
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1、真空泵參數(shù)的計(jì)算公式總匯發(fā)布日期:2010-1-30 8:37:48 點(diǎn)擊數(shù):249真空泵主要參數(shù)為抽氣速率與真空度,但了解這些公式將有助于客戶朋友更準(zhǔn)確地選到自己理想中的真空泵。 1、玻義爾定律體積V,壓強(qiáng)P,P·V常數(shù)一定質(zhì)量的氣體,當(dāng)溫度不變時(shí),氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。即P1/P2V2/V12、蓋·呂薩克定律當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,其體積V與絕對(duì)溫度T成正比:V1/V2T1/T2常數(shù)當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或P降低)1,則它的體積比原來(lái)增加(或縮小)1/273。3、查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變,一定質(zhì)
2、量的氣體,壓強(qiáng)P與其絕對(duì)溫度T成正比,即:P1/P2T1/T2在一定的體積下,一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或降低)1,它的壓強(qiáng)比原來(lái)增加(或減少)1/273。4、平均自由程:(5×10-3)/P (cm)5、抽速:Sdv/dt (升/秒)或 SQ/PQ流量(托·升/秒) P壓強(qiáng)(托)V體積(升) t時(shí)間(秒)6、通導(dǎo): CQ/(P2-P1) (升/秒)7、真空抽氣時(shí)間:對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式:t8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式)V為體積,S為抽氣速率,通常t在510分鐘內(nèi)選擇。 8、維持泵選擇:S維S前/109、擴(kuò)散泵抽速估算:S3D2 (D直徑cm)10、羅茨泵的前級(jí)抽速:
3、S(0.10.2)S羅 (l/s)11、漏率:Q漏V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)V系統(tǒng)容積(l)P1真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)P2真空室經(jīng)過(guò)時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)t壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過(guò)的時(shí)間(s)12、粗抽泵的抽速選擇:SQ1/P預(yù) (l/s)·lg(Pa/P預(yù))/tS機(jī)械泵有效抽速Q(mào)1真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)P預(yù)需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)V真空系統(tǒng)容積(升)t達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間Pa大氣壓值(托)13、前級(jí)泵抽速選擇:排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時(shí)需要前
4、級(jí)泵來(lái)維持其前級(jí)壓力低于臨界值,選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面流量恒等的原則有:PnSgPgS 或SgPgs/PnSg前級(jí)泵的有效抽速(l/s)Pn主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s)Pg真空室最高工作壓強(qiáng)(托)S主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式:SQ/P(K·n)/(P·t)(升/秒)式中:S被試泵的抽氣速率(l/s)n滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒)P在泵口附近測(cè)得的壓強(qiáng)(托)K滴管系數(shù)(托·升/秒)KV0·(L/n)·(0/m)+PaVt其中V0滴管和真空膠管的原始容積(升)L滴管刻度部分的長(zhǎng)度(mm)n滴管刻度部分的格數(shù)(格)0油的比重(克/厘米3)m汞的比重(克/厘米3)Pa當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)Vt滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積(升/格)15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式:SZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)式中:Z為旋片數(shù),n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分),L為泵腔長(zhǎng)度,D為泵腔直徑,d為轉(zhuǎn)子直徑(cm),Kv為容積利用系數(shù)(一般取95)。16、O型橡膠槽深BD為橡膠直徑,槽寬C17、方形橡膠槽深BA為方形橡膠邊長(zhǎng),槽寬C
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