2017年鍋爐界面全自動(dòng)操作手冊(cè)版可編輯35P

1、經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。全自動(dòng)吳操作手冊(cè)經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。目 錄介紹3爐體控制4晶體、坩堝提升運(yùn)動(dòng)控制界面5晶體、坩堝旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制界面5坩堝自動(dòng)定位界面6,加熱功率控制界面6,等徑閉環(huán)界面,/熱場(chǎng)溫度控制界面7溫度閉環(huán)參數(shù)設(shè)置界面 8熱場(chǎng)溫升控制界面8液面溫度控制界面8生長(zhǎng)控制界面9坩堝跟蹤控制界面C壓力控制界面1自動(dòng)工藝選擇1氬氣、真空控制曲線數(shù)據(jù)曲線數(shù)據(jù)選擇工藝參數(shù)1下載so說明1輔助功能1硅晶體重量長(zhǎng)度計(jì)算1大氣壓力設(shè)定2(液面溫度校正2(熱場(chǎng)溫度校正2晶體、坩堝行程設(shè)置2'

2、;晶體、坩堝位置設(shè)置2日期修改2系統(tǒng)參數(shù)2注冊(cè)2CC設(shè)置2切換顯示2129經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。第1頁經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。26系統(tǒng)維護(hù)開關(guān)量輸入輸出模擬量輸入輸出工藝設(shè)置2626.27生長(zhǎng)記錄28圖象系統(tǒng)29經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。第2頁292929303031313132323334功能描述 硬件構(gòu)成 運(yùn)行程序端口設(shè)置 開始狀態(tài) 通訊頻率 監(jiān)視數(shù)據(jù) 引晶狀態(tài)按鈕 放肩狀態(tài)按鈕 等徑狀態(tài)按鈕 液面狀態(tài)按鈕 設(shè)置按鈕法律聲明35經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。輸入數(shù)據(jù) 的鍵盤介 紹系統(tǒng)控制采用了

3、工業(yè)PLC，人機(jī)界面采用了觸摸屏。系統(tǒng)分為 3種狀態(tài)：自 動(dòng)、手動(dòng)、故障狀態(tài)。狀態(tài)及報(bào)警信息通過界面頂部的狀態(tài)欄顏色和文字提示。 自動(dòng)時(shí)底色為綠色，同時(shí)顯示當(dāng)前自動(dòng)工藝步驟；手動(dòng)時(shí)底色為黃色；故障時(shí)底 色為紅色，同時(shí)顯示當(dāng)前報(bào)警事項(xiàng)。系統(tǒng)操作界面中默認(rèn)：底色為黑色的數(shù)據(jù)框?yàn)轱@示狀態(tài)數(shù)據(jù)不可以修改；底 色為黃色的數(shù)據(jù)框，可以按下此數(shù)據(jù)跳出輸入界面鍵盤進(jìn)行修改。如下圖所示。 同時(shí)按鈕按下為內(nèi)嵌入顯示。按鈕被按下爐體控制操作界面有：爐體控制；氬氣真空；曲線數(shù)據(jù)；工藝參數(shù)；操作記錄；輔助 功能；切換顯示；系統(tǒng)維護(hù)，8個(gè)主體界面，各自完成不同的功能，如圖1所示。在界面內(nèi)默認(rèn)黑底白字參數(shù)為顯示參數(shù)不能修改

4、。 黃底藍(lán)字在字體上點(diǎn)下后彈出鍵盤進(jìn)行修改當(dāng)前值。工藝狀態(tài)顯示信息提示欄工藝參 數(shù)切換 顯示區(qū)中英文切換品體提升繪蝸提升16:27:13上升下降實(shí)際遠(yuǎn)度mm/hr設(shè)定速度mm/hr0.00.0工藝選擇快速速等徑握制 熱場(chǎng)控制 升溫控制 液面溫握 生長(zhǎng)控制 繪蝸跟跆 壓力控制參數(shù)顯示is加熱器 功率參數(shù)顯示區(qū)晶體旋轉(zhuǎn)繪竭旋轉(zhuǎn)1.中英文切換按鈕：按下按鈕切換系統(tǒng)語言。2.工藝狀態(tài)顯示：顯示當(dāng)前工藝狀態(tài)。3信息提示欄：顯示報(bào)警信息，操作信息提示。在報(bào)警時(shí)底色為紅色，自動(dòng)時(shí)底色為綠色，手動(dòng)時(shí)底色為黃色。當(dāng)報(bào)警時(shí)可以按下此按鈕條，關(guān) 閉報(bào)警聲音，報(bào)警信息仍然顯示。4參數(shù)顯示區(qū)：在切換顯示主界面內(nèi)選擇需要

5、查看的參數(shù)在此界面內(nèi)顯示。5.工藝參數(shù)切換顯示區(qū)：在不同工藝狀態(tài)下自動(dòng)切換不同顯示界面參數(shù)。經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。第6頁晶體、坩堝提升運(yùn)動(dòng)控制界面實(shí)際速度flL Hmmfhr設(shè)定速度mm/hr此界面用來控制晶體提升運(yùn)動(dòng)，坩堝 的界面操作類似。晶體提升方向由上升/下降按鈕確慢速按鈕按下后動(dòng)作輸出，速度數(shù)據(jù) 在設(shè)定速度框內(nèi)輸入，實(shí)際速度顯示 當(dāng)前速度值。需要停止電機(jī)時(shí)，按下慢速按鈕使其 彈出，速度輸出停止?？焖冱c(diǎn)動(dòng)按 鈕為快速按鈕，在上升/下降按鈕按下 時(shí)按下此按鈕，晶體快速升降。注1:慢速按鈕按下后， 上升/下降和快速點(diǎn)動(dòng)按鈕不可激活。注2:當(dāng)設(shè)定速度為0時(shí)，電機(jī)緩慢

6、停轉(zhuǎn)；當(dāng)設(shè)定其他數(shù)值時(shí)電機(jī)緩慢進(jìn)行加 減速的控制。晶體、坩堝旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制界面此界面用來控制晶體提升運(yùn)動(dòng)，坩堝 的界面操作類似。晶體旋轉(zhuǎn)方向由正轉(zhuǎn)/反轉(zhuǎn)按鈕確定。 速度數(shù)據(jù)在設(shè)定速度框內(nèi)輸入，實(shí)際 速度顯示當(dāng)前速度值。需要迅速停止電機(jī)時(shí)，設(shè)定速度輸入 00需要緩慢停止電機(jī)時(shí)，設(shè)定速度輸 入1，待轉(zhuǎn)速下降到1rpm后再設(shè)定速 度00需要切換轉(zhuǎn)向時(shí)，必須先使晶體停轉(zhuǎn)， 否則系統(tǒng)禁止改變轉(zhuǎn)向。經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。注：當(dāng)設(shè)定速度為0時(shí)，電機(jī)立即停轉(zhuǎn)程序控制按下后進(jìn)入轉(zhuǎn)速手控界面。 在自動(dòng)工藝時(shí)，轉(zhuǎn)速由程序自動(dòng)控 制；當(dāng)需要人工干預(yù)時(shí)，按下OFF鍵，取消轉(zhuǎn)速自動(dòng)控制，就可以人

7、工 修改當(dāng)前轉(zhuǎn)速。注：當(dāng)設(shè)定速度為0時(shí)，電機(jī)為立即 停轉(zhuǎn)；當(dāng)設(shè)定其他數(shù)值時(shí)電機(jī)緩慢進(jìn) 行加減速的控制。坩堝自動(dòng)定位界面設(shè)定值。功率設(shè)定值可通過上下按鈕增減加熱功率控制界面AKWKW匡典資料,此界面用來進(jìn)行坩堝的自動(dòng)定位。按下黃底輸入框，輸入坩堝定位設(shè)定 值。按下開始按鈕進(jìn)行坩堝自動(dòng)定位，定位精度0.5mm。坩堝定位設(shè)定值可通過上下按鈕增 減。此界面用來控制加熱電源功率。按下黃底輸入框，輸入加熱電源功率ORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。第6頁經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。等徑閉環(huán)界面直徑值0.0直徑設(shè)走值0T0拉速輸出0衛(wèi)mm mm mm/hr|ON11 off1zspr

8、i 1| D 10.00ii0.00 | 0.00 |此界面用來控制晶體的生長(zhǎng)直徑。通過ON、OFF切換閉環(huán)啟動(dòng)、關(guān)閉。 需要修改等徑閉環(huán)PID參數(shù)時(shí)，在按下P,I,D參數(shù)按鈕后，按鈕顯示紅色, 相應(yīng)下方的黃色才能接受按鍵輸入。等徑PID參數(shù)初始化由工藝表決定。經(jīng)典資料，word文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。第7頁熱場(chǎng)溫度控制界面此界面用來控制當(dāng)前熱場(chǎng)的溫度可以通過相應(yīng)的PID參數(shù)進(jìn)行調(diào)節(jié)控?zé)釄?chǎng)測(cè)量值SP制參數(shù)。熱場(chǎng)設(shè)定值500SP按下參數(shù)設(shè)置按鈕彈出參數(shù)設(shè)置界加熱器功率0.0面。p-l_ JI_D Jnri經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。溫度閉環(huán)參數(shù)設(shè)置界面最大功率限制(

9、kw)最沙功率限制(kw)加執(zhí)器電阻下限扳警(mOhin)本次加熱電能(KWh)總加熱電能0.00.000此界面用來設(shè)置閉環(huán)控制時(shí)功率的上限與下限、報(bào)警電阻、功耗。最大功率限制一一功率閉環(huán)時(shí)加熱器功率最大限制。最小功率限制一一功率閉環(huán)時(shí)加熱器功率最大限制。加熱器報(bào)警電阻下限一一當(dāng)石墨加熱器電阻低于此值時(shí)進(jìn)行報(bào)警提示，用于內(nèi)部短路等診斷。加熱電能計(jì)算電能消耗量熱場(chǎng)溫升控制界面此界面用于手動(dòng)設(shè)置熱場(chǎng)溫升速率,在自動(dòng)工藝中都可以設(shè)置這個(gè)溫升速率，對(duì)程序產(chǎn)生的溫升速率進(jìn)行累加溫升速率為正時(shí)進(jìn)行升溫，為負(fù)時(shí)進(jìn)行降溫。液面溫度控制界面經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。第35頁此界面用來穩(wěn)定

10、熔液面溫度，在穩(wěn)定液面溫度degC設(shè)定溫度0degC熱場(chǎng)溫度500SP化、熔接時(shí)作用。程序通過調(diào)節(jié)熱場(chǎng)溫度達(dá)到液面溫度 的控制。經(jīng)典資料，wOrd文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。生長(zhǎng)控制界面生長(zhǎng)速度設(shè)定生長(zhǎng)遠(yuǎn)度 0 rnrn-lir熱場(chǎng)設(shè)定值 500 sp此界面用于晶體生長(zhǎng)過程補(bǔ)溫控制。 按下RAMP 按鈕時(shí)，設(shè)定生長(zhǎng)速度依 照工藝文件中等徑斜率表計(jì)算，此時(shí) 框底色為灰色，人工不可修改；按下 FIXED |按鈕時(shí)，設(shè)定生長(zhǎng)速度框底色 為黃色，可以人工設(shè)定。修改后再按 下Ramp 按鈕時(shí),設(shè)定生長(zhǎng)速度與斜 率表一直保持修改時(shí)的偏差。GAIN |為補(bǔ)溫增益參數(shù)。按下GAIN 按鈕參數(shù)可修改。在修改

11、前需要在輔 助功能下解除參數(shù)鎖定。RATE |為補(bǔ)溫自主學(xué)習(xí)項(xiàng)，主要調(diào)整 后期補(bǔ)溫速率。在修改前需要在輔助 功能下解除參數(shù)鎖定。坩堝跟蹤控制界面此界面用來進(jìn)行坩堝跟蹤控制，以穩(wěn) 定拉晶熔液面的位置。按下|ramp |按鈕時(shí)，cl/sl值依照工 藝文件中cl/sl表計(jì)算，此時(shí)框底色 為灰色，人工不可修改；按下Ifixed 按鈕時(shí)，cl/sl值框底色為黃色，可 以人工設(shè)定。修改后再按下Ramp |按 鈕時(shí)，cl/sl值與cl/sl表一直保持 修改時(shí)的偏差。當(dāng)手動(dòng)隔離后，程序無法自動(dòng)計(jì)算坩 堝內(nèi)剩余重量，需要手動(dòng)修改投料量 進(jìn)行修改。注：自動(dòng)隔離程序時(shí)程序自動(dòng)進(jìn)行計(jì)算不需要手動(dòng)修改投料量。晶體扌疋速

12、CL/SL站竭升速ONOFF投料重童（眄）0.0壓力測(cè)童值壓力設(shè)定值 節(jié)流開度0NOFF在手動(dòng)情況下，按下主界面的工藝選擇按鈕,出現(xiàn)以上界面用于自動(dòng)控制工例如：隔離取走單晶后，堝內(nèi)剩余30Kg料，自動(dòng)操作下投料重量自動(dòng)更新到 30 Kg，當(dāng)手動(dòng)隔離時(shí)需要手動(dòng)修改到30Kg，若不修改，拉下一段時(shí)晶體長(zhǎng)度程序 按照從0開始進(jìn)行。壓力控制界面此界面通過調(diào)節(jié)節(jié)流閥開度來控制爐 內(nèi)壓力。如爐體不配置智能蝶閥將無法自動(dòng)控 制壓力。自動(dòng)工藝選擇藝流程的選擇。按下自動(dòng)工藝后返回主界面。在不同自動(dòng)控制下按下工藝選擇按鈕出現(xiàn)其他工藝選擇的界面。氬氣、真空控制此界面用來調(diào)節(jié)系統(tǒng)的真空管路閥和氬氣控制閥，并顯示爐體內(nèi)

13、壓力值。左邊為副泵管路閥和主泵管路閥，打開時(shí)進(jìn)行抽真空操作。右邊為3個(gè)氬氣閥,上下氬氣流量通過質(zhì)量流量計(jì)控制，中間為快速充氣閥。右上角節(jié)流閥切換節(jié)流閥與質(zhì)量流量控制界面。閥紅色表示關(guān)閉狀態(tài)，閥綠色表示打開狀態(tài)。右上角單位顯示用于切換當(dāng)前顯示 的壓力單位。按下Set按鈕跳出參數(shù)界面，此參數(shù)為爐內(nèi)壓力數(shù)據(jù)，在手動(dòng)狀態(tài)下當(dāng)副室 壓力超過這個(gè)參數(shù)壓力時(shí)，快充閥自動(dòng)關(guān)閉。1）在爐內(nèi)壓力小于20Torr時(shí)，管路閥不能打開，此時(shí)如按下系統(tǒng)狀態(tài)欄顯示當(dāng) 前壓力太低進(jìn)行報(bào)警，必要時(shí)可以在系統(tǒng)維護(hù)界面內(nèi)將其強(qiáng)制打開。2）當(dāng)真空泵打開后，泵符號(hào)閃爍，在一定的延時(shí)（由延時(shí)繼電器手動(dòng)設(shè)置）后， 兩個(gè)真空管路閥才可以切換

14、動(dòng)作。曲線數(shù)據(jù)曲線有5種色筆，可同時(shí)觀測(cè)5條曲線。3個(gè)切換界面，第一個(gè)界面為固定 10分鐘的曲線顯示，第二個(gè)界面為 1 3600分鐘的曲線界面，第三個(gè)為設(shè)置界 面按下色筆按鈕，彈出選擇曲線界面，有模擬量輸入、模擬量輸出、計(jì)算值三種 選擇。按下ONOff按鈕確定曲線數(shù)據(jù)超出最小值，最大值時(shí)系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警。按下最大、最小值可以修改曲線縱軸顯示區(qū)間的上下限值。曲線下控制鍵保存按鈕，保存的數(shù)據(jù)存放在觸摸屏的CF卡內(nèi)。監(jiān)視時(shí)間為當(dāng)前屏幕曲線顯示的時(shí)間軸長(zhǎng)度。保存按鈕用來保存當(dāng)前工藝下的曲線數(shù)據(jù)。程序在不同的自動(dòng)工藝下可以 自動(dòng)保存各自的曲線數(shù)據(jù)，在工藝切換時(shí)自動(dòng)更新為曲線顯示的數(shù)據(jù)。曲線數(shù)據(jù)選擇模抑量輸出

15、計(jì)算值曲線顯示的模擬輸入量，輸出量，計(jì)算值在數(shù)據(jù)定義章內(nèi)詳細(xì)描述工藝參數(shù)爐體控制TSDP、編日16：54：15抽真空/檢漏工藝賽數(shù)生£記錄捕助功能切快顯示抽真空到1托檢測(cè)時(shí)間 抽空1的時(shí)間(min) 抽空1風(fēng)氣流量(s 1 pm) 抽空1氮?dú)鈪奸g(sec)- 抽空2的時(shí)間(mi n)- 抽空2氮?dú)忮ネ?slpn) 抽空2鼠氣時(shí)間屆E)- 基本壓力測(cè)試時(shí)間(tn 5 媒本真空壓力(mTorr) 繪本壓力維持時(shí)祠(oin)- 最丸泄瀟率(mT/hrj(mi n)000.000.0000000主窗體將SOP修改密碼解鎖之后，可在界面上對(duì)工藝參數(shù)直接修改。如等徑工藝表內(nèi)右上角出現(xiàn)“放大”按鈕

16、，按下后出現(xiàn)下圖，可以更方便的修改。16:55:31中丈件注釋: 編宵者: 日 期;等徑斜率表顯示切換放大ro_"=nIFn -JUN- -dM-uuu -mu m U.-3THUU u mm TMU Id-U等徑斜率表1縮小長(zhǎng)度生長(zhǎng)堀轉(zhuǎn)晶轉(zhuǎn)氮?dú)鈮毫χ睆皆O(shè)定流量設(shè)定改變(mtn)(/h r)(rpm)(rpm)(s 1 pm)(Torr)(sp)00.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.

17、00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.0000.000.00.00.00.00.00切換SOp:此按鈕用來讀取觸摸屏的 CF卡內(nèi)的SOP文件。按下切換SOp 按鈕彈出如下界面：輸入CF卡中已有SOP文件的全名（包括后綴），然后在前面方框打勾，（已經(jīng)打勾了

18、再重新選擇一次），然后再文件注釋中會(huì)出現(xiàn)此 SOP文件的注釋，假如顯示 NO FILE ”表明CF卡中沒有此文件當(dāng)文件選擇正確后，按下讀 SOp按鈕后SOP被讀入?？梢苑祷乜碨OP讀入 參數(shù)。下載sop:在手動(dòng)操作下，將當(dāng)前選擇的 SOP文件下載到PLC控制器中進(jìn) 行執(zhí)行。同時(shí)生長(zhǎng)記錄里自動(dòng)記錄下載的日期和時(shí)間。你確定要上傳SOP嗎?當(dāng)SOP修改密碼沒有解鎖時(shí)，出現(xiàn)上面界面，不允許下載請(qǐng)盤霸可總專舌齧能SOP上傳：從PLC控制器中將SOP文件上傳到觸摸屏進(jìn)行更新顯示SOP文件保存SOP保存：密碼解鎖后，在觸摸屏上可以直接修改工藝，按下保存SOP|彈出保存界面，輸入文件名等信息后按保存到CF卡|

19、將SOP存入CF卡顯示切換：此按鈕按下后彈出工藝菜單如下圖所示，選擇需要查看的工藝, 主窗體內(nèi)顯示選擇的工藝界面數(shù)據(jù)。下載SOP說明123Z17:02:47爐休控制氫氣/真空工藝參數(shù)輔肋功能文件名文件注釋讀SOP系統(tǒng)維護(hù)曲CF卡未插好或者損壞時(shí)，讀取時(shí)會(huì)發(fā)生死機(jī)現(xiàn)象“ 請(qǐng)按下觸摸屏后面震位REEET）按鈕.并童新檢缶CF卡.步驟12在電腦上打開工藝編寫軟件并保存文件， 文件名長(zhǎng)度小于6字符。 將工藝文件保存在CF卡的Backup文件夾內(nèi)，若CF卡沒有此目錄，請(qǐng)將卡插入觸摸屏，按下上界面的 CF卡初始化按鈕，CF卡自動(dòng)生成一個(gè)Backup目錄。將卡插入觸摸屏。插卡時(shí)注意卡的方向，彩色面朝向自己在

20、工藝參數(shù)界面內(nèi)按下切換 SOP,在出現(xiàn)的上界面內(nèi)的2指示框內(nèi)書寫讀取的文件名。注意假如保存的文件有后綴的話要輸入文 件后綴，如TEST.SOP。選擇上界面1指示選擇框打勾，假如已經(jīng)選中打勾，請(qǐng)重新選中 一次。當(dāng)3指示框內(nèi)出現(xiàn)NO File !時(shí)，表明沒有此文件，請(qǐng)確認(rèn)文件名 是否正確。當(dāng)出現(xiàn)其他注釋字符時(shí)，表明文件存在。按下4指示的讀SOP按鈕，新的SOP文件已經(jīng)讀入觸摸屏內(nèi)存內(nèi)返回工藝參數(shù)界面內(nèi)，查看 SOP各個(gè)內(nèi)容的正確性。確認(rèn)后，按F下載SOP按鈕下載成功提示。輔助功能17:05:59爐體控制越單品計(jì)算壓力轉(zhuǎn)換液面溫度熱場(chǎng)溫度籽晶位置CCE殳置址蝸位置系統(tǒng)時(shí)聞系統(tǒng)設(shè)畫計(jì)算器硅晶體計(jì)異直徑

21、0.0IT1IT1I長(zhǎng)度0.0imrni量0.0計(jì)算重董REV硅晶體重量長(zhǎng)度計(jì)算此輔助功能計(jì)算晶體重量 或長(zhǎng)度。輸入直徑與重量值按下計(jì) 算長(zhǎng)度，在長(zhǎng)度框內(nèi)出現(xiàn) 晶體長(zhǎng)度值。輸入直徑和長(zhǎng)度，按下計(jì) 算重量在重量框內(nèi)出現(xiàn)計(jì) 算重量值大氣壓力設(shè)定大氣壓力0 Torr壓力單位轉(zhuǎn)換計(jì)算帕斯卡單位托0.000.000PaTorr此輔助功能設(shè)定外部大 氣壓力。任何狀態(tài)下爐 內(nèi)達(dá)到該壓力時(shí)自動(dòng)關(guān) 閉快充閥。壓力轉(zhuǎn)換用于壓力單位 的換算。Pa - TorrTorr-Pa液面溫度校正液面溫度計(jì)算液面測(cè)量值校正后 液面溫度值700 (DegQ1450 (DegQ此輔助功能是將液面的 測(cè)量溫度進(jìn)行重新校 正，為了操作

22、的一致性， 在引晶時(shí)請(qǐng)按下校正按 鈕將液面溫度校正到 1450°C。校正的日期會(huì)自動(dòng)記錄 下來，顯示在“校正日 期”項(xiàng)內(nèi)。校正日期熱場(chǎng)溫度校正熱場(chǎng)測(cè)量值 (United熱場(chǎng)當(dāng)前值 (SP)溫度校正值 1300 (旳此輔助功能是將熱場(chǎng)的測(cè) 量溫度進(jìn)行重新校正，為 了操作的一致性，在引晶 時(shí)請(qǐng)按下校正按鈕將熱場(chǎng) 溫度校正到1300SP。校正的日期會(huì)自動(dòng)記錄下 來，顯示在“計(jì)算日期” 項(xiàng)內(nèi)。計(jì)算日期:晶體、坩堝行程設(shè)置r此輔助功能是設(shè)定晶體 和坩堝的行程對(duì)應(yīng)脈沖。 在晶體運(yùn)動(dòng)1米長(zhǎng)度后， 輸入變化的脈沖數(shù)，系統(tǒng) 就能依此計(jì)算出晶體的 行程數(shù)據(jù)。在機(jī)械下限位，按下行程 零位設(shè)置按鈕,系統(tǒng)自動(dòng)

23、 將此位置作為行程的零 值點(diǎn)。此按鈕受到1級(jí)密 碼保護(hù)，設(shè)置時(shí)需打開1 級(jí)密碼。坩堝設(shè)置同晶體設(shè)置。晶體位置、坩堝位置設(shè)置晶體位置設(shè)置校正日期:此輔助功能是將晶體位置 進(jìn)行校正。按下零位位置校正按鈕將 當(dāng)前行程值設(shè)定為晶體的 零位位置。位置零點(diǎn)：定義為引晶開 始時(shí)的位置。傳感器位置：晶體下降到 激光對(duì)射傳感器時(shí)的位置 值。行程限位：用于軟件的晶 體最大行程限制。校正日期自動(dòng)記錄下來。堆塢位置設(shè)置此輔助功能是將坩堝位置 進(jìn)行校正。按下零位位置設(shè)置按鈕將 當(dāng)前行程值設(shè)定為坩堝的 零位位置。此功能只有在手動(dòng)情況下 才能使用。坩堝零位定義為石墨坩堝 處于熱場(chǎng)平口的位置。校正日期自動(dòng)記錄下來。校正日期:

24、日期修改系統(tǒng)參數(shù)此輔助功能用來修改觸 摸屏和PLC的時(shí)鐘時(shí)間 修改后按下|同步校正后 PLC的時(shí)間將同時(shí)修改。 在軟件未能注冊(cè)時(shí)PLC時(shí)間是不能修改的。上部分為亮度調(diào)節(jié)。鎖定參數(shù)|: 一級(jí)密碼保 護(hù)，管理各個(gè)控制環(huán)PID 參數(shù)修改的權(quán)限。初始密 碼為：501501。SOP修改：二級(jí)密碼保 護(hù)，管理SOP修改和下 載的權(quán)限。初始密碼為： zju。注冊(cè)：輸入注冊(cè)信息，注 冊(cè)后方為完全授權(quán)版本。系統(tǒng)菜單丨：三級(jí)密碼保 護(hù)，生產(chǎn)廠家調(diào)試使用。注冊(cè)在系統(tǒng)參數(shù)功能框內(nèi)按下注冊(cè)按鈕出現(xiàn)上面界面。軟件在有效期內(nèi)必須注冊(cè)，未 注冊(cè)且超過有效期時(shí)系統(tǒng)的 自動(dòng)控制環(huán)禁止使用。CCD設(shè)置引晶設(shè)置設(shè)置等徑設(shè)置用于對(duì)引晶

25、、放肩、等徑過程頸部增益值頸部?jī)^移值圖像象素值的CCD參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，以引晶為例：在熔接或引晶時(shí)測(cè)量實(shí)際直直徑值0.00直徑校正值徑大小輸入在直徑校正值內(nèi)，按下直徑比例校正后,頸部增益值自動(dòng)計(jì)算。頸部偏移值為計(jì)算直徑值的直徑出例校正 （長(zhǎng)按I秒生皺）最終結(jié)果上進(jìn)行疊加的值。引晶圖象測(cè)試按鈕用于在手停止圖像捕捉停止圖像捕捉動(dòng)狀態(tài)或者非引晶狀態(tài)進(jìn)行F直徑捕捉自動(dòng)啟動(dòng)，此按鈕圖象捕捉的步驟。在引晶狀態(tài)自動(dòng)彈出。停止圖像捕捉按鈕用于直接 停止直徑的捕捉，在任何工藝狀態(tài)下都有效。主要用于圖形 失效下進(jìn)行重新調(diào)整機(jī)架位 置后再次啟動(dòng)捕捉。切換顯示切換顯示用于在不同工藝下，切換顯示主界面的參數(shù)顯示區(qū)的參數(shù)。

26、包括全 部的PLC輸入輸出點(diǎn)和計(jì)算值。在不同工藝下設(shè)置好切換顯示的參數(shù)，并按下 保存按鈕后，以后每一爐都按照預(yù)先的參數(shù)進(jìn)行顯示?？娠@示的參數(shù)共有13個(gè)。輸入輸出按照實(shí)際的狀態(tài)顯示 ON/OFF。其他模 擬量與計(jì)算值顯示數(shù)據(jù)值。系統(tǒng)維護(hù)開關(guān)量輸入輸出開關(guān)量工藝設(shè)蓋爐體控制輔助功能升降轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)升降轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速速閥稠閥劇閥閥 上下反正上下反正快快鬣氣置酎 體體滋體塌塢塌塌體坍累泵箍趣氮1唾 晶晶島晶wlmww晶m主軋上快下報(bào)亠咼常式咔 隋 常正模故 W 泵泵源鈕T佛吐藍(lán)=涯關(guān)開齟 空空電按星助P備報(bào)電閥閥用 真真熱晶流班軽急溫?zé)犭x離諏 主副初引水氟壓緊超加隔隔左在手動(dòng)狀態(tài)下，選擇切換開關(guān)量，按下開或關(guān)直接控制

27、開關(guān)量輸出 開關(guān)量輸入用來查看各個(gè)輸入點(diǎn)的狀態(tài)。模擬量輸入輸出17：19：59模擬量模擬輸岀Veils爐體控制工藝設(shè)査模擬輸入 Volts氫氣/真空工藝參數(shù)生長(zhǎng)記敲晶體提升驅(qū)動(dòng) 晶體族，轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 対璃提升驅(qū)動(dòng) 站嫻碇轉(zhuǎn)駆動(dòng) 氮?dú)鉂O量控制 加熱器電源控制一- 節(jié)流閥開度 備用0.200.600.000. 000. W0.005. 000,也輔助功能切橫顯示晶體行稚脈沖 當(dāng)前位1 M 曲竭行程脈沖 當(dāng)前位基伽）流率值芝鑒電A 通溫齊通器器速速壓壓高量速 用場(chǎng)V熱蟲爾室宣花仲 備熱幸加加晶蛆主副主氮晶-一空值值值11 Si Si _y 11 Si ts -R- m _y 3 ts 3 _MU 3U _

28、MH_ 0 IS SJ Si SS 0 4,T手動(dòng)狀態(tài)下，按下模擬輸出數(shù)據(jù)框，進(jìn)行模擬電壓輸出 模擬電壓輸入數(shù)據(jù)僅顯示。工藝設(shè)置工藝狀態(tài)選擇項(xiàng)，當(dāng)選中時(shí)，表示此工藝在上一步工藝完成后自動(dòng)執(zhí)行 當(dāng)不選中時(shí)，在上一步工藝完成后，蜂鳴器報(bào)警提示。生長(zhǎng)記錄不不不蘋施豐“%不幣$口耳丈軍不吊不不，札禮札札-瑋0爐體控制工藝參數(shù)中切抉顯示輔助功能生長(zhǎng)記錄曲錢數(shù)據(jù)氟氣/真空o- o R- R- R- -M- -MH- _u系統(tǒng)錐護(hù)17171717171717171717171717EF£'00000F4646464648484848484848484900000000000017:21:4

29、5頁/Lj此界面用于晶體生長(zhǎng)過程的記錄。PLC紅色表示報(bào)警記錄，白色表示自動(dòng)記錄，黃色表示自動(dòng)控制下手動(dòng)操作記錄 循環(huán)顯示記錄：表示新一爐的拉晶不會(huì)清除上一爐的記錄。手動(dòng)操作下，按下侑連記錄按鈕，彈出下面子界面操作記錄將保存在 的CF卡，可以通過軟件進(jìn)行讀取生長(zhǎng)記錄，同時(shí)記錄被清空 注意：文件名必須以“ ”做為首字符。請(qǐng)輸入保存的文件名提示:文件名輸入“林刖 米*半必碩是A-09圖象系統(tǒng)功能描述這是專用于單晶生長(zhǎng)狀態(tài)的圖像采集分析系統(tǒng)， 支持引晶、放肩 和等徑狀態(tài)下晶棒直徑圖像信息的采集、 分析并直接與PLC系統(tǒng)進(jìn)行 通訊。軟件系統(tǒng)必須在與PLC系統(tǒng)連接后才能正常使用，在沒有正確 接收PLC指

30、令的情況下，軟件只能顯示爐內(nèi)圖像信息，不進(jìn)行直徑信 息的解析。硬件構(gòu)成圖象系統(tǒng)由兩只UNIQ CCD傳感器和一臺(tái)ARK528C工控機(jī)及觸摸 顯示器構(gòu)成，雙CCD系統(tǒng)與圖像采集卡連接，圖像系統(tǒng)主機(jī)通過COM 端口與歐姆龍PLC進(jìn)行通訊；連線示意圖如下：為了保證系統(tǒng)正常的工作，請(qǐng)注意硬件防水；防止其他有害物質(zhì) 的侵害，例如：酸、堿；運(yùn)行程序電控柜開機(jī)時(shí)工控機(jī)同時(shí)開機(jī)，MMeasureme nt程序自動(dòng)運(yùn)行?？蓡螕糇烂娴目旖莘绞交騿螕糸_始一程序一找到MMeasureme nt.exe即可啟動(dòng)運(yùn)行MMeasuremen程序。端口設(shè)置MMeasuremen嗽件與PLC系統(tǒng)之間的通訊端口默認(rèn)采用了工控 機(jī)

31、配套的COM接口，因此在進(jìn)行硬件連接時(shí)，應(yīng)將觸摸屏信號(hào)線連 接至COM，而將CCD軟件系統(tǒng)所用通訊電纜連接至 COM2保證所有 設(shè)備的正常通訊。開始狀態(tài)主界面中只有一個(gè)開始按鈕，單擊開始進(jìn)入程序正常運(yùn)行狀態(tài)。 在正常工作狀態(tài)中，按鈕信息與單晶爐工作狀態(tài)同步。例如在引晶狀 態(tài)下，用于控制等徑分析區(qū)域的功能按鈕將被關(guān)閉。通訊頻率在正常工作狀態(tài)下，MMeasuremen以10Hz的通訊頻率與PLC系 統(tǒng)保持聯(lián)系。監(jiān)視數(shù)據(jù)經(jīng)典資料，WORD文檔，可編輯修改，歡迎下載交流。MMeasureme nt軟件主界面左上角在引晶、放肩、等徑狀態(tài)下時(shí) 刻顯示圖像分析結(jié)果，并以數(shù)字方式直接顯示。引晶狀態(tài)按鈕單擊引晶按鈕，使程序進(jìn)入引晶狀態(tài)次級(jí)菜單：中心設(shè)定按鈕：人工設(shè)定直徑搜索中心點(diǎn)；液面參考按鈕：?jiǎn)螕粢好鎱⒖及粹o后，連續(xù)兩次點(diǎn)擊圖像中液面顯示位置， 將使 所選擇區(qū)域的灰度值作為液面參考灰度值，供程序參考；自動(dòng)中心按鈕：自動(dòng)中心功能使能按鈕，自動(dòng)中心功能將通過所設(shè)定的液面參考 值自動(dòng)分析光圈中心位置；增強(qiáng)范圍按鈕：?jiǎn)螕粼鰪?qiáng)范圍按鈕