擴散爐安裝說明書

1、擴散爐安裝調(diào)試說明書中聯(lián)科利2009 年 2 月1 .概述 （2）2. 設(shè)備的標識 3. 設(shè)備的安裝 3. 1機械安裝 3. 1. 1安裝要求 （2）3. 1. 2安裝程序及注意事項 （3）3. 2電氣安裝 （3）3. 2. 1安裝要求 （3）3. 3. 2安裝程序及注意事項 （4）4. 關(guān)鍵部件的裝調(diào) （5）4. 1 SiC槳及石英爐門的裝調(diào) （5）4. 1. 1裝調(diào)步驟 （5）4. 1. 2注意事項 （6）4. 2恒溫區(qū)的調(diào)試方法及驗收判據(jù) （6）5. 調(diào)試時的安全要求 （17）1. 概述為了加強產(chǎn)品在安裝調(diào)試過程中的質(zhì)量控制、規(guī)范操作，確保設(shè)備合格率以及 防止安全事故的發(fā)生，特制定高溫擴

2、散/氧化系統(tǒng)安裝調(diào)試說明書；設(shè)備在出所前的 裝配調(diào)試以及調(diào)機人員在用戶現(xiàn)場的安裝調(diào)試均應(yīng)嚴格按照此執(zhí)行。2. 設(shè)備的標識1. 在設(shè)備的安裝、調(diào)試及檢驗過程中，應(yīng)在設(shè)備整體左端1.5米高處掛上設(shè)備的 工作狀態(tài)標識。2. 設(shè)備的銘牌統(tǒng)一釘在凈化操作臺的后蓋板底部。3. 在設(shè)備中的強電裸露處和氣源柜內(nèi)應(yīng)有相應(yīng)的警示標識。4. 在設(shè)備的安裝、調(diào)試及檢驗過程中，視用電情況應(yīng)在配電箱上設(shè)置“嚴禁拉閘” 或“嚴禁合閘”標識。3. 設(shè)備的安裝3.1機械安裝3.1.1安裝要求1. 設(shè)備應(yīng)該在相對潔凈的場地安裝，裝配人員在進入安裝現(xiàn)場前應(yīng)先換鞋；氣路 安裝應(yīng)在潔凈度更高的專用房間內(nèi)進行，非裝配人員不得隨意進入。氣

3、路安裝應(yīng)嚴 格按照氣路裝配間管理規(guī)章制度和高溫擴散 /氧化系統(tǒng)氣路裝配技術(shù)規(guī)范執(zhí) 行。2. 裝配前要由相應(yīng)設(shè)計人員對送來的機架、門板以及機加工件等仔細核對尺寸、 檢查外觀質(zhì)量，如果不符合設(shè)計要求，應(yīng)拒絕簽收，同時與品質(zhì)部聯(lián)系下一步的處 理辦法。設(shè)計者本人不在時，由項目組長指定人員驗收。3. 設(shè)備機架就位時應(yīng)擺放整齊，注意與現(xiàn)場其他設(shè)備的位置協(xié)調(diào)一致。4. 裝配工具及標準件等要整齊放置，不得隨意亂丟。工作場地要隨臟隨掃，在安裝 過程中如果局部產(chǎn)生粉塵、鐵屑等，應(yīng)及時用毛刷及吸塵器將塵埃清理干凈。5. 裝配過程中遇到標準件不足等情況時，應(yīng)及時向項目組長反映，不得隨意以其 他不同規(guī)格的標準件替代。6

4、. 裝配過程中非攻絲螺釘?shù)陌惭b，必須加裝平墊和彈簧墊片。7. 裝配過程中如果發(fā)現(xiàn)問題，應(yīng)及時通知設(shè)計人員或項目組長；如問題較復(fù)雜或涉 及面較廣，應(yīng)上報公司設(shè)計部和管理工程部相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，召開聯(lián)合會議討論解決方案 并作好詳細記錄。8 為防止污染及受潮 , 高效過濾器在所內(nèi)安裝時不得拆開塑料包裝，到用戶現(xiàn)場進 入凈化間且設(shè)備均已清理干凈后方可拆包重新安裝。9 裝配過程中的所有緊固件必須確保擰緊，以防被安裝的部件掉落傷人或運輸途 中受震動脫落損壞。10整機安裝完畢 , 應(yīng)用吸塵器、潔凈布等對設(shè)備徹底清潔一遍。3.1.2 安裝程序及注意事項1 設(shè)備進入廠房前，請仔細搞好衛(wèi)生，里里外外用毛刷、吸塵器、抹布徹

5、底清掃 干凈。2 對照設(shè)備平面安裝圖的布局，將設(shè)備的四大部件擺成一條直線（用戶要求將電 控柜放置在爐體一側(cè)的除外） ，調(diào)節(jié)地腳螺釘，使各部件的高度協(xié)調(diào)一致。3 安裝電阻加熱爐體及爐體兩端的保溫棉堵頭。注意棉堵頭為偏心設(shè)計，裝配中 應(yīng)適當轉(zhuǎn)動堵頭，確保堵頭的下內(nèi)壁高于爐絲絕緣子 6mm左右，從而在爐膛內(nèi)放入 哈呋片后可與棉堵頭基本齊平。5 裝好工控計算機及觸摸顯示器。6 打開凈化操作臺的后蓋板，去掉高效過濾器的塑料包裝后重新安裝好。7 反復(fù)調(diào)整凈化臺導(dǎo)軌固定部件、 SiC 槳座部件及爐體的相對位置， 使 SiC 槳平行 于爐膛軸線。8 接好氣路進氣管道以及源瓶前后的軟管及單向閥等，通氣試壓，確保

6、無漏氣點。9 接好水冷散熱器及恒溫槽的進、出水管道，通水試壓，確保無漏點。 10配合用戶接入抽風、排毒管道。3.2 電氣安裝3.2.1 安裝要求1 電氣部件的裝配應(yīng)在相對潔凈的場地進行，裝配人員在進入安裝現(xiàn)場前應(yīng)先換 鞋。裝配過程必須嚴格按照電氣裝配細則執(zhí)行。2 裝配工具及元器件、電線等要整齊擺放 , 不得隨意亂丟。工作場地要隨臟隨掃。3 為防止燙傷及引發(fā)火災(zāi)，電烙鐵、電熱槍等應(yīng)放置在安全處。4 裝配人員離開裝配現(xiàn)場時，應(yīng)拔下用電器插頭，關(guān)閉接線板電源開關(guān)。5 電氣裝配部的安全員，應(yīng)定期檢查各接線板、插頭、插座以及用電器具的安全 狀況，下班時負責切斷電源總開關(guān)。6 電裝人員和設(shè)計人員在裝配前，

7、應(yīng)對所裝配器件的型號、規(guī)格及質(zhì)量作最后的 檢查核對，不合格的產(chǎn)品一律不得使用。7 電氣裝配人員不得擅自對所裝配的電器部件通電。相關(guān)設(shè)計人員必須將已裝配 的部件對照原理圖和接線圖逐點逐線檢查無誤后，方可做部件通電試驗。8 整機通電前必須先進行分部件通電試驗。各部件設(shè)計人員除認真檢查自己所負 責的內(nèi)部接線外，還應(yīng)仔細檢查與他人轉(zhuǎn)接電路處的接口配合是否正確，在所有送 入和送出的信號通道均確認無誤后，方可進行整機通電。9 設(shè)備首次通電試驗時應(yīng)有二人以上在場。10 各項技術(shù)指標經(jīng)自測合格后方可向廠品質(zhì)部申請出廠檢測，同時應(yīng)根據(jù)自測結(jié) 果如實填寫“產(chǎn)品合格證申請表” 。11 裝配過程中應(yīng)認真填寫“電裝質(zhì)量

8、履歷表” ，詳細做好裝配記錄。12 在用戶現(xiàn)場要按日如實填寫“安裝調(diào)試記錄” 。3.2.2 安裝程序及注意事項1 先接好設(shè)備四大部件各柜內(nèi)的內(nèi)部連線，再接好各柜之間的相互連線。2 在各爐體側(cè)壁上裝入控溫及保護熱電偶，接好熱電偶補償導(dǎo)線。注意應(yīng)保持各熱電偶的前端只高出爐絲1mm左右，伸出太多在拆裝石英管時容易碰斷。3.用搖表檢測設(shè)備總進線火線對設(shè)備外殼的絕緣電阻應(yīng)在5M Q以上。4 仔細檢查爐體、可控硅、變壓器、轉(zhuǎn)接端頭的壓接螺釘，應(yīng)無松動現(xiàn)象。5. 確認各部分連接無誤后，接好電源總進線（要求總進線為三相380V+零線+地線）, 注意火線、零線及地線的位置，不可接錯。6. 逐柜、逐層上電，檢查各

9、部件上電情況，注意檢查機殼是否帶電。7. 控制柜及氣源柜上電，檢查計算機、溫控儀、溫度保護儀、各控制開關(guān)、指示 燈、電磁閥、質(zhì)量流量控制器等是否正常。在計算機手動操作屏上逐一試驗，看對 各器件的控制是否正確無誤。6. 推舟凈化機構(gòu)中，逐一檢查照明、排風及凈化送風是否正常。配合計算機檢查 自動進出舟、行程限位是否正確以及舟速是否可調(diào)。7. 查可控硅散熱風扇及水冷散熱器排熱風扇等工作是否正常。8. 根據(jù)用戶使用溫度要求設(shè)置好溫控儀各參數(shù)。9. 按下爐體加熱“開”按鈕，爐子開始升溫，觀察溫控儀溫度顯示情況及功率部 件、爐體等有無異常，尤其要仔細檢查爐體的引出接頭及引線是否與爐殼、機殼短 路（使用中要

10、長期留心注意，因高溫下，接頭與瓷件易產(chǎn)生變形位移） 。10根據(jù)合同技術(shù)指標的要求，測試設(shè)備的恒溫區(qū)。4. 關(guān)鍵部件的裝調(diào)4.1 SiC槳及石英爐門的裝調(diào)4.1.1裝調(diào)步驟1. 將洗凈好的石英管放入爐膛，兩人抬取石英管時，每人負責看管一端，負責尾部 者嚴禁直接用手抬尾氣管，以免該管發(fā)生斷裂，抬石英管時將石英管尾部的三根 小管朝向凈化臺外側(cè)，待石英管放進爐膛后轉(zhuǎn)動石英管直至石英管內(nèi)三個固定圈 朝下，用卷尺量好從不銹鋼蓋板至石英管口的距離。2. 把密封圈嵌入石英門密封槽中，密封圈應(yīng)壓緊壓平。3. 將送片座上的波紋管前端的鎖緊圈擰松（最好是不要擰下來）。4. 將裝好密封圈的石英門安裝在懸臂槳上，安裝時

11、要用力均勻，防止將石英門上的 圓筒與槳碰撞。5. 首先把槳夾座兩邊的四氟鎖緊螺釘擰松，將裝有石英門的懸臂槳一起放入送片座 上的槳夾座中，把石英門上的圓筒伸至四氟波紋管中， 擰緊鎖緊螺母，注意擰緊 波紋管時石英門與槳的位置要垂直。6. 將石英勻流板放在懸臂槳最前端， 進舟至勻流板位于管口位置，調(diào)節(jié)好槳的上下 位置（槳的前后位置一般不會變動，用戶可根據(jù)實際情況進行調(diào)節(jié)）使得勻流板 基本處于石英管中心，調(diào)節(jié)時只需調(diào)節(jié)槳夾座后面的調(diào)節(jié)螺母。7. 邊進舟邊觀察勻流板的位置，打開廢氣室側(cè)壁的觀察窗口，待進舟到最前端時檢 查石英門與石英管之間的位置，石英門與石英管之間是否完全密封，可在石英爐 門與石英管口之

12、間放一張薄紙，爐門關(guān)緊后紙張應(yīng)抽不出來。同時，在石英門蓋 住石英管口后，調(diào)節(jié)壓緊石英門的四氟波紋管及支撐石英門的彈簧使之有一定的壓縮量。8. 退舟，安裝爐尾的保溫棉圈及不銹鋼蓋板。9. 將尾氣管、熱電偶管從石英管尾部插入石英管中，安裝時注意將熱電偶管及尾氣 管從固定圈中通過。然后將熱偶管蓋蓋住另一個管口，用不銹鋼夾子夾好。10. 放入石英隔熱包塊和前擋板等，由于密封圈使用溫度為 220250C之間，因此在 升溫前一定要安裝隔熱包塊。同時在拆卸隔熱包塊時應(yīng)在溫度 250 C左右，不要 等隔熱包塊完全冷卻再拆卸。 （因在冷卻狀態(tài)下偏磷酸容易粘在隔熱包上而取不 下來）。11. 連接好石英管尾部的進氣

13、管及尾氣處理裝置。4.1.2 注意事項1. 整個裝調(diào)過程均應(yīng)小心操作， 在 SiC 槳未調(diào)整好以前， 切忌快速進出舟， 以防損 壞器件。2. 考慮到裝滿工藝片后， SiC 槳會向下有少量彎曲，為防止槳觸碰石英管底，空載 調(diào)試時，應(yīng)調(diào)成讓槳的前端適當上揚（上揚幅度w 10mrh。3. 調(diào)好的石英爐門在進舟到位后，其壓縮量應(yīng)控制在 510mn之間，太小關(guān)不緊， 太大有可能壓壞石英爐門。4. SiC 槳裝調(diào)好以后，各定位螺釘均不得隨意旋動。清洗石英管或 SiC 槳時，只需 擰松槳座上蓋的四個壓緊螺釘便可將槳抽出。5. 槳的位置調(diào)好以后， 應(yīng)將調(diào)節(jié)槳俯仰的上、 下螺母做好標記， 防止在在使用或清 洗槳

14、的過程中，不小心動了該螺母而引起槳與石英管擦碰甚至造成器件損壞。4.2 恒溫區(qū)的調(diào)試方法及驗收判據(jù) 擴散爐恒溫區(qū)精度的測量及驗收判別按中華人民共和國第四機械工業(yè)部部頒標 SJ2065/82半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用擴散爐測試方法的相關(guān)條款進行檢測。我司擴散爐采用的是內(nèi)外聯(lián)合的控溫方式，爐體內(nèi)置 5 段控溫熱電偶，實時實 地檢測和控制爐內(nèi)溫度，從根本上保證了規(guī)格書中給出的恒溫區(qū)長度、精度和溫度 穩(wěn)定性，徹底改變了常規(guī)擴散爐（爐外單控模式）必須靠不斷拉恒溫區(qū)，校準爐外 溫控儀與爐內(nèi)實際溫度的偏差來保證恒溫區(qū)的控溫方式。檢驗恒溫區(qū)的具體步驟如下：1 根據(jù)工藝要求在計算機上設(shè)置好所需的溫度值。2 將爐體的爐口用保溫棉圈堵好（靜態(tài)、閉管） 。3 保證內(nèi)置熱電偶的 5 個監(jiān)測點與爐外 5 個熱電偶的位置一一對應(yīng)。4 按下面板上的加熱“開”按鈕。5 當爐溫達到設(shè)定溫度并穩(wěn)定 1 小時以上，將中間 3 個溫控儀（分別監(jiān)測恒溫區(qū)的頭部、中部、尾部3個位置的溫度）測得的溫度最大值減去最小值，然后再 除以2,得到的結(jié)果即為所測恒溫區(qū)的精度