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文檔簡介
氦質譜儀內部結構示意圖 高靈敏度檢漏器開機: 開前級泵抽空 開擴散泵 10分鐘后開抽速閥和 冷規(guī) 當質譜室壓強達到一 定值時,啟動電子源 打開標準漏孔得到儀 器顯示的電流大小與 漏率之間的關系 與被檢系統(tǒng)(此時也 應已抽至高真空相 連接開始檢漏 返回
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