光電檢測(cè)技術(shù) 第九章教材

1、第第9 9章章 光電檢測(cè)技術(shù)在機(jī)械領(lǐng)域的典型應(yīng)光電檢測(cè)技術(shù)在機(jī)械領(lǐng)域的典型應(yīng)用用 v掌握內(nèi)容掌握內(nèi)容v理解內(nèi)容理解內(nèi)容v了解內(nèi)容了解內(nèi)容第第9 9章章 主要內(nèi)容主要內(nèi)容 9.1 9.1 雙頻激光干涉儀雙頻激光干涉儀9.2 9.2 表面粗糙度測(cè)量?jī)x表面粗糙度測(cè)量?jī)x9.39.3同軸式高分辨率激光輪廓儀同軸式高分辨率激光輪廓儀9.4 9.4 工業(yè)工業(yè)CTCT（探傷）渦流成像系統(tǒng)（探傷）渦流成像系統(tǒng)9.5 CCD9.5 CCD成像測(cè)量技術(shù)成像測(cè)量技術(shù) 幾何量的檢測(cè)廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、裝配等領(lǐng)域，幾何量的檢測(cè)廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、裝配等領(lǐng)域，采用光電檢測(cè)的方法來實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測(cè)較之用機(jī)采用光電檢測(cè)的方法來

2、實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測(cè)較之用機(jī)械或其它檢測(cè)方法具有很多突出的優(yōu)點(diǎn)，如非接觸，械或其它檢測(cè)方法具有很多突出的優(yōu)點(diǎn)，如非接觸，響應(yīng)快，測(cè)量對(duì)象多，材料適用性強(qiáng)，高分辨率等，響應(yīng)快，測(cè)量對(duì)象多，材料適用性強(qiáng)，高分辨率等，當(dāng)然，它也存在諸如易受環(huán)境污染，需要準(zhǔn)直的光當(dāng)然，它也存在諸如易受環(huán)境污染，需要準(zhǔn)直的光路等缺點(diǎn)。根據(jù)光電檢測(cè)原理不同，幾何量的光電路等缺點(diǎn)。根據(jù)光電檢測(cè)原理不同，幾何量的光電檢測(cè)技術(shù)可分為幾何量圖像檢測(cè)技術(shù)和直接測(cè)量技檢測(cè)技術(shù)可分為幾何量圖像檢測(cè)技術(shù)和直接測(cè)量技術(shù)。直接測(cè)量技術(shù)主要用干涉儀或其它測(cè)量標(biāo)尺術(shù)。直接測(cè)量技術(shù)主要用干涉儀或其它測(cè)量標(biāo)尺（光柵）進(jìn)行測(cè)量，而幾何量圖像檢測(cè)技術(shù)主要應(yīng)

3、（光柵）進(jìn)行測(cè)量，而幾何量圖像檢測(cè)技術(shù)主要應(yīng)用用CCDCCD成像原理，通過計(jì)算機(jī)的圖像（或通過硬件成像原理，通過計(jì)算機(jī)的圖像（或通過硬件的方法）識(shí)別邊緣，達(dá)到測(cè)量長(zhǎng)度、孔徑等目的。的方法）識(shí)別邊緣，達(dá)到測(cè)量長(zhǎng)度、孔徑等目的。第第9 9章章 光電檢測(cè)技術(shù)在機(jī)械領(lǐng)域的典型應(yīng)光電檢測(cè)技術(shù)在機(jī)械領(lǐng)域的典型應(yīng)用用 9.1 9.1 雙頻激光干涉儀雙頻激光干涉儀穩(wěn)頻信號(hào)布儒斯特窗激光器偏振分光鏡測(cè)量角錐鏡固定角錐鏡分光器光擴(kuò)展器偏振片光電 接收器參考信號(hào)測(cè)量信號(hào)透鏡NfdtfLt221019.2 9.2 表面粗糙度測(cè)量?jī)x表面粗糙度測(cè)量?jī)x1.1.光點(diǎn)變位法（三角法）光點(diǎn)變位法（三角法） 1sin2mxy 2.

4、2.臨界角法臨界角法 1-1-激光二極管（光源）激光二極管（光源） 2-2-準(zhǔn)直物鏡準(zhǔn)直物鏡 3-3-偏振光棱鏡偏振光棱鏡 4 -/4 4 -/4 波片波片5-5-物鏡物鏡 6-6-被測(cè)表面被測(cè)表面 7-7-半透棱鏡半透棱鏡 8-8-臨界角棱鏡臨界角棱鏡 9-9-臨界角棱鏡臨界角棱鏡 A,B,C,D-A,B,C,D-四個(gè)光探測(cè)器四個(gè)光探測(cè)器圖圖9-5 9-5 臨界角法超精密粗糙度探測(cè)裝置光路圖臨界角法超精密粗糙度探測(cè)裝置光路圖3.3.光纖傳感器檢測(cè)法光纖傳感器檢測(cè)法 4. 4. 激光散射法激光散射法 234567891011加工紋理方向 9.3 9.3 同軸式高分辨率激光輪廓儀同軸式高分辨率激光輪廓儀工作原理工作原理測(cè)量形狀誤差分析測(cè)量形狀誤差分析測(cè)量精度分析測(cè)量精度分析 1 1垂直分辨率垂直分辨率2 2不確定度測(cè)試不確定度測(cè)試3 3橫向分辨率測(cè)試橫向分辨率測(cè)試4 4對(duì)比測(cè)試對(duì)比測(cè)試9.4 9.4 工業(yè)工業(yè)CTCT（探傷）渦流成像系統(tǒng)（探傷）渦流成像系統(tǒng)9.5 CCD9.5 CCD成像測(cè)量