靜電防護(hù)管理規(guī)范最新版

1、文件名：靜電防護(hù)管理規(guī)范 文件編號(hào)： 第 19 頁 共 19頁 靜電防護(hù)管理規(guī)范 文件編號(hào)：版 本：V3.0生效日期：2013-03-20文件修訂履歷版次V0V1V1.1V1.2V1.3V2V2.11、V2.2V2.3V2.4V2.5V2.6V3.0部門CS部有份數(shù)11 目的防止靜電對(duì)靜電敏感器件造成早期損壞或縮短使用壽命；使ESD防護(hù)工作具有較強(qiáng)的可操作性。2 適用范圍從靜電敏感器件進(jìn)貨到產(chǎn)品形成的全過程3 定義31靜電放電（ESD）處于不同電位的兩個(gè)物體之間，由于直接接觸或者電場(chǎng)感應(yīng)導(dǎo)致的電荷傳輸。32靜電敏感器件（ESDS）在常規(guī)處理、測(cè)試或運(yùn)輸中可能會(huì)受到靜電場(chǎng)或者靜電放電損害的分立器

2、件、集成電路或組件。33靜電的發(fā)生及帶電331靜電的定義：物質(zhì)是由分子組成，分子是由原子組成，原子是構(gòu)成一切化學(xué)元素的最小微粒，由帶正電的原子核和帶負(fù)電的圍繞原子核旋轉(zhuǎn)的電子組成。在正常狀況下，原子所帶的正負(fù)電荷相等，所以對(duì)外表現(xiàn)出電中性。但是在某種條件下，當(dāng)物質(zhì)原子中的這種電平衡狀態(tài)被打破，丟失或獲得電子，物質(zhì)即由電中性狀態(tài)改變?yōu)閹щ姞顟B(tài)。丟失電子，則表現(xiàn)為帶正電；獲得電子，則表現(xiàn)為帶負(fù)電。這種物體表面所帶過?；虿蛔愕南鄬?duì)靜止不動(dòng)電荷，稱之為靜電。332靜電的產(chǎn)生：靜電的產(chǎn)生有多種，這里主要講述與電子制程緊密相關(guān)的接觸起電、感應(yīng)起電、剝離起電、摩擦起電；其它如：粉體帶電、液體靜電、氣體帶電、

3、飛沫帶電、噴出帶電在此不進(jìn)行講述。3321接觸起電：當(dāng)兩種物質(zhì)接觸時(shí)，其間距小于2.510-8cm 時(shí)在其間即發(fā)生電子的轉(zhuǎn)移，界面兩側(cè)出現(xiàn)大小相等，符號(hào)相反的兩種電荷3322感應(yīng)起電：它是導(dǎo)體在外部靜電場(chǎng)作用下，在不同部位表面感應(yīng)出不同符號(hào)的電荷3323剝離起電：兩個(gè)接觸非常緊密的物質(zhì)，在外力作用下突然分開，由于剝離的原因使物體帶電3324摩擦起電：由于摩擦生熱，熱使離子（電子）的活性增加，容易向其他物體轉(zhuǎn)移333靜電的危害333.1對(duì)人體產(chǎn)生電擊：帶了電的人體接近接地體時(shí)，會(huì)由于靜電放電產(chǎn)生的瞬間沖擊電流流過人體某一部位而引起電擊?；蛘呤窃瓉聿粠щ姷娜梭w接近一個(gè)帶電物體時(shí)，帶電物體對(duì)人體放電

4、而引起的電擊。 333.2對(duì)電子組件的損壞：對(duì)組件的損壞大體可分為兩種失效模式：一、突發(fā)性完全失效即一次性擊穿、燒毀，產(chǎn)品在拿取、傳遞、作業(yè)時(shí)由于靜電放電造成的產(chǎn)品完全破壞，永久失效；二、潛在性緩慢失效即靜電放電使產(chǎn)品造成毫無規(guī)律可循的潛在性失效，導(dǎo)致其可靠性下降。34絕緣體與導(dǎo)體34.1絕緣體絕緣體具有大表面電阻率，一般大于或等于1011。產(chǎn)生靜電時(shí)即使接地電荷也不會(huì)泄放到大地，物體仍處于帶電狀態(tài)。 如：普通塑料制品、乙烯等342導(dǎo)靜電體 導(dǎo)體一般表面電阻率102 和105范圍，電荷具有良好的流動(dòng)性，進(jìn)行接地電荷會(huì)大量流向大地，造成大電流而損壞電子元器件或擊傷人體。35防靜電材料定義3.5.

5、1根據(jù)防靜電材料的導(dǎo)電性能，可分為靜電絕緣、耗散、導(dǎo)電、屏蔽四種。靜電絕緣材料：表面電阻率1011；靜電耗散材料：表面電阻率105和1011；靜電導(dǎo)電材料：表面電阻率102和105；靜電屏蔽材料：表面電阻率102；3.5.2 ESD防護(hù)項(xiàng)目的表面電阻的要求 工作表面、存放架、電動(dòng)車、手推車、周轉(zhuǎn)箱、物料盒、周轉(zhuǎn)架、地板、服裝、鞋子、椅子等表面電阻為104 1010； 包裝材料（如：膠袋、膠帶、膠紙、包裝紙、吸塑品等）的表面電阻為：105R1011。36靜電發(fā)生源361 人：人是最大的靜電發(fā)生源。人在作業(yè)過程中的任何操作都可能使人的皮膚、頭發(fā)、衣服等帶上靜電。 362 環(huán)境：地板、工作臺(tái)面、儀器

6、設(shè)備等都是靜電發(fā)生源。363 材料：生產(chǎn)中的一些原材料、生產(chǎn)輔助材料、包裝材料等也可能是靜電發(fā)生源。表1 常見物體的靜電發(fā)生序列序號(hào)材料序號(hào)材料1空氣12棉布2人手13鋼3兔毛14木材4玻璃15琥珀5云母16硬橡膠6頭發(fā)17鎳、銅7尼龍18黃銅、銀8羊毛19聚脂人造纖維9絲綢20聚乙烯10鋁21聚丙烯11紙22聚氯乙烯37漏電測(cè)試工具如電批、電視機(jī)、功放、示波器；由于使用220V電進(jìn)行供電，會(huì)產(chǎn)生對(duì)地的漏電；漏電電壓較低，不會(huì)超出供電電壓；不會(huì)像靜電那樣具有幾千伏的電壓；但漏電電流較強(qiáng)，進(jìn)行可靠設(shè)備接地后要求漏電電壓AC小于1V。38電子元器件的靜電耐壓表2 一些器件類型的靜電敏感電壓值器件類

7、型耐靜電放電電壓（V）器件類型耐靜電放電電壓（V）VMOS30-1800運(yùn)算放電器190-2500MOSSEFT100-200JEFT140-1000PROM100STTL300-2500GaAsFET100-300SCL680-1000CMOS250-2000DTL380-7000HMOS50-500肖特基二極管300-3000E/DMOS200-1000雙極型晶體管380-7000ECL300-2500石英壓電晶體器件100004 職責(zé)4.1 工程部確定靜電防護(hù)控制點(diǎn)、區(qū)域和控制要求；4.2 電子倉負(fù)責(zé)靜電敏感器件出庫前的靜電防護(hù),IQA部負(fù)責(zé)靜電敏感器件檢驗(yàn)時(shí)的靜電防護(hù),生產(chǎn)車間負(fù)責(zé)生產(chǎn)

8、過程中的靜電防護(hù)；非生產(chǎn)物料倉庫管理員負(fù)責(zé)對(duì)修理位和燒錄IC位等使用工具，如鑷子、燒錄筆，防靜電支架，防靜電衣帽，防靜電手套，指套等來料進(jìn)行ESD抽檢，靜電衣帽每次抽檢5%，靜電手套/指套每次抽檢1%，工具、支架等每次抽檢10%，抽檢結(jié)果記錄在防靜電物料驗(yàn)收記錄表中。4.3 工程部動(dòng)力設(shè)備室負(fù)責(zé)對(duì)接地主干線的檢測(cè)和維護(hù),防靜電地板表面電阻，防靜電地板接地電阻的檢測(cè)，每半年一次檢測(cè)；各部門負(fù)責(zé)本部門靜電地線與設(shè)備地線的檢驗(yàn)和維護(hù)；4.4工廠各車間日常點(diǎn)檢、周點(diǎn)檢工作由生產(chǎn)車間指定人員 (一般由各生產(chǎn)線多能工或車間ESD專員)進(jìn)行，生產(chǎn)線月點(diǎn)檢由各車間/部門ESD專員在每月中旬進(jìn)行，記錄在生產(chǎn)線E

9、SD月點(diǎn)檢表中，車間主任/部門長審核確認(rèn)，工程部、部品部、IQC、PMC倉庫ESD專員由各車間主任/部門長指定；4.5 IQA部負(fù)責(zé)制造中心ESD防護(hù)措施的抽檢抽查；4.5.1對(duì)于一級(jí)EPA區(qū)域，需要定期的進(jìn)行周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查；對(duì)于二級(jí)EPA區(qū)域，需要定期的進(jìn)行月度稽查、季度稽查、年度稽查。檢查與測(cè)量采用合適的儀器和方法、同時(shí)記錄予以保存（記錄保存時(shí)間：1年），使之與ISO9000的要求相符合。 4.6 靜電防護(hù)的控制點(diǎn)和區(qū)域電子倉庫（包含IC房）、工程部分析室、IQA首件檢驗(yàn)房、機(jī)芯生產(chǎn)車間、C/SKD車間、IQC機(jī)芯檢驗(yàn)房、IQC部品檢驗(yàn)房、SMT/PCB車間、總裝車

10、間與靜電敏感器件相關(guān)的工位及修理工位；4.7 工程部動(dòng)力設(shè)備室負(fù)責(zé)對(duì)靜電手環(huán)、電烙鐵、電批等工、治具進(jìn)行發(fā)放、管理、維修；48 防靜電手環(huán)、防靜電鞋、防靜電衣帽、防靜電手套；48.1 由各生產(chǎn)線指定專人每天進(jìn)行點(diǎn)檢和目視；同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)果記錄在靜電手環(huán)點(diǎn)檢表，靜電鞋點(diǎn)檢表等日常點(diǎn)檢相關(guān)表格及目視檢查表中；48.2對(duì)點(diǎn)檢中發(fā)現(xiàn)的不良靜電手環(huán)要求立即進(jìn)行更換；同時(shí)記錄在ESD測(cè)試NG處理記錄表中；48.3對(duì)點(diǎn)檢中個(gè)別員工皮膚干臊引起接觸電阻高使測(cè)試不通過的，可在作業(yè)員與靜電手環(huán)金屬片接觸的皮膚處涂抹潤膚保濕霜，2小時(shí)涂一次；49電批、螺絲機(jī)、電烙鐵由各生產(chǎn)線指定專人每天進(jìn)行點(diǎn)檢；同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)

11、果記錄在工具、儀器設(shè)備點(diǎn)檢表中；410防靜電衣帽、手套、鞋，防靜電膠皮，防靜電周轉(zhuǎn)箱由各生產(chǎn)線指定專人每周進(jìn)行點(diǎn)檢；其中防靜電衣帽、手套要求在不穿著時(shí)測(cè)試表面電阻，穿著時(shí)測(cè)試表面電壓，同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)果記錄在相應(yīng)周點(diǎn)檢表中；411儀器、設(shè)備、機(jī)架、治具、工具、周轉(zhuǎn)車，包裝袋由各生產(chǎn)線指定專人每月進(jìn)行點(diǎn)檢；同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)果記錄在生產(chǎn)線ESD月點(diǎn)檢表中；412相對(duì)濕度由各車間或部門指定專門的人員點(diǎn)檢，同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)果記錄在溫度及濕度點(diǎn)檢記錄表中；4. 13 SMT/PCB車間ESD地板由工程部設(shè)備室進(jìn)行點(diǎn)檢，并同時(shí)將點(diǎn)檢的結(jié)果記錄在ESD地板點(diǎn)檢表里。414 目視檢查表由生產(chǎn)線指定專員每班完成

12、并做好相應(yīng)記錄；415 以上測(cè)試過程中，如發(fā)現(xiàn)不良，需要更換或修理的靜電損耗品，如靜電手環(huán)、防靜電衣帽，周轉(zhuǎn)車/箱，輸送板/帶，各類儀器等，需要記錄在ESD測(cè)試NG處理記錄中，ESD月度審查作為其中一項(xiàng)進(jìn)行監(jiān)控。4.16 ESD培訓(xùn)所有操作或有可能接觸ESD敏感器件、組件或產(chǎn)品的人員ESD敏感器件都必須進(jìn)行ESD培訓(xùn)。同時(shí)為確認(rèn)防靜電培訓(xùn)的效果，參加ESD培訓(xùn)的員工需要通過防靜電知識(shí)的考核,為了促進(jìn)員工防靜電知識(shí)的不斷提升，需要對(duì)參加培訓(xùn)的員工進(jìn)行培訓(xùn)、考核過程。由于產(chǎn)品靜電防護(hù)涉及的部門很多，人員的級(jí)別也相差很大，培訓(xùn)的對(duì)象有管理層、操作層，因此，為了保證培訓(xùn)效果應(yīng)分層次確定培訓(xùn)目標(biāo)并制定相

13、應(yīng)培訓(xùn)教材。培訓(xùn)計(jì)劃應(yīng)確定靜電防護(hù)培訓(xùn)類型和頻率、方法和具體技巧，培訓(xùn)計(jì)劃還應(yīng)包括用于檢查學(xué)員理解及培訓(xùn)是否合適的檢查方法。員工培訓(xùn)記錄要求保留至少一年，并規(guī)定這些記錄存放何處。為了保證培訓(xùn)效果，培訓(xùn)與認(rèn)證應(yīng)分為：初級(jí)培訓(xùn)和考核、周期性培訓(xùn)和考核、提高培訓(xùn)和考核、特殊培訓(xùn)和考核。 操作層培訓(xùn)和考核：由車間靜電管理員每半年對(duì)所有在線作業(yè)進(jìn)行一次靜電培訓(xùn)和考核。 管理層培訓(xùn)和考核：由公司靜電管理人員每半年對(duì)所有在線作業(yè)進(jìn)行一次靜電培訓(xùn)和考核。 提高培訓(xùn)和認(rèn)證：由于工種變化或者轉(zhuǎn)到新的部門，如從非EPA轉(zhuǎn)移到EPA，從低等級(jí)EPA轉(zhuǎn)移到高等級(jí)EPA（如從二級(jí)EPA轉(zhuǎn)移到一級(jí)EPA）等，需要適應(yīng)新環(huán)境

14、ESD控制要求進(jìn)行提高培訓(xùn)與認(rèn)證。 特殊培訓(xùn)和認(rèn)證：由于企業(yè)要對(duì)靜電防護(hù)體系進(jìn)行日常維護(hù)，需要每一個(gè)部門（或EPA區(qū)域）確定一名ESD負(fù)責(zé)人（或由接口人執(zhí)行），各個(gè)部門需要對(duì)ESD責(zé)任人或稽查人員提供特殊培訓(xùn)與認(rèn)證，或由公司ESD主管部門對(duì)所有ESD責(zé)任人員、稽查人員提供特殊培訓(xùn)與認(rèn)證。5 工作流程 （靜電防護(hù)流程目錄）5.1 人員防靜電標(biāo)準(zhǔn) 7 5.2 修理臺(tái)、組件加工臺(tái)、生產(chǎn)作業(yè)臺(tái)面防靜電標(biāo)準(zhǔn)7 5.3 周轉(zhuǎn)箱、物料盒防靜電標(biāo)準(zhǔn)8 5.4 周轉(zhuǎn)車防靜電標(biāo)準(zhǔn)9 5.5 防靜電袋、防靜電膠紙防靜電標(biāo)準(zhǔn)9 5.6 工具、治具、機(jī)架防靜電標(biāo)準(zhǔn)9 5.7 溫濕度標(biāo)準(zhǔn) 9 5.8 防塵膜作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)9 5

15、.9 靜電地接地規(guī)則10 5.10 設(shè)備地接地規(guī)則10 5.11 防靜電材料編碼規(guī)則11 5.12 工廠防靜電措施檢測(cè)方法11 5.13 靜電檢測(cè)主要儀器使用說明14 5.14 防靜電管理155.1人員防靜電標(biāo)準(zhǔn)511對(duì)于可接觸到靜電敏感元器件或有機(jī)會(huì)接觸到靜電敏感元器件的作業(yè)員需配戴防靜電手環(huán)、坐式作業(yè)須坐防靜電椅；512 SMT、PCB車間員工需配戴防靜電手環(huán)、穿防靜電衣、戴防靜電帽、穿防靜電鞋；513機(jī)芯裝配、總裝蓋上蓋前所有崗位（包含蓋上蓋工序）、機(jī)芯加工投入位、總裝修理位員工需配戴防靜電手環(huán)、穿防靜電衣、戴防靜電帽?？傃b從機(jī)芯投入到打上蓋前的所有作業(yè)員必須戴防靜電袖套（穿短袖工衣時(shí)可

16、以不用戴，長袖工衣必須戴）；514 C/SKD、倉庫、IQC、工程分析人員接觸靜電敏感元器件時(shí)（如：直接接觸IC、MOS元件、加工好的PCBA、機(jī)芯等）需配戴防靜電手環(huán)，當(dāng)沒有靜電地線時(shí)應(yīng)戴防靜電手套進(jìn)行作業(yè)，但是不能長時(shí)間接觸靜電敏感器件；515帶靜電手環(huán)注意事項(xiàng)5151員工在作業(yè)前必須先測(cè)試所佩帶的防靜電腕帶是合格的,方可開始作業(yè)；5152作業(yè)時(shí), 防靜電腕帶戴在不影響作業(yè)的一只手上；5153 一定要使防靜電腕帶緊貼到手腕皮膚；不能戴在手套、衣袖上5154不能使防靜電腕帶拉長超過彈性限度,防止將內(nèi)部導(dǎo)線拉斷；5155 當(dāng)防靜電腕帶因汗、灰等變臟時(shí)會(huì)影響接觸效果,要清潔金屬接觸部位；防靜電帽

17、防靜電衣防靜電鞋 防靜電手套防靜電手環(huán)防靜電椅52 修理臺(tái)、組件加工臺(tái)、生產(chǎn)作業(yè)臺(tái)面（如面殼組件加工臺(tái)、SMT爐后檢查臺(tái)、PCB測(cè)試臺(tái)、爐后分板臺(tái)、皮帶線拉體加工臺(tái)）防靜電標(biāo)準(zhǔn)5.2.1 根據(jù)/設(shè)備接地標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備/工具名稱接地要求接地電阻對(duì)地漏電電壓接地作用電批外殼直接接設(shè)備地4Vac1V防止漏電損傷電子元器件電烙鐵外殼直接接設(shè)備地或設(shè)備地之間接150 K10% 的電阻進(jìn)行限流4Vac1V 特殊崗位要求：開機(jī)芯保護(hù)點(diǎn)的漏點(diǎn)電壓需控制在Vac0.3V電源插座電源插座接地孔應(yīng)接設(shè)備地4/功放、電視、示波器、信號(hào)發(fā)生器、帶燈放大鏡外殼直接接設(shè)備地4Vac1VCRT顯示器、示波器屏要用防靜電屏保覆蓋,且

18、接設(shè)備地，接設(shè)備地的位置選在電視的右下角4Vac1V電視機(jī)接地圖：接地線與電視連接位置（左/右下角）522臺(tái)面要求鋪設(shè)靜電膠皮臺(tái)面材質(zhì)靜電要求接地標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)臺(tái)面金屬材料需在臺(tái)面上鋪設(shè)絕緣膠皮或其它絕緣層1.防靜電膠皮鋪在絕緣膠皮或其它絕緣層上，每2米需接接地線扣（內(nèi)含1M電阻）1個(gè)，與防靜電地線連接，或可通過接地銅片直接接防靜電地線2.金屬臺(tái)面需注意防靜電膠皮接地扣不能與臺(tái)面短路。（即造成設(shè)備地與靜電地短路）；作業(yè)作業(yè)木質(zhì)材料防靜電膠皮直接鋪在臺(tái)面上每2米需接接地線扣（內(nèi)含1M電阻）1個(gè)，與防靜電地線連接，或可通過接地銅片直接接防靜電地線；修理臺(tái)金屬架接設(shè)備地接地電阻4。需注意防靜電膠皮接地扣不

19、能與臺(tái)面短路。（即造成設(shè)備地與靜電地短路）53周轉(zhuǎn)箱、物料盒防靜電標(biāo)準(zhǔn)靜電耗材表面電阻表面電壓作用備注防靜電周轉(zhuǎn)箱1041010150V用于PCBA、半導(dǎo)體電子元器件、機(jī)芯周轉(zhuǎn)的周轉(zhuǎn)箱要求使用防靜電周轉(zhuǎn)箱或使用中性的紙箱進(jìn)行周轉(zhuǎn)，檢測(cè)到不良馬上進(jìn)行更換并記錄到ESD測(cè)試NG處理記錄中；防靜電物料盒、金屬物料盒不能用錫箔紙包，一般的不防靜電的物料盒且離靜電敏感器件距離較近（如機(jī)芯固定位裝螺絲的物料盒；修理位的不防靜電的物料盒）的應(yīng)用錫箔紙包，用錫箔紙包了的物料盒不能用來裝靜電敏感器件（如IC等）。防靜電物料盒1041010150V54周轉(zhuǎn)車防靜電標(biāo)準(zhǔn)靜電耗材表面電阻表面電壓作用備注防靜電周轉(zhuǎn)車1

20、041010150V用于PCBA、機(jī)芯周轉(zhuǎn)的周轉(zhuǎn)車要求使用防靜電材料制作的周圍車進(jìn)行周轉(zhuǎn)，；接地鐵鏈的按目視檢查表要求進(jìn)行確認(rèn)防靜電周轉(zhuǎn)車點(diǎn)檢統(tǒng)一由SMT車間完成，車子必須有鐵鏈接地，鐵鏈不能生銹、或者懸空55防靜電袋、防靜電膠紙防靜電標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體元器件供應(yīng)商供貨要求使用防靜電材料(一般使用防靜電的聚乙烯)包裝；防靜電袋的使用壽命和防靜電效果會(huì)隨時(shí)間而消失,原則上為一次性使用。對(duì)重復(fù)使用的防靜電袋要求在使用前進(jìn)行防靜電測(cè)試，合格后才能投入使用。測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)表面電阻要求在105R1011； 56工具、治具、機(jī)架防靜電標(biāo)準(zhǔn)561 通常情況要求測(cè)試機(jī)架使用防靜電材料進(jìn)行制作，表面電阻要求在1041010，

21、鑷子、燒錄筆等工具必須使用木質(zhì)材料或防靜電材料，不能使用金屬材料；562 如果使用一般不防靜電材料（如有機(jī)玻璃）制作，必須采取防靜電措施，如需在測(cè)試機(jī)架上加防靜電膠皮或包錫箔紙并實(shí)施接地；或者噴防靜電液使其表面電阻達(dá)到1041010。5.6.3 要求靜電敏感器工裝和夾具等要求加強(qiáng)接地，接地電阻應(yīng)小于4歐姆。57相對(duì)濕度，溫度標(biāo)準(zhǔn)：1級(jí)標(biāo)準(zhǔn) 20-28 相對(duì)濕度(RH)：45%75%，適用于PCB/SMT/機(jī)芯車間，2級(jí)標(biāo)準(zhǔn)10-28 相對(duì)濕度(RH)：30%75%，適用于各總裝裝配車間，每工作日采集2次數(shù)據(jù)，具體時(shí)間為上、下班次各一次?？刂品椒▍⒁?.14.658防塵膜作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：各個(gè)電子倉庫、

22、車間在對(duì)靜電敏感器件做防塵處理時(shí)，要確保防塵膜不能直接和靜電敏感器件接觸，需先在靜電敏感器件上蓋上防靜電材料，然后再圍防塵膜。59靜電地線接地規(guī)則：用于靜電手環(huán)、靜電席等接地591對(duì)于臺(tái)面防靜電膠皮無靜接地扣的，靜電地線串接有150k+10%電阻（規(guī)格2W以上）；對(duì)于臺(tái)面防靜電膠皮有靜接地扣的，靜電地線可以串接150k+10%電阻（規(guī)格2W以上），也可以不用；592三相插座接地：內(nèi)置接地，用于三相電源插頭的接地；510設(shè)備接地規(guī)則：用于生產(chǎn)線上的儀器設(shè)備接地。5101接地位置：優(yōu)先順序由高到低依次為：設(shè)備儀器的后面、左側(cè)、前面（設(shè)備儀器后面可以接地的都必須接在后面，后面不能接地的則可以選擇左側(cè)

23、或者前面）5102接地線規(guī)格要求:總干線使用1.5mm2的黃綠線;連接儀器設(shè)備支線使用0.5mm2的黑線或AV線；5.10.3.所有連接電源主線的設(shè)備、儀器、工具等，都必須可靠地和電源系統(tǒng)安全地線相連接。5.10.4 靜電敏感器件及其組件的加工設(shè)備、測(cè)試儀器、工具、裝備（如測(cè)試設(shè)備儀器、SMT系列設(shè)備、波峰焊機(jī)、烘烤箱、成型系列設(shè)備、電批、電烙鐵等）有可靠接地；電批、電烙鐵要求加強(qiáng)接地，所有與靜電敏感物品接觸的用電設(shè)備沒有出現(xiàn)漏電的情況。5.10.5 EPA區(qū)的防靜電接地只允許使用并聯(lián)接地，而串聯(lián)接地是一種不可接受的接地方式。5103接地方法：2cm5.10.3.1接地線在設(shè)備地線上繞接約2c

24、m（緊密纏繞）如圖所示，再采取焊接方式，直接將連接點(diǎn)用錫焊接起來，接點(diǎn)更加牢靠。 5.10.3.2 接地線可以直接使用鱷魚夾夾在設(shè)備地線上;5.10.3.3 鱷魚夾的連接線必須使用焊接或工具壓接方式，不可以直接纏繞在上面；5.10.3.4 接地線連接儀器、工具的一端，須使用線耳焊接或工具壓接或綁定的方式，將其固定在儀器、工具的螺絲下面；5.10.3.5接地線連接電視的一端，使用AV線插在電視的端子上，另一端接設(shè)備地上使用鱷魚夾或直接焊接方式，不可以纏繞；5.11防靜電材料編碼規(guī)則5.111所有的防靜電膠皮、防靜電膠箱、接地扣、防靜電椅子、防靜電周轉(zhuǎn)車，防靜電周轉(zhuǎn)架等需要進(jìn)行編碼管理，以便于檢驗(yàn)

25、記錄使用；5.112 編碼規(guī)則5.1121編碼共9-10位數(shù)代表，123-4567890如： AVA-JDK001為一車間001號(hào)接地扣 1、2位為AV廠，固定不變；3位為車間（如：一車間為A；二車間為B；三車間為C；四車間為D；五車間E；CKD車間為F；試產(chǎn)為G ; PDVD車間為H；倉庫為K；OQA檢查房為O;IQC為I；六車間為J等）；4、5、6位為部品類型（防靜電膠皮為JDP，防靜電膠箱為JDX，防靜電椅子為JDY，接地扣為JDK，拉板為JDB等）；7、8、9、10位為部品的編號(hào)數(shù)量，從001開始累壘加。5.1122 標(biāo)簽使用料號(hào)為:71-AV0000-T02 尺寸為40MM*15MM

26、的貼紙,可以打印和手寫,字體要工整,清晰,不易擦除/掉色.如圖： 5.12工廠防靜電措施檢測(cè)方法512.1防靜電腕帶的檢測(cè)51211 將防靜電腕帶的地線夾夾住靜電測(cè)試儀的鱷魚夾上,同時(shí)將另一只不佩帶防靜電腕帶的手按在“PRESS HERE”上（靜電TESTER上的白色按鍵）；戴防靜電手環(huán)的手進(jìn)行左右搖動(dòng)2-3秒51212 若綠色“PASS”指示燈一直亮,則表明佩帶防靜電腕帶良好；紅色“LOW”或“HIGH”指示燈亮,則表明所佩帶防靜電腕帶未戴好或有故障；如紅色與綠色燈交替閃爍表面防靜電腕帶未戴好或接觸不良。51213 測(cè)量必須保證在上班的前半個(gè)小時(shí)完成即可（上午8：30前、下午14：00前、晚

27、上19：00前）51214 在測(cè)試中發(fā)現(xiàn)有故障的防靜電腕帶由作業(yè)員交給線長處理, 并要求立即更換，并登記在ESD測(cè)試NG處理記錄中5122電烙鐵漏電測(cè)試 在熱工作狀態(tài)下用萬用表測(cè)量烙鐵頭與電源地的漏電電壓和接地電阻,測(cè)量值記錄在相對(duì)應(yīng)的點(diǎn)檢表里；（萬用表一支表筆接設(shè)備地線，一支表筆接烙鐵上錫面）5123電批漏電測(cè)試在工作轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)下用萬用表測(cè)量電批頭或調(diào)整環(huán)金屬殼與電源地的漏電電壓和接地電阻；（萬用表一支表筆接設(shè)備地線，一支表筆接電批頭上或調(diào)整環(huán)金屬殼）5124測(cè)試儀器、機(jī)架漏電測(cè)試在工作狀態(tài)下用萬用表測(cè)量測(cè)試機(jī)架、測(cè)試儀器與電源地的阻抗4,AC電壓1V以下；（萬用表一支表筆接設(shè)備地線，一支表筆

28、接測(cè)試儀器外殼、測(cè)試機(jī)架輸出端口地）5125 防靜電膠皮、膠箱、膠袋、防靜電車的檢測(cè)（靜電耗材）51251使用表面電阻測(cè)試儀測(cè)試表面電阻在1041010。表面電阻測(cè)試儀底部與被測(cè)試物體平行接觸，按住紅色PUSH START鍵進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試時(shí)人體不許接觸被測(cè)物體，測(cè)試環(huán)境選擇在被測(cè)物體所處的作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)，指示燈直接顯示阻值，當(dāng)指示燈不再跳動(dòng)時(shí)方可讀取數(shù)據(jù)。按照此方法測(cè)試被測(cè)物體表面至少2個(gè)不同位置。對(duì)于局部表面電阻不合格的視為不合格。（測(cè)試平臺(tái)要選擇靜電耗散表面）51252使用表面電壓測(cè)試儀表測(cè)試表面電壓直接用表面電壓測(cè)試儀測(cè)量其表面電壓，使用測(cè)試時(shí)對(duì)準(zhǔn)所測(cè)試的物體，當(dāng)紅光的兩個(gè)圓或十字架聚焦重合為

29、最清晰狀態(tài)時(shí)，讀取數(shù)值；5.12.5.3以上測(cè)試環(huán)境均選擇在被測(cè)物體所處的作業(yè)環(huán)境下，相對(duì)濕度在30%-80%范圍內(nèi)。5.12.5.4靜電耗散型工作表面到公共接地線的接地電阻應(yīng)該保持在R1.0109（不依賴于相對(duì)濕度）5126防靜電衣、靜電手套、靜電鞋的檢測(cè)51261防靜電衣、靜電手套可使用表面電阻測(cè)試儀測(cè)試表面電阻在1041010。防靜電衣、靜電手套可使用表面電壓測(cè)試儀表測(cè)試表面電壓150V51262防靜電鞋使用防靜電鞋檢測(cè)儀進(jìn)行檢測(cè)，具體檢測(cè)方法參照防靜電鞋點(diǎn)檢作業(yè)指導(dǎo)書，如是“FAIL HI”紅燈亮，需檢查是否因?yàn)橐m子絕緣導(dǎo)致，這時(shí)請(qǐng)脫除襪子后穿防靜電鞋再進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試結(jié)果OK，請(qǐng)保持不

30、穿襪子工作；如是其它問題，請(qǐng)報(bào)告生產(chǎn)線長處理，另一只腳（如右腳）請(qǐng)重復(fù)前面步驟進(jìn)行測(cè)試（本測(cè)試方法適合單腳測(cè)試的檢測(cè)儀器）。512.7 地線的檢測(cè)512.7.1 防靜電地線的檢測(cè)：防靜電地線串接有一個(gè)150k+10%限流電阻，使用萬用表測(cè)量該電阻導(dǎo)通；每年使用搖表測(cè)試一次對(duì)地接線狀態(tài)，判定標(biāo)準(zhǔn)為導(dǎo)通即可；512.7.2 設(shè)備地線的檢測(cè)：每年使用搖表測(cè)試一次對(duì)地接線狀態(tài)，判定標(biāo)準(zhǔn)為接地電阻小于4；512.7.3設(shè)備地線與防靜電地線短路檢測(cè)，使用萬用表測(cè)量設(shè)備地線與防靜電地線間電阻大于2以上（非短路）即可，每天點(diǎn)檢一次，并將測(cè)量值記錄在相對(duì)應(yīng)的點(diǎn)檢表中；512.7.4 三相電源插座接地腳的檢測(cè)：使

31、用萬用表測(cè)量其接地腳與設(shè)備地線之間的電阻，判定標(biāo)準(zhǔn)為接地電阻小于4；512.8 ESD地板的檢測(cè)工程部負(fù)責(zé)每半年一次檢測(cè)分別對(duì)ESD地板（SMT、PCB、二車間）進(jìn)行表面電阻和電壓的檢測(cè)，表面電阻值在1041010范圍內(nèi)。防靜電地板與接地母線之間測(cè)量的值在106109 摩擦電壓100，記錄在ESD地板點(diǎn)檢表里；5.12.9 離子風(fēng)機(jī)的檢測(cè)5.12.91每周定期對(duì)離子風(fēng)機(jī)進(jìn)行檢測(cè)，在工作狀態(tài)下用萬用表測(cè)量離子風(fēng)機(jī)的金屬外殼與電源設(shè)備地的阻抗4,AC電壓1V以下；5.12.9.2中和效果的檢測(cè)，將離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀功能開關(guān)分別撥到正極和負(fù)極，3秒內(nèi)表面電壓由1000V降低到100V為合格；將檢測(cè)結(jié)果較

32、大的值記錄在離子風(fēng)機(jī)點(diǎn)檢表中，5.12.9.3 離子平衡測(cè)量，將主機(jī)左側(cè)功能開關(guān)打到“0”位置，將探頭金屬面正對(duì)著離子風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口位置，距離3050CM，當(dāng)電壓顯示屏所顯示的電壓相當(dāng)穩(wěn)定后，此時(shí)讀取數(shù)據(jù)為當(dāng)前離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度；顯示為正電壓，為當(dāng)前離子風(fēng)機(jī)的離子風(fēng)趨向于正離子多，如負(fù)，則為負(fù)離子多。5.12.9.4檢測(cè)到不良需馬上送設(shè)備室維修或更換，并記錄到ESD測(cè)試NG處理記錄中5.12.9.5ESD周點(diǎn)檢表使用要求防靜電衣帽、手套、防靜電周轉(zhuǎn)箱、周圍車等抽檢編號(hào)半年內(nèi)不能有重復(fù)；插座、測(cè)試設(shè)備、拉體、防靜電膠皮、傳送帶、接地扣、生產(chǎn)設(shè)備等三個(gè)月內(nèi)至少檢查一次；新導(dǎo)入拉體，設(shè)備等需要在導(dǎo)入

33、后首個(gè)周/月點(diǎn)檢中優(yōu)先對(duì)其進(jìn)行確認(rèn)；512.10 檢測(cè)結(jié)果超標(biāo)措施所有的檢測(cè)值若超出標(biāo)準(zhǔn)范圍，應(yīng)立即采取有效的改善行動(dòng)，以達(dá)到規(guī)定的要求，或立即停用、更換為正常品方可使用；行動(dòng)記錄可填寫在備注欄內(nèi)，處理流程參見5.14.9；5.13 靜電測(cè)試主要儀器使用說明5.131靜電手環(huán)測(cè)試儀（型號(hào)：QUICK498、SLD698）靜電手環(huán)點(diǎn)檢規(guī)格要求800k-9M，使用前要先檢查儀器是否正常，簡易確認(rèn)方法：將測(cè)試儀接地線與測(cè)試按壓片短路并按下，正常應(yīng)顯示紅燈LOW；直接按壓測(cè)試按壓片（測(cè)試儀接地線懸空不與任何物體接觸），正常應(yīng)顯示紅燈HIGH,確認(rèn)儀器正常后方可使用，使用時(shí)儀器接靜電地線，然后開始檢測(cè)，

34、具體檢測(cè)方法參照698說明書。5.132 表面電阻測(cè)試儀表面電阻測(cè)試儀底部與被測(cè)試物體平行接觸，按住紅色PUSH START鍵進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試時(shí)人體不許接觸被測(cè)物體,讀數(shù)時(shí)要等指示燈不再跳動(dòng)方可.表面電阻測(cè)試儀（型號(hào)：SLD 699）5.133 表面電壓測(cè)試儀(型號(hào):TPK375)使用前先要清零,方法:套上儀器的配套鐵片且旋緊底部接地螺絲,按POWER鍵開機(jī),再按ZERO清零即可。每次使用前需要清零。清零后方可進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量時(shí)先取下對(duì)零鐵片，然后前端對(duì)準(zhǔn)被測(cè)物體，使2個(gè)紅色的圓圈重疊在一起時(shí)讀取數(shù)值（其它型號(hào)操作方法參考儀器使用說明書）。表面電壓測(cè)試儀（FMX002）5.134大氣離子測(cè)試儀（型

35、號(hào)：NK-7001）打開電源開關(guān)，當(dāng)屏幕顯示為1000/200之間跳動(dòng)時(shí)，在數(shù)字停留的同時(shí)按下探頭的輕觸開關(guān)，則為選擇測(cè)量的檔位，分別可以測(cè)量到1000V降低到100V，200V降低到20V的所需要的時(shí)間；將探頭對(duì)準(zhǔn)離子風(fēng)機(jī)約50cm的距離內(nèi)，按動(dòng)探頭的開關(guān)，看屏幕顯示所測(cè)量的中和速度的時(shí)間在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)即可；5.14 防靜電的管理5.141防靜電的措施制定由工程部制定、完善、解釋本管理規(guī)范5.142由IQA每月最后一個(gè)星期三對(duì)工廠各生產(chǎn)車間/部門進(jìn)行抽查本規(guī)范執(zhí)行情況；現(xiàn)場(chǎng)抽檢結(jié)果記錄在靜電月度審查表中，審查人員次日整理并加入到ESD月度審查問題點(diǎn)跟蹤表中，由各部門分別在一周內(nèi)給出改善對(duì)策及進(jìn)

36、度，由IQA部跟進(jìn)并確認(rèn)，直至問題點(diǎn)關(guān)閉。5.14. 3外來人員的靜電防護(hù)措施制定外來人員要進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域，必須按照TCL工廠要求實(shí)施相應(yīng)的靜電防護(hù)措施，；對(duì)于外協(xié)廠來TCL工廠進(jìn)行靜電敏感器件返工、維修的作業(yè)時(shí)，應(yīng)采取有效地靜電防護(hù)措施（如配戴靜電手環(huán)、穿戴防靜電衣、帽、手套等），并且要求加入到點(diǎn)檢記錄。有必要的情況下，對(duì)于以上人員要進(jìn)行專門的靜電防護(hù)知識(shí)的培訓(xùn)；5.14. 4拆裝設(shè)備所產(chǎn)生的廢棄紙箱、雜物引起靜電的防護(hù)措施5.14.4.1拆裝設(shè)備原則上放在非靜電區(qū)域進(jìn)行，拆裝完后再把整機(jī)移至工作區(qū)域；5.14.4.2必須放在靜電區(qū)域進(jìn)行拆裝的作業(yè)，所產(chǎn)生的廢棄紙箱、雜物等應(yīng)立即轉(zhuǎn)移到非靜

37、電區(qū)域內(nèi)，以免引起靜電的產(chǎn)生；5.14.4.3拆裝設(shè)備的作業(yè)區(qū)域必須離靜電作業(yè)區(qū)域內(nèi)的產(chǎn)品或物品兩米以外。5.145臨時(shí)增加的作業(yè)區(qū)域靜電防護(hù)措施；對(duì)于臨時(shí)增加工位的ESD點(diǎn)檢同樣要形成記錄，定期進(jìn)行點(diǎn)檢, ESD點(diǎn)檢合格方可進(jìn)行生產(chǎn)；5.14. 6 EPA防護(hù)等級(jí)制定EPA區(qū)域的劃分以該區(qū)域內(nèi)是否可能出現(xiàn)靜電敏感物品為準(zhǔn)則，只要可能出現(xiàn)靜電敏感物品，則應(yīng)定義為防靜電區(qū)，否則可定義為非防靜電區(qū)。防靜電區(qū)域的邊界范圍由ESD專員與區(qū)域防靜電責(zé)任人共同確定。產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)域分為一級(jí)EPA區(qū)域和二級(jí)EPA區(qū)域。一級(jí)EPA區(qū)域適用于靜電敏感等級(jí)大于或等于HBM50V的產(chǎn)品的生產(chǎn)；二級(jí)EPA區(qū)域適用于靜電敏

38、感等級(jí)小于HBM150V的產(chǎn)品的生產(chǎn)；產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)域?qū)?yīng)的EPA等級(jí)定義及相關(guān)要求請(qǐng)參考下表格：EPA控制一級(jí)EPA二級(jí)EPA備注靜電防護(hù)水平HBM 50VHBM 150V適用區(qū)域直接接觸靜電敏感器件單體(如小機(jī)芯、機(jī)芯組件、IC、MOS元件、IC房、解碼板等) 或組件涉及的加工環(huán)節(jié)會(huì)接觸到靜電敏感器件部品，但是不直接接觸靜電敏感器件單體溫濕度要求溫度：2028相對(duì)濕度(RH)：45%75%EPA內(nèi)應(yīng)配備溫濕度計(jì)，每班次上班之前作一次記錄溫度：1028相對(duì)濕度(RH)：30%75%EPA內(nèi)應(yīng)配備溫濕度計(jì)，每班次上班之前作一次記錄當(dāng)指標(biāo)超出規(guī)定的范圍時(shí)，必須采取適當(dāng)?shù)拇胧┯枰愿纳?。?biāo)識(shí)要求（1）各

39、樓層EPA入口處或不同EPA等級(jí)的轉(zhuǎn)換處粘貼一級(jí)EPA區(qū)域等級(jí)警示牌（2）員工能正確區(qū)分EPA和非EPA，防靜電區(qū)域（EPA）的外邊界粘貼EPA區(qū)域地面警示標(biāo)識(shí)（3）防靜電設(shè)施、器材等防靜電物品，以及靜電敏感器件及組件等有關(guān)包裝上標(biāo)注有醒目的ESD標(biāo)識(shí)。（1）各樓層EPA入口處或不同EPA等級(jí)的轉(zhuǎn)換處粘貼二級(jí)EPA區(qū)域等級(jí)警示牌（2）員工能正確區(qū)分EPA和非EPA，防靜電區(qū)域（EPA）的外邊界粘貼EPA區(qū)域地面警示標(biāo)識(shí)（3）防靜電設(shè)施、器材等防靜電物品，以及靜電敏感器件及組件等有關(guān)包裝上標(biāo)注有醒目的ESD標(biāo)識(shí)。人員要求（1）著裝要求：穿戴防靜電工衣、工鞋、工帽（2）測(cè)試要求：所有進(jìn)入EPA的人

40、員必須通過ESD測(cè)試方可進(jìn)入（3）操作要求：接觸靜電敏感產(chǎn)品必須佩戴防靜電腕帶或手套（4）培訓(xùn)及認(rèn)證要求：參照4.16（1）著裝要求：穿戴防靜電工衣、工鞋或鞋套、工帽（2）測(cè)試要求：所有進(jìn)入EPA的人員必須通過ESD測(cè)試方可進(jìn)入（3）操作要求：接觸靜電敏感產(chǎn)品必須佩戴防靜電腕帶或手套（4）培訓(xùn)及認(rèn)證要求：參照4.16靜電源控制要求（1）不必要的靜電源（如水杯、塑料袋、手提包等）禁止帶入EPA;（2）必要的靜電源按十二英寸原則控制或進(jìn)行離子化、防靜電噴涂等方式處理（1）不必要的靜電源（如水杯、塑料袋、手提包等）禁止帶入EPA;（2）必要的靜電源按十二英寸原則控制或進(jìn)行離子化、防靜電噴涂等方式處理

41、接地要求EPA區(qū)域所有的設(shè)備、儀器、測(cè)試環(huán)境裝備、工具、人體應(yīng)進(jìn)行安全可靠的接地，以保證靜電敏感物品、工作人員和其它所有導(dǎo)體處在等電位狀態(tài)，使靜電敏感物品免受ESD損傷。EPA區(qū)域所有的設(shè)備、儀器、測(cè)試環(huán)境裝備、工具、人體應(yīng)進(jìn)行安全可靠的接地，以保證靜電敏感物品、工作人員和其它所有導(dǎo)體處在等電位狀態(tài)，使靜電敏感物品免受ESD損傷。ESD硬件配置要求離子風(fēng)機(jī)配置：（1）SMT線體：印刷后、貼片后、回流爐前、回流爐后、檢驗(yàn)位（2）組裝線體：靜電場(chǎng)大于50V的工位（3）其它關(guān)鍵工位：如維修工位，軟件燒錄工位或其它靜電場(chǎng)大于50V的工位。接地監(jiān)控儀配置：需要對(duì)EPA區(qū)域操作靜電敏感器件的人員進(jìn)行監(jiān)控；

42、需要對(duì)EPA區(qū)域臺(tái)墊進(jìn)行監(jiān)控；需要對(duì)關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控。其它ESD硬件配置參見1.2.3離子風(fēng)機(jī)配置：SMT線體：印刷后、貼片后、回流爐后、檢驗(yàn)位組裝線體：靜電場(chǎng)大于150V的工位其它關(guān)鍵工位：如維修工位，軟件燒錄工位或靜電場(chǎng)大于150V的工位。接地監(jiān)控儀配置：需要對(duì)EPA區(qū)域操作靜電敏感器件的人員進(jìn)行監(jiān)控。其它ESD硬件配置參見1.2.3要求使用直流自平衡離子風(fēng)機(jī)防靜電包裝要求參見5.3 /5.4 /5.5要求參見5.3 /5.4 /5.5要求硬件設(shè)施檢測(cè)要求參見5.12要求參見5.12要求稽查要求周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查，具體參見1.1.3月度稽查、季度稽查、年度稽查，具體參見1.1.35.14.7 EPA接地/等電位相連系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)EPA區(qū)域內(nèi)應(yīng)實(shí)行接地/等電位相連接系統(tǒng)，以保證靜電放電敏感物件、人員和所有其它導(dǎo)電體(如移動(dòng)設(shè)備)，