T∕CEMIA 021-2019 厚膜集成電路用電阻漿料規(guī)范

1、ICS 31.030L 90T/CEMIA 0212019厚膜集成電路用電阻漿料規(guī)范Specification for resistance paste for thick film integrated circuits2019-09-25 發(fā)布2019-12-25 實施中國電子材料行業(yè)協(xié)會發(fā)布T/CEMIA 0212019本標準按照GB/T 1.12009給出的規(guī)則起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別這些專利的責任。本標準由中國電子材料行業(yè)協(xié)會提出并歸口。本標準主要起草單位：西安宏星電子漿料科技股份有限公司。本標準參與起草單位：中國電子科技集團公司第四十三研

2、究所、陜西華經(jīng)微電子股份有限公司、廣 東風華高新科技股份有限公司。本標準主要起草人：鹿寧、趙瑩、周寶榮、陸冬梅、孫社稷、王大林、崔國強、張建益、王璞、劉絲穎、 梅元、趙科良、王耀東、董耀輝、李艷、李建輝、王偉、張登峰、任榮、王麗莎、楊曉平、莫雪瓊。I庫七七 標準下載庫七七 標準下載T/CEMIA 0212019厚膜集成電路用電阻漿料規(guī)范1范圍本標準規(guī)定了厚膜集成電路用電阻漿料的定義、技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標志、運輸、 貯存。本標準適用于由功能相、玻璃相、有機載體以及添加劑組成，滿足印刷特性的厚膜集成電路用電阻 漿料（以下簡稱電阻漿料）。2規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必

3、不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。SJ/T 115122015集成電路用電子漿料性能試驗方法3術(shù)語和定義3.1方數(shù) square number漿料燒結(jié)膜圖形的長/寬比值，單位符號用表示。4技術(shù)要求4.1電阻漿料性能電阻漿料性能應符合表1的規(guī)定。表1電阻漿料性能性能細度/pm黏度/(Pa sY (25 °C , 10 rpm)固體含量/%參數(shù)指標KqC10 (1/:<8100200>60Ra>10 (1/:<5a黏度范圍內(nèi)的具體數(shù)值由供需雙方協(xié)商確定。4.2電阻漿料燒

4、成膜性能電阻漿料燒成膜性能應符合表2的規(guī)定。1庫七七 標準下載T/CEMIA 0212019表2電阻漿料燒成膜性能標稱方阻"尺口（2/口）方阻偏差%電阻溫度系數(shù)/10-6/°C阻值變化率/%正溫度系數(shù)負溫度系數(shù)靜電放電穩(wěn)態(tài)濕熱恒溫放置復燒0.050 + 30<400<4000.1±1<101.0101001 000±15±100±100±0.5±0.3±0.310 000<15100 0001 000 00010 000 000方阻Ra=R/方數(shù)，且將實測膜厚換算成標準膜厚為9 j

5、zm進行計算。5檢驗方法 5.1 檢驗環(huán)境檢驗應在標準大氣條件下進行。a）溫度：15 °C35 °C ；b）相對濕度：35%75%;c）大氣壓力：86 kPa106 kPao5.2燒成膜樣品的制備燒成膜樣品的制備按照附錄A的規(guī)定進行，印刷圖形參見附錄B。待檢驗的燒成膜樣品應置于干 燥潔凈的塑料袋或干燥容器中密封保存。5.3細度按照SJ/T 115122015中101規(guī)定的方法進行。 5.4黏度按SJ/T 115122015中102規(guī)定的方法進行。5.5固體含量按SJ/T 115122015中103規(guī)定的方法進行。5.6方阻及偏差按SJ/T 115122015中105規(guī)定的方

6、法進行。2庫七七 標準下載T/CEMIA 02120195.7 電阻溫度系數(shù)正溫度系數(shù)、負溫度系數(shù)按SJ/T 115122015中301規(guī)定的方法進行。5.8 阻值變化率5.8.1靜電放電按SJ/T 115122015中302規(guī)定的方法進行。其中：a）放電電壓：3 000 V;b）放電間隔：1 s;c）放電次數(shù):5次。5.8.2穩(wěn)態(tài)濕熱按SJ/T 115122015中304規(guī)定的方法進行。5.8.3恒溫放置按SJ/T 115122015中305規(guī)定的方法進行。5.8.4 復燒選取燒結(jié)膜厚為8 ym12 fim的燒成膜樣片，測試阻值。將樣片置于850 °C±5 °C

7、的燒結(jié)爐中 重復燒結(jié)一次，測試阻值K2，按照式（1）計算變化率：P P X 100%（ 1 ）尺1式中：K/K 復燒前后的阻值變化率，;R1復燒前的電阻阻值，fhR 2復燒后的電阻阻值，Q。5.9等效檢驗允許采用等效檢驗方法，但在出現(xiàn)爭議時以本標準規(guī)定的方法為基準方法。6檢驗規(guī)則6.1檢驗分類檢驗分為逐批檢驗和型式檢驗。6.2檢驗項目逐批檢驗項目按表3中16項規(guī)定的順序和要求進行；型式檢驗項目按表3中19項規(guī)定的順 序和要求進行。3庫七七 標準下載T/CEMIA 0212019T/CEMIA 0212019表3檢驗項目序號檢驗項目要求的章條號檢驗方法條款樣品數(shù)量允許不合格品數(shù)1細度4.15.3

8、1 g2 g2黏度4.15.48 g 10 g3固體含量4.15.51 g2 g4方阻及偏差4.25.610個05電阻溫度系數(shù)4.25.75個06靜電放電4.25.8.15個07穩(wěn)態(tài)濕熱4.25.8.25個08恒溫放置4.25.8.35個09復燒4.25.8.45個06.3 逐批檢驗6.3.1組批同一批原料.相同生產(chǎn)條件下的產(chǎn)品為一批。6.3.2抽樣每批產(chǎn)品進行充分攪拌后隨機抽取30 g35 g樣品，樣品應置于取樣罐中加蓋密封。6.3.3結(jié)果判定逐批檢驗項目全部合格時，則判定該批產(chǎn)品合格；其中有任意一項不合格時，則判定該批產(chǎn)品不 合格。6.4型式檢驗6.4.1通則有下列情況之一時，應進行型式檢

9、驗：a)主要原材料、工藝等發(fā)生改變；b)產(chǎn)品停產(chǎn)后，恢復生產(chǎn)時；c)交收檢驗結(jié)果與上次交收有差異時;d)關(guān)鍵工藝設(shè)備大修或更新之后；e)正常生產(chǎn)時每12個月進行一次。6.4.2抽樣應在逐批檢驗合格的批次中，按6.3.2的規(guī)定進行。6.4.3結(jié)果判定型式檢驗項目全部合格時，則判定型式檢驗合格；其中有任意一項不合格時，則判定型式檢驗不 合格。57包裝、標志、運輸、貯存 7.1包裝產(chǎn)品采用復合包裝。內(nèi)包裝為帶有密封蓋的專用包裝罐。包裝罐材質(zhì)應耐腐蝕，不易破損。瓶口 加密封帶。外包裝為紙箱。內(nèi)外包裝之間填加緩沖物。包裝規(guī)格可為100 g、500 g、l 000 g，或按需方要求而定。7.2 標志產(chǎn)品內(nèi)

10、包裝上應貼有產(chǎn)品標簽，標簽應包含:a）供方名稱；b）產(chǎn)品名稱；c）產(chǎn)品規(guī)格批號；d）產(chǎn)品凈重、瓶重；e）保質(zhì)期；f）加蓋合格章。7.3運輸產(chǎn)品的運輸方式應避免污染和機械破損。7.4 貯存產(chǎn)品應貯存在溫度為5 °C 25 °C，相對濕度為20%80%，潔凈、通風、無腐蝕性氣體的室內(nèi)。產(chǎn) 品自生產(chǎn)之日起貯存期為一年。T/CEMIA 0212019附錄 A（規(guī)范性附錄）燒成膜及檢驗樣品的制備A. 1范圍本附錄詳述了本規(guī)范所包含的漿料燒成膜檢驗樣品的制備程序。A.2檢驗樣品制備A.2.1取樣抽取的漿料樣品，置于通過200目325目絲網(wǎng)（絲網(wǎng)乳膠膜厚為：15 Mm±3 Mm

11、）。A.2.2 印刷用橡膠刷將漿料漏印在96%A12（）3試驗基片上（基片表面粗糙度為：35 尺寸為：25.4 mmX 25.4 mmX 1 mm，印刷圖形見附錄B），測試圖形見附錄B（規(guī)范性附錄）。A.2.3 流平將該印刷膜自然流平10 min15 min。A.2.4烘干烘干溫度125 °C 150 °C，烘干時間10 min15 min。A.2.5 燒結(jié)燒結(jié)峰值溫度為850 °C ±5 °C，峰值時間9 min11 min，燒結(jié)周期為30 min45 min;制備的燒成 膜樣品厚度為8 /m10 /m。A.2.6焊接引線樣品的制備A.2.6

12、.1引線焊接樣品的制備：在燒結(jié)膜樣片上的待測電阻的電極焊區(qū)涂抹中性焊劑，并用烙鐵上少 許焊錫（63Sn/37Pb）。取6 cm10 cm引線（鍍錫銅引線，+0.65 mm），沿與焊區(qū)平面平行方向，在已上 焊錫的焊區(qū)上焊上引線，確保焊點光滑，制成焊接樣品。A.2.6.2焊接樣品清洗：將焊接樣品浸人裝有工業(yè)酒精的容器中，置超聲波清洗儀內(nèi)，開啟超聲波，清 洗30 min后，用清潔的工業(yè)酒精清洗，再用沾有工業(yè)酒精的布頭擦拭干凈，放置30 min備用。T/CEMIA 02120191 mm X 1 mm測試圖形c）電極與電阻組合圖形附錄B（資料性附錄）電阻漿料的測試圖形印刷圖形應符合圖B.1和圖B.2。a）電極印刷圖形（C-42）b） 電阻印刷圖形（R-41）注1： C-42電阻漿料測試配套的導體圖形編號；注2: R-41電阻漿料測試配套的電阻圖形編號。圖B. 11 mmX 1 mm測試樣品制備示意圖a） 電極印刷圖形（C-26）注1： C-26電阻漿料測試配套的導體圖形編號； 注2: R-26電阻漿料測試配套的電阻圖形編號。興謂b） 電阻印刷圖形（R-26）100 mmX 1 mm測試圖形c）電極與電阻組合圖形圖B.2100 mm X 1 mm測試樣品制備示意圖6L0CNILS VIW33/1