第9章 傳感器的標(biāo)定

1、電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社第第9 9章章 傳感器的標(biāo)定傳感器的標(biāo)定電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 本章內(nèi)容本章內(nèi)容 9.1 9.1 傳感器靜態(tài)特性的標(biāo)定傳感器靜態(tài)特性的標(biāo)定 9.2 9.2 傳感器動(dòng)態(tài)特性的標(biāo)定傳感器動(dòng)態(tài)特性的標(biāo)定 9.3 9.3 常用的標(biāo)定設(shè)備常用的標(biāo)定設(shè)備 9.4 9.4 傳感器標(biāo)定舉例傳感器標(biāo)定舉例電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 9.1 9.1 傳感器靜態(tài)特性的標(biāo)定傳感器靜態(tài)特性的標(biāo)定 傳感器的標(biāo)定，就是利用精度高一級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)器具對(duì)傳感器進(jìn)傳感器的標(biāo)定，就是利用精度高一級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)器具對(duì)傳感器進(jìn)行定度的過(guò)程，通過(guò)實(shí)驗(yàn)建立傳感器輸出量和輸入量之間的對(duì)行定度的過(guò)程，通過(guò)實(shí)驗(yàn)建立傳感器

2、輸出量和輸入量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，同時(shí)也確定不同使用條件下的誤差關(guān)系。應(yīng)關(guān)系，同時(shí)也確定不同使用條件下的誤差關(guān)系。傳感器的標(biāo)定分為靜態(tài)標(biāo)定和動(dòng)態(tài)標(biāo)定兩種。傳感器的標(biāo)定分為靜態(tài)標(biāo)定和動(dòng)態(tài)標(biāo)定兩種。 靜態(tài)標(biāo)定的目的是確定傳感器靜態(tài)特性指標(biāo)，如線性度、靈靜態(tài)標(biāo)定的目的是確定傳感器靜態(tài)特性指標(biāo)，如線性度、靈敏度、滯后和重復(fù)性等。敏度、滯后和重復(fù)性等。 動(dòng)態(tài)標(biāo)定的目的是確定傳感器的動(dòng)態(tài)特性參數(shù)，如頻率響應(yīng)、動(dòng)態(tài)標(biāo)定的目的是確定傳感器的動(dòng)態(tài)特性參數(shù)，如頻率響應(yīng)、時(shí)間常數(shù)、固有頻率和阻尼比等。時(shí)間常數(shù)、固有頻率和阻尼比等。 工程測(cè)試中傳感器的標(biāo)定，應(yīng)在與其使用條件相似的環(huán)境下進(jìn)工程測(cè)試中傳感器的標(biāo)定，應(yīng)在與其使

3、用條件相似的環(huán)境下進(jìn)行。為獲得高的標(biāo)定精度，行。為獲得高的標(biāo)定精度， ( (尤其像電容式、壓電式傳感器等尤其像電容式、壓電式傳感器等) )應(yīng)將傳感器及其配用的電纜、放大器等測(cè)試系統(tǒng)一起標(biāo)定。應(yīng)將傳感器及其配用的電纜、放大器等測(cè)試系統(tǒng)一起標(biāo)定。有時(shí)，根據(jù)需要也要對(duì)溫度響應(yīng)、環(huán)境影響等進(jìn)行標(biāo)定。有時(shí)，根據(jù)需要也要對(duì)溫度響應(yīng)、環(huán)境影響等進(jìn)行標(biāo)定。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 1. 1. 靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件 傳感器的靜態(tài)特性是在靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件下進(jìn)行標(biāo)定的。所謂靜傳感器的靜態(tài)特性是在靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件下進(jìn)行標(biāo)定的。所謂靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)是指沒(méi)有加速度、振動(dòng)、沖擊態(tài)標(biāo)準(zhǔn)是指沒(méi)有加速度、振動(dòng)、沖擊( (除非這些參數(shù)本身

4、就是除非這些參數(shù)本身就是被測(cè)物理量被測(cè)物理量) )及環(huán)境溫度一般為室溫及環(huán)境溫度一般為室溫(20(205)5)、相對(duì)濕度不、相對(duì)濕度不大于大于85%85%，大氣壓力為，大氣壓力為(101(1017)7) kPakPa的情況。的情況。 2. 2. 靜態(tài)特性標(biāo)定系統(tǒng)靜態(tài)特性標(biāo)定系統(tǒng)對(duì)傳感器進(jìn)行靜態(tài)特性標(biāo)定，首先要建立標(biāo)定系統(tǒng)。傳感器的對(duì)傳感器進(jìn)行靜態(tài)特性標(biāo)定，首先要建立標(biāo)定系統(tǒng)。傳感器的靜態(tài)標(biāo)定系統(tǒng)一般由以下幾部分組成：靜態(tài)標(biāo)定系統(tǒng)一般由以下幾部分組成： (1) (1) 被測(cè)物理量標(biāo)準(zhǔn)發(fā)生器。如測(cè)力機(jī)、活塞式壓力計(jì)、恒溫被測(cè)物理量標(biāo)準(zhǔn)發(fā)生器。如測(cè)力機(jī)、活塞式壓力計(jì)、恒溫源等。源等。 (2) (2)

5、 被測(cè)物理量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試系統(tǒng)。如標(biāo)準(zhǔn)力傳感器、壓力傳感器、被測(cè)物理量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試系統(tǒng)。如標(biāo)準(zhǔn)力傳感器、壓力傳感器、標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度量規(guī)等。量規(guī)等。 (3) (3) 被標(biāo)定傳感器所配接的信號(hào)調(diào)節(jié)器和顯示、記錄器等配接被標(biāo)定傳感器所配接的信號(hào)調(diào)節(jié)器和顯示、記錄器等配接儀器精度應(yīng)是己知的，也作為標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試設(shè)備。儀器精度應(yīng)是己知的，也作為標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試設(shè)備。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社標(biāo)定系統(tǒng)分為絕對(duì)法標(biāo)定系統(tǒng)和比較法標(biāo)定系統(tǒng)。標(biāo)定系統(tǒng)分為絕對(duì)法標(biāo)定系統(tǒng)和比較法標(biāo)定系統(tǒng)。 絕對(duì)法標(biāo)定系統(tǒng)：絕對(duì)法標(biāo)定系統(tǒng)：標(biāo)定精度高，但較復(fù)雜標(biāo)定精度高，但較復(fù)雜 標(biāo)定裝置能產(chǎn)生量值確定的標(biāo)定裝置能產(chǎn)生量值確定的高精度標(biāo)準(zhǔn)輸入量，將之傳

6、遞高精度標(biāo)準(zhǔn)輸入量，將之傳遞給被標(biāo)定的傳感器，同時(shí)標(biāo)定給被標(biāo)定的傳感器，同時(shí)標(biāo)定裝置能測(cè)量并顯示出被標(biāo)定傳裝置能測(cè)量并顯示出被標(biāo)定傳感器的輸出量。感器的輸出量。 比較法標(biāo)定系統(tǒng)比較法標(biāo)定系統(tǒng) 標(biāo)定裝置不能測(cè)量被測(cè)量，它標(biāo)定裝置不能測(cè)量被測(cè)量，它產(chǎn)生的被測(cè)輸入量通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)傳產(chǎn)生的被測(cè)輸入量通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)傳感器測(cè)量，被標(biāo)定傳感器的輸感器測(cè)量，被標(biāo)定傳感器的輸出由高精度測(cè)量裝置測(cè)量并顯出由高精度測(cè)量裝置測(cè)量并顯示。但如果被標(biāo)定傳感器包括示。但如果被標(biāo)定傳感器包括后續(xù)測(cè)量電路和顯示部分，高后續(xù)測(cè)量電路和顯示部分，高精度輸出測(cè)量裝置就可去掉。精度輸出測(cè)量裝置就可去掉。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 注意！注意！在

7、標(biāo)定傳感器時(shí)，所用的測(cè)量?jī)x器的精度至少要在標(biāo)定傳感器時(shí)，所用的測(cè)量?jī)x器的精度至少要比被標(biāo)定的傳感器的精度高一個(gè)等級(jí)。比被標(biāo)定的傳感器的精度高一個(gè)等級(jí)。 3. 3. 靜態(tài)特性標(biāo)定的步驟靜態(tài)特性標(biāo)定的步驟 標(biāo)定過(guò)程步驟如下：標(biāo)定過(guò)程步驟如下：(1) (1) 將傳感器全量程將傳感器全量程( (測(cè)量范圍測(cè)量范圍) )分成若干等間距點(diǎn)；分成若干等間距點(diǎn)；(2) (2) 根據(jù)傳感器量程分點(diǎn)情況，由小到大逐漸一點(diǎn)一點(diǎn)輸入標(biāo)根據(jù)傳感器量程分點(diǎn)情況，由小到大逐漸一點(diǎn)一點(diǎn)輸入標(biāo)準(zhǔn)量值，并記錄下與各輸入值相對(duì)應(yīng)的輸出值；準(zhǔn)量值，并記錄下與各輸入值相對(duì)應(yīng)的輸出值；(3) (3) 將輸入值由大到小一點(diǎn)一點(diǎn)的減少下來(lái)，同

8、時(shí)記錄下與各將輸入值由大到小一點(diǎn)一點(diǎn)的減少下來(lái)，同時(shí)記錄下與各輸入值相對(duì)應(yīng)的輸出值；輸入值相對(duì)應(yīng)的輸出值；(4) (4) 按按(2)(2)、(3)(3)所述過(guò)程，對(duì)傳感器進(jìn)行正、反行程往復(fù)循環(huán)所述過(guò)程，對(duì)傳感器進(jìn)行正、反行程往復(fù)循環(huán)多次測(cè)試，將得到的輸出多次測(cè)試，將得到的輸出- -輸入測(cè)試數(shù)據(jù)用表格列出或畫(huà)成曲輸入測(cè)試數(shù)據(jù)用表格列出或畫(huà)成曲線；線；(5) (5) 對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行必要的處理，根據(jù)處理結(jié)果就可以確定傳對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行必要的處理，根據(jù)處理結(jié)果就可以確定傳感器的線性度、靈敏度、滯后和重復(fù)性等靜態(tài)特性指標(biāo)。感器的線性度、靈敏度、滯后和重復(fù)性等靜態(tài)特性指標(biāo)。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社9.2

9、 9.2 傳感器動(dòng)態(tài)特性的標(biāo)定傳感器動(dòng)態(tài)特性的標(biāo)定 傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定主要是研究傳感器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)，而與動(dòng)態(tài)傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定主要是研究傳感器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)，而與動(dòng)態(tài)響應(yīng)有關(guān)的參數(shù)，一階傳感器只有時(shí)間常數(shù)響應(yīng)有關(guān)的參數(shù)，一階傳感器只有時(shí)間常數(shù) 一個(gè)參數(shù)，二階一個(gè)參數(shù)，二階傳感器則有固有頻率傳感器則有固有頻率 和阻尼比和阻尼比 兩個(gè)參數(shù)。兩個(gè)參數(shù)。n傳感器動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定方法：傳感器動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定方法： 1. 1. 階躍響應(yīng)法階躍響應(yīng)法 由于獲取階躍信號(hào)比較方便，使用階躍響應(yīng)法測(cè)量傳感器動(dòng)由于獲取階躍信號(hào)比較方便，使用階躍響應(yīng)法測(cè)量傳感器動(dòng)態(tài)性能是一種較好的方法。對(duì)于一階傳感器，簡(jiǎn)單的方法就是態(tài)性能是一種較好的

10、方法。對(duì)于一階傳感器，簡(jiǎn)單的方法就是測(cè)得階躍響應(yīng)之后，傳感器輸出值達(dá)到最終穩(wěn)定值的測(cè)得階躍響應(yīng)之后，傳感器輸出值達(dá)到最終穩(wěn)定值的63.2%63.2%所所經(jīng)歷的時(shí)間，即時(shí)間常數(shù)。經(jīng)歷的時(shí)間，即時(shí)間常數(shù)。 但上述方法測(cè)量結(jié)果的可靠性僅僅取決于某些個(gè)別的瞬時(shí)值。但上述方法測(cè)量結(jié)果的可靠性僅僅取決于某些個(gè)別的瞬時(shí)值。為獲得較可靠的結(jié)果，應(yīng)記錄下整個(gè)響應(yīng)期間傳感器的輸出值，為獲得較可靠的結(jié)果，應(yīng)記錄下整個(gè)響應(yīng)期間傳感器的輸出值，然后利用下述方法來(lái)確定時(shí)間常數(shù)。然后利用下述方法來(lái)確定時(shí)間常數(shù)。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社已知一階傳感器的階躍響應(yīng)函數(shù)為：已知一階傳感器的階躍響應(yīng)函數(shù)為：( )1ety t 整

11、理得：整理得：1( )ty t e令：令：ln1( )zy t則則tz 表明表明z z和時(shí)間和時(shí)間t t成線性關(guān)系，且成線性關(guān)系，且 ，如圖所示。，如圖所示。因此，可以根據(jù)測(cè)得的因此，可以根據(jù)測(cè)得的 值，作出值，作出z z- -t t曲線，再根據(jù)曲線，再根據(jù) 值值算出時(shí)間常數(shù)。算出時(shí)間常數(shù)。tz ( )y ttz 電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 對(duì)于二階傳感器，實(shí)際設(shè)計(jì)時(shí)都設(shè)計(jì)成欠阻尼系統(tǒng)，即阻尼對(duì)于二階傳感器，實(shí)際設(shè)計(jì)時(shí)都設(shè)計(jì)成欠阻尼系統(tǒng)，即阻尼比比 小于小于1 1，這樣過(guò)沖量不會(huì)太大，穩(wěn)定時(shí)間也不會(huì)過(guò)長(zhǎng)，如圖。，這樣過(guò)沖量不會(huì)太大，穩(wěn)定時(shí)間也不會(huì)過(guò)長(zhǎng)，如圖。 它是以它是以 的角頻的角頻率作衰

12、減振蕩的，率作衰減振蕩的， 稱為傳稱為傳感器的感器的阻尼振蕩頻率阻尼振蕩頻率。按照。按照求極值的通用方法，可以求求極值的通用方法，可以求得各振蕩峰值所對(duì)應(yīng)的時(shí)間得各振蕩峰值所對(duì)應(yīng)的時(shí)間為為 、 、。2dn1ddd2已知欠阻尼二階傳感器階躍響應(yīng)表達(dá)式為：已知欠阻尼二階傳感器階躍響應(yīng)表達(dá)式為： ( )y tAKn2n2e1sin11tt 電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社按求極值的通用方法，求得第一按求極值的通用方法，求得第一個(gè)峰值輸出為個(gè)峰值輸出為21d1y tAKe則對(duì)應(yīng)的最大超調(diào)量為則對(duì)應(yīng)的最大超調(diào)量為2d1mey tyy測(cè)出最大超調(diào)量，則可算出阻尼比：測(cè)出最大超調(diào)量，則可算出阻尼比：2m11ln

13、電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社測(cè)出振蕩周期測(cè)出振蕩周期T Td d值，根據(jù)值，根據(jù)T Td d= = 以及以及 與與 的關(guān)系，代入下的關(guān)系，代入下式計(jì)算固有頻率：式計(jì)算固有頻率：d/dnn2d21T 2. 2. 頻率響應(yīng)法頻率響應(yīng)法 該方法利用正弦周期輸入信號(hào)，通過(guò)測(cè)定不同正弦激勵(lì)頻率下該方法利用正弦周期輸入信號(hào)，通過(guò)測(cè)定不同正弦激勵(lì)頻率下輸出與輸入的幅值比和相位差來(lái)確定傳感器的幅頻特性和相頻輸出與輸入的幅值比和相位差來(lái)確定傳感器的幅頻特性和相頻特性。特性。 根據(jù)一階傳感器幅頻特性曲線的根據(jù)一階傳感器幅頻特性曲線的伯得圖，其對(duì)數(shù)幅頻曲線下降伯得圖，其對(duì)數(shù)幅頻曲線下降3dB3dB處所測(cè)取的角頻率處

14、所測(cè)取的角頻率 ，可求得一階傳感器的時(shí)間常數(shù)?？汕蟮靡浑A傳感器的時(shí)間常數(shù)。 1電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 對(duì)欠阻尼二階傳感器，可從其幅頻特性曲線上測(cè)得對(duì)欠阻尼二階傳感器，可從其幅頻特性曲線上測(cè)得3 3個(gè)特征個(gè)特征量：零頻增益量：零頻增益A Ar r(0)、共振頻率增益共振頻率增益 和共振角頻率和共振角頻率 。rrAr根據(jù)第根據(jù)第1 1章分析得出的欠阻章分析得出的欠阻尼二階傳感器幅頻特性表達(dá)尼二階傳感器幅頻特性表達(dá)式式 2222( )0 /(1)(2)rAA 通過(guò)對(duì)其求極值可推導(dǎo)出通過(guò)對(duì)其求極值可推導(dǎo)出 r21021rrAArn212電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 3. 3. 沖擊響應(yīng)法沖擊響應(yīng)

15、法 沖擊響應(yīng)法具有所需設(shè)備少、操作簡(jiǎn)便、調(diào)整控制方便的特沖擊響應(yīng)法具有所需設(shè)備少、操作簡(jiǎn)便、調(diào)整控制方便的特點(diǎn)。如用于力傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定的落錘式?jīng)_擊臺(tái)就是根據(jù)重物自點(diǎn)。如用于力傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定的落錘式?jīng)_擊臺(tái)就是根據(jù)重物自由下落，沖擊砧子所產(chǎn)生的沖擊力作為標(biāo)準(zhǔn)動(dòng)態(tài)力的。用沖擊由下落，沖擊砧子所產(chǎn)生的沖擊力作為標(biāo)準(zhǔn)動(dòng)態(tài)力的。用沖擊信號(hào)作為傳感器輸入時(shí)，傳感器系統(tǒng)傳遞函數(shù)為其輸出信號(hào)的信號(hào)作為傳感器輸入時(shí)，傳感器系統(tǒng)傳遞函數(shù)為其輸出信號(hào)的拉氏變換，由此可確定傳感器的傳遞函數(shù)。拉氏變換，由此可確定傳感器的傳遞函數(shù)。9.3 9.3 常用的標(biāo)定設(shè)備常用的標(biāo)定設(shè)備 9.3.1 9.3.1 靜態(tài)標(biāo)定設(shè)備靜態(tài)標(biāo)定設(shè)

16、備 1. 1. 力標(biāo)定設(shè)備力標(biāo)定設(shè)備測(cè)力傳感器的標(biāo)定主要是靜態(tài)標(biāo)定，采用比較法。測(cè)力傳感器的標(biāo)定主要是靜態(tài)標(biāo)定，采用比較法。 1) 1) 測(cè)力砝碼測(cè)力砝碼最簡(jiǎn)單的力標(biāo)定設(shè)備是各種測(cè)力砝碼。最簡(jiǎn)單的力標(biāo)定設(shè)備是各種測(cè)力砝碼。 電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 我國(guó)基準(zhǔn)測(cè)力裝置是固定式基準(zhǔn)測(cè)力機(jī)，它實(shí)際上是由一組我國(guó)基準(zhǔn)測(cè)力裝置是固定式基準(zhǔn)測(cè)力機(jī)，它實(shí)際上是由一組在重力場(chǎng)中體現(xiàn)基準(zhǔn)力值的直接加荷砝碼在重力場(chǎng)中體現(xiàn)基準(zhǔn)力值的直接加荷砝碼( (靜重砝碼靜重砝碼) )組成。圖組成。圖(a)(a)所示為一種杠桿式測(cè)力機(jī)，這是一種直接加測(cè)力法碼的標(biāo)定所示為一種杠桿式測(cè)力機(jī)，這是一種直接加測(cè)力法碼的標(biāo)定裝置。圖裝

17、置。圖(b)(b)所示為一種液壓式測(cè)力機(jī)原理圖，其中砝碼經(jīng)油路所示為一種液壓式測(cè)力機(jī)原理圖，其中砝碼經(jīng)油路產(chǎn)生的力作為標(biāo)準(zhǔn)力，作用在被標(biāo)定傳感器上，量程可高達(dá)產(chǎn)生的力作為標(biāo)準(zhǔn)力，作用在被標(biāo)定傳感器上，量程可高達(dá)5MN5MN。 電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 2) 2) 拉壓式測(cè)力計(jì)拉壓式測(cè)力計(jì) 圖示為一種用環(huán)形測(cè)力計(jì)圖示為一種用環(huán)形測(cè)力計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn)的推力標(biāo)定裝置。作為標(biāo)準(zhǔn)的推力標(biāo)定裝置。它由液壓缸產(chǎn)生測(cè)力，測(cè)力它由液壓缸產(chǎn)生測(cè)力，測(cè)力計(jì)的彈性敏感元件為橢圓形計(jì)的彈性敏感元件為橢圓形鋼環(huán)，環(huán)體受力后的變形量鋼環(huán)，環(huán)體受力后的變形量與作用力成線性關(guān)系，測(cè)出與作用力成線性關(guān)系，測(cè)出測(cè)力環(huán)變形量作為標(biāo)準(zhǔn)輸

18、入。測(cè)力環(huán)變形量作為標(biāo)準(zhǔn)輸入。如果用杠桿放大機(jī)構(gòu)和百分如果用杠桿放大機(jī)構(gòu)和百分表結(jié)構(gòu)來(lái)讀取測(cè)力環(huán)變形量，表結(jié)構(gòu)來(lái)讀取測(cè)力環(huán)變形量，或用光學(xué)顯微鏡讀取，甚至或用光學(xué)顯微鏡讀取，甚至采用光學(xué)干涉法讀取，則可采用光學(xué)干涉法讀取，則可大大提高測(cè)量精度。大大提高測(cè)量精度。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 2. 2. 壓力標(biāo)定設(shè)備壓力標(biāo)定設(shè)備 活塞壓力計(jì)是目前活塞壓力計(jì)是目前最常用的壓力傳感器最常用的壓力傳感器靜態(tài)標(biāo)定裝置。圖示靜態(tài)標(biāo)定裝置。圖示為活塞壓力計(jì)結(jié)構(gòu)原為活塞壓力計(jì)結(jié)構(gòu)原理圖。理圖。11測(cè)量活塞；測(cè)量活塞；22砝碼；砝碼；33活塞柱；活塞柱；44手搖泵；手搖泵；55工作液；工作液；66被校壓力被校壓

19、力表；表；77手輪；手輪；88絲桿；絲桿；99手搖泵活塞；手搖泵活塞；1010油油杯；杯；1111進(jìn)油閥手輪；進(jìn)油閥手輪；1212托盤(pán)；托盤(pán)；1313標(biāo)準(zhǔn)壓力標(biāo)準(zhǔn)壓力表；表；a a、b b、cc切斷閥；切斷閥；dd進(jìn)油閥進(jìn)油閥電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社活塞壓力計(jì)實(shí)物圖活塞壓力計(jì)實(shí)物圖電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社在壓力表在壓力表( (壓力傳感器壓力傳感器) )標(biāo)定時(shí)，標(biāo)定時(shí)，通過(guò)手輪對(duì)加壓泵內(nèi)的油液加通過(guò)手輪對(duì)加壓泵內(nèi)的油液加壓，根據(jù)流體靜力學(xué)中液體壓壓，根據(jù)流體靜力學(xué)中液體壓力傳遞平衡原理，該外加壓力力傳遞平衡原理，該外加壓力均勻傳遞到活塞缸內(nèi)頂起活塞。均勻傳遞到活塞缸內(nèi)頂起活塞。由于活塞上

20、部是承重盤(pán)和砝碼，由于活塞上部是承重盤(pán)和砝碼，當(dāng)油液中的壓力當(dāng)油液中的壓力p p產(chǎn)生的活塞上產(chǎn)生的活塞上頂力與承重盤(pán)和砝碼的重力相頂力與承重盤(pán)和砝碼的重力相等時(shí)，活塞被穩(wěn)定在某一平衡等時(shí)，活塞被穩(wěn)定在某一平衡位置上，這時(shí)力平衡關(guān)系為位置上，這時(shí)力平衡關(guān)系為p AG式中：式中：A A為活塞的截面積；為活塞的截面積；G G為承重盤(pán)和砝碼為承重盤(pán)和砝碼( (包括活塞包括活塞) )的總重的總重力；力；p p為被測(cè)壓力。為被測(cè)壓力。11測(cè)量活塞；測(cè)量活塞；22砝碼；砝碼；66被校壓力表；被校壓力表；99手搖泵活塞；手搖泵活塞；1313標(biāo)準(zhǔn)壓力表；標(biāo)準(zhǔn)壓力表；電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社一般取一般取A A

21、=1cm=1cm2 2或或0.1cm0.1cm2 2，因而可以方便準(zhǔn)確地由平衡時(shí)所加砝，因而可以方便準(zhǔn)確地由平衡時(shí)所加砝碼和承重盤(pán)本身的重力知道被測(cè)壓力碼和承重盤(pán)本身的重力知道被測(cè)壓力p p的數(shù)值。通過(guò)被標(biāo)定壓力的數(shù)值。通過(guò)被標(biāo)定壓力表表( (傳感器傳感器) )上的壓力指示值與這一標(biāo)準(zhǔn)壓力值上的壓力指示值與這一標(biāo)準(zhǔn)壓力值p p相比較，就可知相比較，就可知道被標(biāo)定壓力表道被標(biāo)定壓力表( (傳感器傳感器) )誤差大小。誤差大小。在現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定時(shí)，為了操作方便，可以不用砝碼加載，而直接用在現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定時(shí)，為了操作方便，可以不用砝碼加載，而直接用標(biāo)準(zhǔn)壓力表讀取所加壓力。標(biāo)準(zhǔn)壓力表讀取所加壓力。作為壓力標(biāo)準(zhǔn)的活

22、塞壓力計(jì)精度為作為壓力標(biāo)準(zhǔn)的活塞壓力計(jì)精度為0.002%0.002%，作為國(guó)家基準(zhǔn)器，作為國(guó)家基準(zhǔn)器的活塞壓力計(jì)最高精度為的活塞壓力計(jì)最高精度為0.005%0.005%，一等標(biāo)準(zhǔn)精度為，一等標(biāo)準(zhǔn)精度為0.01%0.01%，二等標(biāo)準(zhǔn)精度為二等標(biāo)準(zhǔn)精度為0.05%0.05%，三等標(biāo)準(zhǔn)精度為，三等標(biāo)準(zhǔn)精度為0.2%0.2%，一般工業(yè)用，一般工業(yè)用壓力表用三等精度活塞壓力計(jì)校準(zhǔn)。壓力表用三等精度活塞壓力計(jì)校準(zhǔn)。 電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 3. 3. 位移位移( (長(zhǎng)度長(zhǎng)度) )標(biāo)定設(shè)備標(biāo)定設(shè)備 位移位移( (長(zhǎng)度長(zhǎng)度) )測(cè)量系統(tǒng)的標(biāo)定主要采用比較法。標(biāo)定設(shè)備主要測(cè)量系統(tǒng)的標(biāo)定主要采用比較法。標(biāo)定

23、設(shè)備主要是各種長(zhǎng)度計(jì)量器具，如各種直尺、千分尺、塊規(guī)、塞規(guī)、專是各種長(zhǎng)度計(jì)量器具，如各種直尺、千分尺、塊規(guī)、塞規(guī)、專門(mén)制造的標(biāo)準(zhǔn)樣柱等均可作為位移傳感器的靜態(tài)標(biāo)定設(shè)備。門(mén)制造的標(biāo)準(zhǔn)樣柱等均可作為位移傳感器的靜態(tài)標(biāo)定設(shè)備。當(dāng)精度為當(dāng)精度為2.52.510 10 時(shí)可直接用度盤(pán)指示器和千分尺作標(biāo)準(zhǔn)時(shí)可直接用度盤(pán)指示器和千分尺作標(biāo)準(zhǔn)器；如測(cè)量精度高于器；如測(cè)量精度高于2.5 2.5 ，則應(yīng)用塊規(guī)來(lái)標(biāo)定傳感器。，則應(yīng)用塊規(guī)來(lái)標(biāo)定傳感器。mm 塊規(guī)精度高，使用方便，標(biāo)定范圍廣，是工業(yè)中常用的長(zhǎng)度塊規(guī)精度高，使用方便，標(biāo)定范圍廣，是工業(yè)中常用的長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器。塊規(guī)由軸承鋼制成，具有兩個(gè)相對(duì)經(jīng)拋光的基準(zhǔn)平標(biāo)準(zhǔn)器

24、。塊規(guī)由軸承鋼制成，具有兩個(gè)相對(duì)經(jīng)拋光的基準(zhǔn)平面，它們的平面度和平行度都限制在規(guī)定的公差范圍內(nèi)。作面，它們的平面度和平行度都限制在規(guī)定的公差范圍內(nèi)。作為標(biāo)準(zhǔn)用的塊規(guī)的準(zhǔn)確度為為標(biāo)準(zhǔn)用的塊規(guī)的準(zhǔn)確度為0.03 /cm0.03 /cm。 m電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社塊規(guī)實(shí)物圖塊規(guī)實(shí)物圖塊規(guī)的使用塊規(guī)的使用電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社用塊規(guī)來(lái)進(jìn)行標(biāo)定時(shí)可以采用直接比較法和光干涉法。用塊規(guī)來(lái)進(jìn)行標(biāo)定時(shí)可以采用直接比較法和光干涉法。 直接比較法直接比較法光干涉法光干涉法電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 塊規(guī)只能進(jìn)行靜態(tài)的和小尺寸的標(biāo)定。對(duì)大量程長(zhǎng)度測(cè)量塊規(guī)只能進(jìn)行靜態(tài)的和小尺寸的標(biāo)定。對(duì)大量程長(zhǎng)度測(cè)量裝置

25、的標(biāo)定可用雙頻激光干涉儀。裝置的標(biāo)定可用雙頻激光干涉儀。 雙頻激光干涉儀的基本工作原理是光干涉原理，它的特點(diǎn)是雙頻激光干涉儀的基本工作原理是光干涉原理，它的特點(diǎn)是利用兩個(gè)頻率相差很小的光的干涉，亦即用時(shí)間頻率代替了一利用兩個(gè)頻率相差很小的光的干涉，亦即用時(shí)間頻率代替了一般干涉儀的空間頻率，因此對(duì)于環(huán)境震動(dòng)、空氣湍流等的影響般干涉儀的空間頻率，因此對(duì)于環(huán)境震動(dòng)、空氣湍流等的影響不敏感，儀器的分辨力可達(dá)到納米級(jí)。當(dāng)用雙頻激光儀和被標(biāo)不敏感，儀器的分辨力可達(dá)到納米級(jí)。當(dāng)用雙頻激光儀和被標(biāo)定的測(cè)量裝置同時(shí)對(duì)運(yùn)動(dòng)物體進(jìn)行測(cè)量時(shí)，就可以得到測(cè)量裝定的測(cè)量裝置同時(shí)對(duì)運(yùn)動(dòng)物體進(jìn)行測(cè)量時(shí)，就可以得到測(cè)量裝置的動(dòng)

26、態(tài)誤差。置的動(dòng)態(tài)誤差。 4. 4. 溫度標(biāo)定設(shè)備溫度標(biāo)定設(shè)備 標(biāo)定溫度測(cè)量系統(tǒng)的方法可以分為兩類：一是同一次標(biāo)準(zhǔn)比標(biāo)定溫度測(cè)量系統(tǒng)的方法可以分為兩類：一是同一次標(biāo)準(zhǔn)比較，即按照國(guó)際計(jì)量委員會(huì)較，即按照國(guó)際計(jì)量委員會(huì)19901990年通過(guò)的國(guó)際溫標(biāo)年通過(guò)的國(guó)際溫標(biāo)(ITS-1990)(ITS-1990)相比較相比較, ,見(jiàn)表見(jiàn)表9-1 9-1 ；二是與某個(gè)已經(jīng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)裝置進(jìn)行比較，；二是與某個(gè)已經(jīng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)裝置進(jìn)行比較，這是常用的標(biāo)定方法。這是常用的標(biāo)定方法。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 復(fù)現(xiàn)表復(fù)現(xiàn)表9-19-1中這些基準(zhǔn)點(diǎn)的方法是用一個(gè)內(nèi)裝有參考材料的密中這些基準(zhǔn)點(diǎn)的方法是用一個(gè)內(nèi)裝有參考材

27、料的密封容器，將待標(biāo)定的溫度傳感器的敏感元件放在伸入容器中心封容器，將待標(biāo)定的溫度傳感器的敏感元件放在伸入容器中心位置的套管中。然后加熱，使溫度超過(guò)參考物質(zhì)的熔點(diǎn)，待物位置的套管中。然后加熱，使溫度超過(guò)參考物質(zhì)的熔點(diǎn)，待物質(zhì)全部熔化。隨后冷卻，達(dá)到三相點(diǎn)質(zhì)全部熔化。隨后冷卻，達(dá)到三相點(diǎn)( (或凝固點(diǎn)或凝固點(diǎn)) )后，只要同時(shí)后，只要同時(shí)存在固、液、氣三態(tài)或存在固、液、氣三態(tài)或( (固、液態(tài)固、液態(tài)) )約幾分鐘，溫度就穩(wěn)定下來(lái)，約幾分鐘，溫度就穩(wěn)定下來(lái)，并能保持規(guī)定值不變。并能保持規(guī)定值不變。 對(duì)于定義固定點(diǎn)之間的溫度，對(duì)于定義固定點(diǎn)之間的溫度，ITS-1990ITS-1990國(guó)際溫標(biāo)把溫度分

28、為國(guó)際溫標(biāo)把溫度分為4 4個(gè)溫區(qū)，各個(gè)溫區(qū)的范圍、使用的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫儀器分別為：個(gè)溫區(qū)，各個(gè)溫區(qū)的范圍、使用的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫儀器分別為：(1)(1) 0.650.655.05.0 K K間為間為3 3HeHe或或4 4HeHe蒸氣壓溫度計(jì)；蒸氣壓溫度計(jì)；(2)(2) 3.03.024.556124.5561 K K間為間為3 3HeHe或或4 4HeHe定容氣體溫度計(jì)；定容氣體溫度計(jì)；(3)(3) 13.803313.8033 K K961.78961.78間為鉑電阻溫度計(jì)；間為鉑電阻溫度計(jì)；(4)(4) 961.78961.78以上為光學(xué)或光電高溫計(jì)。以上為光學(xué)或光電高溫計(jì)。以上有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫儀器的分度

29、方法以及固定點(diǎn)之間的內(nèi)插公式，以上有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫儀器的分度方法以及固定點(diǎn)之間的內(nèi)插公式，ITS-1990ITS-1990國(guó)際溫標(biāo)都有明確的規(guī)定，可參考國(guó)際溫標(biāo)都有明確的規(guī)定，可參考ITS-1990ITS-1990標(biāo)準(zhǔn)文本。標(biāo)準(zhǔn)文本。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 熱電偶的標(biāo)定熱電偶的標(biāo)定( (校準(zhǔn)校準(zhǔn)):):目的是核對(duì)標(biāo)準(zhǔn)熱電偶的熱電動(dòng)勢(shì)目的是核對(duì)標(biāo)準(zhǔn)熱電偶的熱電動(dòng)勢(shì)- -溫度關(guān)系是否符合標(biāo)準(zhǔn)，或確定非標(biāo)準(zhǔn)熱電偶的熱電動(dòng)勢(shì)溫度關(guān)系是否符合標(biāo)準(zhǔn)，或確定非標(biāo)準(zhǔn)熱電偶的熱電動(dòng)勢(shì)溫度標(biāo)定曲線，也可以通過(guò)標(biāo)定消除測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)誤差。溫度標(biāo)定曲線，也可以通過(guò)標(biāo)定消除測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)誤差。標(biāo)定方法有標(biāo)定方法有定點(diǎn)

30、法定點(diǎn)法和和比較法比較法。 定點(diǎn)法定點(diǎn)法是以純?cè)氐姆悬c(diǎn)或凝固點(diǎn)作為溫度標(biāo)準(zhǔn)。如基準(zhǔn)鉑是以純?cè)氐姆悬c(diǎn)或凝固點(diǎn)作為溫度標(biāo)準(zhǔn)。如基準(zhǔn)鉑銠銠 10-10-鉑熱電偶在鉑熱電偶在630.755630.7551064.431064.43的溫度間隔內(nèi)，以金的的溫度間隔內(nèi)，以金的凝固點(diǎn)凝固點(diǎn)1064.431064.43、銀的凝固點(diǎn)、銀的凝固點(diǎn)961.93961.93、銻的凝固點(diǎn)、銻的凝固點(diǎn)630.775630.775作為標(biāo)準(zhǔn)溫度進(jìn)行標(biāo)定。作為標(biāo)準(zhǔn)溫度進(jìn)行標(biāo)定。比較法比較法是將標(biāo)準(zhǔn)熱電偶與被標(biāo)定熱電偶之間直接進(jìn)行比較，是將標(biāo)準(zhǔn)熱電偶與被標(biāo)定熱電偶之間直接進(jìn)行比較，比較法又可分為雙極法、同名極法比較法又可分為雙

31、極法、同名極法( (單極法單極法) )和微差法。和微差法。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社雙極比較法雙極比較法檢定系統(tǒng)原理原理圖。檢定時(shí)將標(biāo)準(zhǔn)熱電偶與被標(biāo)檢定系統(tǒng)原理原理圖。檢定時(shí)將標(biāo)準(zhǔn)熱電偶與被標(biāo)定熱電偶的工作端捆扎在一起，插入爐膛內(nèi)的均勻溫度場(chǎng)中，定熱電偶的工作端捆扎在一起，插入爐膛內(nèi)的均勻溫度場(chǎng)中，冷端分別插在冷端分別插在00的恒溫器中。用調(diào)壓變壓器調(diào)節(jié)爐溫，當(dāng)爐溫的恒溫器中。用調(diào)壓變壓器調(diào)節(jié)爐溫，當(dāng)爐溫到達(dá)所需的標(biāo)定溫度點(diǎn)到達(dá)所需的標(biāo)定溫度點(diǎn)1010內(nèi)，且爐溫變化每分鐘不超過(guò)內(nèi)，且爐溫變化每分鐘不超過(guò)0.20.2時(shí)，讀取數(shù)據(jù)。每一個(gè)標(biāo)定點(diǎn)溫度的讀數(shù)不得少于時(shí)，讀取數(shù)據(jù)。每一個(gè)標(biāo)定點(diǎn)溫度的讀

32、數(shù)不得少于4 4次。次。 電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 9.3.2 9.3.2 動(dòng)態(tài)標(biāo)定設(shè)備動(dòng)態(tài)標(biāo)定設(shè)備 1. 1. 振動(dòng)傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定設(shè)備振動(dòng)傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定設(shè)備 采用振動(dòng)臺(tái)采用振動(dòng)臺(tái)( (激振器激振器) )產(chǎn)生正弦激勵(lì)信號(hào)。振動(dòng)臺(tái)有機(jī)械的、產(chǎn)生正弦激勵(lì)信號(hào)。振動(dòng)臺(tái)有機(jī)械的、電磁的、液壓的等多種。常用的是電磁振動(dòng)臺(tái)，能產(chǎn)生電磁的、液壓的等多種。常用的是電磁振動(dòng)臺(tái)，能產(chǎn)生5 57.57.5 kHzkHz范圍激振頻率。高頻激振器多用壓電式，頻率范圍為幾范圍激振頻率。高頻激振器多用壓電式，頻率范圍為幾千赫到幾百萬(wàn)赫。千赫到幾百萬(wàn)赫。 機(jī)械振動(dòng)臺(tái)種類較多，其中偏心慣性質(zhì)量式最常用。機(jī)械振動(dòng)臺(tái)種類較多，

33、其中偏心慣性質(zhì)量式最常用。 液壓振動(dòng)臺(tái)是用高壓液體通過(guò)電液伺服閥驅(qū)動(dòng)作功進(jìn)而推動(dòng)液壓振動(dòng)臺(tái)是用高壓液體通過(guò)電液伺服閥驅(qū)動(dòng)作功進(jìn)而推動(dòng)臺(tái)面產(chǎn)生振動(dòng)的激振設(shè)備，它的低頻響應(yīng)好，推力大，常用來(lái)臺(tái)面產(chǎn)生振動(dòng)的激振設(shè)備，它的低頻響應(yīng)好，推力大，常用來(lái)作為大噸位激振設(shè)備。作為大噸位激振設(shè)備。振動(dòng)的標(biāo)定方法有絕對(duì)校準(zhǔn)法、比較法和互易法。振動(dòng)的標(biāo)定方法有絕對(duì)校準(zhǔn)法、比較法和互易法。 絕對(duì)法絕對(duì)法標(biāo)定是由標(biāo)準(zhǔn)儀器直接準(zhǔn)確決定出振動(dòng)臺(tái)的振幅和頻標(biāo)定是由標(biāo)準(zhǔn)儀器直接準(zhǔn)確決定出振動(dòng)臺(tái)的振幅和頻率，它有精度高、可靠性大的優(yōu)點(diǎn)。但該方法對(duì)設(shè)備精度要率，它有精度高、可靠性大的優(yōu)點(diǎn)。但該方法對(duì)設(shè)備精度要求高，標(biāo)定時(shí)間長(zhǎng)，一般

34、用在計(jì)量部門(mén)。求高，標(biāo)定時(shí)間長(zhǎng)，一般用在計(jì)量部門(mén)。 電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 比較法比較法的原理簡(jiǎn)單、操作方便，對(duì)設(shè)備精度要求較低，的原理簡(jiǎn)單、操作方便，對(duì)設(shè)備精度要求較低，所以應(yīng)用很廣。所以應(yīng)用很廣。上圖為一個(gè)用比較法標(biāo)定振動(dòng)傳感器的示意圖，將相同的運(yùn)動(dòng)上圖為一個(gè)用比較法標(biāo)定振動(dòng)傳感器的示意圖，將相同的運(yùn)動(dòng)加在兩個(gè)傳感器上，比較它們的輸出。在比較法中，標(biāo)準(zhǔn)傳感加在兩個(gè)傳感器上，比較它們的輸出。在比較法中，標(biāo)準(zhǔn)傳感器是關(guān)鍵部件，因此它必須滿足如下要求：靈敏度精度優(yōu)于器是關(guān)鍵部件，因此它必須滿足如下要求：靈敏度精度優(yōu)于0.5%0.5%，并具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性，線性好；橫向靈敏度比小于，并具有長(zhǎng)期穩(wěn)

35、定性，線性好；橫向靈敏度比小于2.5%2.5%；對(duì)環(huán)境的響應(yīng)小，自振頻率盡量高。對(duì)環(huán)境的響應(yīng)小，自振頻率盡量高。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 振動(dòng)標(biāo)定的內(nèi)容主要有靈敏度、頻率響應(yīng)、固有振動(dòng)頻率、振動(dòng)標(biāo)定的內(nèi)容主要有靈敏度、頻率響應(yīng)、固有振動(dòng)頻率、橫向靈敏度等。橫向靈敏度等。 靈敏度靈敏度的標(biāo)定是在傳感器規(guī)定的頻率響應(yīng)范圍內(nèi)，進(jìn)行單頻的標(biāo)定是在傳感器規(guī)定的頻率響應(yīng)范圍內(nèi)，進(jìn)行單頻標(biāo)定。亦即在頻率保持恒定的條件下，改變振動(dòng)臺(tái)的振幅，讀標(biāo)定。亦即在頻率保持恒定的條件下，改變振動(dòng)臺(tái)的振幅，讀出傳感器的輸出電壓值出傳感器的輸出電壓值( (或其他量值或其他量值) )，就可以得到它的振幅，就可以得到它的振幅

36、電壓曲線。與標(biāo)準(zhǔn)傳感器相比較，就可以從下式求得它的靈敏電壓曲線。與標(biāo)準(zhǔn)傳感器相比較，就可以從下式求得它的靈敏度：度：1122USSU式中：式中：U U1 1、U U2 2分別為待測(cè)傳感器和標(biāo)準(zhǔn)傳感器的輸出電壓；分別為待測(cè)傳感器和標(biāo)準(zhǔn)傳感器的輸出電壓；S S1 1、S S2 2分別為待測(cè)傳感器和標(biāo)準(zhǔn)傳感器的靈敏度。分別為待測(cè)傳感器和標(biāo)準(zhǔn)傳感器的靈敏度。 頻率響應(yīng)頻率響應(yīng)的標(biāo)定是在振幅恒定條件下，改變振動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)頻率，的標(biāo)定是在振幅恒定條件下，改變振動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)頻率，所得到的輸出電壓與頻率的對(duì)應(yīng)關(guān)系即傳感器的幅頻響應(yīng)；比所得到的輸出電壓與頻率的對(duì)應(yīng)關(guān)系即傳感器的幅頻響應(yīng)；比較待測(cè)傳感器與標(biāo)準(zhǔn)傳感器輸

37、出信號(hào)間的相位差，就可以得到較待測(cè)傳感器與標(biāo)準(zhǔn)傳感器輸出信號(hào)間的相位差，就可以得到傳感器的相頻特性。相位差可以用相位計(jì)讀出，也可以用示波傳感器的相頻特性。相位差可以用相位計(jì)讀出，也可以用示波器觀察它們的李沙育圖形求得。器觀察它們的李沙育圖形求得。電子工業(yè)出版社電子工業(yè)出版社 頻率響應(yīng)的標(biāo)定至少要做七點(diǎn)以上，并應(yīng)注意有無(wú)局部諧頻率響應(yīng)的標(biāo)定至少要做七點(diǎn)以上，并應(yīng)注意有無(wú)局部諧振現(xiàn)象的存在。這可以用頻率掃描方法來(lái)檢查。振現(xiàn)象的存在。這可以用頻率掃描方法來(lái)檢查。固有振動(dòng)頻率固有振動(dòng)頻率的測(cè)定是用高頻振動(dòng)臺(tái)作激勵(lì)源，振動(dòng)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)的測(cè)定是用高頻振動(dòng)臺(tái)作激勵(lì)源，振動(dòng)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)質(zhì)量應(yīng)大于傳感器質(zhì)量十倍以上。質(zhì)量應(yīng)大于傳感器質(zhì)量十倍以上。橫向靈敏度橫向靈敏度是在單一頻率下進(jìn)行的。要求振動(dòng)臺(tái)的軸向運(yùn)動(dòng)速是在單一頻率下進(jìn)行的。要求振動(dòng)臺(tái)的軸向運(yùn)動(dòng)速度比橫向速度大度比橫向速度大100100倍以上。小于倍以上。小于1%1%的橫向靈敏度則要求更加嚴(yán)的橫向靈敏度則要求更加嚴(yán)格。格。 2. 2. 壓力傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定設(shè)備壓力傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定設(shè)備 壓力傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定時(shí)常用壓力傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定時(shí)常用激波管激波管產(chǎn)生階躍壓力信號(hào)。激波管產(chǎn)生階躍壓力信號(hào)。激波管結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便可靠，標(biāo)定精度可達(dá)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便可靠，標(biāo)定精度可達(dá)4%4%5%5%。 所謂所謂激波激波，是指氣體某處壓力發(fā)生突然變化，壓力波高速傳播，是指