ITO薄膜基礎(chǔ)知識(shí)分析

1、1/ 8ITO薄膜基礎(chǔ)知識(shí)一、ITO薄膜的概念I(lǐng)TO薄膜是Indium Tin Oxides的縮寫。作為納米銦錫 金屬氧化物，具有很好的導(dǎo)電性和透明性，可以切斷對(duì)人體 有害的電子輻射，紫外線及遠(yuǎn)紅外線。因此，噴涂在玻璃， 塑料及電子顯示屏上后，在增強(qiáng)導(dǎo)電性和透明性的同時(shí)切斷 對(duì)人體有害的電子輻射及紫外、紅外。ITO是一種N型氧化 物半導(dǎo)體-氧化銦錫,ITO薄膜即銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電 膜,通常有兩個(gè)性能指標(biāo):電阻率和透光率.二、ITO薄膜的應(yīng)用ITO薄膜具有優(yōu)良的光電性能,對(duì)可見光的透過率達(dá)95%以上,對(duì)紅外光的反射率70%,對(duì)紫外線的吸收率85%,對(duì)微波的衰減率85%,導(dǎo)電性和加工性能極好

2、，硬度高且耐 磨耐蝕,因而在工業(yè)上應(yīng)用廣泛,在高技術(shù)領(lǐng)域中起著重要作 用。主要用途有:（一）用于平面顯示ITO薄膜的透明導(dǎo)電性及其良好的電極加工性能,所以它 作為液晶顯示器用的透明電極獲得高速發(fā)展,約占功能膜的50%以上,例如液晶顯示（LCD）、LED、 電致發(fā)光顯示（ELD）、電致彩電顯示（ECD）等。隨著液晶顯示器件的大面積化、高 等級(jí)化和彩色化 丄CD將超過CRT成為顯示器件中的主流產(chǎn) 品。因而ITO薄膜主要用于高清晰度的大型彩電、計(jì)算器、 計(jì)算機(jī)顯示器、液晶和電子發(fā)光屏幕等。2/ 8（二）用于觸摸屏目前市場(chǎng)上，使用ITO材料的電阻式觸摸屏和電容式觸 摸屏應(yīng)用最為廣泛。1、 電阻式觸摸屏

3、薄的ITO透明性好，但是阻抗高；厚的ITO材料阻抗低， 但是透明性會(huì)變差。在PET聚脂薄膜上沉積時(shí)，反應(yīng)溫度要 下降到150度以下，這會(huì)導(dǎo)致ITO氧化不完全，之后的應(yīng)用中ITO會(huì)暴露在空氣或空氣隔層里，它單位面積阻抗因?yàn)樽匝?化而隨時(shí)間變化。這使得電阻式觸摸屏需要經(jīng)常校正。電阻 式觸摸屏的多層結(jié)構(gòu)會(huì)導(dǎo)致很大的光損失，對(duì)于手持設(shè)備通 常需要加大背光源來彌補(bǔ)透光性不好的問題，但這樣也會(huì)增 加電池的消耗。電阻式觸摸屏的優(yōu)點(diǎn)是它的屏和控制系統(tǒng)都 比較便宜，反應(yīng)靈敏度也很好。2、 電容式觸摸屏(aui雁用盒胎領(lǐng)域更用遊晶輻冠賽 觸壯面祓、臨加宅卓渡感驕40 - 30ft液晶卡播、幫電用矗液晶面板、黑唏童

4、也*攜掃式瀝!a電反、量測(cè)険翼用之誓不占“ kLI5-4D漁晶彩邑零視、曼 X 型伯人啦赭*站帚型伯人電騒Lu/SonyKorea/JapanKORUMELFASN/ATP Sensor三歴Korea/JapanKarsaSyjiopexN/ATP Serso7ModuleKorea/JapanKuraa寫真NittshaModuleliltUSA.Korea/Japan TWJapan7/ 8（四）觸控板材料價(jià)值分布1、Touch sensor （觸控感測(cè)器）40%2、 Cover glass（防護(hù)玻璃罩）30%3、 Touch sensor chip （觸摸傳感器芯片）15%4、Print

5、ed circuit boards and other components（電路板及其他部件）15%五、ITO材料在電容式觸摸屏產(chǎn)業(yè)鏈中的基本情況（一） 行業(yè)綜述ITO靶材，約占原材料采購成本20%左右。主要由日本 提供，日本目前提供了全球70%左右ITO靶材。日東電工目前在電阻屏和電容屏的ITO film領(lǐng)域都是第一品牌，采取的是高端市場(chǎng)戰(zhàn)略，大陸廠商由于和日東合作的歷史不 長，從日東采購的ITO film的價(jià)格要比日本和臺(tái)灣廠商高30%-50%。（二）ITO導(dǎo)電膜應(yīng)用空間廣闊ITO導(dǎo)電膜通過不斷技術(shù)革新，在物理性能上與ITO導(dǎo)電玻璃的差距在不斷縮小，而自身獨(dú)特的某些性能更適合于大尺寸觸屏，加之其較為明顯的成本優(yōu)勢(shì)，在日益增長的中 低端市場(chǎng)TOUCTsensor15%Prnted :irci, t Ocsrd