應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器設(shè)計(jì)(已排版)

1、應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器設(shè)計(jì)摘 要粘貼式電阻應(yīng)變計(jì)廣泛應(yīng)用于當(dāng)今高精度測(cè)力與稱(chēng)重傳感器的制造中。本篇文章為幫助稱(chēng)重傳感器設(shè)計(jì)者計(jì)算出稱(chēng)重傳感器尺寸大小，從而為獲得唯一需要的輸出作了充分的準(zhǔn)備。設(shè)計(jì)者既可以運(yùn)用有限元分析法經(jīng)計(jì)算機(jī)程序（如果可能）來(lái)確定稱(chēng)重傳感器所需要的尺寸，或運(yùn)用本文所提供的公式來(lái)計(jì)算此尺寸。通過(guò)某些假設(shè)得出的這些計(jì)算公式，另外還有電阻應(yīng)變計(jì)的特性、應(yīng)力形式、材料特征以及機(jī)械加工的偏差都會(huì)導(dǎo)致計(jì)算結(jié)果的一定誤差。在批量制造稱(chēng)重傳感器前，應(yīng)制造幾個(gè)樣機(jī)進(jìn)行組裝、測(cè)試和標(biāo)定。 在某些工業(yè)中，如航天工業(yè)也許只需要一次性的稱(chēng)重傳感器，為決定其非線性、重復(fù)性和滯后等誤差，在使用前對(duì)其進(jìn)行標(biāo)定是十

2、分重要的。當(dāng)計(jì)算機(jī)被應(yīng)用于數(shù)據(jù)處理時(shí)，非線性、零點(diǎn)漂移及靈敏度變化，是很容易修正的。如果稱(chēng)重傳感器在使用時(shí)要經(jīng)歷強(qiáng)烈的溫度變化和外部附加載荷的影響，我們應(yīng)進(jìn)行試驗(yàn)并測(cè)量出這些影響量所造成的誤差。如果某部分結(jié)構(gòu)（如接頭、銷(xiāo)子、壓桿）用來(lái)測(cè)量或是被用作稱(chēng)重傳感器時(shí)，標(biāo)定和測(cè)試就尤為重要了。 稱(chēng)重傳感器設(shè)計(jì)包括許多方面，這里對(duì)其制造生產(chǎn)不予討論，例如，需要對(duì)電阻應(yīng)變計(jì)安裝技術(shù)知識(shí)的全面了解，一些電阻應(yīng)變計(jì)制造商提供技術(shù)資料的同時(shí)，還應(yīng)提供電阻應(yīng)變計(jì)安裝的分類(lèi)等。在過(guò)去十年中，計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展改變了稱(chēng)重傳感器的設(shè)計(jì)、制造與記錄方式，例如在電阻應(yīng)變計(jì)被安裝后，所有的稱(chēng)重傳感器都有一個(gè)原始的不平衡（當(dāng)沒(méi)有

3、載荷作用時(shí)，也有輸出信號(hào)存在）。通常零點(diǎn)調(diào)整電阻被應(yīng)用于商業(yè)稱(chēng)重傳感器，以便消除這種不平衡。運(yùn)用計(jì)算機(jī)程序，零點(diǎn)不平衡數(shù)據(jù)很容易被除掉。除了零點(diǎn)調(diào)整電阻外，在精密的商業(yè)稱(chēng)重傳感器中安裝了許多電阻，便于補(bǔ)償諸如零點(diǎn)和靈敏度溫度影響。如果在記錄數(shù)據(jù)的同時(shí)，稱(chēng)重傳感器的溫度也進(jìn)行了測(cè)量，并且當(dāng)這個(gè)稱(chēng)重傳感器被標(biāo)定時(shí)，溫度造成的誤差已被測(cè)定，那么就應(yīng)該運(yùn)用計(jì)算機(jī)程序修正最終數(shù)據(jù)。商業(yè)稱(chēng)重傳感器制造商不為計(jì)算機(jī)提供用于修正原始不平衡或溫度影響的數(shù)據(jù)，因?yàn)樗麄儾幌刖窒奘袌?chǎng)。商業(yè)稱(chēng)重傳感器不安裝零點(diǎn)平衡及溫度補(bǔ)償電阻會(huì)節(jié)省大量資金，尤其是需求量很大時(shí)效果更明顯。關(guān)鍵詞：傳感器，電阻應(yīng)變式，稱(chēng)重，誤差摘 要

4、. .1第一章、傳感器簡(jiǎn)介 . .31.1應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器的發(fā)展 .31.2 應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器的技術(shù)創(chuàng)新 .4第二章、電阻應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器的原理 .62.1 稱(chēng)重傳感器的組成部分 .62.2 工作原理 . .62.2.1應(yīng)變片的電阻應(yīng)變效應(yīng) .62.2.2應(yīng)變靈敏度 .72.2.3貼片式應(yīng)變片應(yīng)用 .8第三章 電阻應(yīng)變片的設(shè)計(jì) . .103.1 應(yīng)變片的工作原理 .103.2 應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)選擇 .103.2.1 電阻絲應(yīng)變片 .103.2.2 箔式應(yīng)變片 .113.2.3半導(dǎo)體應(yīng)變片 .113.3 應(yīng)變片的材料選擇 .123.3.1 電阻敏感柵材料選擇 .123.3.2 基底、引出線材料選擇

5、.133.4 應(yīng)變片的參數(shù) . .143.4.1 應(yīng)變片基長(zhǎng) .143.4.2應(yīng)變片的電阻值 .143.4.3 應(yīng)變片的絕緣電阻、允許電流、應(yīng)變極限 .153.5傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)： .153.6彈性元件設(shè)計(jì) . .163.6.1 材料選擇： .163.6.2材料的熱處理和穩(wěn)定性處理 .163.6.4主要參數(shù)的設(shè)計(jì) .173.7應(yīng)變片的粘貼 . .18第四章 傳感器靈敏彈性元件的設(shè)計(jì) .194.1 彈性元件的選擇 . .194.2 雙孔梁受力分析 . .194.3 彈性元件材料選擇 .224.4 雙孔梁的尺寸選擇 .23第五章 變換檢測(cè)電路設(shè)計(jì) .245.1 橋路的設(shè)計(jì) . .245.2 放大電路

6、的設(shè)計(jì) . .255.3 檢波、濾波電路的設(shè)計(jì) .265.4 其他電路的設(shè)計(jì)與選擇 .27第六章 傳感器的工藝設(shè)計(jì) .276.1應(yīng)變片的粘貼工藝 .276.2傳感器的封裝 . .28第七章 誤差源分析以及處理 .28第八章 小結(jié) . .30參考文獻(xiàn) . .31第一章、傳感器簡(jiǎn)介1.1應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器的發(fā)展1938年美國(guó)加利福尼亞理工學(xué)院教授E.Simmons(西蒙斯 和麻省理工學(xué)院教授A.Ruge(魯奇 分別同時(shí)研制出紙基絲繞式電阻應(yīng)變計(jì)，以他們名字的字頭和各有二位助手命名為SR-4型，由美國(guó)BLH 公司專(zhuān)利生產(chǎn)。為研制應(yīng)變式負(fù)荷傳感器奠定了理論和物質(zhì)基礎(chǔ)。1940年美國(guó)BLH 公司和Reve

7、re 公司總工程師A.Thurston(瑟斯頓 利用SR 一4型電阻應(yīng)變計(jì)研制出圓柱結(jié)構(gòu)的應(yīng)變式負(fù)荷傳感器，用于工程測(cè)力和稱(chēng)重計(jì)量，成為應(yīng)變式負(fù)荷傳感器的創(chuàng)始者。1942年在美國(guó)應(yīng)變式負(fù)荷傳感器已經(jīng)大量生產(chǎn)，至今已有60多年的歷史。前30多年，是利用正應(yīng)力(拉伸、壓縮、彎曲應(yīng)力 的柱、筒、環(huán)、梁式結(jié)構(gòu)負(fù)荷傳感器的一統(tǒng)天下。在此時(shí)期內(nèi)，英國(guó)學(xué)者杰克遜研制出金屬箔式電阻應(yīng)變計(jì)，為負(fù)荷傳感器提供了較理想的轉(zhuǎn)換元件，并創(chuàng)造了用熱固膠粘貼電阻應(yīng)變計(jì)的新工藝。美國(guó)BLH 公司和Revere 公司經(jīng)過(guò)多年實(shí)踐創(chuàng)造了負(fù)荷傳感器電路補(bǔ)償與調(diào)整工藝，提高了負(fù)荷傳感器的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性，使準(zhǔn)確度由40年代的百分之幾量

8、級(jí)提高到70年代初的0.05量級(jí)。但在應(yīng)用過(guò)程中出現(xiàn)的問(wèn)題也很突出，主要是：加力點(diǎn)變化會(huì)引起比較大的靈敏度變化; 同時(shí)進(jìn)行拉、壓循環(huán)加載時(shí)靈敏度偏差大; 抗偏心和側(cè)向載荷能力差; 不能進(jìn)行小載荷測(cè)量。上述缺點(diǎn)嚴(yán)重制約了負(fù)荷傳感器的發(fā)展。后30多年，經(jīng)歷了70年代的切應(yīng)力負(fù)荷傳感器和鋁合金小量程負(fù)荷傳感器兩大技術(shù)突破;80年代稱(chēng)重傳感器與測(cè)力傳感器徹底分離，制定R60國(guó)際建議和研發(fā)出數(shù)字式智能稱(chēng)重傳感器兩項(xiàng)重大變革;90年代在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制造工藝中不斷納入高新技術(shù)迎接新挑戰(zhàn)，加速了稱(chēng)重傳感器技術(shù)的發(fā)展。1973年美國(guó)學(xué)者霍格斯特姆為克服正應(yīng)力負(fù)荷傳感器的固有缺點(diǎn)，提出不利用正應(yīng)力，而利用與彎矩?zé)o關(guān)

9、的切應(yīng)力設(shè)計(jì)負(fù)荷傳感器的理論，并設(shè)計(jì)出圓截工字形截面懸臂剪切梁型負(fù)荷傳感器。打破了正應(yīng)力負(fù)荷傳感器的一統(tǒng)天下，形成了新的發(fā)展潮流。這是負(fù)荷傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的重大突破。1974年前后美國(guó)學(xué)者斯坦因和德國(guó)學(xué)者埃多姆分別提出建立彈性體較為復(fù)雜的力學(xué)模型，利用有限單元計(jì)算方法，分析彈性體的強(qiáng)度、剛度，應(yīng)力場(chǎng)和位移場(chǎng)，求得最佳化設(shè)計(jì)。為利用現(xiàn)代分析手段和計(jì)算方法設(shè)計(jì)與計(jì)算負(fù)荷傳感器開(kāi)辟了新途徑。1.2 應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器的技術(shù)創(chuàng)新70年代初中期，美、日等國(guó)的衡器制造公司開(kāi)始研發(fā)商業(yè)用電子計(jì)價(jià)秤，急需小量程負(fù)荷傳感器。傳統(tǒng)的正應(yīng)力和新研制的切應(yīng)力負(fù)荷傳感器都不能實(shí)現(xiàn)幾公斤至幾十公斤量程范圍內(nèi)的測(cè)量。美國(guó)學(xué)者查

10、特斯提出用低彈性模量的鋁合金做彈性體，采用多梁結(jié)構(gòu)解決靈敏度和剛度這對(duì)矛盾。設(shè)計(jì)出小量程鋁合金平行梁型負(fù)荷傳感器，同時(shí)指出平行梁負(fù)荷傳感器是基于不變彎矩原理，使利用平行梁表面彎曲應(yīng)力的正應(yīng)力結(jié)構(gòu)，具有切應(yīng)力負(fù)荷傳感器的特點(diǎn)，為平行梁結(jié)構(gòu)負(fù)荷傳感器的設(shè)計(jì)與計(jì)算奠定了理論基礎(chǔ)，形成了又一個(gè)發(fā)展潮流。蠕變是電阻應(yīng)變計(jì)和鋁合金負(fù)荷傳感器經(jīng)常遇到和必需解決的關(guān)鍵問(wèn)題。1978年前蘇聯(lián)學(xué)者科洛考娃通過(guò)對(duì)一維力學(xué)模型和應(yīng)變傳遞系數(shù)的分析，提出控制電阻應(yīng)變計(jì)敏感柵的柵頭寬度與柵絲寬度的比例，可以制造出不同蠕變值電阻應(yīng)變計(jì)的理論，并成功的研制出系列蠕變補(bǔ)償電阻應(yīng)變計(jì)。對(duì)低容量鋁合金負(fù)荷傳感器減小蠕變誤差，提高準(zhǔn)

11、確度起到至關(guān)重要的作用，使電子計(jì)價(jià)秤用鋁合金負(fù)荷傳感器多品種、大批量生產(chǎn)成為可能。 由于電子稱(chēng)重技術(shù)的迅速發(fā)展，負(fù)荷傳感器性能的評(píng)定方法，已不能滿(mǎn)足采用階梯公差帶評(píng)定準(zhǔn)確度等級(jí)電子衡器的需要，急需與電子衡器準(zhǔn)確度評(píng)定方法相適應(yīng)的計(jì)量規(guī)程。80年代初，國(guó)際法制計(jì)量組織(OIML質(zhì)量測(cè)量指導(dǎo)秘書(shū)處決定將用于電子稱(chēng)重的傳感器與用于測(cè)力的傳感器徹底分離，由美國(guó)負(fù)責(zé)的第8報(bào)告秘書(shū)處起草稱(chēng)重傳感器計(jì)量規(guī)程。經(jīng)過(guò)OIML 成員國(guó)書(shū)面表決后，在1984年10月第7屆法制計(jì)量大會(huì)上正式批準(zhǔn)，并于1985年以O(shè)IML ，R60國(guó)際建議頒布，下發(fā)到各成員國(guó)。目前各國(guó)正在執(zhí)行的是R60的2000年版?？梢哉f(shuō)R60稱(chēng)重

12、傳感器計(jì)量規(guī)程是各國(guó)稱(chēng)重傳感器進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)的“通行證”。 隨著數(shù)字技術(shù)和信息技術(shù)的發(fā)展，各行業(yè)對(duì)數(shù)字化電子衡器的需求愈來(lái)愈多，提出用數(shù)字稱(chēng)重系統(tǒng)突破模擬稱(chēng)重系統(tǒng)局限性的要求，對(duì)此模擬式稱(chēng)重傳感器就無(wú)能為力了。因?yàn)樵诖酥埃Q(chēng)重傳感器的研究都集中在硬件方面，例如：創(chuàng)新彈性體結(jié)構(gòu)，改進(jìn)制造工藝，完善電路補(bǔ)償與調(diào)整等。模擬式稱(chēng)重傳感器的輸出信號(hào)小，抗干擾能力差，傳輸距離短，稱(chēng)重顯示控制儀表復(fù)雜，組秤調(diào)試周期長(zhǎng)等缺點(diǎn)依然如故。為滿(mǎn)足數(shù)字化電子衡器的需求，美國(guó)TOLEDO 、STS 和CARDINAL 公司，德國(guó)HBM 公司等先后研制出整體型和分離型數(shù)字式智能稱(chēng)重傳感器，并以其輸出信號(hào)大，抗干擾能力強(qiáng)，

13、信號(hào)傳輸距離遠(yuǎn)，易實(shí)現(xiàn)智能控制等特點(diǎn)，成為數(shù)字化電子衡器和自動(dòng)稱(chēng)重計(jì)量與控制系統(tǒng)的必選產(chǎn)品，形成一個(gè)開(kāi)發(fā)熱點(diǎn)。90年代，由于稱(chēng)重傳感器的設(shè)計(jì)與計(jì)算等基本技術(shù)趨于成熟，稱(chēng)重傳感器的發(fā)展側(cè)重于工藝研究和應(yīng)用研究，在產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化、系列化、工程化設(shè)計(jì)和規(guī)?；a(chǎn)工藝等方面都有很大進(jìn)步，主要是：在結(jié)構(gòu)與工藝設(shè)計(jì)中引入計(jì)算機(jī)擬實(shí)技術(shù)和虛擬技術(shù);在彈性體加工中納入柔性制造技術(shù);在穩(wěn)定處理中移植了振動(dòng)時(shí)效、共振時(shí)效新工藝;在測(cè)試檢定中創(chuàng)造了自動(dòng)快速檢測(cè)和動(dòng)態(tài)比對(duì)方法。應(yīng)用技術(shù)研究也有突破性進(jìn)展：在傳統(tǒng)稱(chēng)重模塊的基礎(chǔ)上，研制出新式稱(chēng)重模塊。這是應(yīng)用新技術(shù)面對(duì)新挑戰(zhàn)的典型產(chǎn)品。其特點(diǎn)是組件化設(shè)計(jì)，具有“即插即用”功

14、能，可減少由于偏重、熱效應(yīng)影響，偶然超載等引起的稱(chēng)重誤差，并可承受由于振動(dòng)、沖擊、攪拌或其它外力引起的偏重?？傊?0年代兩項(xiàng)技術(shù)突破，80年代兩個(gè)重大變革，90年代納入高新技術(shù)面對(duì)新挑戰(zhàn)的研發(fā)理念，極大地促進(jìn)了稱(chēng)重傳感器技術(shù)的發(fā)展。傳感器是感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用信號(hào)（通常為電信號(hào)）的器件或裝置，傳感器是發(fā)展儀器儀表、自動(dòng)控制和廣泛應(yīng)用計(jì)算機(jī)的前提條件。傳感器原理與應(yīng)用課程主要研究各類(lèi)傳感器的工作原理、簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)以及實(shí)際的應(yīng)用。本課程設(shè)計(jì)時(shí)間為兩周，課程設(shè)計(jì)旨在培養(yǎng)學(xué)生的綜合應(yīng)用能力，通過(guò)本實(shí)踐環(huán)節(jié)，使學(xué)生加深對(duì)理論知識(shí)的理解，加深對(duì)傳感器性能、檢測(cè)電路的形式與配接、信號(hào)的分

15、析與處理等內(nèi)容的了解，使學(xué)生對(duì)測(cè)控系統(tǒng)的應(yīng)用與設(shè)計(jì)有感性認(rèn)識(shí)，為后續(xù)課程、畢業(yè)設(shè)計(jì)和工程實(shí)踐服務(wù)。本文設(shè)計(jì)了一個(gè)電阻應(yīng)變式的稱(chēng)重傳感器。電阻應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器是基于這樣一個(gè)原理：彈性體（彈性元件，敏感梁）在外力作用下產(chǎn)生彈性變形，使粘貼在他表面的電阻應(yīng)變片（轉(zhuǎn)換元件）也隨同產(chǎn)生變形，電阻應(yīng)變片變形后，它的阻值將發(fā)生變化（增大或減?。?，再經(jīng)相應(yīng)的測(cè)量電路把這一電阻變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)（電壓或電流），從而完成了將外力變換為電信號(hào)的過(guò)程。電阻應(yīng)變式傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的傳感器之一，已廣泛地應(yīng)用于航空、機(jī)械、電力、化工、建筑、醫(yī)療等領(lǐng)域中的力、壓力、力矩以及位移、加速度等參數(shù)的測(cè)量。目前，無(wú)論在數(shù)量上還是

16、在應(yīng)用領(lǐng)域上，與其他傳感器相比都具有重要的地位。其主要優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，靈敏度高，性能穩(wěn)定，可靠，測(cè)量速度快，適合靜態(tài)、動(dòng)態(tài)測(cè)量。第二章、電阻應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器的原理電阻應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器用于靜態(tài)、動(dòng)態(tài)條件下測(cè)力或稱(chēng)重 , 在我國(guó)工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程檢測(cè)與控制、自動(dòng)計(jì)量等領(lǐng)域已大量應(yīng)用。它是電子衡器的核心部件。它的質(zhì)量好壞是影響電子衡器計(jì)量準(zhǔn)確度的主要因素。在實(shí)際使用中 , 由于受到原材料及制造工藝、安裝方法、使用條件及外部環(huán)境的影響 , 很容易發(fā)生故障 , 影響電子衡器計(jì)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確及穩(wěn)定的運(yùn)行。因此 , 了解稱(chēng)重傳感器的基本原理及故障原因 , 熟練掌握故障的分析判斷技術(shù) , 是快速準(zhǔn)確地處理電

17、子衡器的故障 , 保證其準(zhǔn)確、穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。2.1 稱(chēng)重傳感器的組成部分稱(chēng)重傳感器主要由電阻應(yīng)變片、彈性體、檢測(cè)電路三部分組成。應(yīng)變片是一種傳感元件 , 它的作用是將變形轉(zhuǎn)變成電阻變化; 彈性體是一個(gè)有特殊形狀的結(jié)構(gòu)件, 它的主要作用是將力轉(zhuǎn)換為形變; 檢測(cè)電路的主要部件是惠斯登電橋, 它可以比較方便地解決稱(chēng)重傳感器的補(bǔ)償問(wèn)題, 其功能是把電阻應(yīng)變片的電阻變化轉(zhuǎn)變?yōu)橄鄳?yīng)的電信號(hào)輸出。2.2 工作原理電阻應(yīng)變式傳感器是在彈性元件上通過(guò)特定工藝粘貼電阻應(yīng)變片來(lái)組成。一種利用電阻材料的應(yīng)變效應(yīng)將工程結(jié)構(gòu)件的內(nèi)部變形轉(zhuǎn)換為電阻變化的傳感器。此類(lèi)傳感器主要是通過(guò)一定的機(jī)械裝置將被測(cè)量轉(zhuǎn)化成彈性元件的變

18、形，然后由電阻應(yīng)變片將彈性元件的變形轉(zhuǎn)換成電阻的變化，再通過(guò)測(cè)量電路將電阻的變化轉(zhuǎn)換成電壓或電流變化信號(hào)輸出。它可用于能轉(zhuǎn)化成變形的各種非電物理量的檢測(cè)，如力、壓力、加速度、力矩、重量等，在機(jī)械加工、計(jì)量、建筑測(cè)量等行業(yè)應(yīng)用十分廣泛。2.2.1應(yīng)變片的電阻應(yīng)變效應(yīng)所謂電阻應(yīng)變效應(yīng)是指具有規(guī)則外形的金屬導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料在外力作用下產(chǎn)生應(yīng)變而其電阻值也會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)地改變，這一物理現(xiàn)象稱(chēng)為“電阻應(yīng)變效應(yīng)”。以圓柱形導(dǎo)體為例：設(shè)其長(zhǎng)為：L 、半徑為r 、材料的電阻率為時(shí)，根據(jù)電阻的定義式得（11） 當(dāng)導(dǎo)體因某種原因產(chǎn)生應(yīng)變時(shí)，其長(zhǎng)度L 、截面積A 和電阻率的變化為dL 、dA 、d 相應(yīng)的電阻變化為dR

19、 。對(duì)式（11）全微分得電阻變化率 dR/R為： （12）式中：dL/L為導(dǎo)體的軸向應(yīng)變量L ; dr/r為導(dǎo)體的橫向應(yīng)變量r由材料力學(xué)得： L = - r (13式中：為材料的泊松比，大多數(shù)金屬材料的泊松比為0.30.5左右；負(fù)號(hào)表示兩者的變化方向相反。將式（13）代入式（12）得： （14）式（14）說(shuō)明電阻應(yīng)變效應(yīng)主要取決于它的幾何應(yīng)變（幾何效應(yīng)）和本身特有的導(dǎo)電性能（壓阻效應(yīng)）。2.2.2應(yīng)變靈敏度它是指電阻應(yīng)變片在單位應(yīng)變作用下所產(chǎn)生的電阻的相對(duì)變化量。(1、金屬導(dǎo)體的應(yīng)變靈敏度K ：主要取決于其幾何效應(yīng)；可?。?5） 其靈敏度系數(shù)為：K= 金屬導(dǎo)體在受到應(yīng)變作用時(shí)將產(chǎn)生電阻的變化，

20、拉伸時(shí)電阻增大，壓縮時(shí)電阻減小，且與其軸向應(yīng)變成正比。金屬導(dǎo)體的電阻應(yīng)變靈敏度一般在2左右。(2、半導(dǎo)體的應(yīng)變靈敏度：主要取決于其壓阻效應(yīng)；dR/R<d 。半導(dǎo)體材料之所以具有較大的電阻變化率，是因?yàn)樗羞h(yuǎn)比金屬導(dǎo)體顯著得多的壓阻效應(yīng)。在半導(dǎo)體受力變形時(shí)會(huì)暫時(shí)改變晶體結(jié)構(gòu)的對(duì)稱(chēng)性，因而改變了半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)理，使得它的電阻率發(fā)生變化，這種物理現(xiàn)象稱(chēng)之為半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng) 。不同材質(zhì)的半導(dǎo)體材料在不同受力條件下產(chǎn)生的壓阻效應(yīng)不同，可以是正（使電阻增大）的或負(fù)（使電阻減?。┑膲鹤栊?yīng)。也就是說(shuō)，同樣是拉伸變形，不同材質(zhì)的半導(dǎo)體將得到完全相反的電阻變化效果。半導(dǎo)體材料的電阻應(yīng)變效應(yīng)主要體現(xiàn)為壓阻效

21、應(yīng)，其靈敏度系數(shù)較大，一般在100到200左右。2.2.3貼片式應(yīng)變片應(yīng)用在貼片式工藝的傳感器上普遍應(yīng)用金屬箔式應(yīng)變片，貼片式半導(dǎo)體應(yīng)變片（溫漂、穩(wěn)定性、線性度不好而且易損壞）很少應(yīng)用。一般半導(dǎo)體應(yīng)變采用N 型單晶硅為傳感器的彈性元件，在它上面直接蒸鍍擴(kuò)散出半導(dǎo)體電阻應(yīng)變薄膜（擴(kuò)散出敏感柵），制成擴(kuò)散型壓阻式（壓阻效應(yīng)）傳感器。本實(shí)驗(yàn)以金屬箔式應(yīng)變片為研究對(duì)象。2.2.4箔式應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)金屬箔式應(yīng)變片是在用苯酚、環(huán)氧樹(shù)脂等絕緣材料的基板，粘貼直徑為0.025mm 左右 的金屬絲或金屬箔制成，如圖11所示。 (a 絲式應(yīng)變片 (b 箔式應(yīng)變片圖11應(yīng)變片結(jié)構(gòu)圖金屬箔式應(yīng)變片就是通過(guò)光刻、腐蝕

22、等工藝制成的應(yīng)變敏感元件，與絲式應(yīng)變片工作原理相同。電阻絲在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)，其電阻值發(fā)生變化，這就是電阻應(yīng)變效應(yīng)，描述電阻應(yīng)變效應(yīng)的關(guān)系式為： R R K 式中：R R 為電阻絲電阻相對(duì)變化，K 為應(yīng)變靈敏系數(shù), =L/L為電阻絲長(zhǎng)度相對(duì)變化。2.2.5測(cè)量電路為了將電阻應(yīng)變式傳感器的電阻變化轉(zhuǎn)換成電壓或電流信號(hào)，在應(yīng)用中一般采用電橋電路作為其測(cè)量電路。電橋電路具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、靈敏度高、測(cè)量范圍寬、線性度好且易實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償?shù)葍?yōu)點(diǎn)。能較好地滿(mǎn)足各種應(yīng)變測(cè)量要求，因此在應(yīng)變測(cè)量中得到了廣泛的應(yīng)用。 電橋電路按其工作方式分有單臂、雙臂和全橋三種，單臂工作輸出信號(hào)最小、線性、穩(wěn)定性較差；雙臂輸

23、出是單臂的兩倍，性能比單臂有所改善；全橋工作時(shí)的輸出是單臂時(shí)的四倍，性能最好。稱(chēng)重傳感器的基本電路如圖1所示可以推出: 024131234( /( i U R R R R U R R R R =-+式中 1R 、2R 、3R 、4R 為應(yīng)變片電阻; i U 為傳感器的輸入信號(hào); 0U 為傳感器的輸出信號(hào)。當(dāng)2413R R R R = 時(shí) , 我們稱(chēng)之為電橋平衡 , 這時(shí)圖 1 基本電路圖稱(chēng)重傳感器的輸出電壓0U = 0mV。物料重量通過(guò)電子衡器的秤體或料斗作用于稱(chēng)重傳感器 , 稱(chēng)重傳感器的彈性體在外力作用下產(chǎn)生彈性變形 , 使粘貼在它表面的電阻應(yīng)變片也隨同產(chǎn)生變形 , 電阻應(yīng)變片變形后 , 它

24、的阻值將發(fā)生變化 (增大或減小 。再經(jīng)相應(yīng)的檢測(cè)電路 , 把這一電阻變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào) (電壓或電流 輸出 , 從而完成將外力變換為電信號(hào)的過(guò)程。設(shè)1R =2R =3R =4R =R當(dāng)受到重力作用后, 傳感器的應(yīng)變片電阻發(fā)生變化, 假設(shè)各橋臂阻值變化相同, 變量為R , 即: 1R 、3R 分別減小R , 2R 、4R 分別增大R 時(shí)可以推出傳感器的輸出電壓為: 0/i U RU R =用稱(chēng)重傳感器就是應(yīng)用了箔式應(yīng)變片及其全橋測(cè)量電路。數(shù)字電子秤實(shí)驗(yàn)原理如圖51。本實(shí)驗(yàn)只做放大器輸出Vo 實(shí)驗(yàn)，通過(guò)對(duì)電路的標(biāo)定使電路輸出的電壓值為重量對(duì)應(yīng)值，電壓量綱（V ）改為重量量綱（g ）即成為一臺(tái)原始電子

25、秤。 圖51 數(shù)字電子稱(chēng)原理框圖第三章 電阻應(yīng)變片的設(shè)計(jì)3.1 應(yīng)變片的工作原理電阻應(yīng)變敏感元件的轉(zhuǎn)換原理是基于導(dǎo)線的電阻-應(yīng)變效應(yīng)。由金屬導(dǎo)體的電阻定律知，對(duì)于長(zhǎng)度為L(zhǎng) 、截面積為A 、電阻率為的金屬絲，其電阻/R L A =結(jié)合材料的泊松比定律，經(jīng)數(shù)學(xué)變換得金屬絲電阻應(yīng)變特性/(12 /x dR R d =+則金屬絲靈敏系數(shù)/(12 s x x dR R d K =+故有/s x R R K =另外由于應(yīng)變片存在橫向效應(yīng)，因而對(duì)于應(yīng)變片/x R R K =其中s K K3.2 應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)選擇應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)形式很多，但其主要組成部分基本相同。其中較為典型的是絲式、箔式和半導(dǎo)體式。3.2.1

26、電阻絲應(yīng)變片此絲式結(jié)構(gòu)應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)圖如圖2所示 圖2 電阻絲應(yīng)變片1基底 2敏感柵 3覆蓋層4引線此絲式結(jié)構(gòu)應(yīng)變片的優(yōu)點(diǎn)：制作簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定、價(jià)格便宜、易于粘貼。缺點(diǎn)：回線式應(yīng)變片橫向效應(yīng)大，而短接式應(yīng)變片焊點(diǎn)多，在沖擊、振動(dòng)條件下，易在焊接處出現(xiàn)疲勞破壞，對(duì)制造工藝的要求高。3.2.2 箔式應(yīng)變片此箔式應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)圖如圖3所示 圖 3 箔式應(yīng)變片結(jié)構(gòu)圖箔式應(yīng)變片結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)：（1）制造技術(shù)能保證敏感柵尺寸準(zhǔn)確、線條均勻，可以制作成任意形狀以適應(yīng)不同的測(cè)量要求；（2）粘合面積大；（3）敏感柵薄而寬，粘結(jié)情況好，傳遞試件應(yīng)變性能好；（4）散熱性能好，允許通過(guò)較大的工作電流，從而增大輸出信號(hào)；（5）敏

27、感柵彎頭橫向效應(yīng)可以忽略；（6）蠕變、機(jī)械滯后較小，疲勞壽命高。缺點(diǎn)：工藝制作有些復(fù)雜。3.2.3半導(dǎo)體應(yīng)變片此半導(dǎo)體應(yīng)變片結(jié)構(gòu)如圖4所示 圖4 半導(dǎo)體應(yīng)變片結(jié)構(gòu)圖1基底 2半導(dǎo)體敏感條 3外引線 4引線連接片 5內(nèi)引線此結(jié)構(gòu)式傳感器優(yōu)點(diǎn)：靈敏系數(shù)大，動(dòng)態(tài)特性好缺點(diǎn)：重復(fù)性及溫度、時(shí)間穩(wěn)定性較差，應(yīng)變時(shí)非線性嚴(yán)重，互換性差?？偨Y(jié)以上典型結(jié)構(gòu)的優(yōu)缺點(diǎn)比較，選擇箔式應(yīng)變片較好，所以我決定選擇箔式應(yīng)變片作為敏感元件，并且選擇如圖5所示結(jié)構(gòu)的箔式應(yīng)變片 圖 5 箔式應(yīng)變片結(jié)構(gòu)圖3.3 應(yīng)變片的材料選擇電阻應(yīng)變計(jì)主要由電阻敏感珊、基底和面膠(或覆蓋層 、粘結(jié)劑、引出線五部分組成?；资菍鞲衅鲝椥泽w表面

28、的應(yīng)變傳遞到電阻敏感柵上的中間介質(zhì)，并起到敏感柵和彈性體之間的絕緣作用，面膠起著保護(hù)敏感柵的作用，粘結(jié)劑是將敏感柵和基底粘接在一起，引出線是作為聯(lián)接測(cè)量導(dǎo)線之用。電阻敏感柵可以將應(yīng)變量轉(zhuǎn)換成電阻變化。應(yīng)變計(jì)結(jié)構(gòu)如圖6所示 圖 6 所選應(yīng)變片結(jié)構(gòu)圖1覆蓋層 2基底 3引線 4粘合劑 5敏感柵3.3.1 電阻敏感柵材料選擇敏感柵合金材料的選擇對(duì)制造電阻應(yīng)變計(jì)性能好壞起著決定性的作用，因此它的材料選擇要求如下：（1）有較高的靈敏系數(shù)，并且在較大的應(yīng)用范圍內(nèi)保持不變；（2）有高的和穩(wěn)定的電阻率；（3）電阻溫度系數(shù)小，電阻溫度間的線性關(guān)系和重復(fù)性好，并有足夠的熱穩(wěn)定性；（4）機(jī)械強(qiáng)度高，加工性能和焊接性

29、能良好，與引線材料接觸電勢(shì)?。唬?）電阻變化率/R R 與機(jī)械應(yīng)變具有良好而又寬廣的線性關(guān)系；（6）抗氧化、腐蝕性能強(qiáng)，無(wú)明顯機(jī)械滯后。目前沒(méi)有一種金屬材料能滿(mǎn)足上述全部要求。因此在選用時(shí)，只能給予綜合考慮，常用的電阻合金大致有以下幾種：康銅、鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金、鐵鎳鉻合金、貴重金屬等。通過(guò)查閱資料以及對(duì)這幾種材料的性能、成本對(duì)比，我選擇康銅作為敏感柵材料?？点~的性能如下:合金成分/ %：Cu55,Ni45 靈敏系數(shù)Ks ：1.92.1電阻率：0.450.54 電阻溫度系數(shù): ±20*10-6線膨脹系數(shù): 15*10-6 對(duì)銅熱電勢(shì)/V/: 43最高使用溫度/: 靜態(tài):250 動(dòng)態(tài)

30、:400選康銅作敏感材料的理由如下：首先這種材料最為常用, 電阻溫度系數(shù)小且穩(wěn)定，同時(shí)它的Ks 值對(duì)應(yīng)變值的穩(wěn)定性高。不但在變形的彈性范圍內(nèi)Ks 值保持不變，在進(jìn)入塑性范圍后，亦基本保持為常數(shù)。所以用康銅作為敏感柵的應(yīng)變計(jì)靈敏系數(shù)K=2，且其測(cè)量范圍大。同時(shí)對(duì)康銅用不同的方法加工，不同的熱處理，或者改變合金成分的比例，可以改變它的電阻溫度系數(shù)(由負(fù)值到正值 ，利用這一特性可以制造溫度補(bǔ)償電阻應(yīng)變計(jì)。而且該材料制作的應(yīng)變片尤適合長(zhǎng)時(shí)間、大應(yīng)變測(cè)量。3.3.2 基底、引出線材料選擇基底的作用是固定應(yīng)變計(jì)的敏感柵，使它保持一定的幾何形狀，并使電阻敏感柵與彈性元件相互絕緣。應(yīng)變片基底越厚，基底材料彈性

31、模量越小，引起的蠕變?cè)酱?。通常選用基底薄、基底材料的彈性模量較高的應(yīng)變片，取基底厚度為0.030.05mm 。對(duì)基底材料性能的要求是：（1）機(jī)械強(qiáng)度高，撓性好；（2）粘貼性能好；（3）電絕緣性能好；（4）熱穩(wěn)定性和抗?jié)裥院?；?）無(wú)滯后和蠕變。玻璃纖維增強(qiáng)基底應(yīng)變計(jì)長(zhǎng)期穩(wěn)定性好、蠕變小、滯后小、耐熱性好、疲勞壽命高，最適用于高精度測(cè)力或稱(chēng)重傳感器上，因而我們選用玻璃纖維布作為基底材料。 引出線是連接敏感柵和測(cè)量線路的絲狀或帶狀的金屬導(dǎo)線，一般要求引出線材料具有低的穩(wěn)定的電阻率及小的電阻溫度系數(shù)。常溫應(yīng)變計(jì)引出線多用鍍銀紫銅絲或銅帶。引出線與敏感柵的連接，可以用錫焊、電弧焊、電接觸焊等。我選用了

32、康銅材料的敏感柵，且其使用條件無(wú)特殊要求，故采用銀銅作引出線。3.4 應(yīng)變片的參數(shù)3.4.1 應(yīng)變片基長(zhǎng)為了使測(cè)量誤差減小，將00sin /l l 展開(kāi)為級(jí)數(shù)，并略去高階小量后，可得22001166l l f e = 粘貼在一定材料試件（為常量）上的應(yīng)變片，對(duì)正弦波的響應(yīng)誤差隨柵長(zhǎng)0l 和頻率f 的增加而增大。因而在設(shè)計(jì)、應(yīng)用應(yīng)變片時(shí)，就可按上式給定的e 、0l 、f 三者的關(guān)系，根據(jù)給定的精度e ，來(lái)確定合理的0l 或工作頻率max f ，即 0max l l <=或max f < 其基長(zhǎng)0l 應(yīng)盡量選取短的，這樣可以更真實(shí)地測(cè)出被測(cè)部位的應(yīng)變值，以提高測(cè)量精度。對(duì)于鋼材，500

33、0/m s =，若令精度0.5%e =，最高工作頻率max 25f kHz =代入上式可得max 1.1l cm = 故我取應(yīng)變片柵長(zhǎng)01l cm =。3.4.2應(yīng)變片的電阻值應(yīng)變片的電阻值是指未安裝的應(yīng)變片，在不同的外力作用下，在室溫條件下測(cè)定的電阻值，也稱(chēng)為原始電阻值，單位為。應(yīng)變片電阻值國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)有：60、120、350、600和1000等各種阻值，目 前傳感器生產(chǎn)中大多數(shù)選用120 或350 的應(yīng)變片，但是由于大阻值應(yīng)變片具有通過(guò)電流小、自熱引起的溫升低、持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)、動(dòng)態(tài)測(cè)量信噪比高等優(yōu)點(diǎn)，并且大阻值應(yīng)變片可以減小應(yīng)變焦耳熱引起的零漂，提高傳感器長(zhǎng)期使用的穩(wěn)定性。因此，在考慮價(jià)格因素

34、的前提下，使用大阻值應(yīng)變片，對(duì)提高傳感器精度是有益的。我選用阻值為120的應(yīng)變片。3.4.3 應(yīng)變片的絕緣電阻、允許電流、應(yīng)變極限絕緣電阻是指敏感柵與基底之間的電阻值，絕緣電阻的降低將導(dǎo)致測(cè)量靈敏度的下降，并帶來(lái)測(cè)量誤差，產(chǎn)生零點(diǎn)漂移等。因而要盡量選用基底絕緣性能好的應(yīng)變計(jì)和粘結(jié)劑以提高絕緣電阻。絕緣電阻值一般大于1010。允許電流是指不因電流產(chǎn)生熱量影響測(cè)量精度，應(yīng)變片允許通過(guò)的最大電流。它與應(yīng)變本身、試件、粘結(jié)劑和環(huán)境等有關(guān)。要根據(jù)應(yīng)變片的阻值和應(yīng)用的電路等情況來(lái)計(jì)算。為了保證測(cè)量精度在靜態(tài)時(shí)允許電流一般為25mA ，在動(dòng)態(tài)測(cè)量時(shí)允許電流可達(dá)75100mA ，箔式應(yīng)變片允許電流較大。應(yīng)變極

35、限對(duì)于已安裝好的應(yīng)變計(jì)，在一定溫度下，指示應(yīng)變與被測(cè)試件真實(shí)應(yīng)變的相對(duì)誤差不超過(guò)一定值（一般為10%時(shí)，所能測(cè)量的最大真實(shí)應(yīng)變值稱(chēng)為應(yīng)變極限。我們要求應(yīng)變片的應(yīng)變極限至少要大于1000×10-6。3.5傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：圖（1-1）設(shè)計(jì)成剪切梁式結(jié)構(gòu)，如圖（1-1）所示：對(duì)于一般的彈性傳感器，當(dāng)承受載荷時(shí)，梁就會(huì)產(chǎn)生彎曲，圖(1-2指出了剪力和彎矩圖，梁上產(chǎn)生的正應(yīng)力正比梁的彎矩，而彎矩又正比于梁受力的作用點(diǎn)的距離因此對(duì)于一般彈性量而言，力作用電位置變化會(huì)引起測(cè)量誤差。而剪切梁式由于測(cè)量它的且應(yīng)變，而切應(yīng)變與切力成正比, 而切力在梁上是常量，與彎矩?zé)o關(guān)，所以力作用點(diǎn)的位置發(fā)生變化不影響

36、傳感器輸出。 圖（1-2）彈性應(yīng)變梁的剪力和彎矩1、線性好，精度高。輸出信號(hào)不受測(cè)力點(diǎn)位置變化的影響。 2、高度低，重量輕，體積小，易于安裝和維修。 3、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于密封。 4、抗測(cè)向力強(qiáng)。3.6彈性元件設(shè)計(jì)3.6.1 材料選擇：衡量彈性元件材料基本性能的主要指標(biāo)是彈性?xún)?chǔ)能（也叫應(yīng)變能）。彈性?xún)?chǔ)能它表示彈性材料吸收變形功而不發(fā)生永久變形的能力，即材料變形后儲(chǔ)存于材料內(nèi)的應(yīng)變能。其大小為(1/2×e e 1/2×(e 2/E (1-1 式中 e 彈性極限 e 彈性極限對(duì)應(yīng)的應(yīng)變 1、比值e 2/E越大越好。e高則彈性變形范圍大，低則在同樣載荷下可獲得較大變形。同時(shí)，對(duì)彈性元

37、件材料性能的要求應(yīng)考慮使用場(chǎng)合。選擇合金結(jié)構(gòu)鋼做彈性元件，E=2.1×10E11pa 抗拉強(qiáng)度為10E9pa 3.6.2材料的熱處理和穩(wěn)定性處理材料需要淬火，回火等一系列熱處理工藝。采用時(shí)效法來(lái)消除殘余內(nèi)力，或采用如溫度100200存放（數(shù)十至數(shù)百小時(shí)）的人工時(shí)效方法 3.6.3彈性元件的設(shè)計(jì) 圖（1-3）工字梁切應(yīng)力分布圖選定H=35mm ; h=24mm ; B=24mm ;取安全系數(shù)n s =1.5 =s /ns =93.3×107 pa 由于選用的是彈簧鋼，泊松比=0.149，所以 /(1+ =81.2×107 pa即 max = 81.2×10

38、7 pa3.6.4主要參數(shù)的設(shè)計(jì)剪切梁式傳感器彈性體的截面為工字梁，梁內(nèi)的切應(yīng)力可根據(jù)材料力學(xué)中的茹拉夫斯基公式計(jì)算：=Qs/Jy b (1-2 工字梁截面 1、2、3點(diǎn)的靜矩S 1=0 (1-3 S 2= (BH2-Bh 2/8 (1-4S 3 =(BH2-Bh 2+bh2/8 (1-5慣性矩為：J y = (BH3-Bh 3+bh3/12 (1-6將靜矩和慣性矩帶入得各點(diǎn)的切應(yīng)力： 1= QS1/Jy B =02=QS2/Jy B = (3Q2(H2-h 2/BH3-Bh 3+bh3 (1-7 2=QS2/Jy b = (3QB/2b (H2-h 2/BH3-Bh 3+bh3 (1-8 3

39、=QS3/Jy b = (3Q/2b (BH2-Bh 2+bh2/BH3-Bh 3+bh3 (1-9 1<2<2<3即max =381.2×107 pa (1-10 解得b 4.13mm最大彎曲內(nèi)應(yīng)力滿(mǎn)足max = M max / W (1-11 工字梁在根部最大彎矩為M max =FL1 (1-12 工字梁斷面系數(shù)W = BH3-Bh 3+bh3 /6H=2.298×10-6 (1-13所以工字梁的最大彎曲應(yīng)為 = 6FL1H / BH3-Bh 3+bh3 = 80.9×107pa (1-14 解得L 1 44.3mm 取L 1=44mm L

40、2=L1-24/232mm其中，max 應(yīng)不大于許用剪切應(yīng)力，可用下式計(jì)算:=+1(N/mm2 大器，它具有阻抗高和能力強(qiáng)等特點(diǎn)，可進(jìn)一步降低漂移，增益公式：A=(1+R4/R5, 改變R 5的阻值可進(jìn)行增益的微調(diào)。改變R 2的阻值可將共模抑制比調(diào)到到最零點(diǎn)。由于R4R5R6決定其增益故采用高精度, 溫度系數(shù)小的多圈型垂直滑動(dòng)電阻器.3.7應(yīng)變片的粘貼應(yīng)變片的選擇：基于應(yīng)變的特點(diǎn)，鉑式應(yīng)變片毫無(wú)疑問(wèn)為設(shè)計(jì)的最佳選擇。選BH-5-120型應(yīng)變片，允許最大應(yīng)變：3000m, 額定電流：30mA, 柵底尺寸：310mm, 外型尺寸：310，系數(shù)2。第四章 傳感器靈敏彈性元件的設(shè)計(jì)4.1 彈性元件的選擇 電阻應(yīng)變式稱(chēng)重測(cè)力傳感器按照彈性元件的受力狀態(tài)可分為拉壓式 柱式、筒式和環(huán)式 、彎曲式梁式和剪切式三類(lèi)。為了改善懸臂梁特性，在提高動(dòng)特性的同時(shí)也增加靈敏度 ,將梁做成各種形狀，以改變其應(yīng)力分布并增強(qiáng)剛度，雙孔梁就是其中有代表性的一種。 雙孔梁的結(jié)構(gòu)如圖7所示, 在板狀梁上有兩個(gè)孔 ,在梁的端部有集中力作用時(shí) ,孔內(nèi)承受彎曲變形。將應(yīng)變片粘貼在孔的內(nèi)壁 ,應(yīng)變片處于相反的應(yīng)力區(qū)內(nèi), 根據(jù)應(yīng)力分布圖可以看出 ,受力點(diǎn)位置變化時(shí) ,一孔的彎矩增加，另一孔的彎矩減小，可在橋路內(nèi)自動(dòng)補(bǔ)償，從而提高了傳感器精度，使用時(shí)對(duì)力點(diǎn)位置的要求也有所降低。圖7 雙孔梁結(jié)構(gòu)圖在稱(chēng)重和