7 個(gè)的獨(dú)立小鋼瓶系統(tǒng)。2.0.37氣體面板 gas panel集成切斷閥門、調(diào)壓閥、過濾器、壓力計(jì)等零部件并安裝在氣瓶柜內(nèi)的專用 設(shè)施。2.0.38開敞式建筑 open area立柱和墻面遮擋部分小于周長的 25%的建筑。2.0.39內(nèi)向檢漏 inboard he leak test又稱噴氦法測試. 采用內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法，測試管路系統(tǒng)的泄 漏率。

12、2.0.40閥座檢漏 cross seat he leak test采用閥門上游充氦氣，下游抽真空，檢測泄漏率的方法。2.0.41外向檢漏 outboard he leak test又稱吸槍法測試，采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查漏點(diǎn) 泄漏率的方法。2.0.42不相容性 incompatible不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，釋放出能量并對環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。2.0.43 iso 標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐 iso module按國際標(biāo)準(zhǔn)組織（iso）要求，允許安裝在架子上的多個(gè)水容積不超過 1218l 的儲(chǔ)罐或長管氣瓶的總稱。2.0.44大宗特氣輸送系統(tǒng)應(yīng)用：1）集束鋼瓶（容積小于 50l 鋼

13、瓶數(shù)量超過 12 個(gè)以上）；2）y 型鋼 瓶；3）t 型鋼瓶；4）長管拖車；5）iso 槽罐等進(jìn)行特種氣體儲(chǔ)存和送氣作業(yè)的系 統(tǒng)。3 特種氣體站房3.1一般規(guī)定3.1.1特種氣體站房包括布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站和布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間。3.1.2布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。3.1.3在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間內(nèi)的最大允許儲(chǔ)存量見表 3.1.5，當(dāng)生產(chǎn)廠房內(nèi)的氣體儲(chǔ)量超過規(guī)定數(shù)量時(shí)，應(yīng)設(shè)計(jì)獨(dú)立的特種氣體站。表 3.1.3生產(chǎn)廠房內(nèi)最大允許儲(chǔ)存量序號12345氣體種類可燃?xì)怏w毒性氣體劇毒性氣體自燃?xì)怏w氧化性氣體氣體

14、總量1立方米 56921. 12. 81706腐蝕性氣體 92說明: 1 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積量.3.1.4集合工藝設(shè)備的布置情況，生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間應(yīng)集中布置在生產(chǎn)廠房一樓靠外墻的區(qū)域。3.1.53.1.6低蒸汽壓力特種氣體供應(yīng)設(shè)施應(yīng)盡可能靠近工藝設(shè)備。布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站，可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、槽車、長管拖車向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。3.2氣體站房分類3.2.1特種氣體依其物性及安全特性，將其分為可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性氣體。3.2.2布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間。3.2.3獨(dú)立布置的特種

15、氣體站有硅烷站、氨氣站等。3.3特種氣體設(shè)備的布置3.3.1不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里，如果布置在同一房間，氣瓶柜架之間的距離應(yīng)大于 6 米。3.3.23.3.3同時(shí)具有可燃性和毒性氣體應(yīng)放在可燃性氣體間特種氣體房間內(nèi)的氣瓶柜、氣瓶架、就地尾氣處理裝置、氣瓶集裝格宜靠墻布置，具有相同或相近氣體性質(zhì)的設(shè)備應(yīng)布置在一起。3.3.4特種氣體間的中間通道寬度不得小于 2 米，特氣柜與墻體之間的距離宜大于 0.1m，特氣柜之間的距離宜大于 0.1m,氣瓶集裝格宜靠墻布置。布置應(yīng)考 慮維修與運(yùn)轉(zhuǎn)空間。3.4.53.4.6硅烷站內(nèi)長鋼瓶拖車宜放置在硅烷站的室外空曠地坪。特種氣體系統(tǒng)的電氣控制

16、盤、儀表控制盤的布置，應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)布置在與特種氣體供應(yīng)設(shè)備室相鄰的控制室內(nèi)，隔墻上可以設(shè)置防爆密閉觀查窗。2控制室應(yīng)以耐火極限不小于 2h 的隔墻和不低于 1.5h 的樓板與特種設(shè)備間隔開，穿越隔墻的管道應(yīng)以防火材料填堵。4特種氣體工藝系統(tǒng)4.1一般規(guī)定4.1.1電子工廠的特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置：1. 儲(chǔ)存與送氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；2. 氣體輸送與分配用閥門箱或閥門盤；3. 輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)；4. 尾氣排放處置系統(tǒng)。4.1.2特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特種氣體使用的安全操作、工藝參數(shù)、污染控制的要求。4.1.34.1.4不相容的特種氣體的排氣管道不應(yīng)接

17、入同一排氣系統(tǒng)。不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不應(yīng)接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。4.2特種氣體輸送系統(tǒng)4.2.1特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜與氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定123自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的氣瓶柜用氣瓶容積不得大于 50l；氧化性和惰性氣體的氣瓶架用氣瓶容積不得大于 50l；氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚▎纹渴剑?、雙工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚p瓶式）、雙工藝氣瓶內(nèi)置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢?（三瓶式）等多種結(jié)構(gòu)配置；45不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；氣瓶柜與氣瓶架應(yīng)設(shè)有分配、作業(yè)用氣體面板，氣體面板的要求詳見4.2.2 條；67系統(tǒng)的供應(yīng)能力必須經(jīng)過相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)

18、計(jì)算核實(shí)；氣瓶柜閉門時(shí)應(yīng)保持不低于 100pa 負(fù)壓，其排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于 300次/小時(shí)；89自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測器；氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應(yīng)小于 2.5mm，并有防腐蝕涂層。10111213氣瓶柜門應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗；氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)示牌；氣瓶柜地腳螺栓的設(shè)計(jì)要滿足當(dāng)?shù)氐卣鹆叶鹊囊?。?dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境時(shí)，其設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范gb50058 的規(guī)定。4.2.2特種氣體氣瓶柜與氣瓶架的氣體面板設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急

19、關(guān)斷閥門，并應(yīng)為常閉氣動(dòng)閥門，位置盡量靠近氣瓶端；2開關(guān)；34氣瓶壓力大于 0.1mpa 的自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有過流自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃系統(tǒng)；自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有輔助抽真空裝置，該管路必須設(shè)置止回閥；5各種特種氣體面板均應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口；4.2.3可燃特種氣體氣瓶柜的設(shè)置應(yīng)符合下列要求1. 硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于 1200 次小時(shí)。氣瓶柜的負(fù)壓應(yīng)持 續(xù)監(jiān)控；2. 自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外紅外火焰探測器；3. 可燃與自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)，但是 clf3 氣瓶柜不應(yīng)設(shè)置水噴 淋系統(tǒng)；4. 自燃性氣體氣瓶柜應(yīng)在氣瓶

20、之間設(shè)置隔離鋼板。4.2.4大宗特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置1獨(dú)立設(shè)置的氣（液）瓶、儲(chǔ)罐或長管拖車及其壓力指示或鋼瓶稱重裝置、連接回型管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜?3算核實(shí)；4大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的其它功能配備應(yīng)符合第 4.2.1 條的規(guī)定；大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的供應(yīng)能力必須經(jīng)過相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)大宗特種氣體輸送系統(tǒng)宜單獨(dú)建站，或置于單獨(dú)的氣體房，并考慮消防間距和物流通道等；56液化氣體瓶的大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)合適的鋼瓶加熱與保溫裝置。大宗特種氣體應(yīng)考慮在減壓前對氣體進(jìn)行預(yù)熱。4.2.5液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)1液態(tài)特種氣體系統(tǒng)包括獨(dú)立放置的液體槽罐、液體輸送柜、連

21、接回型管、推動(dòng)氣體單元、載氣單元、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜與溫度控制裝置。2液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)利用推動(dòng)氣體的靜壓力或者采用泵，將液體化學(xué)品從大包裝槽罐里輸送至液體輸送柜里的小包裝液罐，或者將小包裝液罐里的液體 直接推動(dòng)輸送至用液點(diǎn)。用液點(diǎn)設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)器，將液體化學(xué)品鼓泡或直接蒸 發(fā)，以汽化形式輸送至工藝反應(yīng)設(shè)備。3液態(tài)特種氣體輸送柜必需的其他功能配備應(yīng)符合第 4.2.1 條的規(guī)定。4.2.6特種氣體系統(tǒng)的閥門箱和閥門盤的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體系統(tǒng)的閥門箱應(yīng)設(shè)有：1） 進(jìn)氣管路隔離閥門及壓力指示單元；2） 各分支路獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)、過濾器、過流開關(guān)單元；3） 各

22、分支路獨(dú)立的進(jìn)出口隔離閥門；4） 各分支路獨(dú)立的吹掃氮?dú)饣蚨栊詺怏w單元；5） 各分支路獨(dú)立的輔助抽真空單元等2惰性及氧化性氣體系統(tǒng)的閥門盤應(yīng)設(shè)有：1） 進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示單元；2） 各分支路獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器；3） 各分支路獨(dú)立進(jìn)出口隔離閥門。4.3吹掃和排氣系統(tǒng)4.3.1特種氣體系統(tǒng)吹掃氮?dú)獾脑O(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接，不得與公用氮?dú)饣蚬に嚨獨(dú)庀到y(tǒng)相連；2不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獠坏霉灿猛坏獨(dú)庠矗?吹掃氮?dú)夤芫€必須設(shè)置止回閥。4.3.2吹掃氮?dú)獾臍怏w面板設(shè)置包括下列部件：1） 壓力調(diào)節(jié)閥；2） 排氣管；3

23、） 高低壓截止閥；4） 高低壓壓力指示；5） 安全閥4.3.3特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空設(shè)置應(yīng)符合下列要求：12真空發(fā)生器宜采用氮?dú)鈱?shí)現(xiàn)抽真空功能；抽真空用氮?dú)饪捎晒闷胀ǖ獨(dú)馓峁?.3.4工藝排氣與廢氣處理1 特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃，防止空氣倒流造成污 染和腐蝕。2 不相容性氣體的排氣不得連接進(jìn)入同一排氣主管。3 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的排氣濃度超過燃燒下限 20%或最大允許 濃度 10%時(shí)，必須經(jīng)過尾氣處理裝置處理后排入廠房排氣系統(tǒng)。4 合適的廢氣處理裝置包括但不限于：1）干式處理；2）水洗式處理；3）加 熱分解處理；4）燃燒處理；5）等離子分解處理；6）稀釋處

24、理；以及以上幾種處 理方式的結(jié)合。5硅烷站5.1硅烷工藝系統(tǒng)5.1.1硅烷站工藝系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)下列因素確定1234硅烷的危險(xiǎn)性質(zhì)硅烷站的規(guī)模用戶對硅烷純度及壓力要求用戶對硅烷負(fù)荷變化情況的要求5.1.2硅烷站應(yīng)根據(jù)工藝要求、當(dāng)?shù)貧夂驙顩r、硅烷設(shè)備狀況選擇采用封閉式、開敞式或露天形式進(jìn)行布置。5.1.3 連接管道。5.1.4能。5.1.5吹掃。5.1.65.1.7硅烷輸送工藝系統(tǒng)應(yīng)包括硅烷容器、氣體面板、閥門箱以及相應(yīng)的典型的硅烷氣體面板應(yīng)包括減壓過濾、吹掃/排氣、安全控制等功硅烷應(yīng)采用獨(dú)立的惰性氣體鋼瓶進(jìn)行吹掃，不得采用公用管道氮?dú)忾y門箱應(yīng)配置惰性氣體吹掃系統(tǒng)、泄漏偵測和火焰?zhèn)蓽y。硅烷的放空不得排

25、入局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)直接排到大氣，或燃燒式尾氣處理器。放空管道應(yīng)使用氮?dú)膺B續(xù)吹掃。放空管道吹掃氮?dú)饬魉俨粦?yīng)低于 0.3m/s。5.1.8鋼瓶出口應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥。硅烷站的各安全出口應(yīng)設(shè)置手動(dòng)緊急切斷按鈕，至少有一個(gè)手動(dòng)緊急切斷按鈕與輸送系統(tǒng)的距離應(yīng)大于 4.6 米。5.1.9硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用金屬膜片的波紋管閥、隔膜閥、調(diào)壓閥。氣源應(yīng)配置直徑小于 3.175mm 的限流孔板。輸送系統(tǒng)應(yīng)配置過流開關(guān)。5.2硅烷站的布置5.2.1硅烷站的布置，應(yīng)按下列要求綜合比較確定：1的地點(diǎn)；23應(yīng)布置在工廠常年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)遠(yuǎn)離有明火或散發(fā)火花不應(yīng)布置在人員密集地段和主要交通要道鄰近處；硅烷站

26、應(yīng)采用單層鋼筋混凝土或鋼框架、排架結(jié)構(gòu)。鋼框架、排架結(jié)構(gòu)應(yīng)采用防火保護(hù)措施。45硅烷站應(yīng)設(shè)置不燃燒體的圍墻，其高度不應(yīng)小于 2.5m；大宗硅烷站必須布置為獨(dú)立的開敞式建筑物或空曠區(qū)域，不得有地下室。當(dāng)采用開敞式建筑結(jié)構(gòu)形式時(shí)，硅烷站墻面遮擋部分面積不大于建筑外圍面積 的 25%。如果有障礙物，距離應(yīng)保證大于障礙物高度的 2 倍。6硅烷站的選址應(yīng)方便運(yùn)輸和消防車輛的進(jìn)出。5.2.2硅烷站與工廠建筑物、構(gòu)筑物的防火間距，不應(yīng)小于表 5.2.2 的規(guī)定。表 5.2.2硅烷站與其他建筑物、構(gòu)筑物、道路的防火間距（m）名稱硅烷站儲(chǔ)量重要公共建筑甲類倉庫民用建筑、明火或散發(fā)火花地點(diǎn)（t）550203054

27、0其他建筑一、二級耐火建筑3 級耐火建筑4 級耐火建筑152025202530電力系統(tǒng)電壓為 35 500kv 且每臺(tái)變壓器容量在 10mva 以上的室 外變、配電站工業(yè)企業(yè)的變壓器總油量大于 5t 的室外降壓變電站 廠外鐵路線中心線廠內(nèi)鐵路線中心線廠外道路路邊3040302040廠內(nèi)道路路邊主要次要105注：1 防火間距應(yīng)按相鄰建筑物、構(gòu)筑物的外墻、凸出部分外緣、氣瓶集裝 格外緣的最近距離計(jì)算。2固定容積的硅烷氣罐，總?cè)莘e按其水容量（m3）和工作壓力（絕對壓力）的乘積計(jì)算。3 與高層廠房的防火間距，應(yīng)按本表相應(yīng)增加 3m。5.2.3硅烷站的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范gb500

28、16 的規(guī)定。5.2.4硅烷站可采用有坡度的屋頂，屋頂最低點(diǎn)宜大于 4.5 米。硅烷站的面積大于 19m2 時(shí)，必須有兩個(gè)安全出口。5.2.55.2.6站內(nèi)任何地點(diǎn)到最近安全出口的距離不得大于 23m。硅烷站應(yīng)采用快開式推桿鎖，不得采用其它形式的鎖具，疏散門應(yīng)采用平開門，朝向?yàn)槭枭⒎较颉?.2.7露天布置的硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及容器與工藝面板之間應(yīng)距離9 米，當(dāng)距離不到 9 米時(shí)，應(yīng)采用 2 小時(shí)防火隔斷。防火隔斷的設(shè)置不應(yīng)影響自然 通風(fēng)。5.3安全技術(shù)措施5.3.1硅烷站的電氣控制室應(yīng)設(shè)置在單獨(dú)的房間內(nèi)，并用無門窗洞口的防爆墻與硅烷氣瓶庫隔開。供硅烷站專用的 10kv 及以下變配電所，不應(yīng)

29、設(shè)置在硅烷 站廠房內(nèi)或貼鄰建造。5.3.25.3.3硅烷大宗鋼瓶應(yīng)進(jìn)行防靜電接地。對于抽風(fēng)管道的泄漏探測器，設(shè)定值不應(yīng)小于 0.34%（v/v）(25%lel)，報(bào)警并自動(dòng)關(guān)閉輸送系統(tǒng)。環(huán)境監(jiān)測點(diǎn)設(shè)定值不應(yīng)小于 5ppm，報(bào)警但不需 要切斷輸送系統(tǒng)。5.3.4開放式輸送系統(tǒng)大宗鋼瓶區(qū)域必須設(shè)置紫外/紅外火焰探測器。封閉式輸送系統(tǒng)應(yīng)采用高溫探測器?；鹧婊蚋袦靥綔y器應(yīng)與報(bào)警系統(tǒng)和緊急切斷系統(tǒng)聯(lián) 動(dòng)。5.4采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)5.4.1采用開放式布置的硅烷站，應(yīng)采取有效的措施，保證自然通風(fēng)，防止硅烷氣體積聚。若不能滿足開放式的條件時(shí)，應(yīng)設(shè)置強(qiáng)制通風(fēng)系統(tǒng)。5.4.25.4.3封閉式硅烷站嚴(yán)禁采用循環(huán)空氣

30、調(diào)節(jié)系統(tǒng)。封閉式的硅烷站室內(nèi)溫度、濕度設(shè)計(jì)參數(shù)應(yīng)滿足氣柜的要求。當(dāng)氣柜無具體要求時(shí)，室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù)宜滿足 253。5.4.45.4.5封閉的硅烷站應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的連續(xù)排風(fēng)系統(tǒng)。氣柜排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲(chǔ)存壓力下限流孔板（rfo）的硅烷連續(xù)流量計(jì)算氣柜內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于 0.4%，并保證 流經(jīng)氣瓶頸部和管道機(jī)械連接處的氣流速度不小于 1m/s 來確定。5.4.6氣瓶組直接安裝在封閉的硅烷站內(nèi)，房間排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲(chǔ)存壓力下限流孔板（rfo）的硅烷連續(xù)流量計(jì)算房間內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜 內(nèi)的硅烷體積濃度小于 0.4%來確定。5.4.7硅烷閥門箱的排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大

31、儲(chǔ)存壓力下限流孔板（rfo）的硅烷連續(xù)流量計(jì)算氣柜內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于 0.4% 來確定。5.4.8封閉的硅烷站應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量根據(jù)事故泄漏量計(jì)算確定，但換氣次數(shù)不應(yīng)小于每小時(shí) 12 次。硅烷站外應(yīng)設(shè)置緊急按鈕。5.4.95.4.10硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用機(jī)組。硅烷站空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采用適當(dāng)措施保證在空調(diào)機(jī)組維護(hù)或故障時(shí)，硅烷站能取得足夠的補(bǔ)風(fēng)。5.4.11硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)電源應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。5.4.12空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作。排風(fēng)風(fēng)管應(yīng)采用剛性風(fēng)管，不得使用柔性風(fēng)管?？照{(diào)系統(tǒng)風(fēng)管保溫應(yīng)采用不燃或難燃保溫材料。5.4.13火閥。5.4.1

32、4排風(fēng)管路嚴(yán)禁穿越防火分區(qū)防火墻。排風(fēng)管路上不應(yīng)設(shè)置溶片式防排風(fēng)系統(tǒng)不應(yīng)與火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)連動(dòng)控制，嚴(yán)禁關(guān)閉排風(fēng)系統(tǒng)。5.5消防系統(tǒng)5.5.1 硅烷站的消防應(yīng)符合下列規(guī)定1 在發(fā)生硅烷火災(zāi)時(shí)，在沒有關(guān)閉泄漏鋼瓶之前，嚴(yán)禁撲滅硅烷火焰。2 在發(fā)生火災(zāi)時(shí)，硅烷鋼瓶和使用到硅烷的相關(guān)的設(shè)備，應(yīng)有冷卻措施。3 硅烷站嚴(yán)禁使用“哈龍”滅火器。4 硅烷站的消火栓系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范gb50016-2006 中 的有關(guān)規(guī)定。5.5.2 室外硅烷站的消防應(yīng)符合下列規(guī)定1 設(shè)置在室外的硅烷站，應(yīng)設(shè)置雨淋系統(tǒng)來冷卻硅烷的輸送系統(tǒng)。保護(hù)部位 包括硅烷鋼瓶、大宗硅烷儲(chǔ)罐及相關(guān)的工藝氣柜。2 雨淋系統(tǒng)的設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)

33、度不小于 12l/min.m2，火災(zāi)持續(xù)時(shí)間不小于 2 小 時(shí)。3 消防系統(tǒng)的管道應(yīng)采用金屬管材，接口采用絲扣、焊接管件。在站內(nèi) 15m 范圍內(nèi)的管道不應(yīng)采用以橡膠為密封材料的溝槽式連接方式。4 雨淋系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)，應(yīng)同時(shí)切斷硅烷的供應(yīng)。5 當(dāng)室外硅烷站設(shè)有屋頂?shù)确烙甏胧r(shí)，在此處可以設(shè)置濕式自動(dòng)噴水滅火 系統(tǒng)。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度按照嚴(yán)重危險(xiǎn)系 ii 級考慮。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度 16l/min.m2，保護(hù) 面積 260m2。6 室外硅烷站的附近應(yīng)設(shè)置室外消火栓，室外消火栓應(yīng)設(shè)置在距大宗鋼瓶 30m 之外且 46m 之內(nèi)。5.5.3 室內(nèi)硅烷房間的消防應(yīng)符合下列規(guī)定1 存儲(chǔ)和使用硅烷的房間應(yīng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)

34、。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度不低于嚴(yán) 重危險(xiǎn)級 i 級，設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度 12l/min.m2，保護(hù)面積 260m2。2 硅烷氣柜應(yīng)自帶冷卻用的自動(dòng)噴水滅火噴頭，該噴頭為快速反應(yīng)噴頭。6特種氣體管道輸送系統(tǒng)6.1一般規(guī)定6.1.1特種氣體輸送系統(tǒng)包括特氣管道系統(tǒng)、閥門分配系統(tǒng)、工藝設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)的管道、管件、閥門、過濾器、減壓裝置、卸壓裝置、壓力表（傳感 器）等所有部件。6.1.2生產(chǎn)廠房內(nèi)特種氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)與水電管線共架時(shí)，當(dāng)相對密度小于或等于 0.75 的氣體管道宜設(shè)在水、電 管線下部；相對密度大于 0.75 的特氣管道宜設(shè)在水、電管線上部。6.1.3生產(chǎn)車間內(nèi)的可燃和

35、有毒特氣體管道應(yīng)明敷，穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措 施?？扇?、毒性、腐蝕性氣體管道的機(jī)械連接處，應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。6.1.4可燃特氣體與毒性特氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間，當(dāng)必須穿過時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。特氣管道嚴(yán)禁穿過生活間、辦公室。6.1.56.1.66.1.7特氣管道不得出現(xiàn)不易吹除的盲管等死區(qū)，避免 u 型彎。易燃性特氣體與氧化性特氣管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的接地設(shè)施。室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置。6.2材料選型6.2.1工藝和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體不銹鋼無縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。6.2.2腐蝕性氣

36、體管道，宜采用二次真空電弧熔煉的奧氏體不銹鋼或鎳基合金材料的無縫鋼管。內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。6.2.3用于接觸工藝氣體的閥門的密封座，應(yīng)盡量減少塑料材質(zhì)的使用量和表面接觸面積，且材質(zhì)應(yīng)與氣體性質(zhì)匹配。6.2.46.2.56.2.6 行脫脂處理。雙層管的外層管道宜選擇經(jīng)過退火處理和酸洗處理的不銹鋼管道。排氣和尾氣真空管道宜采用不銹鋼管道，并經(jīng)過嚴(yán)格的脫脂處理。氧化性氣體應(yīng)采用專用禁油閥門、附件和管材，所有管件按規(guī)定進(jìn)6.3管道設(shè)計(jì)6.3.1管道的壓力等級應(yīng)根據(jù)工藝氣體的輸送壓力確定。管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范gb50316 的要求。6.3.2管道設(shè)計(jì)應(yīng)充分考慮用氣設(shè)備對

37、流量和壓力的要求。應(yīng)參照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)工藝系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)定hg/t20570.7 進(jìn)行計(jì)算。6.3.3管材的壁厚應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)流體輸送用不銹鋼無縫鋼管gb/t14976 的規(guī)定，小尺寸管道管壁厚度應(yīng)滿足下述要求:表 6.3.3小尺寸軌道壁厚要求管道外徑6mm(1/4)-10mm(3/8)15mm (1/2)20mm(3/4)25mm (1”)壁厚要求0.89mm(0.035)1.24mm（0.049）1.65mm（0.065）6.3.4液態(tài)特氣水平管道應(yīng)有不小于 0.3%的坡度，坡向供液設(shè)備或收集器。6.3.5對于強(qiáng)腐蝕性、自燃性和劇毒性危險(xiǎn)性氣體，宜采用雙套管設(shè)計(jì)，內(nèi)管走工藝氣體。套管

38、間可采用封閉或開放形式。6.3.6對于輸送低蒸汽壓氣體，需要對管道設(shè)置伴熱和保溫措施。加熱溫度不宜超過 50。6.3.7特氣管道應(yīng)采用全自動(dòng)軌道焊接。閥件或管件處應(yīng)采用面密封連接，不應(yīng)采用螺紋或法蘭連接。6.3.8門。6.3.9須相容。特氣閥門應(yīng)采用隔膜閥或波紋管閥，不應(yīng)采用球閥、旋塞閥等閥特氣管道連接用密封墊片宜選用不銹鋼墊片，墊片與特氣的性質(zhì)必6.3.106.3.11產(chǎn)生顆粒的閥件下游宜安裝過濾器。特氣管道系統(tǒng)安裝完成后，應(yīng)根據(jù)工藝的要求進(jìn)行壓力測試、密封性測試和不純物測試。詳見特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收章節(jié)。6.4管道標(biāo)簽6.4.1特種氣體管道必須進(jìn)行管道標(biāo)示，標(biāo)示方法應(yīng)按本節(jié)規(guī)定或企業(yè)內(nèi)部管道標(biāo)

39、示執(zhí)行。6.4.2特種氣體管路標(biāo)識應(yīng)包括氣體名稱、主要危險(xiǎn)特性和流向箭頭，并通過各種顏色來表示管道內(nèi)介質(zhì)的危險(xiǎn)特性。表 6.4.1特種氣體管路標(biāo)示顏色字 箭底 意 物質(zhì)色 義 特性物質(zhì)種類舉例體 頭顏 顏色 色紅 危 極易燃易爆、 色 險(xiǎn) 強(qiáng)毒性黃 警 腐蝕性，對人 色 告 體有危害藍(lán) 安 危害性較小或 色 全 無危害氣、液體等氣、液體等惰性氣體、無 毒性物質(zhì)ash3，sih4, ch2f2，ph3，wf6， clf3， co，ccl4 等hbr，hcl，hf 等sf6，kr/ne，xe 等白 白色 色黑 黑色 色白 白色 色注：1 紅色危險(xiǎn)色，表示內(nèi)容物易燃易爆、且有強(qiáng)毒性。2 黃色警告色，

40、表示內(nèi)容物有腐蝕性、毒性，或?qū)θ梭w有危害性。3 藍(lán)色/綠色安全色，表示內(nèi)容物危險(xiǎn)性很小，或根本沒有危險(xiǎn)。6.4.3標(biāo)示應(yīng)有該物質(zhì)名稱描述，順序可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)整。文字描述不僅包括管內(nèi)物質(zhì)名稱（化學(xué)物質(zhì)包含分子式），還應(yīng)包括特性（判定順序：易 燃性、腐蝕性、毒性等其他性質(zhì)，其中特性的描述以最主要的性質(zhì)為依據(jù)）。中、 英文及數(shù)字式樣如下所示：中文（黑體粗體字形）英文分子式和數(shù)字（arial 粗體字形）圖 6.4.2 管道標(biāo)示sih4 硅烷易燃易爆氣體箭頭記號表示管內(nèi)物質(zhì)的流動(dòng)方向，顏色和字體顏色相同，尺寸與標(biāo)示大小 相匹配。6.4.4標(biāo)示的尺寸依管徑內(nèi)徑變化。如管路名稱比較長，可根據(jù)實(shí)際情況增

41、加標(biāo)簽的長度。表 6.6.3標(biāo)示參數(shù)與管徑的對照管徑標(biāo)示長度標(biāo)示高度箭頭長度字體高度6mm(1/4”)10mm(3/8)15mm(1/2)20mm(3/4)150mm（6） 15mm（1/2） 30mm（1.2） 8mm（1/4）150mm（6） 15mm（1/2） 30mm（1.2） 8mm（1/4）150mm（6） 15mm（1/2） 30mm（1.2） 8mm（1/4）200mm（8） 20mm（3/4） 40mm（1.6） 15mm（1/2）25mm(1)-50mm(2) 200mm（8） 25mm（1）40mm（1.6） 20mm（3/4）50mm(2)以上 300mm（12） 40

42、mm（1.5） 60mm（2.4） 30mm（1.25）6.4.5管路上粘貼標(biāo)簽應(yīng)符合下列規(guī)定：1水平直管部分：管路直徑 100mm(4)（含）以下，每隔 3m 粘貼一張，其中以主要走道上方為基準(zhǔn)方位；管路直徑 100mm(4)（不含）以上，每隔 6m 粘貼 一張，其中以主要走道上方為基準(zhǔn)方位。2垂直直管部分：管路內(nèi)徑 100mm(4)（含）以下，每隔 2m 粘貼一張，并以地面向上 150cm 處為基準(zhǔn)位置粘貼一張；管路內(nèi)徑 100mm(4)（不含）以上，每 隔 4m 粘貼一張，并以地面向上 150cm 處為基準(zhǔn)位置粘貼一張。3管路的連接處（如閥件、彎頭），機(jī)臺(tái)與管路的接管處，和穿墻兩側(cè)部分都

43、必須粘貼一張。標(biāo)示的粘貼要遵循整齊的原則垂直管路上的標(biāo)示上邊緣對齊。 標(biāo)示粘貼的角度要易于識別，使操作人員在操作或緊急突發(fā)情況下能迅速辨識。-箭頭標(biāo)示如下：圖 6.6.4 粘貼標(biāo)示2/15l箭頭長度 1/5l標(biāo)簽長度 l1/3h1/6h7建筑結(jié)構(gòu)7.0.1布置于生產(chǎn)廠房的特種氣體間的耐火等級不應(yīng)低于二級。其結(jié)構(gòu)構(gòu)件的耐火極限應(yīng)該符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范gb50016 的規(guī)定。7.0.2有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間的承重結(jié)構(gòu)宜采用鋼筋混凝土或鋼框架、排架結(jié)構(gòu)，房間應(yīng)沿建筑外墻布置。7.0.3有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范gb50016 的規(guī)定設(shè)置泄壓設(shè)施。7.0.4有爆

44、炸危險(xiǎn)的特種氣體間的安全出口不應(yīng)少于 2 個(gè)，且宜分散布置，相鄰 2 個(gè)安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于 5m，其中 1 個(gè)應(yīng)直通室 外，通向疏散走道的門需要滿足防火及防爆要求。當(dāng)爆炸危險(xiǎn)房間的面積小于等于 100m2，且同一時(shí)間的生產(chǎn)人數(shù)不超過 5 人時(shí)，可設(shè)置一個(gè)直接通往室外的出口。7.0.5惰性氣體間的安全出口不應(yīng)少于 2 個(gè)，且宜分散布置，相鄰 2 個(gè)安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于 5m，其中 1 個(gè)應(yīng)直通室外，通向疏散走 道的門應(yīng)為乙級防火門。當(dāng)惰性氣體房間的面積小于等于 150m2，且同一時(shí)間的生 產(chǎn)人數(shù)不超過 5 人時(shí)，可設(shè)置一個(gè)直接通往室外的出口。7.0.6有爆炸

45、危險(xiǎn)的特種氣體間與無爆炸危險(xiǎn)房間之間，應(yīng)采用耐火極限不低于 4h 的不燃燒體防爆墻隔開，防爆墻上不應(yīng)開設(shè)門窗洞口，當(dāng)設(shè)置雙門斗相 通時(shí)，門應(yīng)錯(cuò)位布置，門的耐火極限不應(yīng)低于 1.2h。7.0.7有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間的控制室應(yīng)與該氣體房間及相鄰其他房間應(yīng)采用耐火極限不低于 3.00h 的不燃燒體墻體分隔開。7.0.8特種氣體房間的門應(yīng)向疏散方向開啟，有爆炸危險(xiǎn)房間的門窗應(yīng)采用撞擊時(shí)不產(chǎn)生火花的材料制作。7.0.9當(dāng)相對密度小于或等于 0.75 時(shí)，散發(fā)較空氣輕的可燃性特種氣體間，頂棚應(yīng)平整、避免死角，特種氣體間上部應(yīng)通風(fēng)良好。7.0.10當(dāng)相對密度大于 0.75 時(shí)，散發(fā)較空氣重的可燃特種氣體間

46、，應(yīng)采用不發(fā)火花的地面，并應(yīng)平整、耐磨、防滑。采用絕緣材料作整體面層時(shí)，應(yīng)采取 防靜電措施。頂棚表面應(yīng)平整，避免死角，特種氣體房間不應(yīng)設(shè)計(jì)地溝，必須設(shè)置 時(shí)，其蓋板應(yīng)嚴(yán)密，防止特種氣體的積聚。7.0.11特氣間的高度應(yīng)滿足工藝設(shè)備與管道布置的要求，并結(jié)合生產(chǎn)廠房的高度統(tǒng)一考慮，不宜低于 4.5 米。7.0.12特種氣體房間內(nèi)的裝修材料應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范gb50222 的規(guī)定。8電氣與防雷8.1配電與照明8.1.1特種氣體站和特種氣體間的電力負(fù)荷分級不宜低于二級負(fù)荷；可燃、自燃、毒性與腐蝕性氣體設(shè)備應(yīng)為一級負(fù)荷；氣體管理與氣體泄漏探測系統(tǒng)為 一級負(fù)荷中特別重要的負(fù)荷，必須配置不間斷電源。8.1.2有爆炸危險(xiǎn)特種氣體站和特種氣體間的爆炸性氣體環(huán)境內(nèi)的電力裝置