數(shù)字式傳感器

1、1、 光柵式傳感器光柵式傳感器 - 等間距的透光和不透光的刻線均勻相間排列構(gòu)成的光學(xué)元件等間距的透光和不透光的刻線均勻相間排列構(gòu)成的光學(xué)元件物理光柵：物理光柵：計量光柵：計量光柵：利用光的衍射現(xiàn)象分析光譜、測定波長利用光的衍射現(xiàn)象分析光譜、測定波長利用光的莫爾條紋現(xiàn)象測量精密位移利用光的莫爾條紋現(xiàn)象測量精密位移， (2) 光柵傳感器分類與結(jié)構(gòu)原理光柵傳感器分類與結(jié)構(gòu)原理 按運動形式分：按運動形式分： 直線型直線型-主光柵為直尺形主光柵為直尺形直線移動直線移動 旋轉(zhuǎn)型旋轉(zhuǎn)型-主光柵為圓盤形主光柵為圓盤形旋轉(zhuǎn)運動旋轉(zhuǎn)運動按光學(xué)形式分：按光學(xué)形式分： 透射式透射式-光源與光電元件在兩側(cè)光源與光電元件

2、在兩側(cè)透射光透射光 反射式反射式-光源與光電元件同一側(cè)光源與光電元件同一側(cè)反射光反射光1透射式光柵傳感器透射式光柵傳感器 2反射式光柵傳感器反射式光柵傳感器 如圖所示，平行光以一定的角度射向裂相指示光柵，如圖所示，平行光以一定的角度射向裂相指示光柵，莫爾條紋是由標(biāo)尺光柵的反射光與指示光柵作用形成，莫爾條紋是由標(biāo)尺光柵的反射光與指示光柵作用形成，光電器件接收莫爾條紋的光強(qiáng)。反射式光柵傳感器一光電器件接收莫爾條紋的光強(qiáng)。反射式光柵傳感器一般用在數(shù)控機(jī)床上，主光柵為金屬光柵，它堅固耐用，般用在數(shù)控機(jī)床上，主光柵為金屬光柵，它堅固耐用，而且線膨脹系數(shù)與機(jī)床基體的接近，能減小溫度誤差。而且線膨脹系數(shù)與機(jī)

3、床基體的接近，能減小溫度誤差。(1) 莫爾條紋（莫爾條紋（Moire） W-柵距，柵距， a-線寬，線寬， b-縫寬縫寬W=a+b ，a=b=W/2 均勻刻線均勻刻線主光柵主光柵指示光柵指示光柵夾角夾角明暗相間條紋明暗相間條紋莫爾條紋莫爾條紋移動移動長度長度 - 測量范圍；刻線密度測量范圍；刻線密度 - 測量精度測量精度 ( 10、25、50、100、125線線/mm )，如如100線：線：mmmmw01. 01001mmwba005. 02WWBCABBH2422sin22放大倍數(shù)為放大倍數(shù)為 1/,1/,越小越小, , B B越大。越大。例如例如=0.1=0.1時時 =0.1=0.1=0.

4、1=0.12/360 2/360 =0.00175432rad=0.00175432radW=0.02mm BH=11.4592mmW=0.02mm BH=11.4592mm。莫爾條紋特性：莫爾條紋特性： 方向性：垂直于角平分線，當(dāng)夾角很小時方向性：垂直于角平分線，當(dāng)夾角很小時 與光柵移動方向與光柵移動方向垂直垂直同步性：光柵移動一個柵距同步性：光柵移動一個柵距 莫爾條紋移動一個間距一方向莫爾條紋移動一個間距一方向?qū)?yīng)對應(yīng)放大性：夾角放大性：夾角很小很小 BW 光學(xué)放大光學(xué)放大 提高靈敏度提高靈敏度可調(diào)性：夾角可調(diào)性：夾角 條紋間距條紋間距B 靈活靈活準(zhǔn)確性：大量刻線準(zhǔn)確性：大量刻線 誤差平均

5、效應(yīng)誤差平均效應(yīng) 克服個別克服個別/局部誤差局部誤差 提高精度提高精度 特例：當(dāng)特例：當(dāng) =0, w1=w2 B= 光閘莫爾條紋光閘莫爾條紋 當(dāng)當(dāng) =0, w1w2 縱向莫爾條紋縱向莫爾條紋 誤差的平均效應(yīng)誤差的平均效應(yīng)光電元件對光柵的柵距誤差具有消差作用。光電元件對光柵的柵距誤差具有消差作用。莫爾條紋由光柵的大量刻線形成莫爾條紋由光柵的大量刻線形成, 對線紋的刻劃誤差對線紋的刻劃誤差有平均抵消作用有平均抵消作用, 幾條刻線的柵距誤差或斷裂對莫爾幾條刻線的柵距誤差或斷裂對莫爾條紋的位置和形狀影響甚微。能在很大程度上消除條紋的位置和形狀影響甚微。能在很大程度上消除短周期誤差的影響。短周期誤差的影

6、響。 例例W=0.02mm, 接收元件尺寸接收元件尺寸1010mm2,在在10mm范圍內(nèi)有范圍內(nèi)有500條刻線參與工作，某幾條刻線誤條刻線參與工作，某幾條刻線誤差對莫爾條紋位置和形狀基本無影響。差對莫爾條紋位置和形狀基本無影響。 圖為利用圖為利用光柵傳感器光柵傳感器直接測量數(shù)直接測量數(shù)控機(jī)床工作控機(jī)床工作臺位移量的臺位移量的現(xiàn)場照片?，F(xiàn)場照片。 工作臺工作臺光柵工作臺運動方向工作臺運動方向光柵在機(jī)床上的安裝位置（3個自由度）數(shù)顯表wNxkwNkxkynwmnNx)(mknNkmknNky0 x標(biāo)尺光柵標(biāo)尺光柵l 光柵測位移原理光柵測位移原理標(biāo)尺光柵隨被測對象一起移動，相當(dāng)于一把測量位移的尺子：

7、標(biāo)尺光柵隨被測對象一起移動，相當(dāng)于一把測量位移的尺子：標(biāo)尺光柵的位移（實際位移）：標(biāo)尺光柵的位移（實際位移）：對應(yīng)的莫爾條紋位移（測量位移）：對應(yīng)的莫爾條紋位移（測量位移）： 為了提高測量精度：對柵距進(jìn)行細(xì)分（分辨力提高）為了提高測量精度：對柵距進(jìn)行細(xì)分（分辨力提高）對柵距進(jìn)行對柵距進(jìn)行n等分：等分：細(xì)分后：細(xì)分后：光電元件的輸出波形光電元件的輸出波形xVB（w）理論輸出理論輸出實際輸出實際輸出 為了識別位移的方向：對光電輸出信號進(jìn)行辨向為了識別位移的方向：對光電輸出信號進(jìn)行辨向)2sin(0 xwuuum輸出：輸出：輸出的是一個周期信號，不能辨輸出的是一個周期信號，不能辨別出位移的方向，需另

8、外的辨向別出位移的方向，需另外的辨向電路。電路。光電轉(zhuǎn)光電轉(zhuǎn)換元件換元件去直去直流流放放大大整整形形辨辨向向可逆可逆計數(shù)計數(shù)辨向電路：實現(xiàn)方法：辨向電路：實現(xiàn)方法：BB/4狹縫狹縫莫爾條紋莫爾條紋辨向原理辨向原理 狹縫狹縫莫爾條紋莫爾條紋 正向移動正向移動（狹縫在莫爾條紋前（狹縫在莫爾條紋前90）反向移動反向移動（莫爾條紋在狹縫前（莫爾條紋在狹縫前90）狹縫狹縫莫爾條紋莫爾條紋相位上相差相位上相差90的狹縫、莫爾條紋脈沖經(jīng)過辨向電路即的狹縫、莫爾條紋脈沖經(jīng)過辨向電路即可分辨出正向移動或反向移動。可分辨出正向移動或反向移動。設(shè)計數(shù)器記得脈沖數(shù)為設(shè)計數(shù)器記得脈沖數(shù)為N，位移，位移 x=N W 光柵

9、測量位移屬于增量光柵測量位移屬于增量式測量。式測量。1. 四倍頻細(xì)分四倍頻細(xì)分在相差在相差B/4B/4位置上安放兩個光電元件，得到兩個相差位置上安放兩個光電元件，得到兩個相差/2/2電壓信號（電壓信號（S S和和C C），將這兩個信號整形、反相），將這兩個信號整形、反相得到四個依次相差得到四個依次相差/2/2的電壓信號。的電壓信號。0 0（S S），），9090（C C）180180（S S）270270（C C）。）。在光柵作相對運動時，經(jīng)過微分電路，在正向運動在光柵作相對運動時，經(jīng)過微分電路，在正向運動時，得到四個微分脈沖（加計數(shù)脈沖）；反向運動時，得到四個微分脈沖（加計數(shù)脈沖）；反向運動

10、時，得到四個微分脈沖（減計數(shù)脈沖）。時，得到四個微分脈沖（減計數(shù)脈沖）。2.2.電位器橋（電阻鏈）細(xì)分電位器橋（電阻鏈）細(xì)分實現(xiàn)方法及原理實現(xiàn)方法及原理 四細(xì)分后得到的四個相位差為四細(xì)分后得到的四個相位差為9090度的交流信號度的交流信號U Um msin,Usin,Um mcoscos和和-U-Um msin,-Usin,-Um mcoscos。以這四。以這四個交流信號為原函數(shù)（兩原函數(shù)間各接幾個電位個交流信號為原函數(shù)（兩原函數(shù)間各接幾個電位器，構(gòu)成電位器橋，把器，構(gòu)成電位器橋，把=0-360=0-360度度, , （x=0-Wx=0-W）分成四個象限。分成四個象限。每一個象限，由于電壓的合

11、成與電位器的移相作每一個象限，由于電壓的合成與電位器的移相作用，電阻鏈上各電位器中間抽頭得到幅值各不相用，電阻鏈上各電位器中間抽頭得到幅值各不相同的一系列移相信號（新函數(shù)）。同的一系列移相信號（新函數(shù)）。光柵傳感器特點光柵傳感器特點 精度高：測長精度高：測長(0.2+210-6L)m，測角，測角0.1量程大：透射式量程大：透射式-光柵尺長（米），反射式光柵尺長（米），反射式-幾十米幾十米響應(yīng)快：可用于動態(tài)測量響應(yīng)快：可用于動態(tài)測量增量式：增量碼測量增量式：增量碼測量 計數(shù)計數(shù) 斷電斷電數(shù)據(jù)消失數(shù)據(jù)消失要求高：對環(huán)境要求高要求高：對環(huán)境要求高溫度、濕度、灰塵、振動、移動精度溫度、濕度、灰塵、振動

12、、移動精度成本高：電路復(fù)雜成本高：電路復(fù)雜 3、激光干涉測量系統(tǒng)、激光干涉測量系統(tǒng)1) 單頻激光干涉系統(tǒng)單頻激光干涉系統(tǒng)雙頻激光干涉系統(tǒng)雙頻激光干涉系統(tǒng)- 信噪比高，抗干擾能力強(qiáng)，大位移測量（信噪比高，抗干擾能力強(qiáng)，大位移測量（200m以上）以上）雙頻激光干涉測量系統(tǒng)雙頻激光干涉測量系統(tǒng)4、激光測距系統(tǒng)、激光測距系統(tǒng)2/ctd 3）激光三角法）激光三角法- 大范圍遠(yuǎn)距離測距（幾千大范圍遠(yuǎn)距離測距（幾千/幾十千米）幾十千米）1）脈沖測距法）脈沖測距法2）相位差測距法）相位差測距法激光短脈沖信號（激光器激光短脈沖信號（激光器 被測目標(biāo)）被測目標(biāo)）測量精度：時間間隔測量精度（脈沖窄、響應(yīng)速度快）測量

13、精度：時間間隔測量精度（脈沖窄、響應(yīng)速度快）遠(yuǎn)距離遠(yuǎn)距離 - 固體固體/二氧化碳；近距離二氧化碳；近距離 - 半導(dǎo)體半導(dǎo)體巨脈沖激光器巨脈沖激光器 - 地球地球月球距離（分辨力：月球距離（分辨力：1m）激光束調(diào)制激光束調(diào)制 - 相位差相位差 - 時間時間 - 距離距離距離距離特點：測量精度高、分辨力強(qiáng)特點：測量精度高、分辨力強(qiáng)0042fccD原理：原理： y = f ( x) x yKeyence 激光測距傳感器激光測距傳感器特點：特點： 非接觸、不易劃傷表面、結(jié)構(gòu)簡單、測量距離大、非接觸、不易劃傷表面、結(jié)構(gòu)簡單、測量距離大、 抗干擾、測量點小（幾十微米）、測量準(zhǔn)確度高抗干擾、測量點小（幾十微

14、米）、測量準(zhǔn)確度高精度：光學(xué)元件本身的精度、環(huán)境溫度、激光束的光強(qiáng)和直精度：光學(xué)元件本身的精度、環(huán)境溫度、激光束的光強(qiáng)和直徑大小以及被測物體的表面特征徑大小以及被測物體的表面特征應(yīng)用：應(yīng)用：厚度測量：厚度測量：(a) 參考表面：兩傳感器同向參考表面：兩傳感器同向 - 減小偏心誤差減小偏心誤差(b) 相對測量：兩傳感器反向，無參考表面相對測量：兩傳感器反向，無參考表面 - 克服鋼板本身克服鋼板本身上下起伏造成的誤差上下起伏造成的誤差測量范圍：測量范圍：16mm左右；相對測量精度：左右；相對測量精度： 0.1% 0.2% 適用：在線測量鋼板適用：在線測量鋼板/鋁板等板材厚度鋁板等板材厚度 特點：測

15、頭對表面顏色和紋理變化以及背景光的影響不敏感特點：測頭對表面顏色和紋理變化以及背景光的影響不敏感不能測量鏡面不能測量鏡面 - 漫反射原理漫反射原理檢測原理檢測原理電磁式電磁式電刷式電刷式電磁感應(yīng)式電磁感應(yīng)式光電式光電式工作原理工作原理 增量式：單位位移增量式：單位位移一個脈沖一個脈沖 絕對式：當(dāng)前位置絕對式：當(dāng)前位置當(dāng)前數(shù)字當(dāng)前數(shù)字放放大大整整形形計計數(shù)數(shù)增量式光電編碼盤角度增量式光電編碼盤角度數(shù)字轉(zhuǎn)換器數(shù)字轉(zhuǎn)換器m360信號轉(zhuǎn)換信號轉(zhuǎn)換光敏元件的輸出光敏元件的輸出整形后的波形整形后的波形微分后的波形微分后的波形從左圖中可以看出：從左圖中可以看出：一個脈沖對應(yīng)一個一個脈沖對應(yīng)一個 ，例如，例如

16、，720線的碼盤，輸線的碼盤，輸出出15個脈沖，則對應(yīng)轉(zhuǎn)個脈沖，則對應(yīng)轉(zhuǎn)過的角度為過的角度為 5 . 77203601515光電碼盤實物圖光電碼盤實物圖 具有辨向功能的增具有辨向功能的增量式光電編碼盤量式光電編碼盤ZAB順時針轉(zhuǎn)動（順時針轉(zhuǎn)動（A在在B前前90）ABZABZ逆時針轉(zhuǎn)動（逆時針轉(zhuǎn)動（B在在A前前90）從上面從上面A、B、Z的輸出來看，如何來計算其轉(zhuǎn)角呢？的輸出來看，如何來計算其轉(zhuǎn)角呢？)%(360360mnmZ其中：其中：Z：Z脈沖數(shù)；脈沖數(shù)；n：A或或B脈沖數(shù)；脈沖數(shù)；m：刻線密度。：刻線密度。 從公式中可以看出，轉(zhuǎn)角的整數(shù)部分用從公式中可以看出，轉(zhuǎn)角的整數(shù)部分用Z脈沖數(shù)來計算

17、，小數(shù)部分用脈沖數(shù)來計算，小數(shù)部分用A或或B的脈沖數(shù)來修正，這是因為的脈沖數(shù)來修正，這是因為Z脈沖的頻率較低，計數(shù)可靠，脈沖的頻率較低，計數(shù)可靠，A或或B脈沖頻率脈沖頻率較高，容易漏計或比較容易受干擾。較高，容易漏計或比較容易受干擾。n2360min通常編碼器的編碼盤與旋轉(zhuǎn)軸相固聯(lián)，沿碼盤的徑向固定數(shù)個通常編碼器的編碼盤與旋轉(zhuǎn)軸相固聯(lián)，沿碼盤的徑向固定數(shù)個敏感元件敏感元件(這里是電刷這里是電刷)。 絕對式接觸式編碼器演示4個電刷 4位二進(jìn)制碼盤 +5V輸入 公共碼道 最小分辨角度為 =360/2n 表表 二進(jìn)制碼、十進(jìn)制碼與格雷碼對照表二進(jìn)制碼、十進(jìn)制碼與格雷碼對照表 角角 度度電電 刷刷 位

18、位 置置二二 進(jìn)進(jìn) 制制 碼碼十十 進(jìn)進(jìn) 制制 碼碼格格 雷雷 碼碼0a0000000001b0001100012c0010200113d0011300104e0100401105f0101501116g0110601017h0111701008i1000811009j10019110110k101010111111l101111111012m110012101013n110113101114o111014100115p1111451000=360/2n 接觸式編碼器最大的缺點在于電刷與碼盤的直接接觸，接觸式編碼器最大的缺點在于電刷與碼盤的直接接觸，接觸摩損會影響其壽命，降低可靠性。因此不適宜

19、在轉(zhuǎn)接觸摩損會影響其壽命，降低可靠性。因此不適宜在轉(zhuǎn)速較高或具有振動的環(huán)境中使用。速較高或具有振動的環(huán)境中使用。 u 格雷碼有什么特點，為什么要采用格雷碼盤？格雷碼有什么特點，為什么要采用格雷碼盤？從編碼技術(shù)上分析，造成錯碼的原因是從一個碼變?yōu)榱硪粡木幋a技術(shù)上分析，造成錯碼的原因是從一個碼變?yōu)榱硪粋€碼時存在著幾位碼需要同時改變。若每次只有一位碼改個碼時存在著幾位碼需要同時改變。若每次只有一位碼改變，就不會產(chǎn)生錯碼，例如格雷碼變，就不會產(chǎn)生錯碼，例如格雷碼(循環(huán)碼循環(huán)碼)。1）編碼規(guī)則）編碼規(guī)則將二進(jìn)制碼右移將二進(jìn)制碼右移 一位并舍去最末一位并舍去最末位與原二進(jìn)制做位與原二進(jìn)制做不進(jìn)位加法。不進(jìn)

20、位加法。2）特點）特點相鄰兩個數(shù)碼之相鄰兩個數(shù)碼之間只有一位變化。間只有一位變化。安裝套編碼器的安裝方式 1.編碼器的套式安裝安裝軸 2.編碼器的軸式安裝 采用編碼器間采用編碼器間接測量工作臺位移。接測量工作臺位移。測量到的回轉(zhuǎn)運動測量到的回轉(zhuǎn)運動參數(shù)僅僅是中間值，參數(shù)僅僅是中間值，但可由這中間值再但可由這中間值再推算出與之關(guān)聯(lián)的推算出與之關(guān)聯(lián)的移動部件的直線位移動部件的直線位移。間接測量須使移。間接測量須使用絲杠用絲杠- -螺母、齒螺母、齒輪輪- -齒條等傳動機(jī)齒條等傳動機(jī)構(gòu)構(gòu)。 工作臺絲杠編碼器進(jìn)給電機(jī) x 編碼器在數(shù)控加工中心的刀庫選刀控制中的應(yīng)用旋轉(zhuǎn)刀庫旋轉(zhuǎn)刀庫被加工工件被加工工件刀具

21、刀具角編碼器的輸出角編碼器的輸出為當(dāng)前刀具號為當(dāng)前刀具號角編碼器與旋轉(zhuǎn)角編碼器與旋轉(zhuǎn)刀庫連接刀庫連接編碼器在定位編碼器在定位加工中的加工中的應(yīng)用應(yīng)用1絕對式編碼器絕對式編碼器 2電動電動機(jī)機(jī) 3轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)軸 4轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)盤 5工工件件 6刀具刀具 安裝有直線光柵的數(shù)控機(jī)床加工實況 防護(hù)罩內(nèi)為直線光柵防護(hù)罩內(nèi)為直線光柵光柵掃描頭光柵掃描頭被加工工件被加工工件切削刀具切削刀具角編碼器角編碼器安裝在夾安裝在夾具的端部具的端部第第13章章 記錄儀器記錄儀器 n4、瞬態(tài)記錄儀、瞬態(tài)記錄儀n5、電平記錄儀、電平記錄儀磁帶記錄儀的特點是：磁帶記錄儀的特點是： 1)工作頻帶寬，動態(tài)范圍大；工作頻帶寬，動態(tài)范圍大； 2

22、)重放時得到的信號仍為電信號，這便于以后的進(jìn)一步處理；重放時得到的信號仍為電信號，這便于以后的進(jìn)一步處理；且可以反復(fù)多次重放，且可以反復(fù)多次重放， 3)通過改變記錄和重放時的磺帶速度比可以很方便地實現(xiàn)記通過改變記錄和重放時的磺帶速度比可以很方便地實現(xiàn)記錄信號的頻率轉(zhuǎn)移，以便滿足已有分析儀器的頻率范圍要求；錄信號的頻率轉(zhuǎn)移，以便滿足已有分析儀器的頻率范圍要求； 4)很強(qiáng)的多通道記錄能力。很強(qiáng)的多通道記錄能力。 2 2、光線示波器、光線示波器一、光線示波器的結(jié)構(gòu)：一、光線示波器的結(jié)構(gòu)： 特點：特點：靈敏度高，多線同步記錄，記錄靈敏度高，多線同步記錄，記錄5kHz以下信號，記錄以下信號，記錄紙消耗大

23、，且不易常期保存，不能采用電于計算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。紙消耗大，且不易常期保存，不能采用電于計算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。 組成：組成：光學(xué)系統(tǒng)、時標(biāo)裝置、走紙裝量、振動子、磁系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、時標(biāo)裝置、走紙裝量、振動子、磁系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)及攝影系統(tǒng)。電氣系統(tǒng)及攝影系統(tǒng)。光學(xué)系統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)（見書上（見書上P193）:ZD1：記錄信號，幅值坐標(biāo)線：記錄信號，幅值坐標(biāo)線ZD2：頻閃燈，時標(biāo)周期線：頻閃燈，時標(biāo)周期線 振動子和磁系統(tǒng)：振動子和磁系統(tǒng)：把按一定規(guī)律變化的電信號，變換成按同把按一定規(guī)律變化的電信號，變換成按同樣規(guī)律變化的光線擺動信號，以便作用在感光記錄紙上，形成模樣規(guī)律變化的光線擺動信號，以便作用在感光記錄

24、紙上，形成模擬記錄曲線。擬記錄曲線。振動子：動圈式振動子：動圈式動態(tài)特性動態(tài)特性式中式中 i輸入線圈的電流；輸入線圈的電流； 線圈的偏轉(zhuǎn)角；線圈的偏轉(zhuǎn)角； J取決于振子轉(zhuǎn)動部分結(jié)構(gòu)形狀和質(zhì)量的轉(zhuǎn)動慣量；取決于振子轉(zhuǎn)動部分結(jié)構(gòu)形狀和質(zhì)量的轉(zhuǎn)動慣量； c阻尼系數(shù)；阻尼系數(shù)； k張絲的扭轉(zhuǎn)剛度；張絲的扭轉(zhuǎn)剛度； ki電磁轉(zhuǎn)矩系數(shù)。當(dāng)線圈結(jié)構(gòu)尺寸和磁場強(qiáng)度確定后電磁轉(zhuǎn)矩系數(shù)。當(dāng)線圈結(jié)構(gòu)尺寸和磁場強(qiáng)度確定后ki為常為常數(shù)。數(shù)。靜態(tài)特性：靜態(tài)特性：靜態(tài)特性表示振動子輸入直流電流靜態(tài)特性表示振動子輸入直流電流I時，輸出與輸入的關(guān)系時，輸出與輸入的關(guān)系式中式中 Ski/k/I，表示單位電流作用下偏轉(zhuǎn)角的大小，

25、稱為振，表示單位電流作用下偏轉(zhuǎn)角的大小，稱為振子常數(shù)。子常數(shù)。實際中振動子的靈敏度常用單位電流流過振動子時，光點在記錄紙實際中振動子的靈敏度常用單位電流流過振動子時，光點在記錄紙上移動的距離表示，即上移動的距離表示，即 Si=H/I，式中，式中 H光點在記錄紙上移光點在記錄紙上移動的距離。動的距離。當(dāng)當(dāng)很小時，很小時，cos1，光點實際上轉(zhuǎn)動兩倍于，光點實際上轉(zhuǎn)動兩倍于的圓弧，即的圓弧，即HL tg2；當(dāng)；當(dāng)很小時，很小時，tg22，此時，此時，H2L，于是有，于是有 SiH/I2L/I2LS 式（式（3） 式中，式中，Si稱為振子的電流靈敏度，它表示直流電流所引起的記稱為振子的電流靈敏度，它表示直流電流所引起的記錄紙上光點偏移量。錄紙上光點偏移量。H是光點在記錄紙上移動的距離，是光點在記錄紙上移動的距離，L是光臂長是光臂長度度 。三、振動子的選擇：三、振動子的選擇：