沉銅速率與蝕刻速率的測定_第1頁
沉銅速率與蝕刻速率的測定_第2頁
沉銅速率與蝕刻速率的測定_第3頁
全文預覽已結(jié)束

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)

文檔簡介

1、沉銅速率與蝕刻速率的測定Hessen was revised in January 2021化學沉銅速率的測定：使用化學沉銅鍍液，對沉銅速率有定的技術(shù)要求。速率太慢就有可能引起孔壁產(chǎn)生空洞 或針孔：而沉銅速率太快，將產(chǎn)生鍍層粗糙。為此，科學的測定沉銅速率是控制沉銅質(zhì)量的手 段之一。以先靈提供的化學鍍薄銅為例，簡介沉銅速率測定方法：(1)材料：采用蝕銅后的環(huán)氧基材，尺寸為100X100 (1nm)。(2)測定步驟：A.將試樣在120-140C烘1小時，然后使用分析天平稱重 W：(g):B.在350-370克/升輅酊和208-228亳升/升硫酸混合液 (溫度65)中腐蝕10分鐘，清水洗凈：C.在除

2、銘的廢液中處理(溫度30T0)3-5分鐘，洗干凈：D.按工藝條件規(guī)定進行預浸、活化、還原液中處理；E.在沉銅液中(溫度25)沉銅半小時，清洗干凈：F.試件在120-140C烘1小時至恒重，稱重巴(g)。(3)沉銅速率計算：速率=(W-WjlO4/8. 93X10X10X0. 5X2(Um)(4)比較與判斷：把測定的結(jié)果與工藝資料提供的數(shù)據(jù)進行比較和判斷。2 .蝕刻液蝕刻速率測定方法通孔鍍前，刻銅箔進行微蝕處理，使微觀粗化，以增加與沉銅層的結(jié)合力。為確保蝕刻液 的穩(wěn)定性和對銅箔蝕刻的均勻性，需進行蝕刻速率的測定，以確保在工藝規(guī)定的范圍內(nèi)。(1)材料:0. 3nlm覆銅箔板,除油、刷板，并切成10

3、0X100 (mm)；(2)測定程序：A.試樣在雙氧水(80-100克/升)和硫酸(160-210克/升)、溫度30腐蝕2 分鐘，清洗、去離子水清洗干凈：B.在120-140C烘1小時，恒重后稱重距(g).試樣在腐蝕前也按此條件恒重 稱重W, (g)。(3)蝕刻速率計算速率=(WW,)104 /2X8. 933T( um/min)式中：s-試樣面積(cm：)T-蝕刻時間(min)(4)判斷：l-2um/min腐蝕速率為宜。分鐘蝕銅270-540mg)。3 .玻璃布試驗方法在孔金屬化過程中，活化、沉銅是化學鍍的關(guān)鍵匚序。盡管定性、定量分析離了鉗和還原 液可以反映活化還原性能，但可靠性比不上玻璃布試驗。在玻璃布沉銅條件最苛刻，最能顯示 活化、還原及沉銅液的性能。現(xiàn)簡介如下：(1)材料：將玻璃布在10%氫氧化鈉溶液里進行脫漿處理。并剪成50X50(nun), 四周末端除去一些玻璃絲，使玻璃絲散開。(2)試驗步驟:A.將試樣按沉銅L：藝程序進行處理;B.置入沉銅液中，10秒鐘后玻璃布端頭應沉銅完全，呈黑色 或黑褐色，2分鐘后全部沉上，3分鐘后銅色加深：對沉厚 銅，10秒鐘后玻璃布

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論