無塵室使用管理

1、無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設(shè)備之配合投資外，也需要良好的軟件管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內(nèi)之微污染來源，作業(yè)人員占約80%，作業(yè)人員進(jìn)出無塵室時(shí)塵埃有顯著增加，有人動(dòng)作時(shí)，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。潔凈等級(jí) 合格的溫濕度范圍 潔凈度合格標(biāo)準(zhǔn)（1升氣體中 備注溫度 濕度%RH 粒徑0.5m 粒子數(shù) 粒徑5m粒子數(shù) 百級(jí)1925507030千級(jí)19255070350五千級(jí)192550701761萬級(jí)192550703532十萬192550703530200無塵室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、風(fēng)管材料

2、以及一般性氣體、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設(shè)備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。無塵室適當(dāng)之正壓保持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，空氣過濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。隔間板、地板等無塵室材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動(dòng)化及人員不聚集、動(dòng)作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。墻壁體應(yīng)光滑無死角、無塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間 換氣次數(shù)應(yīng)足夠，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng) ，再加上日常是清潔維護(hù)無塵室運(yùn)轉(zhuǎn)管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無塵室內(nèi)所用東西

3、等加以探討，并依計(jì)劃（planning）、實(shí)施（Doing）、追蹤（Checking）、動(dòng)作(Action)之PDCA循環(huán)步驟執(zhí)行。 前以提及在無塵室內(nèi)污染來源80%來自作業(yè)人員,因此若能使作業(yè)人員依無塵室管理，而所有人員也均能配合實(shí)施，則污染源的產(chǎn)生可說已減大半。現(xiàn)就進(jìn)入無塵室的作業(yè)人員之管理和注意事項(xiàng)說明如下：（1）進(jìn)入無塵室之人員，必須要具備有達(dá)成高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，并要維持最好狀態(tài)之觀念。（2）作業(yè)人員進(jìn)入無塵室數(shù)目以維持最小限度原則（愈少愈好），并須依無塵室進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)出無塵室，如圖3所示。出則相反方向進(jìn)行，唯不須經(jīng)空氣洗塵室之脫塵處理。（3）對(duì)作業(yè)人員必須經(jīng)常講解無塵室管理之?dāng)?shù)據(jù)，并加

4、以教育與訓(xùn)練，內(nèi)容如無塵室管理之一般常識(shí)、無塵室之構(gòu)造與功能、維護(hù)和清潔、安全對(duì)策、搬運(yùn)器材之潔凈管理與檢查、潔凈衣之穿脫、無塵室內(nèi)之步行方式等，并經(jīng)考試合格者方能進(jìn)入無塵室工作。（4）在無塵室作業(yè)人員須經(jīng)常保持自己各方面的干凈與清潔。（5）在無塵室內(nèi)之作業(yè)人員或其它人員之移動(dòng)或動(dòng)作均為發(fā)塵源，其直接影響制程，同時(shí)亦會(huì)影響氣流之?dāng)_動(dòng)，為防止與控制上述情形，基本上須注下列事項(xiàng)：a.不可在作業(yè)區(qū)域氣流之上方放置物品或做其它作。b.不必要之動(dòng)作盡量避免以防止亂流發(fā)塵。c.與作業(yè)無關(guān)的私心談話盡量避免。d.為控制發(fā)塵量，人員步行及作業(yè)要靜靜地進(jìn)行。表2所示為人體在不同動(dòng)作時(shí)之發(fā)塵量。e.作業(yè)要在潔凈之

5、工作柜或工作桌進(jìn)行。f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中，并置放一定的場(chǎng)所。（6）作業(yè)人員須經(jīng)常保持干凈之手，除了常洗手、剪指甲外，手并應(yīng)保養(yǎng)，以防皮膚之剝離，男性須每天刮胡子。（7）潔凈衣要經(jīng)常保持著衣之狀態(tài)。（8）下列所述者不能進(jìn)入無塵室：a.非作業(yè)人員或事先未得許可者。b.未照規(guī)定穿著潔凈衣者。c.剛做激烈運(yùn)動(dòng)流汗者。d.吸煙或吃東西后，尚未經(jīng)過半小時(shí)以上者。圖4為吸煙和未吸煙者微塵產(chǎn)生量與時(shí)間之比較圖，由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘后才降至15倍，此為為何無塵室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準(zhǔn)進(jìn)入的原因所在。故針對(duì)在無塵室作業(yè)人員之招募，

6、若能選擇不吸煙者為對(duì)象，將可帶來甚大利益。 a)沒有經(jīng)過清潔過程之器材、零件物品、測(cè)定器等各種物品。b)紙箱及未經(jīng)特別處理之記錄或筆記用紙、影印數(shù)據(jù)等。c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。d)香煙、化妝品、衛(wèi)生紙、飲食品等。e)作業(yè)員個(gè)人用品如打火機(jī)、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊(cè)或其它個(gè)人物品等。無塵室潔凈度維持之最大控制對(duì)象為作業(yè)人員，因此對(duì)于作業(yè)人員之?dāng)?shù)目、行動(dòng)狀態(tài)、進(jìn)出規(guī)則之制定與執(zhí)行，提高無塵室內(nèi)作業(yè)人之潔凈度意識(shí)、反復(fù)教育，均為必須，因作業(yè)人員之動(dòng)作而產(chǎn)生污染的增加倍率。 除了人員進(jìn)出無塵室須予于規(guī)范管理外，愿物料及設(shè)備之進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響無塵室之潔凈度。其進(jìn)無

7、塵室之流程如表4所示。至于搬出則反方向而行，但不須經(jīng)潔凈程序。原物料及設(shè)備進(jìn)出用無塵室為無塵室等級(jí)1000或10000級(jí)之房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或物料時(shí)必須穿著潔凈衣服，所使用之擦拭紙為無塵紙或不會(huì)脫落織毛之無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入35濃度的IPA或丙酮化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于IPA及丙酮具揮發(fā)性，故此房間之排氣效果須特別考慮。搬運(yùn)設(shè)備時(shí)為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。無塵室內(nèi)用品除了進(jìn)出無塵室用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。潔凈衣之材

8、料以洗后或使用其它處理后仍不會(huì)發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時(shí)，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯

9、樹脂（Viny1），在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。 潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在無塵室內(nèi)進(jìn)行。并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2m之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級(jí)而定，在高潔凈區(qū)（CLASS1）為23天，其它區(qū)域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。潔凈衣之置放場(chǎng)所亦須為無塵室，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。桌椅一般以不銹鋼材質(zhì)，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環(huán)氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌最好有打洞，

10、邊緣有倒角。以利氣流之運(yùn)動(dòng)。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時(shí)，則要準(zhǔn)備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。a.因日曬、濕診而皮膚有問題者。b.化學(xué)纖維或有機(jī)溶劑等化學(xué)藥品有過敏性體質(zhì)者。c.容易出受汗者。d.比一般人皮膚表皮容易剝離、頭皮或體毛容易掉落者。e.化妝或涂口紅者。f.有重大精神病、神經(jīng)過敏或閉瑣恐懼者。g.因哮喘、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。a.做事細(xì)心有耐性者。b.勤于整理整頓，經(jīng)常自己注意身邊清潔的人。c.經(jīng)常留意自己之健康者。無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，以下將對(duì)該二系統(tǒng)

11、之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。ng.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。nh.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露n

12、生銹。ni.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)n行，并加隔離柵隔離。nj.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無塵室之各項(xiàng)規(guī)定，且n負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。nk.應(yīng)有無塵室專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。nl.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置n放室，將是一理想之規(guī)劃。a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。c.在操作時(shí)，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵。e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。f.為不使氣體或液體滯留，

13、造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。1.建筑物之維護(hù)管理：a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。b.地板之清掃管理及損壞更新。c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ)。d.窗戶及門之保養(yǎng)等。2.環(huán)境測(cè)定與管理：無塵室內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測(cè)，以確實(shí)掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理：a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測(cè)儀器應(yīng)做定期校正檢驗(yàn)，若有設(shè)備移動(dòng)或施工時(shí)須做局部測(cè)量。b.過濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。d.送風(fēng)機(jī)之管理：定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項(xiàng)