常用真空單位換算表

1、常用真空單位換算表帕Pa托Torr微米汞柱mHg毫巴mbar大氣壓atm工程大氣壓am1 Pa17。51037。51029。869231061。01971051 Torr133。3211031.33321.315791031.359510-31 mHg0.1333210311。33321031。3157910-61.35951061 mbar1027.51017.510219。869231041.019710-31標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760毫米汞柱=76厘米汞柱=1。013105帕斯卡=10。336米水柱公斤不是單位，一般我們通常說的，事實(shí)上是一種非標(biāo)準(zhǔn)單位，名稱叫：公斤力/平方厘米Kgf/cm21標(biāo)

2、準(zhǔn)大氣壓=0.1MPa兆帕=101KPa=千帕左右=1bar巴=760mmHg(毫米汞柱)=14.696磅/英寸2（psi)1工程大氣壓1Kgf/cm2千克力/平方厘米 千克:是質(zhì)量單位， 千克力:是作用在單位體積上一千克的力 一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓一般約等于101千帕即0。1兆帕,約等于一工程大氣壓約等于一千克力每平方厘米 工程大氣壓是比標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小一點(diǎn)的 1物理大氣壓1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（atm） 為什么會(huì)多一個(gè)工程大氣壓我也不清楚 但是工程大氣壓通常按千克力等，用一種質(zhì)量作用力對(duì)單位面積獲得的壓強(qiáng). 而標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（atm）則為標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓強(qiáng),比工程大氣壓精確，但他們是約等于的。沒必要那么精確，除非你是在

3、某些特定領(lǐng)域使用飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系 ( 摘自 范仲元: ”水和水蒸氣熱力性質(zhì)圖表 p410 ）溫度水蒸氣壓力 MPa相應(yīng)真空度 MPa220.002640。09869240。002980。09835260。003360。09797280。003780。09755300。004240。09709320。004750。09658340.005320。09601360.005940.09539380.006620。09471400。007380.09395溫度水蒸氣壓力 MPa相應(yīng)真空度 MPa420。008200。09313440。009100。09223460。010090。09124

4、480。011160。09017500.012340。08899520。013610.08772540。015000.08633560.016510。08482580。018150。08318600.019920。08141溫度水蒸氣壓力 MPa相應(yīng)真空度 MPa620。021840。07949640.023910.07742660。026150。07518680。028560。07277700.031160。07017720。033960。06737740.036960.06437760.040190.06114780。043650。05768800。047360.05397溫度水蒸氣壓力

5、MPa相應(yīng)真空度 MPa820。051330.05000840。055570。04576860.060110。04122880.064950。03638900.070110。03122920。075610。02572940。081460.0198796 0.08769 0。01364 980。094300。007031000。101330溫度水蒸氣壓力 MPa1020。108781040。116681060。125041080.133901100。143271120。153161140。163621160。174651180。186281200。19854溫度水蒸氣壓力 MPa1220。211

6、451240。225041260。239331280。254351300。270131320。278311340。304071360。322291380。341381400。36138真空計(jì)算常用公式1、玻義爾定律 體積V，壓強(qiáng)P,PV常數(shù)（一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時(shí)，氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。即P1/P2V2/V1）2、蓋呂薩克定律 當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與絕對(duì)溫度T成正比：（V1/V2T1/T2常數(shù)） 當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高（或P降低）1,則它的體積比原來增加（或縮小）1/273。3、查理定律 當(dāng)氣體的體積V保持不變,一定質(zhì)量的氣體,壓強(qiáng)P與其他絕

7、對(duì)溫度T成正比，即:P1/P2T1/T2 在一定的體積下,一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高（或降低)1,它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少）1/273.4、平均自由程： （510-3)/P (cm）5、抽速： Sdv/dt （升/秒)或 SQ/P Q流量（托升/秒） P壓強(qiáng)（托)V體積（升) t時(shí)間（秒）6、通導(dǎo): CQ/（P2P1） （升/秒）7、真空抽氣時(shí)間: 對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式： t8V/S （經(jīng)驗(yàn)公式） （V為體積，S為抽氣速率,通常t在510分鐘內(nèi)選擇。）8、維持泵選擇： S維S前/109、擴(kuò)散泵抽速估算: S3D2 （D直徑cm）10、羅茨泵的前級(jí)抽速： S（0.10。2）S羅 （

8、l/s）11、漏率: Q漏V(P2P1)/（t2t1） Q漏系統(tǒng)漏率（mmHgl/s） V系統(tǒng)容積（l) P1真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg） P2真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)（mmHg） t壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間（s)12、粗抽泵的抽速選擇： SQ1/P預(yù) （l/s） S=2.3Vlg（Pa/P預(yù)）/t S機(jī)械泵有效抽速 Q1真空系統(tǒng)漏氣率（托升/秒） P預(yù)需要達(dá)到的預(yù)真空度（托） V真空系統(tǒng)容積(升) t達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間 Pa大氣壓值（托)13、前級(jí)泵抽速選擇： 排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于

9、臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有： PnSgPgS 或 SgPgs/Pn Sg前級(jí)泵的有效抽速（l/s） Pn主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)（最大排氣壓強(qiáng))（l/s） Pg真空室最高工作壓強(qiáng)(托） S主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速.(l/s）14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式: SQ/P(Kn)/（Pt）（升/秒）式中：S被試泵的抽氣速率(l/s） n滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格）t油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒） P在泵口附近測得的壓強(qiáng)(托）K滴管系數(shù)（托升/秒) KV0（L/n）（0/m)+PaVt 其中V0滴管和真空膠管的原始容積（升) L滴管刻度部分的長度（mm） n

10、滴管刻度部分的格數(shù)（格） 0油的比重(克/厘米3） m汞的比重（克/厘米3） Pa當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托） Vt滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積（升/格）15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式： SZnLKv(D2d2)/（24104） (l/s） 式中:Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長度，D為泵腔直徑,d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)（一般取95）。16、O型橡膠槽深B0.7D D為橡膠直徑，槽寬C1。6B17、方形橡膠槽深B0.8A A為方形橡膠邊長，槽寬C1。67B 選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng): 1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求11

11、05mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5106mmHg.通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。 2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn).每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為103107mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5104510-6mmHg.因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在108mmHg下長期工作.又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好. 3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)

12、選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求.如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用. 5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。 6、了解被抽氣體成分，氣體中含不

13、含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。 7、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。 8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。 9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定.泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面:盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界

14、真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行. 應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行.在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低,而且工作很不穩(wěn)定,易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音.對(duì)于真空度較高的真空泵而言,在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。 根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取.如果真空度或排氣壓力較高,單級(jí)泵往往不能滿足,或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在710mmHg以上，可選用水環(huán)大氣泵或水環(huán)羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置

15、。如果只作真空泵用,則選用單作用泵比較好.因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡單，容易制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用,則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動(dòng)平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長.二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后,對(duì)于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號(hào)。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我公司網(wǎng)頁。面對(duì)各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī)，我們特將其各自特點(diǎn)收集如下，以利于用戶選型代號(hào)主要特點(diǎn)極限真空度mmHg工作真空度mmHg抽速范圍m3/min密封形式sk 國內(nèi)設(shè)計(jì)單級(jí)水環(huán)

16、真空泵，結(jié)構(gòu)簡單、維修方便。目前國內(nèi)主流的低真空水環(huán)式真空泵。-700-3006500。15120 盤根、機(jī)械密封2sk國內(nèi)設(shè)計(jì)雙級(jí)水環(huán)真空泵，相當(dāng)于兩臺(tái)SK水環(huán)泵串聯(lián)使用，比較單級(jí)水環(huán)泵具有真空度高及高真空下抽速較大的特點(diǎn)。目前國內(nèi)主流水環(huán)式真空泵。-7353007001.530盤根、機(jī)械密封2BV采用西門子先進(jìn)技術(shù)，機(jī)泵同軸，結(jié)構(gòu)緊湊，效率高,真空度高，性能穩(wěn)定，將逐漸替代SK、2SK系列0。46m3/min抽速的水環(huán)真空泵。-7353007000.458.33機(jī)械密封2BE1采用西門子先進(jìn)技術(shù),效率高，真空度高，性能穩(wěn)定，將逐漸替代SK、2SK系列6120m3/min抽速的水環(huán)真空泵.735-640-300700300-6005400盤根、機(jī)械密封SZ50年代