ESD防靜電控制規(guī)范

1、1、目的：規(guī)定公司內(nèi)部的ESD規(guī)范，為公司產(chǎn)品在設計、生產(chǎn)、貯存、包裝等各個環(huán)節(jié)提供明確可靠的ESD技術支持，從整體上提高公司靜電防護和控制水平，提高客戶的滿意度。2、適用范圍：適用于本公司的防靜電控制。本文中的各項要求適用于防靜電敏感區(qū)域。當客戶的產(chǎn)品有特殊要求時，采用客戶要求。3、職責：3.1. 各部門主管負責本部門工作區(qū)域靜電防護措施的執(zhí)行。3.2. 生產(chǎn)部負責生產(chǎn)過程中的靜電防護措施的執(zhí)行。3.3. 質量部負責根據(jù)本程序要求實施防靜電用具的進料檢測和靜電線、接地線、靜電墊等防靜電設施測試和記錄以及所有相關記錄的保存。4、概要：本文主要從靜電控制的五個方面（即人員、設備、物料、方法和環(huán)境

2、）來論述ESD規(guī)范,貫穿了公司產(chǎn)品設計、制造、貯存、包裝等各個環(huán)節(jié)防靜電控制，穿插介紹了防靜電設施的技術要求，檢測方法和作業(yè)指導等內(nèi)容。5、目錄：4.1. 靜電敏感區(qū)域的界定。4.2. 靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范。4.3. 靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范。4.4. 靜電敏感區(qū)域的防靜電操作方法規(guī)范。4.5. 靜電敏感區(qū)域的工裝，設備，儀器以及防靜電器材的防靜電規(guī)范。4.6. 常用的檢測方法。4.7. 靜電防護作業(yè)管理指導。4.8. 附錄AESD相關術語。4.9. 附錄B常用的防靜電標志。4.10. 附錄C部分靜電敏感器件的靜電敏感電壓。4.11. 附錄D-引用的標準及參考文獻。4.12.

3、附錄E相關記錄。4.13. 附錄F版本修訂歷史記錄。5、靜電敏感區(qū)域的界定：5.1. 靜電敏感區(qū)域確定：5.1.1. ESD敏感器件的生產(chǎn)區(qū)域生產(chǎn)線等。5.1.2. ESD敏感器件的前加工區(qū)域-前加工房。5.1.3. ESD敏感器件的貯存區(qū)域-庫房和在線庫。5.1.4. ESD敏感器件的返修區(qū)域-返修區(qū)及返修工位。5.1.5. ESD敏感器件的老化區(qū)域老化房。m美迪電孑舊技5.2. 公司的靜電敏感器件：5.2.1. MOS器件、MOS管及MOS集成電路。5.2.2. FET器件、包括場效應管和集成電路。5.2.3. TTL器件、包括各種邏輯門數(shù)字集成電路。5.2.4. AMP放大器、比較器、調

4、節(jié)器等模擬集成電路。5.2.5. X-ROM存儲體器件和記憶體器件、包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成電路。5.2.6. CPU微處理器及各種BGA器件。5.2.7. 各種二極管、三極管。5.2.8. 各種半導體開關元件。5.2.9. 各種厚膜和薄膜電阻。5.2.10. 鋰電解電容。5.2.11. SAW一聲表面波器件。5.2.12. 石英、晶振體器件。5.2.13. 以上元器件組裝的PCBA板。5.3. 靜電敏感區(qū)域的標識：5.3.1. 靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限應該用黃黑相間的斜條紋來標識，線條寬度為510CM這兩種斜條紋是專門用來標識靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限的，不可作為

5、其它標識用。5.3.2. 從靜電敏感區(qū)域的入口處開始，在明顯處還應貼上靜電敏感區(qū)的警示標志，該標志應符合GJB1649的規(guī)定。如圖A:5.3.3. 防靜電容器（防靜電周轉箱，防靜電元件盒等，元件架和運輸車等器材上應有防靜電標志，標志應置于明顯且不易受到磨損的地方。如圖B:5.3.4.經(jīng)過防靜電液處理的物品和場所也應有防靜電標志。如圖C:5.3.5. 含有ESSD的圖紙資料，應有ESSD標志。5.3.6. 設備的外部端口標志應符合GJB1649中第5.8.3條要求。5.3.7. 整機包裝標志應符合GJB1649中第5.10條要求。5.3.8. 交付文件標志應符合GJB1649中第5.9.1條要求

6、。6、靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范6.1. 防靜電工程環(huán)境的設計原則：設計防靜電工程環(huán)境時，為達到靜電防護的要求應遵循以下原則：6.1.1. 抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生6.1.2. 安全、迅速、有效的消除已產(chǎn)生的靜電荷6.1.3. 防靜電工作區(qū)應按電子元器件靜電敏感度確定防護所應達到的級別和程度。一般的要求靜電防護區(qū)內(nèi)靜電電壓絕對值應小于100V。6.1.4. 防靜電區(qū)域應標明區(qū)域界限并在明顯處懸掛警示標志。6.1.5. 在防靜電工作區(qū)內(nèi)禁止使用易產(chǎn)生靜電荷的電荷源。表一為常見的電荷源表類別電荷源工作臺表囿油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及樹脂表囿地板塑料及普通地板革、拋光打蠟木

7、地板、普通乙烯樹脂工作鞋、帽、鞋普通滌綸、合成纖維及尼龍面料、塑料及普通膠第鞋操作工具及設備普通塑料盒、架、瓶、盤用品及紙制品、普通泡沫及一般電動工具、壓縮機、噴射設備、蒸發(fā)設備等6.2.防靜電工程環(huán)境的要求:1.1.1. 環(huán)境的溫度和濕度要求：溫度應在15C至30c之間，濕度應在45麻75疑間，環(huán)境內(nèi)應配備溫度計和濕度計，并按要求做好點檢記錄。如果環(huán)境內(nèi)的空氣過于干燥，應使用加濕器或其它辦法來滿足濕度要求，但應以不對產(chǎn)品造成有害影響為前提。如果濕度高了應該開空調或抽濕機來使其滿足要求。溫度計和濕度計使用要求：1.1.1.1. 對溫度、濕度做監(jiān)測的石英溫濕度儀，必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。1.

8、1.1.2. 有溫濕度測量儀的場所應由專人定期檢查石英溫、濕度自動儀測試狀況，并記錄該時間段的最高和最低值。1.1.1.3. 遇有休息、節(jié)假日等特殊情況，在上班后的第一時間內(nèi)要檢查石英溫、濕度自動記錄儀的記錄情況。1.1.1.4. 發(fā)現(xiàn)溫度、濕度有超標應立即采取有效措施予以改善，并確認超標情況是否有對產(chǎn)品或材料造成損壞，采取的改善措施應予以記錄。1.1.1.5. 每月的溫濕度儀記錄的測試結果由測試部歸類保存。1.1.2. 地表二6.3. 靜電敏感區(qū)域的防靜電保護接地技術要求：防靜電系統(tǒng)必須有獨立可靠的接地裝置，主要技術要求如下：6.3.1. 接地線：也稱為地線母線，防靜電地線專供靜電工程器具和

9、人體泄漏靜電荷使用，不得接在電源零線上，不得與防雷地線共用。6.3.2. 接地主干線的截面積應不小于100mm,支干線的截面積應不小于6m吊,設備和工作臺的接地線采用截面積應不小于1.25mn?的敷朔導線，并以黃綠色為宜。6.3.3. 防靜電設備的連接端子應確保接觸可靠，易裝拆，允許使用各種夾式連接器，如鱷魚夾，插頭座等。6.3.4. 接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護接地電阻應小于4Q06.3.5. 地線的埋設：埋設地線的原則是埋設地點的土壤電阻系數(shù)愈小愈好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。6.3.6. 接地線的定期檢查：6.3.6.1. 檢查對象：所有的接地

10、線及接地端口。6.3.6.2. 檢查儀器：萬用表和接地電阻測試儀。6.3.6.3. 檢查參數(shù)：泄漏電阻（接地電阻）。6.3.6.4. 檢查頻率：6.3.6.4.1. 每條生產(chǎn)線的主接地線對通用接地點的接地性能和設備，工裝及工作臺等設施對生產(chǎn)線主接地線的接地性能應每周檢查一次。6.3.6.4.2. ESD桌墊、ESD地墊、周轉車、周轉架和防靜電環(huán)等設施的防靜電連接線應每月檢查一次。6.3.6.4.3. 每個通用接地點對地的接地性能每6個月檢查一次。6.3.6.5. 檢查標準：6.3.6.5.1. 每周檢查的標準：小于4歐。6.3.6.5.2. 每月檢查的標準：0.9X106Q1.1X106Q。6

11、.3.6.5.3. 每6個月的檢查標準：小于4歐。6.3.7. 接地線的定期維護：6.3.7.1. 對于檢查不過關的接地線必須采取措施及時解決。6.3.7.2. 確保接地線有效接地。6.3.7.3. 對于生銹的或接觸不好的接地線要及時更換。6.3.7.4. 對于松動的接地線要重新連接。6.3.7.5. 按接地線相關規(guī)定進行維護。6.4. 人體靜電防護系統(tǒng)：6.4.1. 防靜電工作鞋：6.4.1.1. 在生產(chǎn)半導體和集成電路的潔凈室和超潔凈室，以及高精密電子產(chǎn)品的裝配間等對防靜電要求較高的場合，作業(yè)人員必須穿防靜電鞋，經(jīng)過測試合格后，方可進入靜電敏感區(qū)域工作。測試步驟如下：6.4.1.1.1.

12、將轉換開關拔到左邊“FOOTWEAR”木當，雙腳站在白色不銹鋼腳板區(qū)域，如下圖一。按住“PRESSTOTEST”鍵此時，左邊（LEFT）指示即為左腳穿上鞋后的對地電阻，右邊（RIGHT）指示為右腳穿上鞋后的對地電阻，如下圖二。如綠燈亮則表示電阻合格。一匚“廠港*左腳高電蛆指示燈、弗厥髓仲氏鼬I.口口匕明H.副中舊合格指示燈i1短沖&賒燈51轉會開關測試于族健!/右腳（胸帝）一/f高電拒指示燈一手腕蕭香索插孔,SKflyrnfiiHalT一金夾柱石腳（腕帶）電1.畫合格指示燈,U"右腳睡帶）低圖二欠電壓指示燈6.4.1.2. 防靜電工作鞋每半年應做一次防靜電特性檢測,對于檢測不

13、過關的防靜電工作鞋應停止使用，更換新的。6.4.1.3. 檢測指標：體積電阻率和摩擦靜電壓。6.4.1.4. 檢測標準：0.5*1051*108Q和0.10kv。6.4.1.5. 檢測儀器：體積電阻率一兆歐表，摩擦靜電壓一靜電電壓表。6.4.1.6. 防靜電鞋的使用要求：6.4.1.6.1. 為使人體有效接地、防止人體和鞋本身帶電，并保證操作者因意外接觸高電壓時不致受到傷害，除應將車間地面做成防靜電地面以外，操作者還應穿用防靜電鞋，而且防靜電鞋必須與防靜電衣配套使用，同時防靜電鞋底應具有使人體與大地構成回路的材料和結構。6.4.1.6.2. 穿防靜電鞋時不得穿襪子，不得另加鞋墊，特別是絕緣性鞋

14、墊不得在鞋底粘貼絕緣膠片或其它涂料。6.4.2. 防靜電手套或指套：6.4.2.1. 在對靜電敏感白工位，如MOS管等敏感器件的裝配工位，操作員工應戴上防靜電手套或指套，防靜電手套或指套兼具防腐蝕的功能。6.4.2.2. 在不便使用有繩防靜電腕帶的崗位，如流動操作崗位，須使用防靜電手套。6.4.2.3. 定期更換破，舊和臟的防靜電手套和指套。6.4.2.4. 防靜電手套或指套的防靜電特性檢查請參照防靜電服的部分檢查方法。6.4.3. 防靜電腕帶：6.4.3.1. 防靜電腕帶是通過腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將人體皮膚表面靜電泄放掉裝置，由松緊圈和接地組件構成。松緊圈的要求是體積電阻

15、率<100Qcm接地組件必須串接一定數(shù)值的電阻，以確保操作者意外觸及高電壓時不致發(fā)生人身傷害。該電阻的選擇原則是，一方面應保證操作者在觸及線電壓時流過人體的電流不大于5mA另一方面又要保證人體所帶的靜電能通過該電阻很快泄放，使皮膚上的靜電壓小于100V,一般該電阻阻值取為10%。6.4.3.2. 因無繩防靜電腕帶的性能對環(huán)境濕度依賴性太強，禁止使用無繩腕帶建議使用在線報警防靜電腕帶，因為它可以實時監(jiān)控防靜電腕帶與人體皮膚是否實時導通，從而保證人體皮膚靜電能及時釋放掉。6.4.3.3. 每班開工前，每位員工都應自檢防靜電環(huán)是否正常，并作好記錄，只有測試合格，才可以進入靜電敏感區(qū)域工作，測試

16、步驟如下：6.4.3.3.1. 各分廠將靜電環(huán)測試儀放在廠房入口處，員工每天上班進入車間時自行測試及做記錄，各分廠指定責任人監(jiān)督、檢查測試結果并在測試表的檢查人項目欄簽名確認。品質部QA檢查員的靜電環(huán)測試及記錄在相應分廠完成，倉庫及IQC員工的靜電環(huán)測試及記錄在倉庫完成。6.4.3.3.2. 員工進入車間前應首先佩戴好靜電環(huán)，然后將靜電環(huán)上的銬魚夾夾住靜電測試儀的測試端，用手按下測試儀上的PUSHON開關，如靜電環(huán)正常，則OK指示燈亮（中間的LED亮）如靜電環(huán)阻值太低，則LO指示燈亮（左邊的LED亮），如靜電環(huán)阻值太高，則HI指示燈亮（右邊的LED亮）。測試合格者，由佩戴者在靜電環(huán)測試記錄表上

17、當日的編號處畫“”反之，畫“嚴禁在測試時，將靜電環(huán)拿在手上進行測試。各部門的責任人應維持測試秩序并監(jiān)督每位員工的測試過程。6.4.3.3.3. 如有測試不良的靜電環(huán)，值班責任人必須對此靜電環(huán)重新確認如經(jīng)過確認后再合格的可正常使用，仍不合格的必須收回更換。記錄表上有不合格的記錄必須有改善行為。測試記錄由測試部保存。6.4.3.3.4. 各線領班和生產(chǎn)主任應確保本線員工在需要的崗位都正確佩戴好靜電環(huán)，不能松脫，更不能戴在襪子或袖子上。測試部負責靜電工作的技工每天對在線員工靜電環(huán)實際佩戴狀況抽測一次，抽查人數(shù)為每條生產(chǎn)線總人數(shù)的10%,抽測結果記入靜電環(huán)抽查記錄中。6.4.3.4. 進入靜電敏感區(qū)域

18、應將防靜電環(huán)連接好，與皮膚完全接觸，保證防靜電環(huán)正常有效的工作。6.4.3.5. 防靜電線的有效長度是2.5米，在使用防靜電環(huán)的過程中，不可過度拉扯而超過它的有效長度，不可折斷防靜電線，不可沖洗防靜電環(huán)，拔插時不可通過拉防靜電線來完成，不可在防靜電環(huán)金屬片上加水等，要注意正確使用和妥善保護好防靜電環(huán)。6.4.3.6. 先戴好防靜電環(huán)，再拿靜電敏感器件ESSD,先放下靜電敏感器件ESSD,再拔防靜電環(huán)。在實際工作中要注意此順序，要養(yǎng)成這種習慣。6.4.3.7. 防靜電環(huán)的防靜電連接線的檢查請參照7.3.6規(guī)定。6.5. 臨時或外來人員的防靜電管理：6.5.1. 臨時（外來）人員，包括參觀人員、非

19、本車間聯(lián)系工作人員、臨時施工人員（包括電工、修理工、裝飾工等）,進入防靜電區(qū)域時，必須遵守防靜電區(qū)域和生產(chǎn)過程的各項防靜電要求。6.5.2. 臨時（外來）人員在參觀或作業(yè)過程中，不得靠近操作靜電敏感器件的工作人員，也不得靠近或徒手接觸含有靜電敏感器件的在制品或成品。6.5.3. 臨時施工作業(yè)在正常生產(chǎn)時間內(nèi)要避免瞬時高壓、瞬時放電的操作（如電焊、啟動電機、開關高壓電源等）或事前采取防范措施，或安排在非生產(chǎn)時間內(nèi)施工作業(yè)。6.5.4. 防靜電區(qū)域內(nèi)需要進行某種維護、修理作業(yè)時，維護人員應攜帶并使用防靜電維修包，并遵守防靜電區(qū)域的有關規(guī)定。7、靜電敏感區(qū)域的防靜電操作規(guī)范7.1.1. 所有的ESS

20、D（靜電敏感器件）及其部件的操作必須在靜電安全工作臺上進行。7.1.2. 進入靜電敏感區(qū)域的所有電子元器件都應視為ESSD來對待。7.1.3. 貯存和運輸ESSD及其部件時，應妥善進行防靜電包裝。7.1.4. 拒絕接受未包裝在防靜電容器里的ESSD。7.1.5. 所有用非ESD材料包裝的電子元器件都應在指定的靜電泄放區(qū)域，經(jīng)過拆包和靜電泄放處理后，方可用防靜電中轉工具將其轉到靜電敏感區(qū)域。7.1.6. 不允許在靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理非ESD的材料，不允許在非靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理未包裝的ESSD,不允許非ESD的材料與ESSD混放。7.1.7. 進入靜電敏感區(qū)域的人員，都要必須穿好防靜電工

21、作服，必須戴上防靜電環(huán)，腕帶必須與皮膚有良好接觸并將腕帶接入可靠的防靜電接地系統(tǒng)中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或ESD地墊保持良好接觸，防靜電帽也必須按規(guī)定戴好。7.1.8. 重要工位上應配備腕帶監(jiān)控器，以隨時監(jiān)控腕帶是否處于正常狀態(tài)。7.1.9. 不得隨意拆除和改變ESSD勺封裝，運送全過程應在防靜電容器中進行，清點也盡可能在原包裝內(nèi)完成。7.1.10. 測試ESSD寸必須遵守加電和去電順序，嚴禁帶電插拔ESSD7.1.11. 持拿ESSD應持其外殼兩端，嚴禁人手觸及其引腳或接線片，特別是空懸的輸入端。7.1.12. ESSD器件的引腳或接線片，特別是空懸的輸入端不可放在金屬桌面上，容易引

22、起導通，短路等ESM件，從損壞ESS郵件。7.1.13. 裝配ESSD寸，尤其是MOSS等靜電敏感器件，應戴上防靜電手套或指套。7.1.14. 清洗ESS以其部件時，不得使用塑料刷。7.1.15. 不具備防靜電功能的必備工具和用具，應放在防靜電桌墊上，并應置于離子風機的作用范圍內(nèi)。7.1.16. 操作時應盡量減少對ESSCM其部件的接觸次數(shù)。7.1.17. 組裝電子設備時，如果需要使用電動批，應使用有接地線的低壓直流電動批。7.1.18. 在手工焊接時，應采用防靜電低壓恒溫烙鐵。對GJB1649規(guī)定的I類ESSD焊接，還應在拔掉烙鐵電源插頭后進行。7.1.19. 禁止重復使用ESS郵件包裝管來

23、包裝ESS湍件。7.1.20. 原包裝標識為靜電敏感的元件其散料必須使用防靜電材料盛放和包裝。7.1.21. ESSD器件初始包裝應在靜電敏感區(qū)域內(nèi)完成，并要用防靜電材料包裝。完成了初始包裝的ESSD件進行二次包裝時可以在非ESD區(qū)域內(nèi)完成，也需要防靜電材料。7.1.22. 禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝ESS郵件。7.1.23. 在任何場合均不允許未采取防靜電措施的人員接觸ESSD及其部件。7.1.24. 生產(chǎn)過程中使用的設備（成型機、插件機、波峰焊機、貼片機、切腳機、清洗機等）必須采取接地等防靜電措施。7.1.25. 運車ESSD及其部件時，應將其放入防靜電包裝內(nèi)進行，必要時，

24、應用離子風機來消除在運輸過程中產(chǎn)生的靜電。7.1.26. 新布置的生產(chǎn)線或工位等都應進行ESDA可，只有認可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。7.1.27. 新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電材料，包括主料，輔料和包裝材料都應進行ESDA可，只有認可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。7.1.28. 新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電工具等都應進行ESDA可，只有認可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。7.2.工作臺的安裝（配置）要求：7.2. 1,按照工作臺面的大小選擇所需的防靜電臺墊的尺寸。7.2.2, 使用異丙基酒精徹底清洗臺墊下表面（即黑色的一面）。7.2.3, 從防靜電臺墊正面壓下旋鈕接頭（可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的

25、連接點代替），使其穿過臺墊和箔帶有（多層箔帶時應保證全部穿過），以保證電接觸良好。7.2.4, 使用異丙基酒精清洗防靜電臺墊上表面和各組成構件。7.2.5, 將經(jīng)過以上準備好的防靜電臺墊平整的鋪于工作臺面上。7.2.6, 按操作人員的作業(yè)范圍、確定鋪放臺墊的面積。7.2.7, 將工作臺置于防靜電地墊上。27.2.8, 防靜電工作臺的接地，使用橫截面不小于2mm的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電臺墊和地墊分別串聯(lián)1MD電阻后連接到地線配置系統(tǒng)上。7.2.9, 全部安裝完畢后，對各參數(shù)指標進行檢驗合格后，方可開始使用。7.3. 防靜電工作臺接地要求：7.3.2, 防靜電工作臺的臺墊和地墊，分別串聯(lián)1MQ

26、+-10%的電阻接地（即軟接地）。7.3.3, 防靜電工作臺墊和地墊上任意一點與地線配置系統(tǒng)間的電阻為1X1061X109Qo7.3.4, 接地電纜應采用中間無接頭、且具有足夠的機械強度。7.3.5, 多臺防靜電工作臺的接地線不能相互串接。7.3.6, 防靜電工作臺上的測試儀器、穩(wěn)壓電源、電動工具、和電離器等所有外部零件表面、屏蔽面均應接地對地線配置系統(tǒng)電阻值不大于2Q,所有接地點應集中接于一點，就近牢固搭接至地線系統(tǒng)上，穩(wěn)壓電源盡可能遠離工作臺。7.3.7, 對載流地線，應使用同軸電纜來接地和屏蔽。7.3.8, 為帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設備提供的電源插頭座，應選用安全型，以使其配接時

27、工具和設備的金屬外殼能夠自動接地且接地腳要首先接地，斷電時接地腳最后斷開。7.3.9, 手工工具的絕緣把，應定期用抗靜電劑處理，使其電阻值為1X1061X1C8Q。7.4. 防靜電工作臺使用與維護要求：7.4.2, 防靜電工作臺在日常使用中，必須確保正常接地狀態(tài)。7.4.3, 防靜電工作臺上不允許存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易產(chǎn)生靜電的物品，圖紙、資料等應放入防靜電文件袋中。7.4.4, 測量工具使用兆歐表（額定電壓250500V,量程01000MQ）,測量臺墊，地墊，腕帶和接地電纜等的電阻值。7.4.5, 使用防靜電劑噴涂工作服、工作椅、工具的絕緣部分，及非導體或非防靜電的塑料容器、椅子坐墊和椅子靠背等。7.4.6, 使用中性清洗劑或防靜電劑清潔防靜電臺墊和地墊。7.4.7, 對所有