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文檔簡介

1、SU8200場發(fā)射掃描電鏡技術說明文件一、二次電子分辨率：0.8nm（加速電壓15kV,工作距離4mm）1.1nm（著陸電壓1kV,工作距離1.5mm）（減速模式）以上分辨率的測試都是基于日立電鏡的分辨率測試標樣（蒸金磁帶樣品，蒸金碳樣品）二、放大倍率：低倍模式：20到2k高倍模式：100到1000k三、電子光學：1.電子槍：冷場發(fā)射電子槍（帶有柔性flash功能）2.加速電壓：0.5到30kV著陸電壓：0.01到2kV3.透鏡系統(tǒng)三級電磁透鏡系統(tǒng)4.物鏡光闌四孔可調(diào)光闌（內(nèi)置加熱自清潔功能）5.掃描線圈二級電磁式偏轉(zhuǎn)線圈（高倍模式）一級電磁式偏轉(zhuǎn)線圈（低倍模式）6.消像散器八級電磁系統(tǒng)（X,

2、Y）7.探測器：低位（Lower）、高位（Upper）、和頂位（Top）三種探測器進行二次電子/背散射電子的接收能譜系統(tǒng)（選配）8.束閘電磁型9.電位移：12m（工作距離8mm）注意：工作距離改變時，電位移范圍會改變四、樣品室和樣品臺：1.樣品臺控制：五軸馬達臺2.可移動范圍和樣品尺寸:SU8220SU8230SU8240X050mm0110mm0110mmY050mm0110mm080mmZ1.530mm1.540mm1.540mmT-570R0360樣品尺寸最大樣品尺寸（直徑）150mm3.可安裝樣品高度SU8220SU8230/SU8240樣品最大直徑26mm75mm100mm150mm

3、樣品最大高度17mm8mm6mm2mm樣品最大直徑26mm75mm125mm150mm樣品最大高度24mm15mm12mm8mm4.換樣預抽室5.樣品臺控制：圖形界面控制自動樣品更換位置定位功能樣品臺移動軌跡存儲功能優(yōu)中心旋轉(zhuǎn)功能圖片導航功能五、顯示系統(tǒng)1 .用戶界面電腦顯示器上的圖形用戶界面2 .電腦操作系統(tǒng)：微軟Windows7專業(yè)版（32位）操作臺：鼠標、鍵盤、旋鈕板、樣品臺控制方法（標配軌跡球，或選配操縱桿）3 .顯示器3.1 1寸液晶顯示器或同等配置的顯示器（屏幕：1,920X1,200像素）4 .掃描模式：二維圖像顯示選區(qū)模式點分析模式平均濃度分析模式圖像顯示模式大屏顯示模式（1280960）單屏顯示模式（800600）雙屏同時顯示模式（800600）四屏同時顯示模式（640480）選區(qū)顯示模式（圖像調(diào)整時使用）5 .電子光學對中：電子束對中光闌對中像散對中低倍對中6 .掃描模式積分掃描快掃慢掃縮小

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