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文檔簡介
1、材料科學(xué)與工程學(xué)科2003年研究生入學(xué)考試復(fù)試試題1、簡述材料科學(xué)與工程的定義、材料的分類以及材料在國民經(jīng)濟建設(shè)中的地位和作用。2、結(jié)合自己所學(xué)專業(yè),敘述二個本專業(yè)的研究熱點問題。3、簡述你所熟悉的幾種有關(guān)材料的測試技術(shù),并寫出其中一種測試技術(shù)的原理及解析方法。4、針對你擬選報的研究方向,做一個三年的研究計劃。5、目前,用于材料的合成與制備有許多新方法,請你列舉二種方法并加以較詳細說明。材料學(xué)院復(fù)試部分答案 武漢理工大學(xué)材料學(xué)院復(fù)試試題的詳細答案(本答案是收集了大量的資料總結(jié)出來的)1. 材料科學(xué)與工程的概念是什么?其四大要素是什么?其3大特點是什么? 材料科學(xué)與工程就是
2、研究有關(guān)材料組成, 結(jié)構(gòu), 制備工藝流程與材料性能用途關(guān)系的知識及應(yīng)用。 其四個要素為: 組成與結(jié)構(gòu),合成與生產(chǎn)過程, 性能, 使用效能。 材料科學(xué)與工程的特點: 1多學(xué)科交叉材料科學(xué)與工程與物理學(xué),化學(xué),冶金學(xué),金屬學(xué),陶瓷學(xué),計算數(shù)學(xué)等多學(xué)科交叉和結(jié)合的特點. 2具有鮮明的工程性材料科學(xué)是面向?qū)嶋H,為經(jīng)濟建設(shè)服務(wù)的,是一門應(yīng)用科學(xué). 實驗室里的研究成果必須通過工程研究開發(fā)以確定合理的工藝流程,最后批量生產(chǎn)出符合要求的工程材料. 3處于發(fā)展中的學(xué)科材料科學(xué)沒有象力學(xué),電學(xué)那樣完整的學(xué)科體系,是一門處于不斷發(fā)展之中的學(xué)科. 2.結(jié)合自己所學(xué)的專業(yè),敘述本專業(yè)的2個熱點問題? 燃料電池
3、0; 近二,三十年來,由于一次能源的匱乏和環(huán)境保護的突出,要求開發(fā)利用新的清潔再生能源. (燃料電池由于具有能量轉(zhuǎn)化率高,對環(huán)境污染小等優(yōu)點受到世界各國的普遍重視) 燃料電池是一種將所提供燃料的化學(xué)能直接變換為電能的高效能量轉(zhuǎn)換裝置; 是既水力,火力,核力后的第四類發(fā)電技術(shù). 其特點有: 1.由于化學(xué)能直接轉(zhuǎn)化為電能,與普通發(fā)電方式相比,避免了能量形式的變化不受卡諾循環(huán)限制, 能量轉(zhuǎn)化效率高. 2.環(huán)保. 廢氣如SOx,NOx,CO2等的排放量極低. 此外,由于電池中無運動部件,工作時非常靜. 3.電池的本題的負荷反應(yīng)性能好,可靠性高。
4、 碳納米管 是一種具有特殊結(jié)構(gòu)的一維量子材料(徑向尺寸為納米級,軸向尺寸為微米級). 它主要由六邊形排列的碳原子構(gòu)成數(shù)層到數(shù)十層的同軸圓管,層與層之間保持固定的距離. 作為一維納米材料,重量輕,六邊形結(jié)構(gòu)連接完美,具有許多異常的力學(xué),電學(xué)性能: 1力學(xué)性能 其密度只有鋼的1/6,結(jié)構(gòu)與高分子材料相似,但抗拉強度極大,彈性模量達1TPa,用其增強的塑料力學(xué)性能優(yōu)良且抗疲勞,抗蠕變,形變小,滑動性能好. 2電學(xué)性能 利用其結(jié)構(gòu)中空的特點,可作為制造某些納米尺度金屬導(dǎo)線的模具. 有些管徑的碳納米管是性能優(yōu)于石墨材料的良好導(dǎo)體,另一些管徑可能是半導(dǎo)體.
5、3導(dǎo)熱性能 其擁有非常大的長徑比,因而其沿長度方向的熱交換性能很高,垂直方向熱交換性能較低,故其可制成高各向異性熱傳導(dǎo)材料。3.目前用于材料合成與制備的新的方法有許多,請舉例其中的1種并加以說明? 等離子體化學(xué)氣相沉積法(PCVD) PVCD是借助等離子體內(nèi)的高能電子與反映氣體原子,分子發(fā)生非彈性碰撞使之離解或電離,從而產(chǎn)生大量的沉積組元,如原子,離子或活性基團并輸送到基體表面上沉積成膜的. 非平衡等離子體激活代替?zhèn)鹘y(tǒng)的加熱激活是PCVD的主要優(yōu)點,可使基體的沉積溫度變較低. 由于其沉積溫度低,沉積速率快,繞鍍性好,設(shè)備操作維護簡單而廣泛用于沉積各種薄膜和超硬膜. 此法得到的膜純度高,致密,形
6、成的結(jié)晶定向好,電子工業(yè)中廣泛用于高純材料和晶體材料的制備. 所涉及的化學(xué)反應(yīng)有:熱解反應(yīng),氧化還原反應(yīng),復(fù)合還原反應(yīng)等.溶膠-凝膠法(sol-gel) 溶膠-凝膠法是指有機或無機化合物經(jīng)過溶液-溶膠-凝膠而固化. 經(jīng)過熱處理而制得氧化物或其它化合物固體的方法. 由于溶膠凝膠過程中有著純度高,均勻性強,處理溫度低,反應(yīng)條件易控制等優(yōu)點而廣泛應(yīng)用于特殊光學(xué)玻璃,特殊薄膜,超細粉,復(fù)合材料,光學(xué)纖維,生物材料等領(lǐng)域. 其主要特點有: 1.可低溫合成氧化物,使得制造無法高溫加熱的制品成為可能; 2.提高材料的均勻性,多成分系溶液是分子級,原子級的混合; 3.可提高生產(chǎn)效率. 其可制得的材料主要有:
7、塊狀材料,纖維材料,涂層和薄膜材料,超細粉末材料及復(fù)合材料. 所涉及的反應(yīng)有: 1.溶劑化; 2.水解反應(yīng); 3.縮聚反應(yīng).2.選擇2種測試方法,并簡述其內(nèi)容? XPS(X射線光電子能譜分析) 電子能譜是近幾十年發(fā)展起來的一種研究物質(zhì)表面性質(zhì)和狀態(tài)的新興物理方法,這里的表面指固體最外層的1-10個原子的表面層,一般為1到幾個nm。 光電子能譜是用X射線作激發(fā)源,轟出樣品中元素的內(nèi)層電子,并直接測量二次電子的能量,這能量表現(xiàn)為元素內(nèi)層電子的結(jié)合能Eb,Eb隨元素而不同,且有較高的分辨力,可以得到從價電子到K殼層的各級電子電離能,有助于了解離子的幾何構(gòu)型和軌道成鍵特性。 其測量原理公式由光電效應(yīng)得
8、來:hv=Eb+Ek+。 應(yīng)用XPS可進行:1 化學(xué)分析:包括元素的成分分析和定量分析2 固體表面相研究 3 化合物結(jié)構(gòu)的測定 可用來進行水泥熟料中硅酸鈣的水化表面分析分析能譜中O1s峰的寬窄變化和峰移動的方向可以判斷水化反應(yīng)的進行與否對其表面ESCA測定的Ca/Si比值可以分析水化過程及其產(chǎn)物 透射電子顯微分析 透射電鏡是用聚焦電子束作為照明源,均勻照射到試樣的某一待觀察微小區(qū)域上,由于使用對電子束透明的薄膜試樣,故絕大部分電子穿透試樣,其強度分布與所觀察試樣區(qū)的形貌,組織,結(jié)構(gòu)一一對應(yīng)。經(jīng)過轉(zhuǎn)換可以在熒光屏上顯示出與試樣形貌,組織,結(jié)構(gòu)相應(yīng)的圖象。 其電子圖象的襯
9、度來源于質(zhì)量襯度,衍射襯度和相位襯度。 透射電子顯微鏡是一種高分辨率(分辨率可達0。1nm),高放大倍數(shù)(80萬倍)的顯微鏡。很適合觀察和分析材料的形貌,結(jié)構(gòu),晶體中的位錯,層錯,空位團等晶體缺陷。 透射電鏡法要求試樣厚度僅為100-200nm,甚至幾十nm的,對電子束“透明”的試樣。試樣大致有三種:超細粉末顆粒,用一定方法減薄的材料薄膜,用復(fù)型方法將材料表面形貌復(fù)下來的復(fù)型膜2005年武漢理工大學(xué)材料學(xué)院復(fù)試筆試試題一、計算機基礎(chǔ)(一)填空題1. 一個完整的計算機系統(tǒng)包括( )和( )。2. 微型計算機的系統(tǒng)總線包括( )總線、( )總線和( )總線。3. ( )中保存的數(shù)據(jù),一切斷電源,其
10、中的數(shù)據(jù)將完全消失。4. Windows98中進入中文輸入法按( )鍵,改變中文輸入法按( )。5. Excel中的基本數(shù)據(jù)文件是( )。6. Internet是全球最大的計算機網(wǎng)絡(luò),它的基礎(chǔ)協(xié)議是( )。(二)單選題1. 內(nèi)存中每個基本單位都被賦予一個唯一的序號,稱為:A. 地址 B.字節(jié) C.編號 D.代碼2. 計算機的儲存容量以KB為單位時,這里1KB表示:A.1000個字節(jié) B.1024個字節(jié) C.1000個二進制位 D.1024個二進制位3. 把計算機中的數(shù)據(jù)存到磁盤上,稱為:A. 輸出 B.讀盤 C.寫盤 D.輸入4. 操作系統(tǒng)是( )的接口A. 軟件和硬件 B.計算機和外設(shè) C.
11、用戶和計算機 D.高級語言和機器語言5. 下列全是高級語言的一組是( ):A. 匯編語言、C、PASCAL B. 匯編語言、C 、BASIC C. 機器語言、C、BASIC D. BASIC、C、PASCAL 6. Word默認的文檔的擴展名是( ),Excel默認的文件簿文件的擴展名是( ):A. IDX B.DOC C.TXT D.DBF E.XLS7. 一個IP地址由網(wǎng)絡(luò)地址和( )兩部分組成A. 廣播地址 B.多址地址 C.主機地址 D.子網(wǎng)掩碼8. E-mail地址的格式是( ):A. 用戶名郵件主機 域名 B.用戶名 郵件主機 域名 C.應(yīng)戶名域名 郵件主機 9. 一張干凈軟盤帶上
12、寫保護后( ):A. 只能預(yù)防已知病毒 B.可以預(yù)防所有病毒 C.不能預(yù)防病毒 二、專業(yè)基礎(chǔ) (任選四題回答)1、 結(jié)合你對材料科學(xué)與工程的認識與理解,談?wù)剤罂疾牧项愌芯可睦碛桑?、 介紹一種現(xiàn)代測試分析方法,并舉例說明其可分析的內(nèi)容?3、 結(jié)合自己所學(xué)的專業(yè),敘述2個本專業(yè)的研究熱點問題?4、 從可持續(xù)發(fā)展的角度,談?wù)劜牧袭a(chǎn)業(yè)與能源、環(huán)境之間的關(guān)系?5、 目前,用于材料的合成與制備有許多新方法,請列舉其中一種方法并加以說明?6、 結(jié)合你擬選報的研究方向,提出一個研究課題并列出主要研究內(nèi)容?參考答案:(1) 填空題1、 硬件系統(tǒng); 軟件系統(tǒng)2、 數(shù)據(jù); 地址; 控制3、 RAM 4、 Ctr
13、l+Space; Ctrl+Shift+t5、 6、 數(shù)據(jù)傳輸協(xié)議 (2) 單選題1、B 2、B 3、C 4、C 5、D 6、B,E 7、C 8、C 9、A2006復(fù)試試題面試:(30)專業(yè)基礎(chǔ)知識;英語口語和聽力。一. 計算機基礎(chǔ)(20)二. 專業(yè)基礎(chǔ)(50)1. 什么是材料科學(xué)與工程?有什么特點?(10)2. 材料可分為有機高分子材料,金屬材料,無機非金屬材料,說說各自的特點?(13)3. 介紹一種現(xiàn)代測試方法的原理和可以測試的內(nèi)容?(12)4. 根據(jù)你所選報的研究生專業(yè),設(shè)計你一個研究課題包括 1.題目;2.技術(shù)方案3.內(nèi)容 4.目標 (15)2007 年復(fù)試試題第一題:聽力20分(有選
14、擇有填空)第二題:0依據(jù)是計算機基礎(chǔ)20分 ,今年考了很多DOS下的命令,比如DIR MD,以及WORLD的基本操作,總之要看書1 設(shè)計一個實驗用來制備或加工一種材料并給出現(xiàn)代測試材料組成,結(jié)構(gòu)和性能的測試方法,最少要涉及三種測試方法 20分 2何謂材料科學(xué)的六面觀?并敘述一下現(xiàn)代的材料觀? 15分3材料有:金屬材料,無機非,高分子,復(fù)合材料等,就其中一種材料說說它的結(jié)構(gòu),性能和發(fā)展方向?15分 4寫一份你對碩士研究生階段學(xué)習的展望和計劃 102009年武漢理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院研究生復(fù)試試題考生姓名: 考
15、號:一、 Listening Comprehension (20 Points) 答案直接寫在試卷上Section ADirections:In this sectioin you will hear 5 short conversations.At the end of each conversation, a question will be asked about what was said. Each conversations and questions will be spoken only once. After each question there will be a pau
16、se . During the pause ,you must read the four suggested answers marked A) B))and D),and deecide which is the best answer.Then mark it a singe line through the centre.1.A) Sever-thirty B)Eight oclockC)Seven oclock D)Six-thirty2.A)In a department store B)In a drugstore C)In a stationary store D)In a b
17、ook store3.A)On foot B)By bus C) By car D)By train 4.A) A bus conductress B)An air hostess C)A friend seeing the man off D)A customs offcial at the airpart 5.A)The rising in prices B)Housing problema C)How to save money D)How to buy house Section BDirections:In this section ,you will be hear 2 short
18、 passages.At the end of each passages,you will be hear some questions.Both the passagea and the questions will be spoken only once.After you hear one question ,you must choose the best answar from the four choices markedA)B)C)and D).Then mark the corresponding letter on the answar sheet with a singl
19、e line through the center.Passage OneQuestion 6 to 8 are based on the passage you have just heard.6.A)When they live in a big city B)When they live a huge country C)When they have to travel by trine D)When they dont have a car7.A)Americans like to move from place to piace B)Long-diatance trians aren
20、t very common in the Uinted States C)Americans like to be independent D)Air-service is not so good 8.A)Trains B)Planes C)Ships D)Cars9.A)To pay hie train fare to him B)To listen to a funny story C)To tell him some funny store D)To pay a joke to a conductor10.A)Because he didnt have enough money to p
21、ay his fare B)Because he lost his wallet C)Because there were too many people on the train D)Because Mark Twain played a joke on him Section CDirections: In this part you will hear a passage of about 120 words three times. The passage is printed on your answer sheet with about 50 wards missing. Firs
22、t you will hear the whole passage from the beginning to the end to get a general ideal of it. Then ,in the second reading, you will hear a signal indicating the beginning of a pause after each sentence, sometimes two sentences or just a part of a sentence. During the pause, you must write down the m
23、issing words you have just heard in the corresponding space on the answer sheet. There is also a different signal indicating the end of the pause. When you hear this signal ,you must get ready for what comes next from the recording.You can check what you have written when the passage is read to you
24、once again without the pause. One day, when Mr. Smith came home from work ,the found ( 11 )about something. Mr. Smith always thought ( 12 ),so he started ( 13 ) on the importance of always remaining calm. Finally he said, “Its( 14 )to get excited about small things.( 15 ),like me. ( 16 )that has jus
25、t landed on my nose.( 17 )?Am I swearing or waving my arms around ?No,Im not. ( 18 ). Just as he had said this,Mr.Smith started shouting. He jumped up and begun ( 19 )and swear terribly. He couldnt speak for some time,but at last he has able to tell his wife;( 20 )hadnt been a fly ,it had been a bee
26、.二、 計算機基礎(chǔ)(20分)(直接在試卷上答題) (一)判斷題(請在題尾的括號內(nèi)打或) (10分)1、計算機RAM中所儲存的數(shù)據(jù)會隨著電源的關(guān)閉而消失。 ( )2、硬盤安裝于計算機機箱的內(nèi)部,所以它屬于內(nèi)部存儲器。 ( )3、選購計算機機箱和電源時,同比優(yōu)先選擇分量較重的為上品。 ( )4、在Windows XP 中,默認使用Ctrl + Alt 組合鍵進行中英文輸入法的切換。 ( )5、202.114.83.256不是一個有效的IP 地址。 ( )6、將重要文檔保存在桌面既方便又安全。 ( )7、在IE地址欄中輸入/wy就可以訪問名為wy的計算機的共享資源。 ( )8、數(shù)據(jù)備份軟件Ghost
27、.exe不可以直接在Windows XP 下運行。 ( )9、硬盤被誤格式化后,可及時使用Easy Recovery 等軟件來恢復(fù)其中的數(shù)據(jù)。 ( )10、奇虎360安全衛(wèi)士功能強大,可以替代殺毒軟件查殺計算機病毒。 ( ) (二) 選擇題 (10分)1、計算機開機后黑屏,最為常見的原因是什么?(A)主板燒了 (B)內(nèi)存條接觸不好(C)顯卡燒了 (D)電源壞了2、Windows Vista 是下列何種操作系統(tǒng)?(A)單用戶單任務(wù) (B)多用戶單任務(wù)(C)單用戶多任務(wù) (D)多用戶多任務(wù)3、以下對特洛伊木馬的敘述哪條是錯誤的?(A)竊取用戶 (B)感染硬盤引導(dǎo)扇區(qū)(C)遠程控制他人計算機 (D)
28、善于隱蔽自身4、在MS Office 組件的窗口中,將一些常用的命令集合在一起并以按鈕方式呈現(xiàn),方便大家執(zhí)行該類命令,請問它是:(A)狀態(tài)欄 (B)標題欄 (C)工具欄 (D)以上皆非5、在Internet Explorer 里,可以對相關(guān)插件的運行狀態(tài)進行調(diào)整的選項是:(A)導(dǎo)入和導(dǎo)出 (B)收藏夾整理 (C)頁面設(shè)置 (D)管理加載項6、流氓軟件通常并不具備下列哪項特征:(A)自動安裝 (B)破壞用戶數(shù)據(jù) (C)難以清除 (D)自動運行7、利用計算機網(wǎng)絡(luò)可以完成下列哪項工作?(A)信息查詢 (B)軟件交流 (C)商務(wù)運作 (D)以上都是8、PowerPoint和 Excel 文件的擴展名分
29、別是(A)pot和xle (B)ppt和cle (C)pot和exc (D)ppt和xle9、U盤病毒主要依靠磁盤根目錄下的哪一個文件進行傳播?(A)Autorun.exe (B)A (C)Autorun.ini (D)Autorun.bin (E)Autorun.inf10、下面哪一項對計算機病毒的敘述是正確的?(A)計算機病毒是一種計算機受到細胞感染的現(xiàn)象。(B)消除計算機病毒的唯一方法是斷電關(guān)機。(C)計算機病毒是指某種有自我復(fù)制能力的破壞性程序。(D)計算機病毒會導(dǎo)致電腦發(fā)燒。三、測試方法在某次外空探險中,得到一塊塊狀物體,請你借助現(xiàn)代分析測試手段對其進行下列研究測試:(1)物體的密度
30、、硬度;(2)有機物、無機物的百分比;(3)物體的微觀形貌;(4)無機物的化學(xué)組成;(5)有機物的組成 (30分)四、專業(yè)知識 請任選一題回答 (16分)1、 簡單敘述無機非金屬材料生產(chǎn)過程的共性,并列舉一種無機非金屬材料的生產(chǎn)流程。2、 鐵電陶瓷、壓電陶瓷、熱敏陶瓷等都屬于功能陶瓷材料,請舉例說明一種你熟悉的功能陶瓷材料的基本概念、結(jié)構(gòu)特點、應(yīng)用領(lǐng)域,介紹該功能陶瓷材料的主要參數(shù)(含主要參數(shù)的名稱和意義,2個參數(shù)即可)3、 從聚合物的鏈結(jié)構(gòu)和聚集態(tài)結(jié)構(gòu)論述高分子材料結(jié)構(gòu)與性能的關(guān)系。4、 45號鋼在熱加工后,發(fā)現(xiàn)其金相中的鐵素體(F)與珠光體(P)呈帶狀分布,請說明這種組織產(chǎn)生的原因,可以采
31、取什么方法消除?請制定相應(yīng)的工藝。5、 影響金屬塑性和變形抗力的因素有哪些?他們是如何影響的?五、綜合題(14分)結(jié)合你擬報的研究方向,提出一個研究課題并列舉出如下主要內(nèi)容:1)課題名稱 2)研究背景 3)研究目標 4)研究內(nèi)容 5)研究技術(shù)路線。2010年武漢理工大學(xué)材料學(xué)院復(fù)試答案1. 材料科學(xué)與工程的概念是什么?其四大要素是什么?其3大特點是什么? 材料科學(xué)與工程就是研究有關(guān)材料組成, 結(jié)構(gòu), 制備工藝流程與材料性能用途關(guān)系的知識及應(yīng)用。 其四個要素為: 組成與結(jié)構(gòu),合成與生產(chǎn)過程, 性能, 使用效能。 材料科學(xué)與
32、工程的特點: 1多學(xué)科交叉材料科學(xué)與工程與物理學(xué),化學(xué),冶金學(xué),金屬學(xué),陶瓷學(xué),計算數(shù)學(xué)等多學(xué)科交叉和結(jié)合的特點. 2具有鮮明的工程性材料科學(xué)是面向?qū)嶋H,為經(jīng)濟建設(shè)服務(wù)的,是一門應(yīng)用科學(xué). 實驗室里的研究成果必須通過工程研究開發(fā)以確定合理的工藝流程,最后批量生產(chǎn)出符合要求的工程材料. 3處于發(fā)展中的學(xué)科材料科學(xué)沒有象力學(xué),電學(xué)那樣完整的學(xué)科體系,是一門處于不斷發(fā)展之中的學(xué)科. 2.結(jié)合自己所學(xué)的專業(yè),敘述本專業(yè)的2個熱點問題? 燃料電池 近二,三十年來,由于一次能源的匱乏和環(huán)境保護的突出,要求開發(fā)利用新的清潔再生能源. (燃料電池由于具有能量轉(zhuǎn)化率高,對環(huán)境污染小等優(yōu)點
33、受到世界各國的普遍重視) 燃料電池是一種將所提供燃料的化學(xué)能直接變換為電能的高效能量轉(zhuǎn)換裝置; 是既水力,火力,核力后的第四類發(fā)電技術(shù). 其特點有: 1.由于化學(xué)能直接轉(zhuǎn)化為電能,與普通發(fā)電方式相比,避免了能量形式的變化不受卡諾循環(huán)限制, 能量轉(zhuǎn)化效率高. 2.環(huán)保. 廢氣如SOx,NOx,CO2等的排放量極低. 此外,由于電池中無運動部件,工作時非常安靜. 3.電池的本題的負荷反應(yīng)性能好,可靠性高。 碳納米管 是一種具有特殊結(jié)構(gòu)的一維量子材料(徑向尺寸為納米級,軸向尺寸為微米級). 它主要由六邊形排列的碳原子構(gòu)成數(shù)層到數(shù)
34、十層的同軸圓管,層與層之間保持固定的距離. 作為一維納米材料,重量輕,六邊形結(jié)構(gòu)連接完美,具有許多異常的力學(xué),電學(xué)性能: 1力學(xué)性能 其密度只有鋼的1/6,結(jié)構(gòu)與高分子材料相似,但抗拉強度極大,彈性模量達1TPa,用其增強的塑料力學(xué)性能優(yōu)良且抗疲勞,抗蠕變,形變小,滑動性能好. 2電學(xué)性能 利用其結(jié)構(gòu)中空的特點,可作為制造某些納米尺度金屬導(dǎo)線的模具. 有些管徑的碳納米管是性能優(yōu)于石墨材料的良好導(dǎo)體,另一些管徑可能是半導(dǎo)體. 3導(dǎo)熱性能 其擁有非常大的長徑比,因而其沿長度方向的熱交換性能很高,垂直方向熱交換性能較低,故其可制成高各向異性熱傳導(dǎo)材料。3.目前用于材料合成與制備的新的方法有許多,請舉例其中的1種并加以說明? 等離子體化學(xué)氣相沉積法(PCVD) PVCD是借助等離子體內(nèi)的高能電子與反映氣體原子,分子發(fā)生非彈性碰撞使之離解或電離,從而產(chǎn)生大量的沉積組元,如原子,離子或活性基團并輸送到基體表面上沉積成膜的. 非平衡等離子體激活代替?zhèn)鹘y(tǒng)的加熱激活是PCVD的主要優(yōu)點,可使基體的沉積溫度變較低. 由于其沉積溫度低,沉積速率快,繞鍍性好,設(shè)備操作維護簡
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