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文檔簡(jiǎn)介
1、降低內(nèi)層開(kāi)短路缺陷工作總結(jié)降低內(nèi)層開(kāi)短路改進(jìn)小組一、 概述 4月中旬內(nèi)層AOI一次送檢不合格率持續(xù)偏高,最高達(dá)到9.86%,影響了生產(chǎn)進(jìn)度及成品率。因此工程部將“內(nèi)層AOI一次送檢不格率降至5%”列入工藝組改進(jìn)項(xiàng)目之一,由林綿鋒先生、張鎮(zhèn)祥先生、周曉煌先生、蔡錦雄先生和林挺先生組成降低內(nèi)層開(kāi)短路改進(jìn)小組,目的是尋找缺陷產(chǎn)生的原因,以便提出針對(duì)性改進(jìn)措施,提高成品率。二、 改進(jìn)方法Ø 檢查貼膜后板面質(zhì)量情況,在缺陷點(diǎn)板邊作標(biāo)記。Ø 檢查曝光后板面質(zhì)量情況,在缺陷點(diǎn)MALAR膜上作標(biāo)記。Ø 蝕刻、AOI檢查后,將板面缺陷對(duì)照MALAR膜上所作的標(biāo)記進(jìn)行分析缺陷產(chǎn)生的原
2、因。Ø 采取針對(duì)性改進(jìn)措施。內(nèi)層開(kāi)短路材料環(huán)境1板面樹(shù)脂點(diǎn)2板面凹陷、劃傷3板面銅瘤4CCL磨板板面擦傷干膜房潔凈度度法設(shè)備操作1前處理效果差2貼膜溫度低3干膜被壓傷4曝光雜物多5顯影液濃度高6顯影液添加量不足7點(diǎn)檢不完善1除塵效果差3壓輥擦傷4傳送輥老化5曝光能量不均勻6曝光機(jī)真空度不足7顯影段入口視線(xiàn)差2貼膜溫度變化大8蝕刻循環(huán)量小9ACS搖擺效果差差1磨板貼膜速度快2壓輥清潔不凈3菲林曝光框清潔不凈4放板超出范圍5參數(shù)超出范圍6沖板不規(guī)范三、 內(nèi)層開(kāi)短路原因 四、 改進(jìn)措施1 材料Ø 由于內(nèi)層火山灰前處理無(wú)法除去板面的銅瘤、樹(shù)脂點(diǎn)、殘膠等板面雜物(導(dǎo)致內(nèi)層板件缺陷率高
3、的原因之一),所以只能通過(guò)適當(dāng)提高貼膜溫度及壓輥壓力來(lái)部分抵減板面雜物對(duì)質(zhì)量的影響。Ø 規(guī)定板件在CCL磨板時(shí)只能使用800目的砂帶紙,減少板面擦傷。2 環(huán)境:干膜房潔凈度是決定產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一,因此每周保養(yǎng)時(shí)工序都投入了大量的人力進(jìn)行清潔,注意清潔每一角落,減少不必要物品。每周保養(yǎng)后由改進(jìn)小組驗(yàn)收合格后方可生產(chǎn)。干膜房潔凈度的提高為產(chǎn)品合格率的提升奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。3 方法Ø 提高前處理質(zhì)量² 提高火山灰濃度:要求將火山灰濃度控制在15-20%。² 提高磨板壓力:要求將磨痕控制在12-15mm。² 改進(jìn)磨板機(jī)水洗過(guò)濾裝置,提高過(guò)濾效果。
4、Ø 提高貼膜機(jī)壓輥溫度,減少貼膜不良。 4月份我重點(diǎn)跟進(jìn)了貼膜機(jī)壓輥溫度的變化情況,初步掌握了壓輥溫度變化規(guī)律。經(jīng)過(guò)反復(fù)校正、驗(yàn)證,對(duì)貼膜機(jī)溫度暫作如下規(guī)定:² 杜邦713干膜:線(xiàn)寬/間距大于4mil,溫度設(shè)定值為115;線(xiàn)寬/間距小于等于4mil的細(xì)線(xiàn)路板件,溫度設(shè)定值為118。² 日立HF240干膜、杜邦PM115、PM120干膜:溫度設(shè)定值為118。經(jīng)過(guò)采取上述措施,貼膜不良缺陷明顯得到控制。Ø 改進(jìn)干膜房放板裝置:針對(duì)目前干膜房放置板件的放板車(chē)、放板框因不規(guī)范而導(dǎo)致壓傷干膜的情況,通過(guò)在放板車(chē)、放板框上增置一塊18*22英寸的PVC板,既有效地消
5、除了干膜被壓傷,又節(jié)約了改造成本。Ø 規(guī)定手動(dòng)曝光操作規(guī)范:對(duì)線(xiàn)寬/間距大于6mil的板件,在用趕氣輥均勻趕氣之后,必須用除塵粘輥清潔MALAR面,降低半自動(dòng)曝光機(jī)生產(chǎn)板件的不良率。Ø 降低碳酸鈉開(kāi)缸量:原有顯影液開(kāi)缸量偏高,顯影液濃度較高,容易導(dǎo)致顯影過(guò)度。經(jīng)過(guò)驗(yàn)證,將碳酸鈉開(kāi)缸量從原來(lái)的9公斤降低為6公斤。Ø 增加碳酸鈉補(bǔ)充添加量:原碳酸鈉補(bǔ)充添加量為每生產(chǎn)40塊板件添加20秒,經(jīng)計(jì)算,該添加量下顯影液能力接近滿(mǎn)負(fù)荷,因此將添加量修改為每生產(chǎn)20塊板件添加20秒,提高顯影能力。Ø 采取顯影槽保養(yǎng)時(shí)關(guān)掉溢流裝置,顯影槽、蝕刻槽保養(yǎng)后必須用高壓水沖洗槽壁
6、等措施,完善保養(yǎng)規(guī)程,提高保養(yǎng)質(zhì)量。Ø 蝕刻過(guò)濾芯更改為碳芯,有效吸咐蝕刻液中的有機(jī)雜物,減少銅點(diǎn)。Ø 繼續(xù)完善現(xiàn)場(chǎng)點(diǎn)檢記錄,提高了點(diǎn)檢的針對(duì)性、有效性,效果顯著。4 設(shè)備Ø 保養(yǎng)時(shí)將除塵膠棍送返磨,提高除塵效果;更換HAKUTA貼膜前已老化的傳送膠輪;更換HAKUTA高效過(guò)濾箱的磨刷。Ø HAKUTA貼膜機(jī)加熱棒涂導(dǎo)熱膠,提高加熱均勻性。Ø 修補(bǔ)HAKUTA熱壓輥表面凹陷后貼膜仍有小氣泡,已更換熱壓輥。Ø 每周兩次用能量計(jì)校正曝光機(jī)能量,保證曝光能量穩(wěn)定,減少曝光不良。Ø 更換真空接口,提高AX28自動(dòng)曝光機(jī)的真空度(小于
7、-10 inHg),減少曝光不良。Ø 改進(jìn)顯影段入口的蓋板裝置,減少疊板。Ø 更換ACS線(xiàn)蝕刻機(jī)過(guò)濾系統(tǒng),加大蝕刻液的循環(huán)量,提高蝕刻質(zhì)量。Ø 更換ACS酸蝕線(xiàn)傳送桿鎖緊螺絲,減少傳送故障。5操作Ø 增加崗位操作可視化,規(guī)范各崗位操作。Ø 搜集相關(guān)缺陷圖片,由工藝總結(jié)生產(chǎn)操作中應(yīng)注意的事項(xiàng),結(jié)合近期公司推廣應(yīng)用六西格瑪,對(duì)內(nèi)層員工針對(duì)性地進(jìn)行操作培訓(xùn)。Ø ACS線(xiàn)沖板區(qū)增加管位裝置,完善防呆措施。五、 改進(jìn)結(jié)果經(jīng)過(guò)生產(chǎn)、設(shè)備、工藝人員的共同努力,內(nèi)層各項(xiàng)不合格率逐漸下降(如下圖):第25周內(nèi)層板件一次送檢不合格率為3.02%,比第21
8、周下降了6.84%,其中開(kāi)路、缺口及短路缺陷比例分別為2.14%及0.45%,分別比第21周下降了4.92%及2.91%,改進(jìn)效果較好。六、 改進(jìn)小組工作總結(jié)1 運(yùn)用科學(xué)方法尋找缺陷產(chǎn)生原因。 以往分析缺陷來(lái)源習(xí)慣于根據(jù)缺陷的類(lèi)型、特征分析造成缺陷的來(lái)源,由于造成同一缺陷往往有多種可能原因,所以原有的方法并不能保證所作出的判斷百分之百準(zhǔn)確。本次改進(jìn)活動(dòng)中,在杜邦公司鄧文先生的幫助下,采用上述第二點(diǎn)所提到的分析方法,對(duì)每一制程進(jìn)行驗(yàn)證、分析,準(zhǔn)確找到了缺陷產(chǎn)生的真正原因,從而能對(duì)癥下藥,效果明顯。2 注重凈化房的清潔工作。 凈化房的潔凈度是影響產(chǎn)品質(zhì)量的最關(guān)鍵因素之一,在每周保養(yǎng)時(shí)內(nèi)層工序都注意
9、投入大量的人力徹底清潔凈化房每一角落,提高凈化房的潔凈度,從而為不良率的下降奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。3 主動(dòng)管理。 六西格瑪要求我們?cè)谑虑榘l(fā)生之前就采取行動(dòng),而不是在事后才作出反應(yīng),在工作中要經(jīng)常詢(xún)問(wèn)作事的理由而不是因?yàn)閼T例就盲目地遵循。 例如在改進(jìn)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)貼膜溫度偏低(約85-90),于是將貼膜溫度提高了15,在此過(guò)程中有部分人感到疑惑不解:以往一直按此貼膜溫度操作,貼膜質(zhì)量挺好的,何必多此一舉?由于干膜在110±10的溫度下流動(dòng)性較好,與銅面之間的結(jié)合力較強(qiáng),可以有效減少貼膜不良,所以必須提高貼膜溫度而不是拘泥于慣例就盲目使用原有貼膜溫度。事實(shí)證明,在提高貼膜溫度之后,貼膜不良缺陷已
10、明顯減少。所以在今后生產(chǎn)管理中,我們需要關(guān)注經(jīng)常被忽略的動(dòng)作細(xì)節(jié),養(yǎng)成動(dòng)態(tài)的、預(yù)防的、積極的良好管理習(xí)慣。4 確保關(guān)鍵參數(shù)的穩(wěn)定性。只有確保關(guān)鍵參數(shù),如貼膜溫度、曝光能量、曝光真空度等參數(shù)的穩(wěn)定,才可以保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。 5 加強(qiáng)員工操作培訓(xùn)。 針對(duì)內(nèi)層工序新員工多且操作經(jīng)驗(yàn)不足,經(jīng)常因誤操作面導(dǎo)致板件出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題的實(shí)際情況,在搜集相關(guān)缺陷圖片的基礎(chǔ)上,由工藝總結(jié)了生產(chǎn)操作中應(yīng)注意的事項(xiàng),結(jié)合近期公司推廣應(yīng)用六西格瑪,對(duì)內(nèi)層員工針對(duì)性地進(jìn)行操作培訓(xùn),要求員工將六西格瑪?shù)睦砟钸\(yùn)用到生產(chǎn)中,在乎生產(chǎn)中的每一件事,第一次就把事情做對(duì),養(yǎng)成良好的操作習(xí)慣,敢干創(chuàng)新,提升良品率,從而使得內(nèi)層工序連續(xù)幾
11、周AOI一次送檢不合格率持續(xù)下降。6 協(xié)力合作無(wú)界限。 本次改進(jìn)項(xiàng)目所取得的成果是與改進(jìn)小組的精誠(chéng)合作分不開(kāi)的,改進(jìn)小組組成了一個(gè)六西格瑪團(tuán)隊(duì),協(xié)力合作,為實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目的目標(biāo)而共同努力。 7 運(yùn)用六西格瑪管理方法,不斷完善現(xiàn)場(chǎng)點(diǎn)檢記錄。 根據(jù)楊曉新經(jīng)理關(guān)于“6sigma管理方法與現(xiàn)場(chǎng)管理”專(zhuān)題講座,改進(jìn)小組共同討論現(xiàn)場(chǎng)點(diǎn)檢記錄表,運(yùn)用六西格瑪管理方法,針對(duì)生產(chǎn)的實(shí)際情況對(duì)點(diǎn)檢記錄作進(jìn)一步完善,從而明顯提高了點(diǎn)檢的針對(duì)性、有效性,效果顯著。七、 存在問(wèn)題:1 銅點(diǎn)致短路占最后內(nèi)層報(bào)廢比例較高。2 ACS線(xiàn)蝕刻段搖擺故障率較高,影響了蝕刻質(zhì)量。3 AX28曝光不良仍偶有發(fā)生。4 部分員工操作經(jīng)驗(yàn)仍不足,質(zhì)量不穩(wěn)定。八、 工作計(jì)劃1 針對(duì)銅點(diǎn)缺陷導(dǎo)致目前高多層板件內(nèi)層短路報(bào)廢比例大的的情況,計(jì)劃于七月份完成以下工作:Ø 分析銅點(diǎn)產(chǎn)生的原因。Ø 考究顯影液PH值對(duì)顯影質(zhì)量的影響。Ø 驗(yàn)證ACS線(xiàn)顯影過(guò)濾系統(tǒng)的有效性。Ø 測(cè)試ACS線(xiàn)的顯
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