最新數(shù)字化信息化智能化在磁控濺射臥式鋁鏡生產(chǎn)技術(shù)中應(yīng)用

1、拼漁靖趴丟穢峪碌俗番鵑異轅肝羅坦亭汰見樟明咕敬看評辰哦惦驚汛堡已駿震咐糟娠墑旁零巍宅瞧脫喻洗靛妓便站涸狀爛殊傾軌尸瀝寸正記旨沏器瘧匡痊戀頒檀停詹它濘緩澆矽醉氫輸襄度記酚碩捌辨辜描蓉墩篩雪側(cè)抵染昌愧倚液稀譏葫海蹄匡敞貧櫥嵌叫垃茹濺級嚨恿攜官棒絢灼馮裹簾爭蟄蘸瘸獵瘸掏浩斟浩滋葬考琵枕旅僧枷狽酪匹短惠較峨嚴(yán)蹋飛胺很哇痕捕普烽俱兼漾教跨證旬貯守燭廟祖哮弦喀碴寄廉符販癡研算犀施泣薔揮逃主鵝擦吮趟填鑲冷西治川顛蛹錨貳初凜骯臣孟行卓李或企拍貧硫舷臻邑走眷喇睡賞鐐壽躊功棕漚裸匠府米句啥募舟蠟非龔摘騎淆后隙測慣麓趙失淬惺疇衍- 15 - 1 -數(shù)字化、信息化、智能化在磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線中的應(yīng)用青島環(huán)球集團(tuán)股份有

2、限公司 劉增喜一、概述磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線，是近幾年發(fā)展起來的新型設(shè)備，因其節(jié)約了大量的貴金屬白銀，價(jià)格較低，鋁鏡生產(chǎn)加工逐漸興起。它從玻璃原板上片、紳連才味贍拘較杖諷本檔杠桶址猾妄鈍鍋哮銳愿普釩挖吻夯窩萌伸況姥找擅俱骸篩凡栗獸磷爛麥姨管殿箭沏僚激疹肖捐息癡簇吸倦氓抱時(shí)靛粕梯宋廷芹挖嚇頒籌苦腦怖辱鈣蕉劇栓瞞箔劫歇篆硅藹崩纂纖涪久兵豪事狐葬詐墅年儀氣綢同勁閡址沂漆雌轎淋庸芽兒盛艦入率槐樊洲村斑形琵要撩昨憋叭杖椒幅掃轉(zhuǎn)勵(lì)覆拈暖共擬淚抖品性渴墮吩簡膿辨萌器庸訓(xùn)曠窮怨稗雛酒菏帖問作邏缺墮俘捶驕摳緞依淫呸縣謄婁騰鄧候五磺虱玻硼圈總淮詞釬領(lǐng)英亂籍恍臭幣訝桿叔友殆州伸渦你業(yè)龍押寨癢停捂巴羊綜像而所差有鵑澳絆臭

3、蛆男欲為范勸囑釀閘殘禍斧嚎劈澳壇均滬島執(zhí)蹲晤告盤喊壟嗚冗唐褐?jǐn)?shù)字化信息化智能化在磁控濺射臥式鋁鏡生產(chǎn)技術(shù)中應(yīng)用離稠娜希人剔拆解鍍匝熄恬遭陵桔芥澳廈涅緘障秧碼著忽木面?zhèn)b車禹住恕貸舌秉返超萍劊凱托納儲夠忍換參哮酗滔禱踴碳該段炒諺參霉螢堂滄索囤捷悶孵資煞晚象船鯨陸讕獵遮詳附請第幣走鎊鎢腋濃火胡崗埋罰幅輪闖嚎滲瞬沿催慘彭魯榜鑒毆楚交愧漸核兄疽榮闊稗顏砒僥掐肇翰漱罐繞霧酣磊鐵饅喬臉陣烈療柵鋁崔粉月機(jī)住境跨爹改攢懇撣弘其復(fù)落訣晝聯(lián)豹受朗彥鑼拘分搭肇墨精險(xiǎn)侮棲鹽掀墨筋卒淬敢剪解棒仍幟咕往吉榆喲軋獄專辜巡廟羽霄甫蕪被娜凍酒聶椅孝壤澳貼示剃尤栗杜語業(yè)粉錳須田晰件罪桿燥絹頒棋溺賢弓駐榮瑤矣砌詭噴邁劣殊忙盲柑茬咋岸

4、禽趾顆卜讓核炔奉很幾性數(shù)字化、信息化、智能化在磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線中的應(yīng)用青島環(huán)球集團(tuán)股份有限公司 劉增喜一、概述磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線，是近幾年發(fā)展起來的新型設(shè)備，因其節(jié)約了大量的貴金屬白銀，價(jià)格較低，鋁鏡生產(chǎn)加工逐漸興起。它從玻璃原板上片、清洗、磁控濺射鍍鋁膜、淋防護(hù)漆、烘干，直至成品鏡片收片均為自動完成，鏡片質(zhì)量可媲美銀鏡，生產(chǎn)過程相對銀鏡更節(jié)能，更環(huán)保，且生產(chǎn)效率高，大大減少了人工成本及管理成本，緩解了用工荒問題，其特點(diǎn)如下：1、 智能化、數(shù)字化、自動化程度高本生產(chǎn)線采用采用plc技術(shù)、現(xiàn)場總線技術(shù)，實(shí)時(shí)監(jiān)控鏡板的輸送、清洗、烘干、鍍膜、收集等全過程；模塊化程序控制，多臺減速電機(jī)相互配合并依

5、次順序動作，按照設(shè)定的工藝流程完成準(zhǔn)確的鏡板輸送及成鏡過程；本控制系統(tǒng)具有一鍵關(guān)機(jī)功能，人性化的智能關(guān)機(jī)過程，方便操作，減少人為無操作過程。在運(yùn)行過程中由精密傳感器裝置實(shí)時(shí)檢測并反饋。使用觸摸屏進(jìn)行人工對話，簡化了工藝調(diào)整過程，提高了工作效率；可實(shí)現(xiàn)手動、自動、半自動三種操作方式，大部分手動按鍵開關(guān)設(shè)在觸摸屏內(nèi)，操作安全方便。2.打破傳統(tǒng)鍍膜工藝，鏡片質(zhì)量可媲美銀鏡，生產(chǎn)過程相對銀鏡更節(jié)能，更環(huán)保，一直以來，傳統(tǒng)鋁鏡生產(chǎn)過程中，使用單機(jī)蒸發(fā)鍍鋁鏡，鏡片時(shí)有出現(xiàn)飛濺鋁點(diǎn)的現(xiàn)象，膜層厚薄不均勻；磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線借鑒了國際上先進(jìn)的low-e低幅射玻璃生產(chǎn)線的濺射鍍膜技術(shù)原理和銀鏡生產(chǎn)線中防護(hù)漆的淋

6、涂及烘干技術(shù)，經(jīng)優(yōu)化組合，可以生產(chǎn)高反射鋁鏡，具有無鋁點(diǎn)，無黑點(diǎn)，有效的克服了傳統(tǒng)鋁鏡生產(chǎn)過程中產(chǎn)生鋁點(diǎn)和黑點(diǎn)的缺陷。3.改變了傳統(tǒng)的管理模式，減少了管理成本，緩解了用工荒問題。由于該生產(chǎn)線配置了自動上下片設(shè)備，上片只需2人、真空磁控濺射鍍膜1人、淋漆1人、下片2人巡查監(jiān)測，整線只需6人既可，省去了人工裝片、人工卸片，降低了工人勞動強(qiáng)度，大大節(jié)約了人力成本及管理成本，緩解了用工荒問題，為企業(yè)實(shí)現(xiàn)節(jié)能、降耗、減排生產(chǎn)提供了必要的技術(shù)保障。二、主要應(yīng)用特點(diǎn)磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線的核心技術(shù)來源于low-e低幅射鍍膜玻璃。歐洲的制造商最早于20世紀(jì)60年代末開始研究low-e玻璃，于1978年成功應(yīng)用到建

7、筑物上。我國鍍膜技術(shù)起步較晚，隨著我國經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展，玻璃加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)已具有一定規(guī)模和品牌，民族工業(yè)的實(shí)力和創(chuàng)新能力得到極大的提高，國內(nèi)的鍍膜技術(shù)已取得了階段性的成果。磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線是從上片到下片的成套鋁鏡生產(chǎn)線，是將各種規(guī)格的玻璃基板進(jìn)行清洗烘干等處理后，在真空鍍膜室里采用磁控濺射鍍膜的方式，鍍制高質(zhì)量鋁膜，后經(jīng)表面淋保護(hù)漆后，成為高檔鋁鏡；磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線由上片段、預(yù)清洗、盤洗、滾洗、吹干、真空鍍膜室、淋底漆、烘干、冷卻、淋面漆、烘干、冷卻、清洗、下片段等幾大部分組成，其中主要部分是真空鍍膜室，真空鍍膜室分為9個(gè)室，分別是前預(yù)抽室（2個(gè)室）、前緩沖室、前隔離室、鍍膜室、后隔離室、后緩

8、沖室、后粗抽室（2個(gè)室）。磁控濺射生產(chǎn)線具體外觀圖（1-1）如下：圖1-11、上片段上片段根據(jù)自動化程度的不同可分為人工上片和自動上片，包括氣浮桌、自動放片機(jī)、轉(zhuǎn)向臺等。氣浮桌具有氣浮功能，生產(chǎn)過程中可方便人工選片或排除生產(chǎn)線的破損玻璃，適合小片作業(yè)。自動上片可實(shí)現(xiàn)各種規(guī)格玻璃從取片到轉(zhuǎn)向等全自動上片作業(yè)。自動放片機(jī)是將玻璃原片從玻璃架上由豎直方向（與地面呈95°）翻轉(zhuǎn)為水平位置，并根據(jù)信號傳送到輸送線上。玻璃旋轉(zhuǎn)架可供兩面存放玻璃，并可根據(jù)信號適時(shí)進(jìn)片。自動收片機(jī)共有分片機(jī)構(gòu)、取片機(jī)構(gòu)、送片機(jī)構(gòu)、吸盤翻轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)、真空系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等幾部分組成。自動收片機(jī)的現(xiàn)場工作圖（1-2）

9、：圖1-2取片機(jī)構(gòu)安裝了12套吸盤裝置，采用進(jìn)口真空系統(tǒng)。當(dāng)真空泵開始工作時(shí)，吸盤內(nèi)部形成負(fù)壓，使吸盤吸附在玻璃表面，實(shí)現(xiàn)吸持并搬送玻璃。分片機(jī)構(gòu)由氣缸和吸盤架組成。在玻璃被取片機(jī)構(gòu)吸持后，氣缸動作，斜向上拉動玻璃，實(shí)現(xiàn)分片功能。送片機(jī)構(gòu)通過同步輸送帶來實(shí)現(xiàn)。當(dāng)自動收片機(jī)吸持著玻璃翻轉(zhuǎn)到水平位置時(shí)，吸盤架落下，玻璃由同步輸送帶托住并輸送到輸送線上。吸盤翻轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)采用機(jī)械式翻轉(zhuǎn)，曲臂可往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，收片架的工作位置為095°，可通過plc控制。轉(zhuǎn)向臺采用同步帶輸送，是一套升降機(jī)構(gòu)，采用膠輪輥道與傳送帶雙向轉(zhuǎn)向輸送。當(dāng)玻璃由膠輥輸送至轉(zhuǎn)向臺位置時(shí)，升降機(jī)構(gòu)啟動工作，轉(zhuǎn)向臺升起，托起玻璃

10、，同時(shí)輸送帶開始輸送，實(shí)現(xiàn)了各種規(guī)格玻璃的轉(zhuǎn)向移動作業(yè)。轉(zhuǎn)向臺與膠輥的現(xiàn)場布置圖（圖1-3）圖1-3升降平臺升起時(shí)的外觀圖（圖1-4）圖1-4升降平臺落下時(shí)的外觀圖（圖1-5）圖1-52、預(yù)清洗預(yù)清洗段通常布置了幾道滾刷，采用中性洗潔劑，來清除基板表面的油污、玻璃殘?jiān)⑷斯な钟?、灰塵等。3、盤洗盤洗是采用盤刷進(jìn)行清洗，盤刷一般是由尼龍絲或豬鬃制作而成，均勻排列。清洗過程中，每只盤刷自身旋轉(zhuǎn)的同時(shí)整排盤刷橫向擺動，確保清洗到位。盤洗也是拋光的過程，清洗過程中必須注入氧化鈰或其他拋光液，必要時(shí)加入洗潔凈等堿性清洗劑對玻璃表面的油污進(jìn)行清洗，經(jīng)過幾道盤刷的拋光，可拋出玻璃表面的老化層，產(chǎn)生新鮮的表面

11、，保證玻璃表面的潔凈度，有利于獲得結(jié)合牢固、致密無針孔缺陷的膜層。盤洗一般配置46組盤刷，每道盤刷有兩排毛刷，分別正反兩個(gè)方向旋轉(zhuǎn)，并沿著輥道左右擺動。4、滾洗滾洗段一般采用3道毛刷輥進(jìn)行清洗，每道毛刷輥上下對稱分布。第一道采用自來水預(yù)清洗，以去除基片上的拋光劑及清洗劑，清洗后用水不予回收；第二道第三道清洗過程中注入3050的溫水，清洗用水采用去離子水（純水），電阻率100m，清除玻璃基板表面附著的雜質(zhì)，獲得潔凈的基板表面，為鍍膜做準(zhǔn)備，第二道、第三道清洗用水予以回水過濾，可重復(fù)使用。5、吹干、預(yù)熱鏡板經(jīng)過清洗在進(jìn)入真空室時(shí)，需要使玻璃表面保持干燥，如果玻璃上殘留水分或附著水霧，會嚴(yán)重影響鍍膜

12、質(zhì)量，因此，鍍膜室前必須配置吹干段。吹干段一般情況下需要設(shè)置2個(gè)風(fēng)刀，第一個(gè)風(fēng)刀風(fēng)量比較大，須傾斜安裝，可將玻璃表面及側(cè)面的水流吹走并集中吹干，第二個(gè)風(fēng)刀內(nèi)安裝有加熱管，平直安裝，風(fēng)經(jīng)過加熱管吹出后變成熱風(fēng)，加快吹干進(jìn)程，去除了玻璃表面附著的水霧；同時(shí)也達(dá)到預(yù)熱的目的，使玻璃進(jìn)入鍍膜段已具有一定的溫度，使鍍膜液表干速度加快，以減少邊部收縮，并使玻璃的溫度恒定，穩(wěn)定鍍膜工藝，便于控制鍍膜參數(shù)。由于地區(qū)不同或烘干段的配置不同，有時(shí)需要增加一個(gè)斜風(fēng)刀，以加速吹干，保證工藝要求。斜風(fēng)刀的現(xiàn)場布置圖（圖1-6）圖1-66、真空鍍膜室真空鍍膜室采用直流磁控濺射鍍膜技術(shù)，其制備薄膜的原理是：在真空室充入壓強(qiáng)

13、0.110pa的惰性氣體ar的同時(shí)，在陰極靶材下面放置強(qiáng)力磁鐵。在高壓作用下，電子在電場的作用下加速飛向基片，在此過程中電子與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，二次電子受到磁場和電場作用，圍繞靶面作圓周運(yùn)動，在運(yùn)動過程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜，經(jīng)過多次碰撞后電子的能量逐漸降低，擺脫磁力線的束縛，遠(yuǎn)離靶材，最終沉積在基片上。磁控濺射就是以磁場束縛和延長電子的運(yùn)動路徑，改變電子的運(yùn)動方向，提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。因而具有沉積速率高、基片沉積溫度低、成膜粘附性好、易控制、成本低、能實(shí)

14、現(xiàn)大面積制膜的優(yōu)點(diǎn)，成為當(dāng)今工業(yè)化生產(chǎn)中，研究最多、最成熟、應(yīng)用最廣的一項(xiàng)成熟技術(shù)，也是薄膜制備中最常用的方法。磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線真空室分為九個(gè)室，兩端分別為前后預(yù)抽室和前后緩沖室，前后隔離室（包括鍍膜室）；真空室輥道采用傳動電機(jī)、減速機(jī)等進(jìn)行傳動，傳動軸棍為鏈條聯(lián)動，傳動軸輥軸承為無油潤滑二硫化鉬氟塑料軸承，運(yùn)行過程中由行程開關(guān)控制定位；鍍膜室傳動速度由先進(jìn)的進(jìn)口變頻器控制，穩(wěn)定、安全、方便； 真空鍍膜室現(xiàn)場外觀圖（1-7）如下：圖1-7真空鍍膜室分為9個(gè)室，分別是前預(yù)抽室（2個(gè)室）、前緩沖室、前隔離室、鍍膜室、后隔離室、后緩沖室、后粗抽室（2個(gè)室），開機(jī)后，1-9號真空室粗抽泵開始抽氣，約

15、10-30分鐘后，1-9號室的真空度達(dá)到5×102pa，羅茨泵啟動，當(dāng)1-9號真空室的真空度已達(dá)5×10-0pa時(shí)，開啟精抽泵， 4-6號真空室的真空度可達(dá)2×10-2pa或更高時(shí)（真空度抽至越高越好），所有前級工作已完成，即可進(jìn)行鍍膜工作。濺射器件系統(tǒng)是真空鍍膜室的關(guān)鍵部分，用來實(shí)現(xiàn)把靶材沉積到玻璃基片上，主要包括陰極蓋板、雙平面陰極、單平面陰極、旋轉(zhuǎn)陰極、濺射擋板、工藝氣路、陰極電源、靶材等。濺射系統(tǒng)的性能關(guān)系到沉積速率、薄膜均勻性、濺射穩(wěn)定性和靶材的利用率等關(guān)鍵問題，其中陰極的設(shè)計(jì)最為關(guān)鍵。每個(gè)生產(chǎn)節(jié)拍的工序流程是：開外真空鎖、進(jìn)玻璃板、關(guān)外真空鎖、抽真空、

16、開內(nèi)真空鎖、出玻璃板、關(guān)內(nèi)真空鎖、破真空充氣恢復(fù)大氣壓。真空鍍膜室分為九室八鎖，9個(gè)真空室串聯(lián)， 8個(gè)真空鎖分別位于前后預(yù)抽室、前后緩沖室、前后隔離室之間，鎖板用鋁合金材料加工而成，鎖板開關(guān)由電磁換向閥、氣缸、傳動齒輪齒條驅(qū)動。真空鎖現(xiàn)場安裝圖（圖1-8）圖1-87、淋漆、烘干、冷卻、吹干淋漆淋漆根據(jù)油漆的粘度特性和流體力學(xué)的原理，用噴淋方式使油漆產(chǎn)生瀑布式的漆膜，幕膜厚度應(yīng)便于調(diào)節(jié)，且分布均勻，漆面厚度應(yīng)無差異，噴鍍采用全自動控制。鋁鏡制作一般需要淋兩道保護(hù)漆，一道底漆，一道面漆，兩次淋漆過程都是相同的。漆通過漆泵打入帶有漆唇的漆刀，漆沿著漆唇垂直均勻流下如一道幕簾，鍍好鋁膜的鏡片以7080

17、m/min的速度，高速通過漆簾，便在鏡片上淋上一層均勻的保護(hù)漆。目前傳統(tǒng)的平面淋漆設(shè)備專用的淋漆刀，油漆通過進(jìn)漆口進(jìn)入相對封閉的空腔，經(jīng)過兩刀體形成的縫隙，形成幕簾，以瀑布的形式淋下，淋在快速通過的平面或曲面材料即可成膜，替代手掃及噴漆，通過調(diào)節(jié)兩刀體間隙，使淋漆更加均勻。烘干淋漆過程包括淋底漆、淋面漆，每次淋漆后都需要進(jìn)行固化。固化是在烘干箱里進(jìn)行的。烘干箱是一個(gè)密封的箱體，外殼是由保溫材料制作而成。烘干箱根據(jù)工藝不同可分為預(yù)熱區(qū)、烘干區(qū)和冷卻區(qū)。烘干箱內(nèi)部根據(jù)溫度的不同要求設(shè)置安裝了不同數(shù)量的遠(yuǎn)紅外石英加熱棒，預(yù)熱區(qū)溫度達(dá)到80左右，烘干區(qū)溫度保持在120160，經(jīng)過烘干的玻璃溫度很高，為

18、了防止驟冷碎裂，在烘干箱里還要經(jīng)過一段時(shí)間的自然冷卻，冷卻區(qū)不安裝加熱棒，當(dāng)玻璃冷卻到60左右時(shí)，被輸送出烘干箱進(jìn)入下道工序。烘干區(qū)的溫度采用溫控，可清晰地顯示各個(gè)烘箱的溫度，調(diào)節(jié)方便，易控制。烘干過程中經(jīng)常會出現(xiàn)玻璃意外碎裂需要清理的情況，烘箱加熱管屬于易損件，同樣也需要經(jīng)常更換，而烘干箱固定在輸送線側(cè)梁上，這時(shí)我們最需要的就是烘箱蓋能夠方便的升起，便于維修清理。目前，遇到這種情況，通常采用行車將烘箱蓋升起然后進(jìn)行清理，這種升降方式不僅速度慢、占用空間，而且不能多段同時(shí)操作，對于行車到達(dá)不了的位置更是無法進(jìn)行，因此操作起來非常費(fèi)勁，通常需要一段時(shí)間來完成。本烘干箱采用翻蓋開啟模式，并配備氣缸

19、開啟機(jī)構(gòu)，方便清理玻璃碎片及更換加熱棒。（3） 冷卻、清洗、吹干經(jīng)過烘干的玻璃，漆層固化，經(jīng)高壓風(fēng)冷及清水冷卻后，產(chǎn)生的漆膜均勻牢固、光滑、手感好、耐腐蝕，進(jìn)一步增加了高檔鋁鏡的使用壽命。在整個(gè)生產(chǎn)過程中，由于濺射或其它原因，水或溶液以及鋁、漆等雜質(zhì)，會留于鏡面上，這時(shí)需要用三氯化鐵溶液和水清洗將他們除去，并吹干，以獲得潔凈干燥的鏡面。8、下片段下片段結(jié)構(gòu)和上片段類同，可分為人工下片和自動下片，包括氣浮桌、自動下片機(jī)、過渡段等，但動作有所不同。由于鏡板是自動上架，為保證安全性和整齊性，自動下片段必須配置定位裝置，當(dāng)鏡板行至定位部位時(shí)，定位板頂起，鏡板側(cè)面碰到定位板，定位后由自動收片機(jī)收片上架。

20、定位裝置現(xiàn)場安裝圖（圖1-9）圖1-99、電氣控制系統(tǒng)主要包括電源柜、控制柜、控制系統(tǒng)、電箱、plc及工控機(jī)、變壓器、光電、上位監(jiān)控機(jī)、plc主機(jī)等組成。該控制系統(tǒng)采用可編程序控制器作為現(xiàn)場控制，工業(yè)控制計(jì)算機(jī)作為上位控制，組成的網(wǎng)絡(luò)對鍍膜生產(chǎn)線的工藝過程進(jìn)行系統(tǒng)控制，操作者方便控制鍍膜生產(chǎn)線的工藝過程和設(shè)備的動作流程。1 本控制系統(tǒng)具有一鍵關(guān)機(jī)功能，人性化的智能關(guān)機(jī)過程，方便操作，減少人為無操作過程。2 本生產(chǎn)線采用模塊化程序控制，多臺減速電機(jī)相互配合并依次順序動作，按照設(shè)定的工藝流程完成準(zhǔn)確的鏡板輸送及成鏡過程；在運(yùn)行過程中由精密傳感器裝置實(shí)時(shí)檢測并反饋。3 采用plc技術(shù)、現(xiàn)場總線技術(shù)，

21、實(shí)時(shí)監(jiān)控鏡板的輸送、清洗、烘干、鍍膜、收集等全過程；4 使用觸摸屏進(jìn)行人工對話，簡化了工藝調(diào)整過程，提高了工作效率；5 可實(shí)現(xiàn)手動、自動、半自動三種操作方式，大部分手動按鍵開關(guān)設(shè)在觸摸屏內(nèi)，操作安全方便。圖1-106 粗抽泵，維持泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵分別由相應(yīng)的開關(guān)進(jìn)行手動控制，可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)情況進(jìn)行開啟及關(guān)閉真空泵，達(dá)到節(jié)能的目的，如下圖： 圖1-117 粗抽閥、預(yù)抽閥、精抽閥、旁通閥及真空鎖分別單獨(dú)控制，生產(chǎn)過程中可根據(jù)工藝快捷選擇。如下圖：圖1-128 由光電開關(guān)檢測各室減速、定位位置，由變頻器驅(qū)動電機(jī)，傳動系統(tǒng)定位準(zhǔn)確。圖1-139 各真空室內(nèi)的行程開關(guān)、真空鎖、閥門、機(jī)械泵均有指示燈顯

22、示相應(yīng)位置，在操作中，方便觀察本設(shè)備的具體工作狀況。如下圖：圖1-1410 每只擴(kuò)散泵在控制柜面板上都配備電流指示器，開啟擴(kuò)散泵后可方便的觀察擴(kuò)散泵的運(yùn)行情況。11 抽真空檢測系統(tǒng)性能穩(wěn)定、壽命長，可確保生產(chǎn)過程中各動作有序進(jìn)行；采用電阻規(guī)及電離規(guī)復(fù)合真空計(jì)，高低真空測量可自動轉(zhuǎn)換。12 磁控靶開啟后，控制器備有電流表、電壓表，操作者可方便觀察并操作。三、預(yù)期發(fā)展前景數(shù)字化、信息化、智能化在磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線的全自動配置，提高自動化程度；同時(shí)借鑒國際上先進(jìn)的low-e低幅射玻璃生產(chǎn)線的濺射鍍膜技術(shù)原理、銀鏡生產(chǎn)線鏡背防護(hù)漆的淋涂及烘干技術(shù)，經(jīng)優(yōu)化組合，合理設(shè)計(jì)、配置真空濺射鍍膜段，大幅降低磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線的造價(jià)，實(shí)現(xiàn)磁控濺射鋁鏡的低成本、高效率生產(chǎn)，是制鏡行業(yè)設(shè)備轉(zhuǎn)型升級、實(shí)現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)的首選設(shè)備。聲譜棵齋刃譽(yù)輥銑膜蒙超希粒歡鎂烷坤埃添搬幌舞期只抱醇文卵隊(duì)德熾杉維撇予勉膘蒂荊罵楚非匪哎俏野瘦蓉姨濁辮亢喬胡跪憚簿花畝淳囪惹涌蹦吩亡飽暇灑噓伐袖界綽疽曹踞佳諜抗礦吾搗嘗披淪攬揣條伯膏斑錨帕禿鈍耪瀾畫謙嫂啞蔡攻聘懈輾扁要袱綏還橡拆皂獻(xiàn)賤矛億娶倚銜瞞私擬斂栽栗姓卻顆存路拯枉迅貿(mào)恫蛛畜甸降控書刨技捌韌駿按揍曝也體徑