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文檔簡介
1、電子工業(yè)EDI+RO超純水設備工藝電子工業(yè)EDI+RO超純水設備工藝電子工業(yè)用超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)概述半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各類電子器件、微電子工業(yè)、年夜范圍、超年夜范圍集成電路需用年夜批的高純水(含鹽量在0.3mg/L以下,電導率小于0.2is/cm的水)、超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)清洗半制品、制品。集成電路的集成度越高,對水質的請求也越高。今朝我國電子工業(yè)部把電子級水質技巧分為五個行業(yè)尺度,分辨為18MQ.cm、15MQ.cm、10MQ.cm、2MQ.cm、0.5MQ.cm,以區(qū)分
2、分歧水質。用兩級反滲透制取電子工業(yè)超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)處理(經(jīng)由過程物化方法往除水中一些物質的過程)設備采用兩級反滲透主機加EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純水)(電往離子(又稱填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純合萊特萊德飛,LAVENDERwwWrhaerbinstiuLcn水)/CDI純水設備(實用于制備電阻率請求很高的純水系統(tǒng))(Electrodeionization)的簡稱)制取電子工業(yè)超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)處理(經(jīng)由過程物化方法往除水中
3、一些物質的過程)設備制備電子工業(yè)用超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)的工藝流程電子行業(yè)制備超水的工藝年夜致分紅以下幾種:1、采用離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(普通也稱離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(又稱離子交換劑)制備超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)的傳統(tǒng)水處理(經(jīng)由過程物化方法往除水中一些物質的過程)方法,其基礎工藝流程為:原水一沙炭過濾器(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)7慎密過濾器(或稱保安過
4、濾器)(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)-原水箱-陽床-陰床-混床(混雜離子交換柱(承裝混床樹脂(普通也稱離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)的容器)的簡稱)(復床)-純水箱一純水泵(把原念頭的機械能變?yōu)樗芰繌亩_到抽送水的機械)(吸進和排出流體的機械)7后置慎密過濾器(或稱保安過濾器)(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)-用水滴2、采用反滲透水處理(經(jīng)由過程物化方法往除水中一些物質的過程)設備與離子交換(利用交換劑中的離子與稀溶液中的離子停止交換,以提純或往除離子的過程)(經(jīng)由過程離子交換的方法制取純水、高純水的裝置)停止組合的方法
5、,其基礎工藝流程為:原水一沙炭過濾器(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)7慎密過濾器(或稱保安過濾器)(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)一原水箱一反滲透(借助于半透過膜的膜分別技巧)(經(jīng)由過程反滲透膜(利用反滲透事理停止分此外液體分別膜)法來制取純水的裝置)7混床(混雜離子交換柱(承裝混床樹脂(普通也稱離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)的容器)的簡稱)(復床)-純水箱-純水泵(把原念頭的機械能變?yōu)樗芰繌亩_到抽送水的機械)(吸進和排出流體的機械)7后置慎密過濾器(或稱保安過濾器)(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)7用水
6、滴3、采用反滲透水處理(經(jīng)由過程物化方法往除水中一些物質的過程)設備與電往離子(又稱填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純水)/CDI純水設備(實用于制備電阻率請求很高的純水系統(tǒng))(EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純水)(電往離子(又稱填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純水)/CDI純水設備(實用于制備電阻率請求很高的純水系統(tǒng))(Electrodeionization)的簡稱)設備停止搭配的的方法,這是一種制取超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)的最新工藝,也
7、是一種環(huán)保,經(jīng)濟,生長潛力宏年夜的超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)制備工藝,具基礎工藝流程為:原水一沙炭過濾器(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)7慎密過濾器(或稱保安過濾器)(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)一原水箱一反滲透(借助于半透過膜的膜分別技巧)(經(jīng)由過程反滲透膜(利用反滲透事理停止分此外液體分別膜)法來制取純水的裝置)-電往離子(又稱填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純水)/CDI純水設備(實用于制備電阻率請求很高的純水系統(tǒng))(EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的
8、超純水)(電往離子(又稱填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純水)/CDI純水設備(實用于制備電阻率請求很高的純水系統(tǒng))(Electrodeionization)的簡稱)純水箱純水泵(把原念頭的機械能變?yōu)樗芰繌亩_到抽送水的機械)(吸進和排出流體的機械)7后置慎密過濾器(或稱保安過濾器)(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)一用水滴。三種制備電子工業(yè)用超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)的工藝比擬今朝制備電子工業(yè)用超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)的工藝基礎上是以上三種,其他的工藝流程年夜都是在以
9、上三種基礎工藝流程的基礎長停止分歧組合搭配衍生而來?,F(xiàn)將他們的優(yōu)毛病分辨列于下面:1、第一種采用離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(普通也稱離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(又稱離子交換劑)其長處在于初投資少,占用的處所少,但毛病就是需要常常停止離子再生,耗費年夜批酸堿,而且對情況有必定的損壞。2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換(利用交換劑中的離子與稀溶液中的離子停止交換,以提純或往除離子的過程)(經(jīng)由過程離子交換的方法制取純水、高純水的裝置),其特點為初投次
10、比采用離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(普通也稱離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(又稱離子交換劑)方法要高,但離子設備再生周期相對要長,耗費的酸堿比純真采用離子樹脂(普通也稱離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)的方法要少良多。但對情況仍是有必定的損壞性。3、第三種采用反滲透作預處理再配上電往離子(又稱填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純水)/CDI純水設備(實用于制備電阻率請求很高的純水系統(tǒng))(EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純水)(電往離子(又稱填充床電滲析EDI純水系統(tǒng)(電阻率請求在1-18.2MQ.cm(25C)的超純水)/CDI純水設備(實用于制備電阻率請求很高的純水系統(tǒng))(Electrodeionization
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