LCD制造工藝流程(技術類)1.0

1、1本教材共2小時LCD工程部工程部2006年7月25日LCD制造工藝制造工藝流程流程(技術類技術類)編寫:羅永波 審批:宋宇紅2一、液晶顯示器制造工藝流程一、液晶顯示器制造工藝流程 液晶顯示屏液晶顯示屏工藝工藝（LCD）前工序（生前工序（生產(chǎn)一部）產(chǎn)一部）整平、灌晶整平、灌晶圖形段圖形段定向段定向段組合段組合段切割切割灌晶灌晶后工序（生后工序（生產(chǎn)二部）產(chǎn)二部）清洗、定向清洗、定向目測、電測目測、電測貼片、包裝貼片、包裝31.1 液晶顯示屏制造工藝流程液晶顯示屏制造工藝流程1.1.1 前工序圖形段前工序圖形段涂膠前清洗涂膠前清洗PR CleaningPR Cleaning涂膠涂膠PR Coat

2、ingPR Coating預烘預烘Pre BakePre Bake曝光曝光ExposureExposure顯影顯影DevelopingDeveloping堅膜堅膜Post BakePost Bake蝕刻蝕刻EtchingEtching脫膜脫膜StripingStriping投料投料ITO InputITO Input4圖案段工藝示意圖玻璃基版玻璃基版UV光光掩膜版掩膜版光刻膠光刻膠玻璃基版玻璃基版光刻膠光刻膠KOH顯影液顯影液光刻膠光刻膠導電材料導電材料光刻膠光刻膠51.1.2 前工序定向段前工序定向段TOPTOP前清洗前清洗CleaningCleaning涂涂TOPTOPTOP Coatin

3、gTOP Coating預固化預固化Pre CurePre Cure紫外改質(zhì)紫外改質(zhì)UV CureUV Cure清洗清洗CleaningCleaning涂涂PIPI CoatingCoating預固化預固化Pre CurePre Cure主固化主固化Main CureMain Cure主固化主固化Main Main ureure6定向段工藝示意圖酸酸光刻膠光刻膠玻璃基版玻璃基版玻璃基版玻璃基版導電材料導電材料定向材料定向材料定向材料定向材料71.1.3 前工序組合段前工序組合段摩擦摩擦RubbingRubbing摩擦后水洗摩擦后水洗Rubbing Rubbing CleaningCleanin

4、g絲印邊框絲印邊框Seal PrintSeal Print框膠預烤框膠預烤Sealant Pre-bakingSealant Pre-baking噴粉噴粉Spacer SprayerSpacer Sprayer貼合貼合AssemblyAssembly摩擦摩擦RubbingRubbing摩擦后水洗摩擦后水洗Rubbing Rubbing CleaningCleaning絲印銀點絲印銀點Silver Silver PrintingPrinting冷壓冷壓Hot PressHot Press熱壓固化熱壓固化Hot PressHot Press8框膠框膠定向材料定向材料點膠點膠定向材料定向材料撐墊劑撐

5、墊劑液晶盒液晶盒組合段工藝示意圖9投料ITO Input ITO基板經(jīng)拆封后，阻值、尺寸、厚度檢查確認無誤，以25pcs為一籃，裝入Cassette中，準備基板清洗制程。 10來料ITO 玻璃主要的污染物為：灰塵，油脂等，一定溫度的堿液對ITO 玻璃有很好的清洗作用，高純水清洗可去除溶于水的雜質(zhì)及一些灰塵，同時還能夠上工序的堿液去除掉，而超聲波的清洗作用，在于利用水分子在超聲波的作用下發(fā)生振動摩擦，使玻璃表面粘附的雜質(zhì)松動而脫落。水洗后的玻璃要進行干燥處理，方法為風刀吹去玻璃表面的水然后經(jīng)過紅外光烘箱干燥。玻璃基板的污物種類不同，針對不同的污物種類選擇不同的清洗方式：油污類-有機清洗，紫外光清

6、洗有機物-弱堿液清洗，等離子體無機物-弱酸，氣流，噴淋殘留微粒子-超聲，噴淋，氣流注意事項：1 有機溶劑必須儲存在陰涼的地方，不要靠近明火；2 易揮發(fā)且有毒性，使用時盡量少接觸皮膚或者吸入體113 不慎著火，用沙，泡沫，二氧化碳滅火器滅火。清洗與干燥的工作原理：ITO 導電玻璃進行潔凈處理，ITO 導電玻璃在其制作，包裝，運輸過程中很容易被灰，油脂等雜質(zhì)污染，未經(jīng)潔凈處理的玻璃無法保證工藝的質(zhì)量要求，而這些雜質(zhì)是依靠靜電吸附在玻璃表面，比較容易去除。A有機溶劑去污原理：（去除油脂類物質(zhì)）油脂不溶于水，但它可溶于甲苯，丙酮，乙醇等有機溶劑，其中甲苯的去污能力最強，所以先用甲苯洗，但甲苯不能殘留在

7、玻璃的表面。因甲苯可溶于丙酮，可再用丙酮進行清洗，把殘余的油脂清洗掉，同時甲苯也溶解，同樣丙酮也不能夠殘留在玻璃表面，因丙酮溶于乙醇，所以繼續(xù)用乙醇進行清洗，乙醇可以與水相溶解，最后用大量的去離子水把乙醇溶解。因此清洗流程為： 甲苯 丙酮 乙醇 去離子水（有機化學中的相近相溶原理）B洗潔精的去污原理：洗潔精（表面活性劑）能夠使不相溶的液體成為乳濁液。通過此乳化作用將油脂包圍在水中而形成乳濁液來達到去污作用，玻璃經(jīng)過洗潔精去油污后，再依次用大量的自來水，去離子水沖洗就可以達到潔凈玻璃表面的目的。C干燥工藝原理：經(jīng)過清洗后的玻璃，表面沾有水或者有機溶劑等清洗液，這將會對后續(xù)工序造成不良影響，特別是

8、光刻工藝會產(chǎn)生浮膠，鉆刻，圖形不清晰等，因此玻璃必須經(jīng)過干燥處理。12涂膠前洗凈 PR CleaningPR 前洗凈機之工程目的在于去除基上臟點、油污、纖維以達到PR涂布最佳效果。13 風刀吹干法風刀吹干法：STN 線上是一種高效省時的干燥玻璃表面的方法，用高純水淋洗過的玻璃隨生產(chǎn)線傳送到風刀位置，由數(shù)個高壓噴嘴把經(jīng)過凈化處理的空氣以適當?shù)膬A斜角成刀片狀吹向玻璃表面，迅即吹干玻璃。 超聲波清洗超聲波清洗：特點：速度快，質(zhì)量高，易于實現(xiàn)自動化，特別適有于清洗表面形狀比較復雜的工件，對聲反射強烈的材料，其清洗效果較好。作用機理：通過超聲空化作用，存在于液體中的微氣泡（空氣核）在聲場的作用下振動，當

9、聲壓達到一定的值時，氣泡將迅速增長，然后突然閉合，在氣泡閉合時產(chǎn)生沖擊波，在其周圍產(chǎn)生上千個大氣壓的壓力，破壞不溶性污物而使它們分散在清洗液中14涂膠PR CoatingITO基板經(jīng)洗凈后，通過光阻涂布機，將光阻均勻涂布于ITO基板上，以便進行下一制程。15光刻膠的配制：光刻膠的配制：配比原則： 既要使光刻膠具有良好的抗蝕能力，又要有較高的分辨率。光刻膠中溶劑用量的多少決定著光刻膠的稀稠，從而影響光刻膠的厚薄，較稀的膠，光刻膠膜較薄，分辨率高，圖形較為清晰。配制在暗室中紅光或者黃光下進行，用量筒按配方比例將原膠及溶劑分別量好，再將溶劑倒入原膠，用玻璃棒充分攪拌均勻Page 9 of 28混合，

10、再把配制好的光刻膠中未能夠溶解的固態(tài)雜質(zhì)微粒濾除（目的在于改善膠膜與掩模版的接觸以減少膠膜針孔和提高分辯率），裝在暗色的玻璃瓶中，并保存在陰涼和干燥的暗箱中。16涂膠：涂膠：在使用前一定先把膠從低溫條件下取出，在使用場地放置至瓶內(nèi)膠的溫度與環(huán)境溫度相同時方可打開瓶蓋，使用前必須進行粘度測試，（粘度的調(diào)整采用稀釋的方法，加入一定量的稀釋劑），玻璃表面狀況對光刻膠的接觸與粘附具有較大的影響，因此清洗后的玻璃經(jīng)過紫外線照射對其表面進行活化處理，然后再涂光刻膠。要求：不能夠有脫落現(xiàn)象；涂層厚度均勻；涂層表面狀態(tài)不能有條紋，針孔，突起等缺陷。方法：輥涂，必須在潔凈條件下進行，溫度1925 度，濕度60%

11、，不含紫外光成分的黃燈下進行操作。17預烘Pre Bake 目的是促使膠膜內(nèi)溶劑充分揮發(fā)，使膠膜干燥以增加膠膜與ITO 表面的粘附性和膠膜的耐磨性。一般采用紅外線烘干。（參數(shù)洪干溫度與烘干時間）若烘烤不足，溶劑未充分揮發(fā)掉，曝光顯影時未受光部分也被溶除形成浮膠或者使圖形變形，烘烤過度導致膜翹曲硬化，顯影時會顯不出圖形或者圖形留有底膜。18曝光Exposure 在涂好光刻膠的表面覆蓋光刻掩模版，通過紫外光進行選擇性照射，使受光照部分的光刻膠發(fā)生化學變化，從而改變這部分膠膜在顯影液中的溶解度，顯影后，光刻膠膜顯現(xiàn)出與掩模 版相對應的圖形。19 如果曝光時間不充分，光刻膠咸光不足，化學反應不完全，顯

12、影時受光部分溶解不徹底，易留底膜；曝光時間過長，不該曝光部分邊緣也被微弱感光，刻蝕后圖形邊界模糊，細線條變形嚴重。 注意事項： 1 掩模版上機前要嚴格檢查，因為版若有缺陷做出的產(chǎn)品也 會有缺陷，特別是不能夠有版污染，劃傷等。 2 曝光定位一定要準確，否則后工序無法加工。20顯影DevelopingITO基板經(jīng)曝光后，進行顯影制程，利用顯影液將所需之圖形顯現(xiàn)出來。 21堅膜Post-baking 因顯影時膠膜會發(fā)生軟化，膨脹影響膠膜的抗蝕能力，在顯影后必須用適當?shù)臏囟群姹翰Ａб猿ニ?，增強膠膜與玻璃的粘附性。常采用紅外光堅膜，重要參數(shù)為溫度與時間，堅膜 溫度略高于前烘條件。22顯影檢查 Dev

13、eloping Inspection基板顯影完成后，以圖案檢查機確認基板有無短路& 斷路，在蝕刻前處理23蝕刻Etching產(chǎn)品進行顯影后，準備蝕刻制程，此制程將基板上無光阻部份之ITO利用蝕刻液去除，成為需要之圖形。24 蝕刻：蝕刻：用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻膠保護的ITO 膜腐蝕掉，而將有光刻膠保護的ITO 保存下來，最終形成ITO 圖形，選用腐蝕液必須是能夠腐蝕掉ITO 膠又不能損傷玻璃表面和光刻膠，一般選用一定比例的HCL，HNO3 和水的混合液（王水），重要參數(shù)：刻蝕時間與溫度?？涛g時間應該由刻蝕速度和ITO 膜厚度來確定。此參數(shù)的控制對刻蝕效果非常關鍵。時間太短，IT

14、O膜刻蝕不干凈，圖形會出現(xiàn)短路，時間太長，由于光刻膠抗蝕能力下降，圖形變差或被蝕斷，造成斷路或者蝕刻過度。25脫膜Stripping剝膜制程，目的將其ITO基板上剩余光阻清除，使整片基板上無光阻覆蓋，成為有ITO圖形之基板。 26 質(zhì)量要求和分析：質(zhì)量要求和分析： 質(zhì)量要求：質(zhì)量要求： 1.刻蝕的圖形完整,尺寸準確,邊緣整齊,線條陡直; 2.2.圖形內(nèi)無小島,針孔,毛剌等,刻蝕干凈; 3.3.腐蝕后的玻璃表面清潔,不發(fā)花,沒有殘留的被腐 蝕物質(zhì),油漬;27蝕刻檢查Pattern Inspection基板剝膜完成后，以圖案檢查機確認基板有無短路& 斷路。28 圖案段不良原因分析圖案段不良

15、原因分析質(zhì)量分析質(zhì)量分析:1. 1. 浮膠:顯影和腐蝕過程中產(chǎn)生;（前五項是顯影時產(chǎn)生，后三項為刻蝕ITO 時產(chǎn)生）A. 涂膠前玻璃表面清潔處理不當;涂膜操作環(huán)境濕度太大,使膠與玻璃表面粘附不良;玻璃清潔后在空氣中放置時間過長,空氣中水汽附在玻璃表面上;-注意玻璃表面清潔處理和操作環(huán)境的溫濕度及清潔工作B. 光刻膠配制有誤或者膠陳舊不純,膠的光化學反應性能不好,使膠與ITO 層成鍵能力差或者膠膜不均勻和過厚,引起粘附不良;C. 前烘時間性不足或過度。烘烤不足，膠膜內(nèi)溶劑不能及時揮發(fā)，顯影時部分膠膜被溶除；烘焙過度，膠膜翹曲硬化，膠的感光特性會發(fā)生變化；-前烘必須恰當29 D. 曝光不足，光硬化

16、反應不徹底，膠膜溶于顯影液 中，引起浮膠；-保證分辯率的情況下曝光 要充分 E. 顯影時間過長，顯影液從膠膜底部不斷滲入，引 起膠膜浮起。-控制膠膜時間 F. 堅膜不足，膠膜烘烤熱固化不夠；-堅膜要充 Page 14 of 28 分，溫度不能太高 G. 刻蝕液配制失誤，刻蝕液的活性太強 H. 刻蝕液溫度太低或者太高。30涂TOPTOP Coating 利用APR凸版將無機材圖形轉(zhuǎn)印于ITO基板上之出pin 端或面內(nèi)，增加產(chǎn)品可靠性。31預固化Pre Cure 經(jīng)過無機材印刷后之ITO基板需將印刷在上方之無機材烤過，讓其中的有機溶劑揮發(fā)。32紫外改質(zhì)UV Cure 經(jīng)過無機材預烤后之基板，需經(jīng)過

17、UV照射，使無機材膜預先固化，防止固烤后表面空洞產(chǎn)生。 33 質(zhì)量要求：質(zhì)量要求：膜層厚度應該控制在工藝規(guī)定的范圍內(nèi)。檢查膜層厚度一般是通過直接觀察反射光的顏色來進行，根據(jù)顏色與厚度的對應關系可以基本上判定膜層的厚度。更粗細的檢測需要使用膜厚儀或者橢偏儀，同時對膜厚的均勻性測試同樣方法進行，涂布不均勻?qū)е氯∠蛐Ч灰恢隆Ｍ坎嫉奈恢靡约俺叽绱笮∫筝^高，均要設置標志框定印刷區(qū)域。凈化度要求也特別高，落在取向膜上的有機物沾污將變成不可清除的內(nèi)污（表點），因此固化前一般要用高壓氣流進行風洗，并做相應地檢查。34主固化Main Cure經(jīng)過無機材印刷并預烤之ITO基板，需通過高溫烘烤，使基板上之無

18、機材膜固化。 35PI前洗凈PI Cleaning配向膜前洗凈配向膜前洗凈機，徹底清洗基板表面，臟點、油污，以達到配向膜印刷最佳效果。 36涂涂PI PI Coating配向膜涂布利用APR凸版將配向膜圖形轉(zhuǎn)印于ITO基板面內(nèi)，作為基板定向用。37PIPI預烤預烤Pre CurePre Cure配向膜預烤經(jīng)過配向膜印刷后之基板，需將印刷在上方之配向膜烤過，讓其中有的機溶劑揮發(fā)。 38PI主固化Main cure配向膜固烤經(jīng)過配向膜印刷并預烤之基板，通過一定溫度之固烤爐，使基板上之配向膜固化。39摩擦Rubbing定向制程是利用毛絨布與配向膜進行同一角度摩擦得均一之定向效果。 40 摩擦取向：摩

19、擦取向：在取向膜上用絨布向一個方向摩擦，就可以形成取向?qū)?，取向?qū)犹幍囊壕Х肿訉凑漳Σ练较蚱叫信帕?，這樣就可以獲得一致的取向。（液晶分子沿摩擦方向排列時系統(tǒng)的能量最低，因此可以獲得液晶分子一致的排列。）其取向材料聚酰亞胺分子中由摩擦產(chǎn)生的極性官能團的有序分布是引起液晶在其表面有序排列的主要原因。影響取向效果的關鍵因素減少寬大溝槽的同時增加細微溝槽的密度。-因此適當選擇摩擦強度。41 取向效果的檢驗：取向效果的檢驗：將摩擦好的玻璃取出二片按一定的位置放好，在一片玻璃上滴上回收的液晶，將另一片玻璃按貼合方向貼合，放在偏光系統(tǒng)下檢測，貼合出的玻璃間有液晶處呈藍黑色為正常情況，如果有液晶處仍然透明或者

20、呈淺灰色則存在取向差錯或者取向效果很弱，及時檢查摩擦方向和摩擦強度。42 摩擦不良分析 1 摩擦方向錯：一種是液晶分子不能有規(guī)則地排向， 外觀看屏出現(xiàn)整體顏色異常，另一種是視向錯，液 晶能夠均勻整齊排列，但加電壓顯示后視向與要求 不符，產(chǎn)生原因為摩擦指令錯或者摩擦角度設定錯。 2 沒有摩擦：未摩擦玻璃混入已摩擦的玻璃中，或者 為摩擦條件設定錯，或者摩擦布沒有摩著玻璃，或 者設備出現(xiàn)過障。43 3 摩擦不足摩擦不足：由于摩擦力度不夠使液晶分子的扭曲能力下降，所有液晶分子不能全部按要求向同一方向 扭曲，光臺觀察有色斑，原因：摩擦輥轉(zhuǎn)速發(fā)生變 化，摩擦布摩損較為嚴重，摩擦壓入量有變化。 4 摩擦劃痕

21、摩擦劃痕：有較硬的物質(zhì)擦傷取向?qū)?，使液晶分子不能排向，光臺上觀察看到一條黑線或者一條白線， 原因：摩擦布有硬物擦傷取向?qū)樱Ａг诎徇\過程 中取向?qū)觿潅?，操作工操作失誤擦傷取向?qū)印?4摩擦后洗凈After Rubbing Cleaning將定向后之基板上的污垢清除，包括脫落于上方之毛絨屑，使基板達至最干凈狀態(tài)。45印框Seal Printing利用網(wǎng)版在基板上印制與cell 大小之框，其可幫基板穩(wěn)固黏著外，若加上導電Spacer，另有導電作用 。 46印點Silver Printing利用網(wǎng)版在基板上印制銀點，可借銀點導通上下基板之電極。47 絲印原理絲印原理：利用絲網(wǎng)印刷圖文部分網(wǎng)孔可透過油墨

22、，非圖文部分網(wǎng)孔不透油墨的基本原理進行印刷。印刷時在絲網(wǎng)印版一端倒入油墨，用刮印刮板對絲網(wǎng)印刷印版上的油墨位施加一定的壓力，同時朝絲網(wǎng)印版另一端移動，油墨在移動中被刮板從圖文部分的網(wǎng)孔中擠壓到承印物上，由于油墨的粘性作用而使印跡固著在一定的范圍內(nèi)。在印刷過程中刮板始終與絲網(wǎng)印版和承接物之間保持一定的間隙，使得印刷時的絲網(wǎng)印版通過自身的張力而產(chǎn)生對刮板的反作用力（回彈力），由于此力的作用，使絲網(wǎng)印版與承接物只作移動式線接觸，而絲網(wǎng)印版其它部分與承接物呈脫離狀 態(tài)，使油墨和絲網(wǎng)發(fā)生斷裂運動，保證了印刷尺寸精度和避免蹭臟承印物。當刮板刮過整個版面后抬起，同時絲網(wǎng)發(fā)生印版也抬起，從而完成了一個印刷過程

23、。48框膠預烤Sealant Pre-baking將印框后之基板放入預烤爐中預烤，將其中有機溶劑揮發(fā)，避免壓合后框膠產(chǎn)生氣泡。49噴粉Spacer Spraying間隙子散布為維持上下基板一定空隙，于是在下片基板撒上間隙子，以維持產(chǎn)品之Cell Gap。 50組合Assembly利用基板的對位記號，將上下基板組合起來，并在四周點UV處照射UV光，使兩片基板更牢固，不至偏移。51冷壓Hot Press將已組合完之大對基板平整放于治具上加壓，施予一定之壓力，使基板維持均勻Cell Gap。52熱壓固化Hot Press將壓合后之大對基板，鎖上固定治具，連同加壓治具放入固烤爐內(nèi)烘烤，使框膠固化，以增

24、加大對基板之接著性。 53 熱壓固化原理熱壓固化原理：經(jīng)過熱壓固化后的液晶盒應該具有良好的密封性、耐熱性、耐水性和導電性，要求盒厚均勻，盒內(nèi)無雜質(zhì)，其通常采用導電膠粘接和環(huán)氧樹脂粘接，導電膠是一種新型的粘接材料可在室溫到200之間進行（目前采用Ag-環(huán)氧樹脂導電膠，其專用于半導體器的芯片粘接），可以避免高溫對芯片性能的損傷，而且粘接牢固程度較高。在選擇液晶盒的環(huán)氧樹脂時要綜合考慮固化后的機械強度、耐高溫性、生產(chǎn)效率、熱烘設備等因素。54盒厚變化對盒厚變化對STN-LCD STN-LCD 的影響：的影響：A STN 的液晶盒與液晶材料的雙折射率及螺距之間有一個最佳匹配值，因此液晶材料確定后，盒厚

25、值的變化將導致器件產(chǎn)生缺陷；B 由于雙折射效應，液晶層的厚度偏差會敏感地反映為不同顏色的變化，因此盒厚不均勻?qū)⒁鹨壕э@示器底色 的變化，從而使產(chǎn)品在外觀上造成顏色廢品。C 盒厚變化將引起液晶顯示器響應時間、顯示對比度、視角范圍等電光參數(shù)的變化，從而直接影響器件的顯示質(zhì)量。551.1.4 后工序后工序切割切割ScribingScribing裂片裂片（斷條）（斷條）BreakingBreaking液晶灌注液晶灌注LC FillingLC Filling加壓封口加壓封口End SealEnd Seal( (二次切割二次切割) )2 2ndnd Scribing Scribing斷粒斷粒2 2ndn

26、d Breaking Breaking清洗清洗CleaningCleaning再定向再定向AgingAging檢測檢測DevelopingDeveloping貼偏光片貼偏光片EtchingEtching脫泡脫泡Post BakePost Bake切偏光片切偏光片StripingStriping磨邊磨邊GrindingGrinding包裝包裝akagingakaging56GLASSF GLASSThe edge of knife LCDLC刀輪刀輪角度角度液晶盒液晶盒液晶液晶End sealLC封口膠封口膠液晶液晶切割，灌晶段工藝示意圖57GLASSLCDGrinding machineLCD

27、Grinding machinelampPolarizerUS清洗劑清洗劑58二、二、 后工序后工序2.1 切割工藝2.1.1 切割工藝簡介 切割是利用玻璃切割刀輪將前工序制成的玻璃大片液晶盒切割成液晶盒條或液晶盒粒的工藝。59 玻璃厚度 切割深度 切割壓力 刀輪使用次數(shù)2.1.4 切割工序的管理項目切割工序的管理項目602.1.3 切割工序的設備2.1.3 切割工序的設備及操作流程切割工序的設備及操作流程調(diào)整刀輪參數(shù)調(diào)整刀輪參數(shù)放置玻璃放置玻璃安裝切割刀輪安裝切割刀輪開機開機玻璃定位玻璃定位刀輪定位刀輪定位設置切割程序設置切割程序試切割試切割( (雙面雙面) ) 檢驗檢驗 合格合格 不合格不

28、合格 正式切割正式切割( (雙面雙面) ) a) 玻璃切割機簡介 b) 切割流程簡介 61切割機圖片62切割632.2 裂片工藝裂片工藝2.2.1 裂片工藝簡介 裂片是利用均勻的壓力將切割后的大片LCD玻璃沿著切割線整齊地斷裂成較小的條狀或粒狀LCD玻璃的工藝。64裂片65 玻璃厚度 玻璃位移精度 裂片壓力 裂片刀的水平度2.1.4 裂片工序的管理項目裂片工序的管理項目662.3 液晶灌注工藝液晶灌注工藝2.3.1 液晶灌注工藝簡介 液晶灌注工藝是利用真空壓差原理，將已抽成真空的液晶空盒倒置在充滿液晶的槽上，空盒外充氣后產(chǎn)生的壓差將液晶灌入盒內(nèi)。67灌晶原理68灌晶圖片692.3.3 液晶灌注工序的設備及操作流程液晶灌注工序的設備及操作流程抽真空抽真空放置液晶空盒放置液晶空盒安裝液晶盤安裝液晶盤開機開機