SU8200場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)說明文件剖析

1、SU8200場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)說明文件一、二次電子分辨率：0.8nm（加速電壓15kV,工作距離4mm）1.1nm（著陸電壓1kV,工作距離1.5mm）（減速模式）以上分辨率的測(cè)試都是基于日立電鏡的分辨率測(cè)試標(biāo)樣（蒸金磁帶樣品，蒸金碳樣品）二、放大倍率：低倍模式：20到2k高倍模式：100到1000k三、電子光學(xué)：1.電子槍：冷場(chǎng)發(fā)射電子槍（帶有柔性flash功能）2.加速電壓：0.5到30kV著陸電壓：0.01到2kV3.透鏡系統(tǒng)三級(jí)電磁透鏡系統(tǒng)4.物鏡光闌四孔可調(diào)光闌（內(nèi)置加熱自清潔功能）5.掃描線圈二級(jí)電磁式偏轉(zhuǎn)線圈（高倍模式）一級(jí)電磁式偏轉(zhuǎn)線圈（低倍模式）6.消像散器八級(jí)電磁系統(tǒng)（X,

2、Y）7.探測(cè)器：低位（Lower）、高位（Upper）、和頂位（Top）三種探測(cè)器進(jìn)行二次電子/背散射電子的接收能譜系統(tǒng)（選配）8.束閘電磁型9.電位移：12m（工作距離8mm）注意：工作距離改變時(shí)，電位移范圍會(huì)改變四、樣品室和樣品臺(tái)：1.樣品臺(tái)控制：五軸馬達(dá)臺(tái)2.可移動(dòng)范圍和樣品尺寸:SU8220SU8230SU8240X050mm0110mm0110mmY050mm0110mm080mmZ1.530mm1.540mm1.540mmT-570R0360樣品尺寸最大樣品尺寸（直徑）150mm3.可安裝樣品高度SU8220SU8230/SU8240樣品最大直徑26mm75mm100mm150mm

3、樣品最大高度17mm8mm6mm2mm樣品最大直徑26mm75mm125mm150mm樣品最大高度24mm15mm12mm8mm4.換樣預(yù)抽室5.樣品臺(tái)控制：圖形界面控制自動(dòng)樣品更換位置定位功能樣品臺(tái)移動(dòng)軌跡存儲(chǔ)功能優(yōu)中心旋轉(zhuǎn)功能圖片導(dǎo)航功能五、顯示系統(tǒng)1 .用戶界面電腦顯示器上的圖形用戶界面2 .電腦操作系統(tǒng)：微軟Windows7專業(yè)版（32位）操作臺(tái)：鼠標(biāo)、鍵盤、旋鈕板、樣品臺(tái)控制方法（標(biāo)配軌跡球，或選配操縱桿）3 .顯示器3.1 1寸液晶顯示器或同等配置的顯示器（屏幕：1,920X1,200像素）4 .掃描模式：二維圖像顯示選區(qū)模式點(diǎn)分析模式平均濃度分析模式圖像顯示模式大屏顯示模式（1280960）單屏顯示模式（800600）雙屏同時(shí)顯示模式（800600）四屏同時(shí)顯示模式（640480）選區(qū)顯示模式（圖像調(diào)整時(shí)使用）5 .電子光學(xué)對(duì)中：電子束對(duì)中光闌對(duì)中像散對(duì)中低倍對(duì)中6 .掃描模式積分掃描快掃慢掃縮小