實驗六 擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的壓力測量實驗_第1頁
實驗六 擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的壓力測量實驗_第2頁
實驗六 擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的壓力測量實驗_第3頁
實驗六 擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的壓力測量實驗_第4頁
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文檔簡介

1、實驗六擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的壓力測量實驗一、實驗?zāi)康模?二、實驗儀器(略) 三、實驗原理在具有壓阻效應(yīng)的半導(dǎo)體材料上用擴(kuò)散或離子注入法，形成4個阻值相等的電阻條。并將它們連接成惠斯通電橋，電橋電源端和輸出端引出，用制造集成電路的方法封裝起來，制成擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器。平時敏感芯片沒有外加壓力作用，內(nèi)部電橋處于平衡狀態(tài)，當(dāng)傳感器受壓后芯片電阻發(fā)生變化，電橋?qū)⑹テ胶猓o電橋加一個恒定電壓源，電橋?qū)⑤敵雠c壓力對應(yīng)的電壓信號，這樣傳感器的電阻變化通過電橋轉(zhuǎn)換成壓力信號輸出。 四、實驗內(nèi)容與步驟(略)6保持負(fù)壓力輸入P2壓力零不變，增大正壓力輸入P1的壓力到0.01MPa，每隔7保持正壓力輸入P1

2、壓力0.095Mpa不變，增大負(fù)壓力輸入P2的壓力，從0.01MPa8保持負(fù)壓力輸入P2壓力0.095Mpa不變，減小正壓力輸入P1的壓力，每隔0.005Mpa9保持負(fù)壓力輸入P1壓力0Mpa不變，減小正壓力輸入P2的壓力，每隔0.005Mpa五、實驗報告1根據(jù)表6-1、6-2、6-3所得數(shù)據(jù)，計算壓力傳感器輸入P（P1-P2）輸出Uo2曲線。計算靈敏度L=U/P，非線性誤差f。六、實驗數(shù)據(jù)處理1最小二乘法計算如下所示：（1）由上圖可得系統(tǒng)靈敏度：S=V/W=0.0466mV/KPa（2）由上圖可得非線性誤差：m =0.204mV(最大的點)yFS=(5.6-1.57)mV=4.03mVf =m /yFS×100%=5.06%2最小二乘法計算如下所示：（1）由上圖可得系統(tǒng)靈敏度：S=V/W=0.0566mV/KPa（2）由上圖可得非線性誤差：m =0.174mV(最大的點)yFS=(4.64+0.08)mV=4.72mVf =m /yFS×100%=3.69%3最小二乘法計算如下所示：（1）由上圖可得系統(tǒng)靈敏度：S=V/W=0.0439mV/KPa（2）由上圖可得非線性誤差：m =0.34mV(最大的點)yFS=(4.36-0.08)mV=4

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