飽和水蒸汽的壓力與溫度的關系

1、飽和水蒸汽的壓力與溫度的關系（摘自范仲元："水和水蒸氣熱力性質圖表"p410）溫度C22242628303234363840水蒸氣壓力MPa0.002640.002980.003360.003780.004240.004750.005320.005940.006620.00738相應真空度MPa0.098690.098350.097970.097550.097090.096580.096010.095390.094710.09395溫度C42444648505254565860水蒸氣壓力MPa0.008200.009100.010090.011160.012340.0136

2、10.015000.016510.018150.01992相應真空度MPa0.093130.092230.091240.090170.088990.087720.086330.084820.083180.08141溫度C62646668707274767880水蒸氣壓力MPa0.021840.023910.026150.028560.031160.033960.036960.040190.043650.04736相應真空度MPa0.079490.077420.075180.072770.070170.067370.064370.061140.057680.05397溫度C82848688909

3、2949698100水蒸氣壓力MPa0.051330.055570.060110.064950.070110.075610.081460.087690.094300.10133相應真空度MPa0.050000.045760.041220.036380.031220.025720.019870.013640.007030溫度C102104106108110112114116118120水蒸氣壓力MPa0.108780.116680.125040.133900.143270.153160.163620.174650.186280.19854溫度C12212412612813013213413613

4、8140水蒸氣壓力MPa0.211450.225040.239330.254350.270130.278310.304070.322290.341380.36138真空計算常用公式1、玻義爾定律體積V,壓強P,P-V=常數(shù)（一定質量的氣體，當溫度不變時，氣體的壓強與氣體的體積成反比。即P1/P2=V2/V1）2、蓋呂薩克定律當壓強P不變時，一定質量的氣體，其體積V與絕對溫度T成正比：（V1/V2=T1/T2=常數(shù)）當壓強不變時，一定質量的氣體，溫度每升高（或P降低）1C,則它的體積比原來增加（或縮?。?/2733、查理定律當氣體的體積V保持不變，一定質量的氣體，壓強在一定的體積下，一定質量的氣

5、體，溫度每升高4、平均自由程：人=（5X10-3）/P（cm）5、抽速：S=dv/dt（升/秒）或S=Q/PQ=流量（托,升/秒）P=壓強（托）=體積（升）t6、通導：C=Q/（P2-P1）（升/秒）7、真空抽氣時間：對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式：t=（V為體積，S為抽氣速率，通常8、維持泵選擇：S維=5前/10P與其他絕對溫度T成正比，即：P1/P2=T1/T2（或降低）1C,它的壓強比原來增加（或減少）1/273=時間（秒）8V/S（經驗公式）t在510分鐘內選擇。）9、擴散泵抽速估算:3D2（D=直徑cm）10、羅茨泵的前級抽速：S=(0.10.2)S羅(l/s)11、漏率：Q漏=V

6、(P2-P1)/(t2-t1)Q漏一系統(tǒng)漏率(mmHgl/s)V系統(tǒng)容積(l)P1真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(mmHg)P2真空室經過時間t后達到的壓強(mmHg)t壓強從P1升到P2經過的時間(s)12、粗抽泵的抽速選擇：S=Q1/P預(l/s)S=2.3V-lg(Pa/P預)/tS機械泵有效抽速Q1真空系統(tǒng)漏氣率(托升/秒)P預需要達到的預真空度(托)V真空系統(tǒng)容積(升)t達到P預時所需要的時間Pa大氣壓值(托)13、前級泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走

7、，根據管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg>PgS或Sg>Pgs/PnSg前級泵的有效抽速(l/s)Pn主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(l/s)Pg真空室最高工作壓強(托)S主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)14、擴散泵抽速計算公式：S=Q/P=(K-n)/(P-t)(升/秒)式中：S被試泵的抽氣速率（l/s）n一滴管內油柱上升格數(shù)（格）t油柱上升n格所需要的時間（秒）P在泵口附近測得的壓強（托）K滴管系數(shù)（托升/秒）K=V0-（L/n）（Y0/Ym）+PsAVt其中V0滴管和真空膠管的原始容積（升）L滴管刻度部分的長度（mm）n滴管刻度部分的格數(shù)（格）Y0油的比重（克

8、/厘米3）Ym-汞的比重（克/厘米3）Pa當?shù)卮髿鈮簭姡ㄍ校￢t滴管的刻度上的一格的對應的容積（升/格）15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式：S=TtZnLKv（D2-d2）/（24X104）（l/s）式中：Z為旋片數(shù)，n為轉速（車專I分），L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為轉子直徑（cm）,Kv為容積利用系數(shù)（般取95%）o16、O型橡膠槽深B=0,7DD為橡膠直徑，槽寬C=1.6B17、方形橡膠槽深B=0.8AA為方形橡膠邊長，槽寬C=1.67B選用真空泵時，需要注意下列事項：1 、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1X10-5mmHg勺真空度，選用的真

9、空泵的真空度至少要5X10-6mmHg通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級。2 、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-310-7mmHg在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5X10-45X10-6mmHg因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10-8mmHgf長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHgT工作，但其工彳壓強應小于1x10-5mmH的好。3 、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。4 、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽

10、氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氨，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氧有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。5 、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求6 、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰

11、塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。7 、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外8 、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。9 、真空泵的價格、運轉及維修費用。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定泵工作時，需要注意以下兩個方面：盡可能要求在高效區(qū)內，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域

12、內運行。應避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內運行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內運行，往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產生這種現(xiàn)象的明顯標志是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。根據以上原則，當泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHgX上，可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置。如果只作真空泵用，則選

13、用單作用泵比較好。因為單作用泵的構造簡單，容易制造和維護，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機使用，則選用雙作用的泵比較合適。因為雙作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動平衡，軸不容易產生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長。二、根據系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后，對于真空泵，還要根據系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。關于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照我公司網頁面對各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機，我們特將其各自特點收集如下，以利于用戶選型代號主要特點極限真空度mmHg工作真空度mmHg抽速范圍m/min密封形式sk國內設計單級水環(huán)真空泵，結構簡單、維修方便。目

14、前國內主流的低真空水環(huán)式真空泵。-700-300-6500.15120盤根、機械密封2sk國內設計雙級水環(huán)真空泵，相當于兩臺SK水環(huán)泵串聯(lián)使用，比較單級水環(huán)泵具有真空度高及高真空下抽速較大的特點。目前國內主流水環(huán)式真空泵。-735-300-7001.5-30盤根、機械密封2BV采用西門子先進技術，機泵同軸，結構緊湊，效率高，真空度高，性能穩(wěn)定，將逐漸替代SK、2SK系列0.46m3/min抽速的水環(huán)真空泵。-735-300-7000.458.33機械密封2BE1采用西門子先進技術，效率高，真空度高，性能穩(wěn)定，將逐漸替彳SK2SK系列6120m3/min抽速的水環(huán)真空泵。-735-640-300-700-300-6005-400盤根、機械密封SZ50年代蘇聯(lián)技術，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要應用于老用戶。-640-700