狹縫縫寬和細(xì)絲直徑的測(cè)量

1、編號(hào)*7v!JV抬姓雷孑科林大序狹縫縫寬和細(xì)絲直徑測(cè)電子工程與自動(dòng)化學(xué)院課程設(shè)n論文計(jì)說明書目:系:業(yè):學(xué)生姓名：學(xué)號(hào).30217指導(dǎo)教師：生職稱：副教授2021年1月20日摘要本課題主要目的是狹縫縫寬和細(xì)絲直徑的測(cè)量.微小物體的測(cè)量在生產(chǎn)和科研中有很重要的作用,光學(xué)衍射法測(cè)量微小物體的直徑是一種非破壞性,精度高的方法.利用光的單縫衍射效應(yīng)：光傳播過程中遇到障礙物時(shí),當(dāng)隙礙物小孔、狹縫、毛發(fā)、細(xì)絲等的線度與光的波長相差不多時(shí),所發(fā)生的偏離直線傳播的現(xiàn)象.即光可繞過障礙物,傳播到障礙物的幾何陰影區(qū)域中,并在障礙物后的CCD相機(jī)上捕捉到光強(qiáng)不均勻分布的圖樣,這樣的圖樣為衍射圖樣.另外根據(jù)巴比涅原理

2、,兩個(gè)互補(bǔ)屏單獨(dú)產(chǎn)生的衍射場(chǎng)的復(fù)振幅之和等于沒有屏?xí)r的復(fù)振幅,對(duì)于單縫的夫瑯和費(fèi)衍射,除點(diǎn)光源在像平面的像點(diǎn)之外有U=0,即像點(diǎn)外兩個(gè)互補(bǔ)屏所產(chǎn)生的衍射圖形,其形狀和光強(qiáng)完全相同,僅位相相差11/2,所以也可用絲線代替單縫進(jìn)行衍射.把CCD相機(jī)采集到的衍射圖樣用MATLAB進(jìn)行圖像處理,即可計(jì)算出衍射圖樣暗紋或亮紋之間的間距.關(guān)鍵詞：?jiǎn)慰p衍射；衍射圖樣：巴比涅原理AbstractTliemainpurposeofthisshidyistomeasuretheslitwidthandthediameterofthefilament.Tliemeasurementofsmallobjectsisv

3、eryimportantintheproductionandscientificresearch.Tlieopticaldiffractionmethodisanon-destiuctivemethodtomeasurethediameterofmicroobjects.Tlieliglitofthesingleseamdifiractioneffects:liglitpropagationencounteredobstacleswhenobstaclepinholeandslit,hair,filaments,etc.andthelineardimensionofthelightwavelo

4、oksalmost,thedeviationtravelsinstraiglitlines.Tlieliglitcanbypasstlieobstacles,spreadtotheareaoftliegeometricshadowofobstacles,andintlieobstacleaftertheCCDcameratocapturethelightintensityciistributionofthepattern,sothatthepatternforthediffractionpattern.AlsoaccordingtoBabinetsprinciple,twocomplement

5、aiyscreenaloneproducesadiffiactionfieldofcomplexamplitudeisequaltonoscreenthecomplexamplitude,forsingleslitFramilioferdifiQaction,inadditiontothepointliglitsourceinaplanelikebeyondthepointofU=0,thatpointastwocomplementaryscreenproducedbydiffiactionpattern,itsshapeandintensityareexactlythesame,onlyph

6、asedifferencePI,soalsoavailablethreadinsteadofsingleslitdiffiaction.CCDcameratocollectthediffiactionpatternwithMATLABforimageprocessing,youcancalculatetliedistancebetweenthediffiactionpatternofdarklinesorbriglitlines.Keywords：Singleslitdiffraction；Diffractionpattern：Babinetprinciple目錄引言31 .任務(wù)與要求32 .

7、方案論證32.1 狹縫測(cè)量方案論證及選擇32.2 細(xì)絲直徑測(cè)量方案選擇53 .實(shí)驗(yàn)測(cè)量光路的搭建及測(cè)量63.1 細(xì)絲直徑測(cè)量63.2 細(xì)絲直徑測(cè)量方法63.3 狹縫縫寬測(cè)量裝置74 .實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理84.1 CCD標(biāo)定84.2 實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理85 .誤差分析125.1 測(cè)量距離的誤差125.2 CCD相機(jī)存在的誤差125.3 3圖像處理的誤差136 .結(jié)論137 辭148 考文獻(xiàn)15附錄錯(cuò)誤！未定義書簽.引言單縫衍射的根本解釋是光在傳播過程中遇到障礙物,光波會(huì)繞過障礙物繼續(xù)傳播.而所謂的夫瑯禾費(fèi)衍射是指光源、衍射屏和觀察屏三者之間都是相距無限遠(yuǎn)的情況.即當(dāng)入射光和衍射光都是平行的情況.其圖案是一組

8、平行于狹縫的明暗相間的條紋.與光軸平行的衍射光束是亮紋的中央,其衍射光強(qiáng)為極大值.除中央主極大外,兩相鄰暗紋之間有一次極大.位置離主極大越遠(yuǎn),光強(qiáng)越小.本課題的主要任務(wù)是通過CCD相機(jī)采集衍射圖樣計(jì)算出明紋或暗紋的間距求出狹縫的縫寬,再根據(jù)巴比涅原理搭建光路求出細(xì)絲的直徑.1 .任務(wù)與要求掌握光學(xué)衍射測(cè)量原理原理,了解縫寬與某級(jí)次級(jí)衍射條紋的位置關(guān)系,掌握巴比涅原理.設(shè)計(jì)狹縫縫寬測(cè)量光路和細(xì)絲直徑測(cè)量光路,首先用標(biāo)準(zhǔn)的狹縫和標(biāo)準(zhǔn)的細(xì)絲來測(cè)量,從系統(tǒng)中得到狹縫和細(xì)絲的衍射圖像,分析和計(jì)算在標(biāo)準(zhǔn)狹縫和標(biāo)準(zhǔn)細(xì)絲情況下測(cè)量系統(tǒng)的可行性.測(cè)量系統(tǒng)可行與否,通過測(cè)量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)值相比擬就可得出可行性方案.最

9、后再測(cè)量任意狹縫縫寬和任意直徑的細(xì)絲.分析系統(tǒng)中各參數(shù)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響.2 .方案論證2.1 狹縫測(cè)量方案論證及選擇細(xì)絲直徑測(cè)量方案一：將細(xì)絲插入兩光學(xué)平玻璃板的一端,從而形成一空氣劈尖.當(dāng)用單色平行光垂直照射時(shí),在劈尖薄膜上下兩外表反射的兩束光發(fā)生干預(yù),且干預(yù)條紋是一族與接觸棱平行且等間距的平行直條紋.如圖2-1所示.圖21由于LD,sin0tane=D/L,在讀數(shù)顯微鏡下測(cè)量m條暗紋間距a,且有光程差mA,所以有tan0=mA/2a(2-1)即D=mAL/2a(2-2)用尺子測(cè)量L的值,光波的波長為入,那么可通過上式計(jì)算出細(xì)絲的直徑D.光束用He-Ne激光器產(chǎn)生的激光,波長入=632.8n

10、m細(xì)絲直徑測(cè)量方案二：采用單縫衍射的夫瑯和費(fèi)衍射來測(cè)量細(xì)絲直徑.單縫衍射可以分為兩類：菲涅爾衍射、夫瑯和費(fèi)衍射.在夫瑯和費(fèi)衍射中,入射到狹縫的光是平行光,傳播到觀察屏的光也是平行光,即入射光和衍射光都是平行光.因此夫瑯和費(fèi)衍射是平行光衍射.如圖1T所示,將波長為人的單色光源S置于透鏡L的焦平面上,由光源發(fā)出經(jīng)L出射的平行光垂直照射在寬度為a的狹縫上.當(dāng)a很小時(shí),根據(jù)惠更斯-菲涅爾原理,狹縫上每一點(diǎn)都可以看成是發(fā)射子波的新光源.由于子波疊加的結(jié)果,可以在透鏡的焦平面處的接收屏上看到一組平行于狹縫的明暗相間的衍射條紋.中央是明亮且較寬的的明條紋,在它兩側(cè)是較弱的明暗相間的條紋,中央明條紋寬度是兩側(cè)

11、明條紋寬度的兩倍.圖2-2由夫瑯禾費(fèi)衍射公式可以得到光源在P點(diǎn)的光強(qiáng)計(jì)算公式：乙乜(學(xué))(2-3)其中：sin9P=：A式中,a為是狹縫縫寬.為為單色光的波長,h表示屏中央Po處的光強(qiáng).由式23得到如下的討論：(1)當(dāng)0=0時(shí),P處的光強(qiáng)最大,稱為主極大.(2)當(dāng)懺KmBP：asin6=M(K=l,土2,3,)=0,出現(xiàn)暗紋.由于6值實(shí)際上很小,因此,暗條紋出現(xiàn)在8a的方向上,顯然,主最大兩側(cè)暗紋之間的角間距a4=,為其它相鄰暗紋之間角間距A6=的兩倍.aa(3)除了主極強(qiáng)之外,兩相鄰暗紋之間都有一個(gè)次極大,由數(shù)學(xué)計(jì)算得出出現(xiàn)這些次極強(qiáng)的位置在P=1.43n,2.4671,3.47兀,.這些次

12、極強(qiáng)的相對(duì)光強(qiáng)“/依次為0.0472,0.0165,0.0083方案一利用劈尖干預(yù),分別測(cè)量Ljn,a等三個(gè)量,實(shí)驗(yàn)器材需要兩塊標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)平板玻璃,一臺(tái)讀數(shù)目鏡,一臺(tái)激光器.結(jié)合己有實(shí)驗(yàn)器材,充分利用資源現(xiàn)采用夫瑯和費(fèi)衍射法測(cè)量狹縫縫寬,此測(cè)量系統(tǒng)也可以用于測(cè)量細(xì)絲直徑,因此為最優(yōu)方案.2.2 細(xì)絲直徑測(cè)量方案選擇根據(jù)巴比涅原理,直徑為d的細(xì)絲產(chǎn)生的衍射圖樣與寬度為d的狹縫衍射圖樣相同.其光強(qiáng)分布為sin2(p卬?(2-4)當(dāng)(p=kn(k=l,2,3,)dsin(p=kA時(shí),1=0,出現(xiàn)暗紋,每一側(cè)的喑紋是等間距的,如圖23所示.由于平實(shí)際上很小,設(shè)第k級(jí)暗紋到光軸的距離為Xk,那么有kLX

13、LAd=wxkSQ5)式中：S=空,為暗紋間距.可見,只需測(cè)出暗紋間距S及細(xì)絲到測(cè)微目鏡的距離L,k就可計(jì)算出細(xì)絲的直徑d.根據(jù)如圖3-2所示裝置可測(cè)出細(xì)絲的直徑.上式中S為暗紋間距.因此只需測(cè)出暗紋間距及細(xì)絲到CCD相機(jī)靶面的距離L,即可計(jì)算出細(xì)絲的直徑d=U/So3 .實(shí)驗(yàn)測(cè)量光路的搭建及測(cè)量3.1 細(xì)絲直徑測(cè)量DCC圖3-1如圖3T所示,擴(kuò)束鏡和準(zhǔn)直鏡用來獲得擴(kuò)束的平行光.入射到狹縫1可獲得一線光源,同時(shí)可以通過調(diào)節(jié)狹縫1的寬度適當(dāng)調(diào)節(jié)光強(qiáng).由于光入射狹縫1時(shí)將產(chǎn)生一級(jí)衍射,利用狹縫2的一側(cè)直邊屏擋住狹縫1衍射光側(cè)級(jí)以上的衍射條紋,讓零級(jí)光通過照射細(xì)絲.由于細(xì)絲產(chǎn)生衍射條紋的主要能量集中

14、在零級(jí)條紋匕為防止強(qiáng)光導(dǎo)致無法進(jìn)行測(cè)量,用遮光條擋住細(xì)絲衍射的零級(jí)光,便可用讀數(shù)目鏡測(cè)量衍射暗紋的間距.因激光具有很好的相干性,所以一些雜散光之間、雜一光與衍射光之間以及衍射光叮衍射光之間,都會(huì)產(chǎn)生干預(yù).這些雜亂的涉條紋迭加到細(xì)絲衍射條紋上造成嚴(yán)重的干擾,以至無法分辨細(xì)絲的衍射條紋,也就無法進(jìn)行測(cè)量.為了得到較清楚的、不發(fā)生畸變的衍射條紋信號(hào),必須設(shè)法消除這些干擾.在測(cè)量裝置中,放置可調(diào)狹縫2;適當(dāng)調(diào)節(jié)其寬度,使狹縫2的兩側(cè)直邊屏能有效地?fù)踝—M縫1產(chǎn)生的衍射條紋中正負(fù)一級(jí)以上的條紋及一些雜散光.讓零級(jí)光通過照射細(xì)絲,同時(shí),乂不會(huì)在狹縫2產(chǎn)生二次衍射對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾.這樣,便可在CCD相機(jī)由于實(shí)

15、驗(yàn)室器材有限,用CCD代替讀數(shù)目鏡連接的顯示器上得到較清楚的、不產(chǎn)生畸變的細(xì)絲衍射條紋.當(dāng)在顯示器中看到細(xì)絲衍射條紋后,再通過微調(diào)狹縫1的寬度及狹縫2和細(xì)絲在垂直于光軸方向的位置,使衍射條紋的清楚度到達(dá)最正確.3.2 細(xì)絲直徑測(cè)量方法為保證測(cè)量系統(tǒng)的準(zhǔn)確性,首先測(cè)量的是已經(jīng)知道直徑的標(biāo)準(zhǔn)細(xì)絲再測(cè)量未知直徑的頭發(fā)絲.測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)細(xì)絲和頭發(fā)絲各取一組數(shù)據(jù).測(cè)量的方法步驟如下：1調(diào)整激光器,使激光束沿水平方向且平行于平臺(tái)上的米尺.2參照實(shí)驗(yàn)裝置圖,調(diào)節(jié)擴(kuò)束鏡及準(zhǔn)直透鏡以獲得一擴(kuò)束的平行光,且光束乂平行于米尺.3依次放入其他剛學(xué)元件,并調(diào)節(jié)等高共軸.4適當(dāng)調(diào)節(jié)狹縫2的寬度并調(diào)節(jié)其左右位置,使狹縫2的一條直

16、邊屏擋住狹縫1衍射光一側(cè)一級(jí)以上的干預(yù)條紋,讓零級(jí)光通過并照射待測(cè)細(xì)絲.5調(diào)節(jié)CCD鏡頭的左右位置,使顯示屏上顯示出干預(yù)條紋的圖樣.6適當(dāng)調(diào)節(jié)狹縫2的平行度,同時(shí)可適當(dāng)調(diào)節(jié)狹縫1的寬度,以獲得更清楚的衍射條紋.7當(dāng)電腦顯示的干預(yù)條紋足夠清楚,不影響后續(xù)圖像處理時(shí)截取全幅CCD圖像保存.8把截取到的細(xì)絲干預(yù)圖樣用MATLAB處理,算出相鄰喑紋或亮紋間的像素?cái)?shù).3.3狹縫縫寬測(cè)量裝置圖3-2單縫衍射圖案是一組平行于狹縫的明暗相間的條紋.與光軸平行的衍射光束是亮紋的中央,其衍射光強(qiáng)為極大值.除中央主極大之外,兩相鄰暗紋之間有一次極大.位置離主極大越遠(yuǎn),光強(qiáng)越小.我們可以通過CCD鏡頭捕捉衍射圖樣送入

17、顯示器顯示出來,用圖像采集卡截取圖像并通過圖像處理根據(jù)亮暗條紋的分布信息測(cè)量單縫寬度.如圖3-2所示,激光器發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束鏡擴(kuò)束后再經(jīng)過準(zhǔn)直鏡獲得平行光,平行光照射狹縫產(chǎn)生衍射.衍射圖樣被放置在正如測(cè)量細(xì)絲至境內(nèi)一樣,為保證方案的準(zhǔn)確性,首先測(cè)量縫寬的狹縫,再測(cè)量未知縫寬的狹縫,測(cè)量方法如下：1 .調(diào)整激光器,使激光束沿水平方向且平行于光學(xué)平臺(tái)上的米尺：2 .參照實(shí)驗(yàn)裝置圖,調(diào)節(jié)擴(kuò)束鏡及準(zhǔn)直透鏡以獲得一擴(kuò)束的平行光,且光束平行于米尺；3 .依次放入其他光學(xué)元件,并調(diào)節(jié)等高共軸；4 .調(diào)節(jié)CCD相機(jī)鏡頭的左右位置,使顯示屏上顯示的衍射條紋清楚,不影響圖像處理為宜.5 .衍射圖樣通過在狹縫1后的

18、CCD相機(jī)捕捉并送到顯示器顯示.CCD相機(jī)鏡頭到狹縫1的距離為L.如果光強(qiáng)太強(qiáng),可以通過添加衰減器濾掉一局部光強(qiáng).在顯示屏上截取干預(yù)圖樣,下一步再進(jìn)行圖像處理.在此次測(cè)量中首先得到縫寬的狹縫干預(yù)圖樣,通過圖像采集卡采集到的圖通過下一步的數(shù)據(jù)處理,驗(yàn)證方案是否正確.第二次測(cè)量未知縫寬的狹縫,得到的干預(yù)圖樣保存并等待下一步數(shù)據(jù)處理求出狹縫縫寬.4.實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理4.1 CCD標(biāo)定CCD比例是指由CCD接收到計(jì)算機(jī)上的圖像與物體在CCD外表實(shí)際圖像的放大比例的大小,計(jì)算CCD比例可以由CCD接收到計(jì)算機(jī)上的圖像的像素點(diǎn)數(shù)計(jì)算出物體在CCD外表實(shí)際圖像的亮紋或暗紋間距.經(jīng)實(shí)驗(yàn),得出CCD和實(shí)際距離之間的

19、對(duì)應(yīng)關(guān)系為：158個(gè)像素點(diǎn)對(duì)應(yīng)1mm.4.2 實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理1 .測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)細(xì)絲直徑0.2inm采集到的干預(yù)圖樣和處理后的數(shù)據(jù):細(xì)絲到CCD鏡頭的距離:表4-1測(cè)量序號(hào)1234平均值L距離kmm137.62137.65137.70137.68137.66平均值：L=(137.62+137.65+137.70137.68)4-4=137.66mm表4-2細(xì)絲到CCD鏡頭的平均距離L137.66mm相鄰亮紋或暗紋像個(gè)的像素?cái)?shù)N69.75像素根據(jù)公式d二LA/S,相鄰暗紋或亮紋間距:S=N*(1/158),根632.8nmS=0.44mm,那么d=0.98mm測(cè)得值與標(biāo)準(zhǔn)值0.2mm相差0.02,且精確

20、到百分位,此值是可信的,所用的測(cè)量方法是可行的2 .測(cè)量頭發(fā)絲的直徑的干預(yù)樣及處理后的像素矩陣圖:頭發(fā)絲到CCD鏡頭的距離:表4-3測(cè)量序號(hào)1234平均值L距離Umm45.1245.1445.1745.2045.16平均值:L=(45.12+45.14+45.17+45.20)-4-4=45.16mm表4-4頭發(fā)絲到CCD鏡頭的平均距離L45.16mm相鄰亮紋或暗紋像個(gè)的像素?cái)?shù)N66.78相鄰暗紋或亮紋間距:S=N*1/158=0.42mm頭發(fā)絲直徑：d=LA/S=45.13x632.8x10,-6/0.42=0.068mm由此測(cè)得細(xì)絲,即頭發(fā)絲的直徑為0.068mmo3 .測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)狹縫縫寬0

21、.2mm干預(yù)圖樣及處理后的像素矩陣圖:標(biāo)準(zhǔn)健寬到CCD的距離:表4-5測(cè)量序號(hào)1234平均值距離U119.47119.45119.38119.52119.46平均值:L=(119.47+119.45+119.38+119.52)4-4=119.46mm表4-6標(biāo)準(zhǔn)縫寬到CCD鏡頭的平均距離L119.46mm相鄰亮紋或暗紋像個(gè)的像素?cái)?shù)N56.20相鄰暗紋或亮紋間距：S=56.20x1/158=0.36mm標(biāo)準(zhǔn)縫寬寬度:d二LA/S=119.47x632.8xl0-6/0.36=0.21mm由此方法求得標(biāo)準(zhǔn)狹縫縫寬為0.21mm,此數(shù)值與表準(zhǔn)數(shù)值0.2mm相差不大,因此所用的測(cè)量方法可行.4 .測(cè)

22、量未知狹縫縫寬衍射圖樣及處理后的像素矩陣圖：待測(cè)狹縫到CCD的距離:表4-7測(cè)量序號(hào)1234平均距離距離Lmm217.58217.62217.64217.55217.60平均值：L=(217.58+217.62+217.64+217.55)4-4=217.60mm表4-8待測(cè)狹縫縫寬到CCD鏡頭的平均距離L217.60mm相鄰亮紋或暗紋像個(gè)的像素?cái)?shù)N91.71暗紋間距:S=N*1/158=0.58mm待測(cè)狹縫寬度：d=LA/S=217.60x632.8xl0-6/0.58=0.24mm5 .誤差分析5.1 測(cè)量距離的誤差首先是測(cè)量待測(cè)物到CCD鏡頭這段距離1的誤差,由于測(cè)量的人員因素和尺子的精

23、度不可能精確地得到真實(shí)的距離,本次實(shí)驗(yàn)減少誤差的方法是進(jìn)行屢次測(cè)量,然后再取平均值,把平均值作為最后的結(jié)果.5. 2CCD相機(jī)存在的誤差CCD相機(jī)所產(chǎn)生的誤差是系統(tǒng)中的系統(tǒng)誤差,它在此次測(cè)量系統(tǒng)中相當(dāng)于固有的.它主要分為光學(xué)誤差、機(jī)械誤差和電學(xué)誤差.L光學(xué)誤差主要是指影響CCD成像幾何精度CCD相機(jī)的光學(xué)鏡頭所產(chǎn)生的鏡頭畸變差.鏡頭的這種畸變差在照片中一般表現(xiàn)為中央小而周邊較大.由于本次截取到CCD照片的成像主要部位是照片中央,這在一定程度上減小了光學(xué)誤差.2 .機(jī)械誤差主要是指CCD器件質(zhì)量不好,即CCD機(jī)械加工安裝時(shí)造成的CCD面陣的幾何誤差.3 .電學(xué)誤差主要是指CCD在光電信號(hào)轉(zhuǎn)換,電

24、荷在勢(shì)阱中的傳遞以及A/D轉(zhuǎn)換時(shí)所產(chǎn)生的影像幾何誤差.它主要包括行同步誤差、場(chǎng)同步誤差和像素采樣誤差.5 .3圖像處理的誤差圖像處理使用MATLAB軟件進(jìn)行處理存在以下誤差：1對(duì)暗紋中央或亮紋中央的取值存在誤差.2圖像條紋的第一個(gè)條紋和最后一個(gè)條紋不夠清楚,有畸變.誤差處理方法：去掉第一個(gè)波谷和最后一個(gè)波谷,取各個(gè)波谷的平均值.如圖51,去掉第一個(gè)暗斑和最后一暗斑.處理結(jié)果如圖51右所示圖5-16 .結(jié)論夫瑯禾費(fèi)單縫衍射圖案是一組平行于狹縫的明暗相間的條紋.與光軸平行的衍射光束是亮紋的中央,其衍射光強(qiáng)為極大值.除中央主極大外,兩相鄰暗紋之間有一次極大.位置離主極大越遠(yuǎn),光強(qiáng)越小.我們可以通過測(cè)量各處光電流的大小研窕光強(qiáng)的分布,并通過光強(qiáng)分布的信息用CCD采集條紋從而測(cè)量細(xì)絲直徑和狹縫縫寬.本次實(shí)驗(yàn)首先測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)細(xì)絲和標(biāo)準(zhǔn)狹縫的寬度,實(shí)驗(yàn)測(cè)量得到的數(shù)值再與原來的值相比擬,可以看出標(biāo)準(zhǔn)細(xì)絲的測(cè)得值為0.198mm,原值為0.2mm,測(cè)得值與原值相差不大.而在標(biāo)準(zhǔn)狹縫中測(cè)得標(biāo)準(zhǔn)狹