分子泵維修常見(jiàn)問(wèn)題故障(共4頁(yè))

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上查找故障 故障現(xiàn)象 檢查 操作 系統(tǒng)通電時(shí)，LED沒(méi)有閃爍0.5秒 電源是否出現(xiàn)故障 確保電源已打開(kāi)并且保險(xiǎn)絲（及限流設(shè)備）未松開(kāi)。 發(fā)送并行“啟動(dòng)”命令后泵不旋轉(zhuǎn) 檢查電源是否打開(kāi)并且故障輸出是否活動(dòng) 如果有故障信號(hào)，應(yīng)檢查橙色狀態(tài)LED是否閃爍。如果出現(xiàn)閃爍，則應(yīng)參見(jiàn)章節(jié)5.5.1.如果電源已打開(kāi)、沒(méi)有故障信號(hào)并且轉(zhuǎn)軸任然不旋轉(zhuǎn)，則表示泵出現(xiàn)故障。 發(fā)送串行“啟動(dòng)”命令后泵不旋轉(zhuǎn) 檢查泵是否回復(fù)“啟動(dòng)”命令 如果沒(méi)有回復(fù)，則應(yīng)檢查串行通信鏈接是否通電并且“串行啟用”是否激活以及電源是否打開(kāi)。檢查橙色狀態(tài)LED是否閃爍。 泵在多站模式下不響應(yīng) 檢查是否啟用多站模式

2、確保泵有多站地址并且使用多站協(xié)議發(fā)送命令。 橙色狀態(tài)LED閃爍錯(cuò)誤代碼 注意每個(gè)序列6下閃爍中長(zhǎng)閃爍的位置，以解讀錯(cuò)誤代碼。 查閱相關(guān)錯(cuò)誤代碼并按照所提供的說(shuō)明進(jìn)行操作 運(yùn)行時(shí)額定LED不亮或泵沒(méi)有以全速旋轉(zhuǎn)或泵出現(xiàn)故障 入口壓力是否過(guò)高？ 如果是這樣，應(yīng)減小抽取負(fù)載或檢查系統(tǒng)是否有大泄漏。   泵運(yùn)行時(shí)是否太熱？ 增加泵的冷卻?？赡苄枰獜耐L(fēng)冷卻變成水冷?？赡苄枰龃罄鋮s水流量或降低水溫或同時(shí)采取這兩種措施。檢查外部熱源確保沒(méi)有輻射過(guò)多熱量。   轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)是否順暢？ 如果不是，泵軸承可能已損壞。 無(wú)法達(dá)到極限壓力 壓力是否因水蒸氣而受限？ 烘烤系統(tǒng)和泵。   是

3、否任何真空壓力表有污物？ 如果是這樣，應(yīng)清潔或更換。   抽取速度是否不足（由于泵和壓力表接觸不良或中間有太大的腔）？ 使其接觸良好或減小體積。   層間入口壓力是否>0.5mbar(50pa) 如果層間入口壓力太大，渦輪分子泵上的入口壓力會(huì)增大；應(yīng)確保層間入口壓力<0.5mbar(50 pa)。   前級(jí)壓力是否>10mbar? 如果是這樣，前級(jí)壓力可能太大。檢查后備管道是否有泄漏。如果對(duì)處理能力要求較高，則可能需要更大的后備泵。   系統(tǒng)的高真空區(qū)域是否有污物？ 如果是這樣，應(yīng)清潔高真空系統(tǒng)。   檢查系統(tǒng)的其它部分是否有泄漏或污物。 如果發(fā)現(xiàn)有，則應(yīng)修補(bǔ)泄漏處并清除污物。 泵噪音很大或振動(dòng)過(guò)大或兩種情況同時(shí)出現(xiàn) 泵轉(zhuǎn)速與所連接系統(tǒng)的共振頻率是否相同？ 如果是這樣，則應(yīng)更改系統(tǒng)的固有頻率或使用活動(dòng)風(fēng)箱隔離泵。   震動(dòng)是從轉(zhuǎn)動(dòng)的后備泵傳遞過(guò)來(lái)的嗎？ 如果是這樣，則應(yīng)在后備線(xiàn)路中安裝活動(dòng)風(fēng)箱或隔振器。   噪音是不是不規(guī)則并且越來(lái)越糟糕？ 如果是