激光干涉儀進(jìn)行角度測量

1、SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速（約6分鐘）、高精度（0.05ppm）、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡 組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相

2、關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀角度測量方法1.1.1.角度測量構(gòu)建并且角度反射鏡和與線性測量原理一樣，角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，角度干涉鏡必須有一個(gè)相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會(huì)導(dǎo)致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生 變化，而光程差的變化會(huì)被 SJ6000激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的 變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。圖16-角度測量原理及測量構(gòu)建圖17-1水平軸俯仰角度測量樣圖圖17-2水平軸偏擺角度測量樣圖1.12角度測量的應(yīng)用1.1.2.1.小角度精密測量激光干涉儀角度鏡能實(shí)現(xiàn)土 10°以內(nèi)的角度精密測量。圖18-小角度測量實(shí)例1.1.2.2.準(zhǔn)直平臺/傾斜工作臺的測量由于角度鏡組的不同安裝方式，其測量結(jié)果代表不同方向的角度值。您可以結(jié)合實(shí)際需要進(jìn)行安裝、測量。圖19-水平方向角度測量圖20-垂直方向角度測量在垂直方向的角度測量中， 角度反射鏡記錄下導(dǎo)軌在不同位置時(shí)的角度值，可由軟件分析導(dǎo)